液封式真空ポンプ

02－WP－09 液封式真空ポンプ Liquid-ring Vacuum Pumps

水蒸気や有機蒸気、ほこり・粉体を伴う気体の排気に強い！！ 液封式真空ポンプは、水またはプロセス流体を封液とし、 大気圧まで圧縮できる真空ポンプであり、封液の蒸気圧付近の到達圧力を得る事ができます。 封液に水を使用する場合が多く、水封式真空ポンプとも呼ばれています。 大阪真空の液封式真空ポンプは、用途に応じた最適な封液を選択する事により、 水蒸気や有機溶剤を含む気体（凝縮性気体）、ミストを伴う気体の排気に最適です。 また、閉サイクルシステム、アトモスタ（空気エジェクタ）付（WA／WBシリーズ）、 メカニカルブースターとの組合せ（PRLシリーズ）などにより、 様 な々プロセスに対応できます。※詳しくはP3～4参照 圧縮原理と排気行程 圧縮原理 ポンプ本体は、ケーシングとその内部にある羽根車（インペラ）から構成されています。ケーシング内に封液 を入れて羽根車を回転させると、封液は遠心力によりケーシング内壁に押し付けられ水のリング（水環）を形 成します。そして、羽根車と封液の間には羽根で区切られた空間が多数できます。 羽根車はケーシングとは偏心した位置に取り付けられているので、羽根車が回転するにつれ各空間の容積は 変化します。この容積変化を利用して、吸気、圧縮、排気を連続的に行います。 排気行程 吸引気体は、まず低圧側ケーシング内で圧縮されます。次に、連結管を通じて高圧側ケーシングに送られ、さらに 圧縮されてから、封液と共に排気されます。排気側には封液タンクを標準装備しており、排気された気体は封液 タンクに送られ、封液と分離されて大気中に放出されます。 吸気口 排気口 到達圧力と封液温度 到達圧力は、封液の蒸気圧に影響されます。蒸気圧以下 では封液が蒸発しますので、ポンプ単体の到達圧力は 封液の蒸気圧程度となります。また、蒸気圧は封液温度 羽根車（インペラ） により変化し、封液温度が上昇すれば蒸気圧も高くなる ので、ポンプ単体の到達圧力も悪くなります。 封液 ケーシング ─ 1 ─

大阪真空の液封式真空ポンプの特長 水蒸気や水滴、有機溶剤などの排気に最適 水またはプロセス流体を封液として使用しているので、水蒸気や有機蒸気の 吸引、ミストを伴う気体の吸引に効果的です。 ほこりや粉体を伴う気体の排気にも強い ポンプ内部は、油回転真空ポンプと比べて間隔が比較的大きいので、 細かい結晶類やゴミなどが混入しても、ロータロックがほとんど 起こりません。 様々な封液の使用が可能 用途に合わせた封液を使用することにより、効率の良い排気を行うことが できます。（詳しくはＰ3参照） 構造が簡単で安価、取り扱いも容易 ドライ真空ポンプなどに比べ安価で、プロセスによっては環境への影響も 少なく、扱いやすいポンプです。 材質、シール形式の変更も可能 用途にあわせてメカニカルシール方式、接ガス部が全ステンレス（SUS） 製なども製作できます。 ─ 2 ─

