油回転真空ポンプ　Pシリーズ　Kシリーズ

02－RP－11 お問い合わせ先とメンテナンスに関して ■メンテナンスサポート拠点 メンテナンス、オーバーホールのご依頼は、下記までご連絡下さい。 〈国内拠点〉 堺工場　 〒593-8324 大阪府堺市西区鳳東町7-775 （ダイアルイン） Tel 072-271-1881　Fax 072-273-7433 〈海外拠点〉 （U.S.A）FMG Enterprises, Inc. 1125 Memorex Dr, Santa Clara, CA 95050, U.S.A. TEL: +1-408-982-0110 FAX: +1-408-982-0529 （マレーシア）HI-TECH VACUUM SERVICES No.52, Jalan Industri USJ 1/1, Taman Perindustrian USJ 1, （M）SDN.BHD. 47600 Subang Jaya, Selangor, Malaysia TEL: +60（- 0）3 8024 8140, 8024 2097 8023 3858（日本語対応可能） FAX: +60（- 0）3 8024 2143, 8024 7026 （タ　イ）HI-TECH VACUUM SERVICES 111/20 Moo 2 Phaholyothin Rd., KM.56 Tambon Lamsai Amphur Wangnoi, （THAILAND）CO., LTD. Changwat Pranakorn Sri Ayutthaya 13170,Thailand TEL: +66（- 0）35-740-787 FAX: +66（- 0）35-740-790 油回転真空ポンプ ■メンテナンスに関して オーバーホール オーバーホールには機種ごとに専用工具が必要です。オーバーホールを行う場合は、当社MPサービスグループ にご依頼下さい。 技術指導 製品とその用途に精通した技術員が待機しており、製品の運転取扱い手順や点検保守の仕方などを、お客様に 直接ご説明いたします。 有毒ガスを吸引する製品のメンテナンス 人体に有毒なガスを吸引した履歴を持つ製品は、そのままでは作業ができません。お客様で充分に洗浄して下さい。 詳しくはMPサービスグループにお問い合せ下さい。 株式会社 大阪真空機器製作所 ■ 西日本営業部 〒541-0042 大阪市中央区今橋3-3-13 ■ 名 張 工 場 Tel （06）6203-3981　Fax （06）6222-3645 ■ 東日本営業部 〒104-0061 東京都中央区銀座8-14-14 ■ 堺　工　場 Tel （03）3546-3731　Fax （03）3546-1560 ■ ソウル支店 ■ 名古屋営業部 〒460-0002 名古屋市中区丸の内3-18-1 Tel （052）950-3051　Fax （052）950-3062 ■ 上海事務所 〈関連会社〉 上海欧洒 真空機器有限公司 South A, T52-4-1F, No.1510, Chuanqiao Rd., Pudong, Shanghai 201206, P.R. China Tel +86-21-5031-1522 Fax +86-21-5031-1523 Osaka Vacuum U.S.A., Inc. 48000 Fremont Blvd, Fremont, CA 94538, U.S.A. Tel +1-510-770-0100 Fax +1-510-770-0104 ターボ分子ポンプ・複合分子ポンプ・磁気軸受形ターボ分子ポンプ・ 磁気軸受形複合分子ポンプ・ヘリカル溝真空ポンプ・ ターボ分子ポンプ排気ユニット・ドライ真空ポンプ・油回転真空ポンプ・ ルーツ真空ポンプ・液封式真空ポンプ・油拡散真空ポンプ・ エジェクタ・真空システム・真空装置・真空バルブ・真空部品 2022.05.PDF（S）

特殊な油回転真空ポンプ 加熱分離式油回転真空ポンプ［P-WSタイプ］ 注油式油回転真空ポンプ［PLタイプ］ 　標準の油タンクに変えて、加熱分離器を付けた 　標準油回転真空ポンプは、ポンプ油を循環使用 ポンプです。 しています。 大気圧まで圧縮できる機械式真空ポンプの中でも、油回転真空ポンプは、 　加熱分離器に内蔵した蒸気式ヒータ（特注：電気 　注油式油回転真空ポンプは、排気弁から排出 ヒータ）により、ポンプから排出されるポンプ油を された油をポンプ本体に戻さず排油タンクに貯め、 経済的、効率的、かつ簡易な設備で運転できるため、世界中で広く使用されています。 加熱して、混入している水分や溶剤を沸点差により 新しい油をポンプ本体に定量ポンプで注油します。 蒸発分離させます。浄化 　使用済みポンプ油は、再生処理により再利用できる さ れ た 油 は、オイル 場合もあります。 ポンプ単体で簡単に真空状態を得ることができるほか、 クーラを通して冷却後、 ※対応可能機種についてはお問合せ下さい。 ポンプ本体に戻します。 メカニカルブースターと組合せて大排気速度の真空排気システム、 　水分や溶剤などが 混入しているガスを排気 また真空設備の粗引用ポンプとして幅広く使用されています。 する場合に有効です。 このように油回転真空ポンプは幅広い用途に適合でき、 自動車、金属、鉄鋼、包装、食品、医薬品、医療、 　他にも、ポンプ油が劣化しやすい用途で焼付きを防止するPEタイプなど、用途に応じた特殊真空ポンプに よって、化学品や医薬品の真空濃縮・晶析あるいは水分や有機溶剤の除去、乾燥、果汁の低温濃縮、重電機器の 真空乾燥処理など、水分を多く含む空気や有機溶剤蒸気を吸引する場合などに対応できます。 電気、電子、半導体、先端研究分野まで、 あらゆる真空ニーズで活躍しています。 真空システム 　油回転真空ポンプは、メカニカルブースターや油拡散真空ポンプ、ターボ分子ポンプな どと組み合わせて、真空システムを構成することもあります。大阪真空は、長年の実績に裏付け された真空システムの構築技術と、豊富な真空ポンプラインアップにより、ニーズに合わせ 大阪真空の油回転真空ポンプ た最適な真空機器を選択し、適切な真空システムを提供します。 　構造の違いで分類すると、代表的なものでは、揺動ピストン形(Kinney type)、回転翼形(Vane type)、カム形(Cenco type)などがあります。 　大阪真空のPシリーズ／Kシリーズは、揺動ピストン形を採用しています。揺動ピストン形は耐久性に 必要な真空環境に応じて… 優れ、効率的排気が可能で、大型ポンプに最適な構造です。 　大型の油回転真空ポンプで得られる排気速度は、圧力領域によっては小型の油回転真空ポンプとメカニ カルブースターの組み合わせで得られます。 104 　また、大阪真空の油回転真空ポンプは、精密かつ堅牢な設計で、さらにメンテナンス作業しやすい 5 103 P901 構造となっています。 