バランスの良い排気性能で幅広いプロセスに適合
コントローラと電源ユニットの一体化を実現しました。 出力ケーブルやコントローララックが不要になり、装置の省スペース化が可能となります。 TG-Mシリーズの特長を踏襲し、ロータ設計の最適化により排気性能をさらに向上しました。
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このカタログについて
| ドキュメント名 | 磁気軸受形ターボ分子ポンプ コントローラ・電源一体型 TGkine®-Bシリーズ |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 8.7Mb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 株式会社大阪真空機器製作所 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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TGkine-B-J-03