用途に合わせた液封式真空ポンプの活用 閉サイクル循環給水システム 　有機溶剤などを吸引・排気する場合、封液はそのまま 排気ガス では工場外に排出できません。通常は排液処理システム 吸引ガス の導入など、環境対応が必要となります。 閉サイクル循環給水システムは、タンクに排出された 液封式真空 ポンプ 封液を熱交換器などで冷却してポンプに戻します。 封液を冷却して戻すことにより、補給水が無くても封液 温度の上昇を防ぐことができ、排気性能も維持できます。 このように封液を循環させることにより排液処理量を 熱液 削減し、環境問題に対応します。 熱交換器 封液（水）タンク 冷却水 プロセスに応じた封液の選択 プロセス蒸気と同じ化学品を封液として使用すると、プロセス蒸気の回収が簡単で、排水規制への対応にも役立 ちます。また、酸性気体に対してアルカリ溶液を使用して、腐食対策もできます。 大阪真空の液封式真空ポンプは、水をはじめ様々な封液を選択できます。用途に応じた最適な封液を選択する事 により、水蒸気や有機溶剤を含む気体（凝縮性気体）の排気にも対応できます。 〈封液例〉 エチレングリコール、プロピレングリコール、モノクロルベンゼン、ジクロルベンゼン、メタノール、エタノール、 トルエン、キシレン、ケロシン、アクリロニトリル、ヘキサン、エチルベンゼン、スチレンなど。 ※ 詳しくは当社営業担当にお問合せ下さい。 液封式真空ポンプとルメーカツニ真カ空ルポブンープスのタ組ーみの合組わみせ合（わPせR（LPシRリLーシズリ）ーズ） 　液封式真空ポンプをルメーカツニ真カ空ルポブンープス(メタカーニ(ルカールツブ真ー空スポターン)プと)組とみ組合みわ合 せわてせて使使用用すするる事事ががででききまますす。。ルメーカツニ真カ空ルポブンープスとター組とみ組合みわ合せわるせ事るに事よにりよ、 液り封、液ポ封ンポプン単プ独単で独はで排は気排速気度速が度低が下低す下るす中る真中空真領空域領で域もで大もき大なき排な気排速気度速が度 得がら得れら、れ到、到達達圧圧力力もも11～～22桁桁ほほどど良良くくななりり、、様様々々な仕様に対応できるように なりまますす。。ままたた、真、真空空ススイイッッチチややアトアモトスモタス用タ自用動自弁動、逃弁し、逃弁し、バ弁イ、バパイスパ弁スな弁どをな 組どみを合組わみせ合、わイせン、タイーンロタッークロ機ッ能クを機備能えをた備自え動た運自転動シ運ス転テシムもス構テ築ムでもき構ま築すで。き 大ま阪す。真空ではPRLシリーズとして、ルーツ真空ポンプ１段と組み合わせた 真大空阪シ真ス空テでムは、P同R2L段シ、リアトーモズスとタし付てな、メどカ、用ニ途カにル合ブわーせスてタ様ー々１な段真と空組シみス合テムわをせ ごた提真案空いシたスしテまムす、。同2段、アトモスタ付など、用途に合わせて様々な真空シス テムをご提案いたします。 ─ 3 ─

アトモスタ付液封式真空ポンプ 　アトモスタ（空気エジェクタ）は、大気圧の空気を駆動流体とするガスエジェクタの一種です。液封式真空ポンプ 単体では、構造上、封液の蒸気圧以下の真空は得られません。しかし、アトモスタをポンプ前段（吸気口側）に取り 付けることにより、モータや蒸気など駆動の為のエネルギーを使わずに、封液の蒸気圧以下の到達真空を得ること ができます（アトモスタ1段：0.8kPa(6Torr)、同2段：0.13kPa(1Torr)※封液が水、水温15℃の場合）。 また、その他にも以下のようなメリットがあります。 ●封水温度が若干上昇しても、ポンプ単体で6.7kPa（50Torr）程度の真空が得られれば、アトモスタ 　吸気口での性能は変わりません。 ●ポンプは6.7kPa（50Torr）以上の吸気口圧力で運転されるので、キャビテーションが起こらず 　静かです。 H I3 I2 I1 N1 N2 n2 AV1 n1 n3 AV2 PS1 PS2 n4 n2 BV2 ●寸法表 N3 L1 L2 L3 H I1 I2 I3 h N1 N2 N3 N4 N5 n1 n2 n3 n4 n5 H BV1 WA50S 143 430 100 100 ─ ─ ─ ─ 20 50 25 25 25 ─ ─ ─ ─ ─ WA80S 143 455 125 100 ─ ─ ─ ─ 20 50 25 50 40 ─ ─ ─ ─ ─ WA150S 143 455 125 100 ─ ─ ─ ─ 20 50 25 50 50 ─ ─ ─ ─ ─ N4 WA310S 143 575 125 100 ─ ─ ─ ─ 25 50 40 50 50 ─ ─ ─ ─ ─ WB310S 143 575 125 100 143 455 125 100 25 50 40 50 50 20 50 25 50 50 N5 WA630S 160 765 175 110 ─ ─ ─ ─ 40 80 50 80 80 ─ ─ ─ ─ ─ WB630S 160 765 175 110 143 575 125 100 40 80 50 80 80 25 50 40 50 80 フランジ規格はN5のみVG、他はすべてJIS10K、標準材質はSS（他の材質も製作可） ●作動表 PS1 PS2 AV1 AV2 BV1 BV2 大気圧～6.7kPa OFF OFF CLOSE CLOSE OPEN OPEN 6.7kPa～1.3kPa ON OFF OPEN CLOSE CLOSE OPEN 1.3kPa以下 ON ON OPEN OPEN CLOSE CLOSE バイパス配管 　アトモスタ付きでポンプを運転する場合、アトモスタが正常に作動する B A 圧力領域（領域Ａ）までは、気体はアトモスタのディフューザ内を通過する 排 イパス有りバ ため、その圧力損失によりポンプの排気性能を発揮できません（排気速度 気 速 で約50％低下）。 度 バイパス無し そのため、領域Ａにおける排気速度や排気時間が重要な場合は、バイパス 配管を設ける必要があります。 圧力 ─ 4 ─ L3 L2 L1 h h