5 RD600＋P90 102 5 P90 101 5 100 5 101 5 102 5 103 5 104 5 105 吸　気　口　圧　力 Suction Pressure 　例えば、圧力５Paで450m3/hの排気速度が必要な場合、油回転真空ポンプ「P901」を単独で使用する場合 と、油回転真空ポンプ「P90」とメカニカルブースター「RD600」を組み合わせて使用する場合があります。 　①「P901」を単独で使用する場合 　　・ 高圧側の排気速度が大きく、容器を大気圧から短時間で減圧できる。 　　・ 消費電力が大きい。（モータ出力22kW） 　②「P90とRD600の組み合わせ」を使用する場合 　　・ 高圧側の排気速度が小さく、容器を大気圧から減圧する所要時間が長い。 　　・ 消費電力が小さい。（P90モータ出力2.2kW、RD600モータ出力2.2kW） 　　・ 油回転真空ポンプ単独より到達圧力が低い。 　このように当社製品群から、装置やプラントの目的・初期設備費・運転費・メンテナンス費用など諸条件を考慮し、 適切な真空ポンプを選び使用することができます。 　さらに高真空を必要とする場合には、２台のメカニカルブースターを直列に使用したり、ターボ分子ポンプや 油拡散真空ポンプと組み合わせることにより適正な排気系を構築することが可能です。 ─ 1 ─ ─ 2 ─ 排　気　速　度 Pumping Speed m3/h

特殊な油回転真空ポンプ 加熱分離式油回転真空ポンプ［P-WSタイプ］ 注油式油回転真空ポンプ［PLタイプ］ 　標準の油タンクに変えて、加熱分離器を付けた 　標準油回転真空ポンプは、ポンプ油を循環使用 ポンプです。 しています。 大気圧まで圧縮できる機械式真空ポンプの中でも、油回転真空ポンプは、 　加熱分離器に内蔵した蒸気式ヒータ（特注：電気 　注油式油回転真空ポンプは、排気弁から排出 ヒータ）により、ポンプから排出されるポンプ油を された油をポンプ本体に戻さず排油タンクに貯め、 経済的、効率的、かつ簡易な設備で運転できるため、世界中で広く使用されています。 加熱して、混入している水分や溶剤を沸点差により 新しい油をポンプ本体に定量ポンプで注油します。 蒸発分離させます。浄化 　使用済みポンプ油は、再生処理により再利用できる さ れ た 油 は、オイル 場合もあります。 ポンプ単体で簡単に真空状態を得ることができるほか、 クーラを通して冷却後、 ※対応可能機種についてはお問合せ下さい。 ポンプ本体に戻します。 メカニカルブースターと組合せて大排気速度の真空排気システム、 　水分や溶剤などが 混入しているガスを排気 また真空設備の粗引用ポンプとして幅広く使用されています。 する場合に有効です。 このように油回転真空ポンプは幅広い用途に適合でき、 自動車、金属、鉄鋼、包装、食品、医薬品、医療、 　他にも、ポンプ油が劣化しやすい用途で焼付きを防止するPEタイプなど、用途に応じた特殊真空ポンプに よって、化学品や医薬品の真空濃縮・晶析あるいは水分や有機溶剤の除去、乾燥、果汁の低温濃縮、重電機器の 真空乾燥処理など、水分を多く含む空気や有機溶剤蒸気を吸引する場合などに対応できます。 電気、電子、半導体、先端研究分野まで、 あらゆる真空ニーズで活躍しています。 真空システム 　油回転真空ポンプは、メカニカルブースターや油拡散真空ポンプ、ターボ分子ポンプな どと組み合わせて、真空システムを構成することもあります。大阪真空は、長年の実績に裏付け された真空システムの構築技術と、豊富な真空ポンプラインアップにより、ニーズに合わせ 大阪真空の油回転真空ポンプ た最適な真空機器を選択し、適切な真空システムを提供します。 　構造の違いで分類すると、代表的なものでは、揺動ピストン形(Kinney type)、回転翼形(Vane type)、カム形(Cenco type)などがあります。 　大阪真空のPシリーズ／Kシリーズは、揺動ピストン形を採用しています。揺動ピストン形は耐久性に 必要な真空環境に応じて… 優れ、効率的排気が可能で、大型ポンプに最適な構造です。 　大型の油回転真空ポンプで得られる排気速度は、圧力領域によっては小型の油回転真空ポンプとメカニ カルブースターの組み合わせで得られます。 104 　また、大阪真空の油回転真空ポンプは、精密かつ堅牢な設計で、さらにメンテナンス作業しやすい 5 103 P901 構造となっています。 5 RD600＋P90 102 5 P90 101 5 100 5 101 5 102 5 103 5 104 5 105 吸　気　口　圧　力 Suction Pressure 　例えば、圧力５Paで450m3/hの排気速度が必要な場合、油回転真空ポンプ「P901」を単独で使用する場合 と、油回転真空ポンプ「P90」とメカニカルブースター「RD600」を組み合わせて使用する場合があります。 　①「P901」を単独で使用する場合 　　・ 高圧側の排気速度が大きく、容器を大気圧から短時間で減圧できる。 　　・ 消費電力が大きい。（モータ出力22kW） 　②「P90とRD600の組み合わせ」を使用する場合 　　・ 高圧側の排気速度が小さく、容器を大気圧から減圧する所要時間が長い。 　　・ 消費電力が小さい。（P90モータ出力2.2kW、RD600モータ出力2.2kW） 　　・ 油回転真空ポンプ単独より到達圧力が低い。 　このように当社製品群から、装置やプラントの目的・初期設備費・運転費・メンテナンス費用など諸条件を考慮し、 適切な真空ポンプを選び使用することができます。 　さらに高真空を必要とする場合には、２台のメカニカルブースターを直列に使用したり、ターボ分子ポンプや 油拡散真空ポンプと組み合わせることにより適正な排気系を構築することが可能です。 ─ 1 ─ ─ 2 ─ 排　気　速　度 Pumping Speed m3/h

大阪真空の油回転真空ポンプの特長 様々な運転条件に対応 メンテナンスしやすい構造 　（真空）ポンプ油の主な役割は、ポンプ内摺動部の気密性確保（シール）と潤滑です。これにより高い排気能力を 高圧（低真空領域）での連続運転が可能 実現し、スムーズな運転を可能にします。 　通常油回転真空ポンプは、高圧運転（大気圧～10kPa）時には、ポンプ内部から油が多量に排出されます。 　ポンプをより長くお使いいただくためには、ポンプ油の適切な管理とメンテナンスが重要です。 この時、ポンプ油の供給が不十分であれば、ポンプ内部の油が減少し、ロータが焼き付き、ポンプ故障の原因となる 可能性があります。 しかし、大阪真空の油回転真空ポンプは最高13kPa(98Torr)＊の高圧運転時でも安定したポンプ油の供給により、 連続運転が可能です。 ●効率の良い油セパレータ ＊：各モデルについての詳細はお問合せ下さい。 効果的な油回収と 　油タンク内には効果的な油セパレータを内蔵しており、気体と一緒に排出された 油を効率よく分離・回収できます。 簡単な油状況の確認 過酷な繰返し運転に耐える 　大阪真空の油回転真空ポンプは、吸気口圧力が88kPa(660Torr)以下で油タンクからステータへ給油 できるので、大気と真空を繰り返す過酷な用途でも、油切れによる焼き付き事故を起こしにくくなっています。 合成繊維などの真空調湿機、医療衛生材料の真空滅菌機、金属熱処理用ガス発生機、食品の真空包装機、電子 ビーム溶接のチャンバー排気など、タクトタイムを重視する用途に最適です。 油セパレ－タ内蔵 ●掃除しやすい油タンク 油タンク 　ポンプ室から排出されたポンプ油は、油タンクで回収され 独立した軸受機構 ステータに戻ります。 　軸受の潤滑はグリスを採用しており、ポンプ油系統から独立しています。それにより、吸引ガスや汚染された 大阪真空の油回転真空ポンプは、油ドレン弁によって溜まった 油を手早く抜き出すことができ、大型の掃除口から油タンク底部に 油によって軸受が損傷を受けにくい構造になっています。 溜まる錆や堆積物を簡単に取り除けます。 静かな運転 油ドレン弁 サイトグラス 低騒音設計 ●油量の確認がしやすい大型の 　油回転真空ポンプは、到達圧力に近づくとオイルハンマー現象により排気弁部の排気音が大きくなります。 　油面計 大阪真空の油回転真空ポンプは、独自の設計によって排気音を低減しました。また、騒音低減弁（オプション）を ●給油状況の確認がしやすいサイトグラス 　直径10cm（K30002は長方 使用することにより、さらに排気音の低減が可能です。 　給油配管にはフラッパ式のサイトグラスが 付いており、油の流れる様子と油の汚れ 形4×34cm）の油面計によって、 具合が確認できます。 運転中に油量や汚れ具合が簡単 低振動設計 に確認できます。 　大阪真空の油回転真空ポンプは、偏心ロータ、プーリ、ホイールのバランスを最適化設計することによって、振動を 油面計 油ドレン弁 最小限におさえました。 ●取替が簡単な軸封部品 　軸とオイルシールの間には 軸封環を装着し、接触による 磨耗から軸を保護しています。 排気弁部 磨耗が進めばオイルシールと 軸封環を取り替えるだけで ●点検が簡単な排気弁部 済みます。 　排気弁部の点検や部品取替えは、 ※一部機種を除く 排気弁アセンブリを取り出すだけで 簡単におこなえます。取り出す時は モータや油タンクを取りはずす必要 はなく、ステータ上の排気弁蓋を開け て容易に取り出すことができます。 掃除口 ─ 3 ─ ─ 4 ─

大阪真空の油回転真空ポンプの特長 様々な運転条件に対応 メンテナンスしやすい構造 　（真空）ポンプ油の主な役割は、ポンプ内摺動部の気密性確保（シール）と潤滑です。これにより高い排気能力を 高圧（低真空領域）での連続運転が可能 実現し、スムーズな運転を可能にします。 　通常油回転真空ポンプは、高圧運転（大気圧～10kPa）時には、ポンプ内部から油が多量に排出されます。 　ポンプをより長くお使いいただくためには、ポンプ油の適切な管理とメンテナンスが重要です。 この時、ポンプ油の供給が不十分であれば、ポンプ内部の油が減少し、ロータが焼き付き、ポンプ故障の原因となる 可能性があります。 しかし、大阪真空の油回転真空ポンプは最高13kPa(98Torr)＊の高圧運転時でも安定したポンプ油の供給により、 連続運転が可能です。 ●効率の良い油セパレータ ＊：各モデルについての詳細はお問合せ下さい。 効果的な油回収と 　油タンク内には効果的な油セパレータを内蔵しており、気体と一緒に排出された 油を効率よく分離・回収できます。 簡単な油状況の確認 過酷な繰返し運転に耐える 　大阪真空の油回転真空ポンプは、吸気口圧力が88kPa(660Torr)以下で油タンクからステータへ給油 できるので、大気と真空を繰り返す過酷な用途でも、油切れによる焼き付き事故を起こしにくくなっています。 合成繊維などの真空調湿機、医療衛生材料の真空滅菌機、金属熱処理用ガス発生機、食品の真空包装機、電子 ビーム溶接のチャンバー排気など、タクトタイムを重視する用途に最適です。 油セパレ－タ内蔵 ●掃除しやすい油タンク 油タンク 　ポンプ室から排出されたポンプ油は、油タンクで回収され 独立した軸受機構 ステータに戻ります。 　軸受の潤滑はグリスを採用しており、ポンプ油系統から独立しています。それにより、吸引ガスや汚染された 大阪真空の油回転真空ポンプは、油ドレン弁によって溜まった 油を手早く抜き出すことができ、大型の掃除口から油タンク底部に 油によって軸受が損傷を受けにくい構造になっています。 溜まる錆や堆積物を簡単に取り除けます。 静かな運転 油ドレン弁 サイトグラス 低騒音設計 ●油量の確認がしやすい大型の 　油回転真空ポンプは、到達圧力に近づくとオイルハンマー現象により排気弁部の排気音が大きくなります。 　油面計 大阪真空の油回転真空ポンプは、独自の設計によって排気音を低減しました。また、騒音低減弁（オプション）を ●給油状況の確認がしやすいサイトグラス 　直径10cm（K30002は長方 使用することにより、さらに排気音の低減が可能です。 　給油配管にはフラッパ式のサイトグラスが 付いており、油の流れる様子と油の汚れ 形4×34cm）の油面計によって、 具合が確認できます。 運転中に油量や汚れ具合が簡単 低振動設計 に確認できます。 　大阪真空の油回転真空ポンプは、偏心ロータ、プーリ、ホイールのバランスを最適化設計することによって、振動を 油面計 油ドレン弁 最小限におさえました。 ●取替が簡単な軸封部品 　軸とオイルシールの間には 軸封環を装着し、接触による 磨耗から軸を保護しています。 排気弁部 磨耗が進めばオイルシールと 軸封環を取り替えるだけで ●点検が簡単な排気弁部 済みます。 　排気弁部の点検や部品取替えは、 ※一部機種を除く 排気弁アセンブリを取り出すだけで 簡単におこなえます。取り出す時は モータや油タンクを取りはずす必要 はなく、ステータ上の排気弁蓋を開け て容易に取り出すことができます。 掃除口 ─ 3 ─ ─ 4 ─