標準仕様 ※封液が水以外、アトモスタ駆動源が大気以外の仕様については、当社営業担当者にお問合せ下さい。 Wシリーズ 形　　式 W30S W50S W80S W150S W310S W630S 封液 　　　　　　水 呼び排気速度　 50Hz/60Hz m3/h 22/27 44/50 70/84 120/145 260/305 630/630 試験到達圧力　※1 kPa 　　　　　　2.7 回転速度　　　　 50Hz/60Hz m　in　－1　　　　2900/3500 1450/1750 950/950 補給水量　※2 m3/h 0.36 0.48 0.6 0.72 2.1 4.8 標準モータ出力 kW 1.5 2.2 3.7 5.5 15 30 　　　　　　　 全閉外扇屋内形モータ付 ※3 kg 70 90 160 200 490 900 質 量 　　　　　　　 モータなし kg 50 60 120 140 350 700 輸出梱包総容積 m3 0.41 0.44 0.86 1.1 2.7 4.1 輸出梱包総質量 kg 120 140 290 350 770 1420 WAシリーズ （アトモスタ1段付） 形　　式 WA50S WA80S WA150S WA310S WA630S 封液 水 アトモスタ駆動源 大気 呼び排気速度　 50Hz/60Hz m3/h 44/50 70/84 120/145 260/305 630/630 試験到達圧力　※1 kPa 0.8 回転速度　　　　 50Hz/60Hz min－1 2900/3500 1450/1750 950/950 補給水量　※2 m3/h 0.48 0.6 0.72 2.1 4.8 標準モータ出力 kW 2.2 3.7 5.5 15 30 　　　　　　　 全閉外扇屋内形モータ付 ※3 kg 110 180 220 520 940 質 量 　　　　　　　 モータなし kg 80 140 160 380 740 輸出梱包総容積　※4 m3 0.44 0.86 1.1 2.7 4.1 輸出梱包総質量 kg 160 310 370 800 1470 WBシリーズ （アトモスタ2段付） 形　　式 WB310S WB630S 封液 水 アトモスタ駆動源 大気 呼び排気速度　 50Hz/60Hz m3/h 260/305 630/630 試験到達圧力　※1 kPa 0.13 回転速度　　　　 50Hz/60Hz min－1 1450/1750 950/950 補給水量　※2 m3/h 2.1 4.8 標準モータ出力 kW 15 30 ●標準塗装色：マンセル7.5BG6/1.5（灰空色） 　　　　　　　 全閉外扇屋内形モータ付 kg 540 970 ●許容周囲温度：運転時は＋10℃～＋40℃、保管時は-5℃～＋60℃。 ※3 質 量 ●凍結防止のため保管時には水を抜いておいて下さい。 　　　　　　　 モータなし kg 400 770 ※1：水温15℃の場合。 輸出梱包総容積　※4 m3 2.7 4.1 ※2：補給水温度は最高35℃を目安にしてください。 輸出梱包総質量 kg 820 1500 ※3：標準仕様以外のモータも選択できます。（P9参照） ※4：出荷時はアトモスタは取り外して同梱します。 ─ 5 ─