標準仕様 排気速度曲線 104 形　　式 P90 P180 P222 P450 P600 P901 K30002 m3/h 90 180 222 450 600 900 1800 呼び排気速度　 50Hz/60Hz L/min 1500 3000 3700 7500 10000 15000 30000 K30002 103 試験到達圧力 Pa 0.7 1 P901 P600 許容排気口圧力 kPa 120以下 P450 P222 連続運転可能な吸気口圧力 kPa 7以下 5以下 13以下 4以下 2 P180 連続運転可能な吸気口圧力までの 10 時間 min 30以内 10以内 10以内 30以内 P90 排気制限（目安）　※1 容積 m3 15以下 7以下 10以下 75以下 100以下 150以下 210以下 回転速度　　　50Hz/60Hz min-1 410 390 500 400 360 1 標準モータ出力 kW 2.2 3.7 5.5 11 15 22 45 10 所要油量 Ｌ 5 15 18 50 91 冷却水量　※2 m3/h 空冷 0.5 0.9 1.5 2.5 0 全閉外扇屋内形モータ付 kg 200 370 440 780 1000 1500 3500 10 10-1 10 0 10 1質　　　　量 10 2 10 3 10 4 10 5 モータなし kg 165 320 380 670 840 1250 2700 吸気口圧力　(Pa) 輸出梱包総容積 m3 0.68 1.4 1.5 2.5 3.0 3.0 17 簡易機種選定 輸出梱包総質量 kg 350 550 650 1050 1300 1800 4500 ※1：リークおよびガス発生を考慮しない容器を大気圧から排気する場合の許容時間および容積。 排気所要時間min 要求圧力までの排気時間に制約がある場合、左のグラフと ※2：冷却水温度は最高30℃を目安にして下さい。 0 5 10 15 20 25 30 35 ※3：防爆モータの搭載を検討されている場合、当社営業に問合せ下さい。 100 時定数 ： τ(min)＝V(ℓ）／S(ℓ/min（) ∴　S＝V／τ） ●標準塗装色：緑色ハンマートーン（マンセル10GY6/6相当色） ●許容周囲温度：運転時は10℃～40℃、保管時は－5℃～60℃ によって簡単な機種選定を行うことができます。 　凍結防止のため保管時には水を抜いて下さい。 ＜計算例＞ 10 12 V=12000ℓの容器を大気圧から1kPaまで20分以内に排気した 10 い場合 9 8 ①要求圧力(縦軸)の1kPaと要求排気時間(横軸)の20分の交点を 7 1 　読み、その点に最も近い下側の曲線の値（時定数 ： τ）を読む。 6 　　　τ＝3.5 5 ②前述の式Ｓ＝Ｖ／τにVおよびτを代入し計算する。 4.5 0.1 　Ｓ＝12000／3.5≒3430(ℓ/min)≒206(m３/h) 0.6 0.8 1 1.2 1.5 2 2.5 3 3.5 4 時間は大気圧からの減圧、要求圧力は～0.1kPaまでの場合で、 配管はポンプ吸気口と同口径(約10ｍ未満を使用)、外部からの 空気の漏れ込みや内部の発生ガスはないことを条件とします。 ─ 5 ─ ─ 6 ─ 圧力　kPa 排気速度　(m3/h)

標準仕様 排気速度曲線 104 形　　式 P90 P180 P222 P450 P600 P901 K30002 m3/h 90 180 222 450 600 900 1800 呼び排気速度　 50Hz/60Hz L/min 1500 3000 3700 7500 10000 15000 30000 K30002 103 試験到達圧力 Pa 0.7 1 P901 P600 許容排気口圧力 kPa 120以下 P450 P222 連続運転可能な吸気口圧力 kPa 7以下 5以下 13以下 4以下 2 P180 連続運転可能な吸気口圧力までの 10 時間 min 30以内 10以内 10以内 30以内 P90 排気制限（目安）　※1 容積 m3 15以下 7以下 10以下 75以下 100以下 150以下 210以下 回転速度　　　50Hz/60Hz min-1 410 390 500 400 360 1 標準モータ出力 kW 2.2 3.7 5.5 11 15 22 45 10 所要油量 Ｌ 5 15 18 50 91 冷却水量　※2 m3/h 空冷 0.5 0.9 1.5 2.5 0 全閉外扇屋内形モータ付 kg 200 370 440 780 1000 1500 3500 10 10-1 10 0 10 1質　　　　量 10 2 10 3 10 4 10 5 モータなし kg 165 320 380 670 840 1250 2700 吸気口圧力　(Pa) 輸出梱包総容積 m3 0.68 1.4 1.5 2.5 3.0 3.0 17 簡易機種選定 輸出梱包総質量 kg 350 550 650 1050 1300 1800 4500 ※1：リークおよびガス発生を考慮しない容器を大気圧から排気する場合の許容時間および容積。 排気所要時間min 要求圧力までの排気時間に制約がある場合、左のグラフと ※2：冷却水温度は最高30℃を目安にして下さい。 0 5 10 15 20 25 30 35 ※3：防爆モータの搭載を検討されている場合、当社営業に問合せ下さい。 100 時定数 ： τ(min)＝V(ℓ）／S(ℓ/min（) ∴　S＝V／τ） ●標準塗装色：緑色ハンマートーン（マンセル10GY6/6相当色） ●許容周囲温度：運転時は10℃～40℃、保管時は－5℃～60℃ によって簡単な機種選定を行うことができます。 　凍結防止のため保管時には水を抜いて下さい。 ＜計算例＞ 10 12 V=12000ℓの容器を大気圧から1kPaまで20分以内に排気した 10 い場合 9 8 ①要求圧力(縦軸)の1kPaと要求排気時間(横軸)の20分の交点を 7 1 　読み、その点に最も近い下側の曲線の値（時定数 ： τ）を読む。 6 　　　τ＝3.5 5 ②前述の式Ｓ＝Ｖ／τにVおよびτを代入し計算する。 4.5 0.1 　Ｓ＝12000／3.5≒3430(ℓ/min)≒206(m３/h) 0.6 0.8 1 1.2 1.5 2 2.5 3 3.5 4 時間は大気圧からの減圧、要求圧力は～0.1kPaまでの場合で、 配管はポンプ吸気口と同口径(約10ｍ未満を使用)、外部からの 空気の漏れ込みや内部の発生ガスはないことを条件とします。 ─ 5 ─ ─ 6 ─ 圧力　kPa 排気速度　(m3/h)

外観寸法図 P90 排気口 40A Rc1 1/2 348 250 P600 モータ 2.2kW 4P モータ 15kW 4P 給油口 32A G1 1/4 500 300 サイトグラス 吸気口 50A 排気口 100A サイトグラス JIS 10K FF ~700 手動リーク弁 JIS 10K FF 吸気口 100A 排油口 15A Rc1/2 手動リーク弁 JIS 10K FF 排油口 15A Rc1/2 ~220 油面計(φ100) 給油口 32A G1 1/4 300 200 4-φ19（基礎ボルト孔） 油面計(φ100) 40 500 160 450 550 210 500 冷却水入口 15A Rc1/2 510 ~447.5 327.5 ~550 冷却水出口 15A Rc1/2 120 550 515 ~775 ~385 675 ~400 923 ~1105 4-φ23（基礎ボルト孔） P180 P901 630 420 モータ 22kW 6P 排気口 65A R2 1/2 390 250 モータ 3.7kW 4P 排気口 100A 吸気口 80A サイトグラス 555 JIS 10K FF 排油口 25A Rc1 吸気口150Ａ 油面計(φ100) 掃除口 JIS 10K FF 手動リーク弁 JIS 10K FF 手動リーク弁 ~255 560 給油口 32A G1 1/4 油面計(φ100) サイトグラス 給油口 32A G1 1/4 300 350 冷却水入口 20A Rc3/4 614 排油口 20A Rc3/4 300 200 掃除口（ハンドボール） 4-φ23（基礎ボルト孔） 650 105 冷却水出口 20A Rc3/4 710 ~620 473 500 4-φ23（基礎ボルト孔） 250 ~445 ~1093 468 550 300 ~120 826 ~560 ~600 342.5 ~730 ~367 ~1386 ~942.5 P222 K30002 〔外観、配置、取り合いなどが変わる場合があります。詳しくは当社営業担当までお問合せ下さい。〕 排気口 65A モータ 5.5kW 4P JIS 10K FF 410 250 排気口 150A 1800 JIS 5K FF 油タンク サイトグラス 冷却水出口 10A Rc3/8 吸気口 80A 125 JIS 10K FF 冷却水出口 10A Rc3/8 掃除口 150A モータ 45kW 6P 油面計 排油口 20A Rc3/4 手動リーク弁 吸気口 150A 190 JIS 5K FF 給油口 32A G1 1/4 冷却水入口 20A Rc3/4 冷却水出口 20A Rc3/4 手動リーク弁 温度計取付座 15A Rc1/2 油面計(φ100) 430 280 400 給油口 32A G1 1/4 排油口 20A Rc3/4 掃除口 60 冷却水入口 10A Rc3/8 270 180 450 排水口 10A Rc3/8 250 504 250 4-φ23 基礎ボルト孔 ~130 296 35 930 35 600 150 1000 1715 35 715 1250 715 35 ~335 360 360 2750 555 345 720 サイトグラス ストレーナ 900 排水口 15A Rc1/2 8-φ27（基礎ボルト孔） P450 モータ 11kW 4P 排気口 80A 515 300 ■ポンプ据付けについて サイトグラス JIS 10K FF 排油口 20A Rc3/4 ●据付必要スペース 手動リーク弁 吸気口 100A JIS 10K FF 　メンテナンスのために、周囲にスペースを確保することを推奨します。 ●コンクリートの基礎に、ポンプを水平に基礎ボルトで確実に固定して下さい。 ●吸気配管 　吸気口径と同じ径の配管をご使用下さい。また、チャンバー（装置）側へのポンプ油飛散防止のために、ポンプ本体に 掃除口 近い部分で500mm以上の立ち上がり配管を設けることを推奨します。 給油口 32A G1 1/4 油面計(φ100) ~195 吸気配管に真空計もしくはゲージポートを取り付けると、メンテナンス時などに役立ちます。 冷却水出口 15A Rc1/2 ~340 ~90 4-φ23（基礎ボルト孔） 500 冷却水出口 550 350 15A Rc1/2 430 ●排気配管 ~320 ~683 405 455 357 ~812 　必要に応じて、油タンクもしくは油煙トラップの排気口から屋外まで排気配管を設けて下さい。排気抵抗が大きく ならないようにし、排気配管の先端から雨水等が入らないようにして下さい。 ─ 7 ─ ─ 8 ─ 60 170 ~250 150 ~270 170 ~210 360 360 ~930 ~700 ~760 ~860 27 ~530 ~1050 560 720 144179 20 25 85 250 550 200 240 420 500 105 275 570 ～628 455 ~382 130 ~290 100 205 ~1190 840 ~600 ~1100780 ~685 720 170 175 30 32 1950 1075 590 200 190 310 275 650 620 20

外観寸法図 P90 排気口 40A Rc1 1/2 348 250 P600 モータ 2.2kW 4P モータ 15kW 4P 給油口 32A G1 1/4 500 300 サイトグラス 吸気口 50A 排気口 100A サイトグラス JIS 10K FF ~700 手動リーク弁 JIS 10K FF 吸気口 100A 排油口 15A Rc1/2 手動リーク弁 JIS 10K FF 排油口 15A Rc1/2 ~220 油面計(φ100) 給油口 32A G1 1/4 300 200 4-φ19（基礎ボルト孔） 油面計(φ100) 40 500 160 450 550 210 500 冷却水入口 15A Rc1/2 510 ~447.5 327.5 ~550 冷却水出口 15A Rc1/2 120 550 515 ~775 ~385 675 ~400 923 ~1105 4-φ23（基礎ボルト孔） P180 P901 630 420 モータ 22kW 6P 排気口 65A R2 1/2 390 250 モータ 3.7kW 4P 排気口 100A 吸気口 80A サイトグラス 555 JIS 10K FF 排油口 25A Rc1 吸気口150Ａ 油面計(φ100) 掃除口 JIS 10K FF 手動リーク弁 JIS 10K FF 手動リーク弁 ~255 560 給油口 32A G1 1/4 油面計(φ100) サイトグラス 給油口 32A G1 1/4 300 350 冷却水入口 20A Rc3/4 614 排油口 20A Rc3/4 300 200 掃除口（ハンドボール） 4-φ23（基礎ボルト孔） 650 105 冷却水出口 20A Rc3/4 710 ~620 473 500 4-φ23（基礎ボルト孔） 250 ~445 ~1093 468 550 300 ~120 826 ~560 ~600 342.5 ~730 ~367 ~1386 ~942.5 P222 K30002 〔外観、配置、取り合いなどが変わる場合があります。詳しくは当社営業担当までお問合せ下さい。〕 排気口 65A モータ 5.5kW 4P JIS 10K FF 410 250 排気口 150A 1800 JIS 5K FF 油タンク サイトグラス 冷却水出口 10A Rc3/8 吸気口 80A 125 JIS 10K FF 冷却水出口 10A Rc3/8 掃除口 150A モータ 45kW 6P 油面計 排油口 20A Rc3/4 手動リーク弁 吸気口 150A 190 JIS 5K FF 給油口 32A G1 1/4 冷却水入口 20A Rc3/4 冷却水出口 20A Rc3/4 手動リーク弁 温度計取付座 15A Rc1/2 油面計(φ100) 430 280 400 給油口 32A G1 1/4 排油口 20A Rc3/4 掃除口 60 冷却水入口 10A Rc3/8 270 180 450 排水口 10A Rc3/8 250 504 250 4-φ23 基礎ボルト孔 ~130 296 35 930 35 600 150 1000 1715 35 715 1250 715 35 ~335 360 360 2750 555 345 720 サイトグラス ストレーナ 900 排水口 15A Rc1/2 8-φ27（基礎ボルト孔） P450 モータ 11kW 4P 排気口 80A 515 300 ■ポンプ据付けについて サイトグラス JIS 10K FF 排油口 20A Rc3/4 ●据付必要スペース 手動リーク弁 吸気口 100A JIS 10K FF 　メンテナンスのために、周囲にスペースを確保することを推奨します。 ●コンクリートの基礎に、ポンプを水平に基礎ボルトで確実に固定して下さい。 ●吸気配管 　吸気口径と同じ径の配管をご使用下さい。また、チャンバー（装置）側へのポンプ油飛散防止のために、ポンプ本体に 掃除口 近い部分で500mm以上の立ち上がり配管を設けることを推奨します。 給油口 32A G1 1/4 油面計(φ100) ~195 吸気配管に真空計もしくはゲージポートを取り付けると、メンテナンス時などに役立ちます。 冷却水出口 15A Rc1/2 ~340 ~90 4-φ23（基礎ボルト孔） 500 冷却水出口 550 350 15A Rc1/2 430 ●排気配管 ~320 ~683 405 455 357 ~812 　必要に応じて、油タンクもしくは油煙トラップの排気口から屋外まで排気配管を設けて下さい。排気抵抗が大きく ならないようにし、排気配管の先端から雨水等が入らないようにして下さい。 ─ 7 ─ ─ 8 ─ 60 170 ~250 150 ~270 170 ~210 360 360 ~930 ~700 ~760 ~860 27 ~530 ~1050 560 720 144179 20 25 85 250 550 200 240 420 500 105 275 570 ～628 455 ~382 130 ~290 100 205 ~1190 840 ~600 ~1100780 ~685 720 170 175 30 32 1950 1075 590 200 190 310 275 650 620 20

標準仕様とカスタマイズ化 騒音低減弁 用途に合わせたモータの選定 ■用途に合わせた材質やオプション部品 ガスバラスト弁 主要部の標準材質 　標準モータ以外に、お客様の使用環境に応じたモータ（下記参照）の取り付けができます。各モータメーカー指定も 承ります。※１また、お客様からのモータ支給も承ります。※2 本 体 ： 鋳鉄、炭素鋼 ※1 なお、モータによっては、ポンプ取付部の改造追加費用が必要になる場合や、納入までお時間をいただく場合もあります。 油面計、サイトグラス ： 強化ガラス［K30002油面計はアクリル樹脂］ ※1：メーカー指定は事前にご連絡下さい。 ガ ス ケ ッ ト ： ニトリルゴム、ノンアスベストガスケット ※2：モータ無しでの販売も承ります。その際は当社検査用モータで動作試験を行います。 排 気 弁 部 ： 鋳鉄、ステンレス鋼 給 油 配 管 ： 鋼管、銅管、銅合金 標準モータ仕様 ※1：オプションで油フィルターに交換する場合もあります。 電磁式油弁 外 被 構 造：全閉外扇屋内形 ［用途に合わせたカスタマイズ化］ 取 付 方 法：脚取付型 　お客様のご使用に合わせて、一部材質の変更、オプション部品の変換・追加・周辺機器との組み合わせが可能です。 ご仕様に合わせた適切な選定により、製品の長寿命化、メンテナンスサイクルの延長、周辺設備・環境への影響低減など、 定 格 電 圧：200V・50/60Hzまたは220V・60Hz 様々な効果が得られます。油回転真空ポンプをより便利に、より安全にご使用いただくために、お客様の環境やプロセ 定格周波数 スに合わせて、必要な機器をお選び下さい。 極 数：（P90～P600）4極、（P901、K30002）6極 例） 水 分 を 含 む 気 体 の 吸 引 ： ガスバラスト弁の取付、加熱分離器の設置、油水分離器の設置、二段式ポンプなど 相 数：3相 溶 剤、擬 縮 性 気体 の吸引 ： 同上の他、ロータベアリングの取付、注油機設置など 腐 食 性 ガ ス の 吸 引 ： ふっ素系ガスケットに変更、 全ステンレス材給油配管に変更、 合成油・ふっ素系油の使用、 排気部へのN2パージなど 回転子構造：かご形 ダ ス ト や 異 物 の 混 入 ： 吸気口手前への各種トラップの取付 油 蒸 気 の 排 出 量 低 減 ： 油煙トラップの取付など ［ モータの種類］ 大気ー真空の繰返し運転、高圧運転 ： 高圧型排気弁への交換、低圧損タイプ油煙トラップエレメントの使用など システムの自動化、停電対策 ： 電磁式リーク弁、電磁式油弁など お客様の使用環境を十分考慮して、モータを選定して下さい。 真 空 度 管 理 ： ゲージポート（溶接型）、ゲージアダプタ（クランプ継手型）など ※使用条件により効果が異なります。詳しくはご相談下さい。 ●全閉外扇屋内形モータ（当社標準モータ） ●全閉外扇屋外形モータ ■標準付属品とオプション部品 ●異電圧仕様モータ 標準付属品 （出荷時は1台分を同梱）別途御注文の際は、使用機種、製品名称および部品型式等をご連絡下さい。 ●防爆形モータ ポンプ形式 P90 P180 P222 P450 P600 P901 K30002 　・耐圧防爆屋内／屋外形モータ 製品名称 型式／［仕様］／（1台当りの必要数量） 　・安全増防爆屋内／屋外形モータ 手動油弁（パックレスバルブ） NBV-802AGX NBV-1003AGX SBV-2510GX 手動リーク弁 ［LV-3/8］ ［LV-1・1/4］ 同上取付用ガスケット［V＃6500］ ［φ28＊φ17＊1.5t］ ［φ56×φ42×1.5t］ サイトグラス GEFDS-8AB［Rc1/4］ GEFDS-10AB［Rc3/8］ GEFDS-10A［Rc3/8］ GEFDS-20A［Rc3/4］ モータプーリ 50Hz φ80 φ97 φ125 φ120 φ122 φ212 φ320 （外径） 60Hz φ67 φ81 φ104 φ100 φ102 φ180 φ270 Vベルト ［3V-560（］2本） ［3V-670（］3本） ［3V-710（］3本） ［3V-800（］5本） ［3V-850］（6本） ［5V-950（］4本） ［D-#140］（6本） 吸気口用ガスケット［スーパーコルク S306］ ［50A JIS 10K FF用］ ［80A JIS 10K FF用］ ［100A JIS 10K FF用］ ［150A JIS 10K FF用］ JISB2401 V175 NBR 所要電力 排気口用ガスケット［V＃6500］ ［65A JIS 10K FF用］ ［80A JIS 10K FF用］ ［100A JIS 10K FF用］ ［150A JIS 5K FF用］ ポンプ油 MR-200［4リットル缶もしくは18リットル缶］ 　大阪真空の油回転真空ポンプは、下図のように高真空領域では所要電力が小さくなります。液封式真空ポンプでは ●安全カバー 使用圧力領域によらず所要電力はあまり変わりませんが、油回転真空ポンプでは、高真空領域で使用する場合、より一層 ●閉止キャップ 省エネになります。 ［オプション部品］御注文の際は、使用機種、製品名称等をご連絡下さい。製品詳細についてはお問い合せ下さい。 ポンプ形式 P90 P180 P222 P450 P600 P901 K30002 製品名称 型式／［仕様］／（1台当りの必要数量） 標準負荷電流 直接取付形※1 KC-3701 KC-7501 KC-10001 KC-15001 ※2 KC-30001 油煙トラップ 配管挿入形 C-1500 C-3001 ※2 C-3700 ※2 C-7500 ※2 C-10000 ※2 ［C-15000］ ※2 C-30000 油煙トラップエレメント ［C-1500用（］3本） ［C-3001用］（3本） ［KC-3701/C-3700用］（3本）［KC-7501/C-7500/KC-10001/C-10000用］（3本） ［KC-15001/C-15000用］（5本）［KC-30001/C-30000用］（14本） ※1：KC-3701/KC-7501/KC-10001/KC-15001/KC-30001は吐出口横向き型です。旧型（吐出口上向き型）のKC-3700/KC-7500/KC-10000/KC-15000は受注生産となります。 ※2：受注生産となります。 ●自動リーク弁 ●油クーラ ●ベローズフランジ ●電磁式油弁 ●油温計 ●ベルトテンションメーター ●ガスバラスト弁 ●基礎ボルト ●ゲージアダプタ（ゲージポート） 高真空領域 大気圧側 ●騒音低減弁（ノイズレデューサ） ●吸気口・排気口相フランジ 溶接形ゲージポート…［GW15S］φ15,SUS304 ●高圧型排気弁 ●油煙トラップ用油戻し配管 　　　　　　　　　［GW18S］φ18,SUS304 吸気口圧力 　　　　　　　　　［GW15M］φ15,SS ●油フィルター ●各種トラップ クランプ継手形ゲージアダプタ…［GF15S25K］φ15,KF25,SUS304 ●自動排水管 ●ストレーナ（吸気口用） 　　　　　　　　　［GF18S25K］φ18,KF25,SUS304 ─ 9 ─ ─ 10 ─ 負荷電流値

標準仕様とカスタマイズ化 騒音低減弁 用途に合わせたモータの選定 ■用途に合わせた材質やオプション部品 ガスバラスト弁 主要部の標準材質 　標準モータ以外に、お客様の使用環境に応じたモータ（下記参照）の取り付けができます。各モータメーカー指定も 承ります。※１また、お客様からのモータ支給も承ります。※2 本 体 ： 鋳鉄、炭素鋼 ※1 なお、モータによっては、ポンプ取付部の改造追加費用が必要になる場合や、納入までお時間をいただく場合もあります。 油面計、サイトグラス ： 強化ガラス［K30002油面計はアクリル樹脂］ ※1：メーカー指定は事前にご連絡下さい。 ガ ス ケ ッ ト ： ニトリルゴム、ノンアスベストガスケット ※2：モータ無しでの販売も承ります。その際は当社検査用モータで動作試験を行います。 排 気 弁 部 ： 鋳鉄、ステンレス鋼 給 油 配 管 ： 鋼管、銅管、銅合金 標準モータ仕様 ※1：オプションで油フィルターに交換する場合もあります。 電磁式油弁 外 被 構 造：全閉外扇屋内形 ［用途に合わせたカスタマイズ化］ 取 付 方 法：脚取付型 　お客様のご使用に合わせて、一部材質の変更、オプション部品の変換・追加・周辺機器との組み合わせが可能です。 ご仕様に合わせた適切な選定により、製品の長寿命化、メンテナンスサイクルの延長、周辺設備・環境への影響低減など、 定 格 電 圧：200V・50/60Hzまたは220V・60Hz 様々な効果が得られます。油回転真空ポンプをより便利に、より安全にご使用いただくために、お客様の環境やプロセ 定格周波数 スに合わせて、必要な機器をお選び下さい。 極 数：（P90～P600）4極、（P901、K30002）6極 例） 水 分 を 含 む 気 体 の 吸 引 ： ガスバラスト弁の取付、加熱分離器の設置、油水分離器の設置、二段式ポンプなど 相 数：3相 溶 剤、擬 縮 性 気体 の吸引 ： 同上の他、ロータベアリングの取付、注油機設置など 腐 食 性 ガ ス の 吸 引 ： ふっ素系ガスケットに変更、 全ステンレス材給油配管に変更、 合成油・ふっ素系油の使用、 排気部へのN2パージなど 回転子構造：かご形 ダ ス ト や 異 物 の 混 入 ： 吸気口手前への各種トラップの取付 油 蒸 気 の 排 出 量 低 減 ： 油煙トラップの取付など ［ モータの種類］ 大気ー真空の繰返し運転、高圧運転 ： 高圧型排気弁への交換、低圧損タイプ油煙トラップエレメントの使用など システムの自動化、停電対策 ： 電磁式リーク弁、電磁式油弁など お客様の使用環境を十分考慮して、モータを選定して下さい。 真 空 度 管 理 ： ゲージポート（溶接型）、ゲージアダプタ（クランプ継手型）など ※使用条件により効果が異なります。詳しくはご相談下さい。 ●全閉外扇屋内形モータ（当社標準モータ） ●全閉外扇屋外形モータ ■標準付属品とオプション部品 ●異電圧仕様モータ 標準付属品 （出荷時は1台分を同梱）別途御注文の際は、使用機種、製品名称および部品型式等をご連絡下さい。 ●防爆形モータ ポンプ形式 P90 P180 P222 P450 P600 P901 K30002 　・耐圧防爆屋内／屋外形モータ 製品名称 型式／［仕様］／（1台当りの必要数量） 　・安全増防爆屋内／屋外形モータ 手動油弁（パックレスバルブ） NBV-802AGX NBV-1003AGX SBV-2510GX 手動リーク弁 ［LV-3/8］ ［LV-1・1/4］ 同上取付用ガスケット［V＃6500］ ［φ28＊φ17＊1.5t］ ［φ56×φ42×1.5t］ サイトグラス GEFDS-8AB［Rc1/4］ GEFDS-10AB［Rc3/8］ GEFDS-10A［Rc3/8］ GEFDS-20A［Rc3/4］ モータプーリ 50Hz φ80 φ97 φ125 φ120 φ122 φ212 φ320 （外径） 60Hz φ67 φ81 φ104 φ100 φ102 φ180 φ270 Vベルト ［3V-560（］2本） ［3V-670（］3本） ［3V-710（］3本） ［3V-800（］5本） ［3V-850］（6本） ［5V-950（］4本） ［D-#140］（6本） 吸気口用ガスケット［スーパーコルク S306］ ［50A JIS 10K FF用］ ［80A JIS 10K FF用］ ［100A JIS 10K FF用］ ［150A JIS 10K FF用］ JISB2401 V175 NBR 所要電力 排気口用ガスケット［V＃6500］ ［65A JIS 10K FF用］ ［80A JIS 10K FF用］ ［100A JIS 10K FF用］ ［150A JIS 5K FF用］ ポンプ油 MR-200［4リットル缶もしくは18リットル缶］ 　大阪真空の油回転真空ポンプは、下図のように高真空領域では所要電力が小さくなります。液封式真空ポンプでは ●安全カバー 使用圧力領域によらず所要電力はあまり変わりませんが、油回転真空ポンプでは、高真空領域で使用する場合、より一層 ●閉止キャップ 省エネになります。 ［オプション部品］御注文の際は、使用機種、製品名称等をご連絡下さい。製品詳細についてはお問い合せ下さい。 ポンプ形式 P90 P180 P222 P450 P600 P901 K30002 製品名称 型式／［仕様］／（1台当りの必要数量） 標準負荷電流 直接取付形※1 KC-3701 KC-7501 KC-10001 KC-15001 ※2 KC-30001 油煙トラップ 配管挿入形 C-1500 C-3001 ※2 C-3700 ※2 C-7500 ※2 C-10000 ※2 ［C-15000］ ※2 C-30000 油煙トラップエレメント ［C-1500用（］3本） ［C-3001用］（3本） ［KC-3701/C-3700用］（3本）［KC-7501/C-7500/KC-10001/C-10000用］（3本） ［KC-15001/C-15000用］（5本）［KC-30001/C-30000用］（14本） ※1：KC-3701/KC-7501/KC-10001/KC-15001/KC-30001は吐出口横向き型です。旧型（吐出口上向き型）のKC-3700/KC-7500/KC-10000/KC-15000は受注生産となります。 ※2：受注生産となります。 ●自動リーク弁 ●油クーラ ●ベローズフランジ ●電磁式油弁 ●油温計 ●ベルトテンションメーター ●ガスバラスト弁 ●基礎ボルト ●ゲージアダプタ（ゲージポート） 高真空領域 大気圧側 ●騒音低減弁（ノイズレデューサ） ●吸気口・排気口相フランジ 溶接形ゲージポート…［GW15S］φ15,SUS304 ●高圧型排気弁 ●油煙トラップ用油戻し配管 　　　　　　　　　［GW18S］φ18,SUS304 吸気口圧力 　　　　　　　　　［GW15M］φ15,SS ●油フィルター ●各種トラップ クランプ継手形ゲージアダプタ…［GF15S25K］φ15,KF25,SUS304 ●自動排水管 ●ストレーナ（吸気口用） 　　　　　　　　　［GF18S25K］φ18,KF25,SUS304 ─ 9 ─ ─ 10 ─ 負荷電流値

02－RP－11 お問い合わせ先とメンテナンスに関して ■メンテナンスサポート拠点 メンテナンス、オーバーホールのご依頼は、下記までご連絡下さい。 〈国内拠点〉 堺工場　 〒593-8324 大阪府堺市西区鳳東町7-775 （ダイアルイン） Tel 072-271-1881　Fax 072-273-7433 〈海外拠点〉 （U.S.A）FMG Enterprises, Inc. 1125 Memorex Dr, Santa Clara, CA 95050, U.S.A. TEL: +1-408-982-0110 FAX: +1-408-982-0529 （マレーシア）HI-TECH VACUUM SERVICES No.52, Jalan Industri USJ 1/1, Taman Perindustrian USJ 1, （M）SDN.BHD. 47600 Subang Jaya, Selangor, Malaysia TEL: +60（- 0）3 8024 8140, 8024 2097 8023 3858（日本語対応可能） FAX: +60（- 0）3 8024 2143, 8024 7026 （タ　イ）HI-TECH VACUUM SERVICES 111/20 Moo 2 Phaholyothin Rd., KM.56 Tambon Lamsai Amphur Wangnoi, （THAILAND）CO., LTD. Changwat Pranakorn Sri Ayutthaya 13170,Thailand TEL: +66（- 0）35-740-787 FAX: +66（- 0）35-740-790 油回転真空ポンプ ■メンテナンスに関して オーバーホール オーバーホールには機種ごとに専用工具が必要です。オーバーホールを行う場合は、当社MPサービスグループ にご依頼下さい。 技術指導 製品とその用途に精通した技術員が待機しており、製品の運転取扱い手順や点検保守の仕方などを、お客様に 直接ご説明いたします。 有毒ガスを吸引する製品のメンテナンス 人体に有毒なガスを吸引した履歴を持つ製品は、そのままでは作業ができません。お客様で充分に洗浄して下さい。 詳しくはMPサービスグループにお問い合せ下さい。 株式会社 大阪真空機器製作所 ■ 西日本営業部 〒541-0042 大阪市中央区今橋3-3-13 ■ 名 張 工 場 Tel （06）6203-3981　Fax （06）6222-3645 ■ 東日本営業部 〒104-0061 東京都中央区銀座8-14-14 ■ 堺　工　場 Tel （03）3546-3731　Fax （03）3546-1560 ■ ソウル支店 ■ 名古屋営業部 〒460-0002 名古屋市中区丸の内3-18-1 Tel （052）950-3051　Fax （052）950-3062 ■ 上海事務所 〈関連会社〉 上海欧洒 真空機器有限公司 South A, T52-4-1F, No.1510, Chuanqiao Rd., Pudong, Shanghai 201206, P.R. China Tel +86-21-5031-1522 Fax +86-21-5031-1523 Osaka Vacuum U.S.A., Inc. 48000 Fremont Blvd, Fremont, CA 94538, U.S.A. Tel +1-510-770-0100 Fax +1-510-770-0104 ターボ分子ポンプ・複合分子ポンプ・磁気軸受形ターボ分子ポンプ・ 磁気軸受形複合分子ポンプ・ヘリカル溝真空ポンプ・ ターボ分子ポンプ排気ユニット・ドライ真空ポンプ・油回転真空ポンプ・ ルーツ真空ポンプ・液封式真空ポンプ・油拡散真空ポンプ・ エジェクタ・真空システム・真空装置・真空バルブ・真空部品 2022.05.PDF（S）