排気速度曲線 ※封液が水の場合の、水温15℃と30℃の排気速度です。 50Hz 15℃ 60Hz 15℃ 103 103 W630S W630S W310S W310S 30 S 30 S A6 A6 W150S W W150S 2 310 S W 10 A 310 S W W80S 102 WA W80S W50S W50S 50S1 50SWA A1 W30S 0S W30S W A8 80SW WA 101 0S 1 WA 5 10 50 S WA 100 0 102 103 104 105 10 2 3 4 5 吸気口圧力（Pa） 10 10 10 10 吸気口圧力（Pa） 50Hz 30℃ 60Hz 30℃ 103 103 W630S W630S W310S 0S W310S A6 3 S 630 W 0S WA 1 0S W150S A3 W150S 1 102 3 W 102 WA W80S W80S 50S W50S 0S W50S WA1 WA1 5 80SA W30S W W30S A80 S W 101 50 S 101 0S WA A5W 100 102 103 104 105 100 102 103 104 105 吸気口圧力（Pa） 吸気口圧力（Pa） 封水温度と排気速度の関係 ※封液に水を使用した場合。他の封液の場合は別途お問合せ下さい。 封水温度が上昇すると蒸気圧が高くなりますので、吸気口圧力が到達 120 圧力に近づくにつれて排気速度が低下します。排気速度の封水温度に 115 1 よる変化は、各封水温度の各吸気口圧力における封水温度換算計数 110 0℃ 105 （左記）から排気速度係数cを求め、１５℃の時の排気速度を基に次式に 100 15℃ より計算できます。 95 17℃ 0℃ ST＝c×S15(m3/h) 90 2 85 〈計算例〉 80 水温20℃、吸気口圧力5.3×103Paにおける 75 W310S[60Hz]の排気速度 70 65 ①封水温度換算計数から、封水温度20℃における吸気口圧力 60 　5.3×103Paの排気速度係数cを読む。 55 50 c＝83% 45 40 4 5 ②15℃時の排気速度曲線から、5.3×103Pa時の排気速度を読む。 10 吸気口圧力（Pa） 10 S15＝220（m3/h） ③前述の式ST＝c×S15に値を代入して計算する。 S20＝0.83×220≒183（m3/h） よって、この時の排気速度は約183m3/hとなります。 ─ 6 ─ 封水温度換算係数(%) 排気速度（m /h） 排気速度（m 3/h） 3 W W W W 2 B B6 B B 5℃ 31 3 3 0 1 6 0 3 3 0S S S 0S 0℃ 35℃ 40℃ 排気速度（m3/h） 排気速度（m3/h） W W WW BB B3 6 B 6 1 3 310 30 00 SS S S 5℃

外観寸法図 W30S W50S W80S W150S ─ 7 ─

W310S W630S ■ポンプ据付けについて ポンプ据付け時は、以下の点にご注意下さい。詳しくは取扱説明書をご確認下さい。 ●ポンプ点検・分解に便利な場所で、周囲に十分なスペースが確保されていること。 ●水平かつ平坦な基礎面または十分強固なフレームに固定すること。 ●排液処理、排気ガス処理が適切におこなわれること。 ●共通ベッドがひずまないこと。（シム等で調整） ●据付け後に軸心の調整をおこなうこと。（調整はモータ側で） ─ 8 ─

標準仕様とカスタマイズ 用途に合わせたモータの選定 標準モータ以外に、お客様の使用環境に応じたモータ（下記参照）の取り付けができます。また、各社製モータ取付※１や、 お客様からのモータ支給も承ります。※2 なお、モータによっては、ポンプ取付部の改造追加費用が必要になる場合や、納入までお時間をいただく場合もあります。 ※1：メーカー指定は事前にご連絡下さい。 ※2：モータなし（アセンブリ）での販売も承ります。その際は当社検査用モータで動作試験を行います。 標準モータ仕様 外 被 構 造：全閉外扇形 保 護 方 式：屋内 取 付 方 法：脚取付（W630Sのみスライドベース必要） 電 圧：200V・50/60Hzまたは220V・60Hz 周 波 数 極 数：（W30S、W50S）2極、（W80S～W630S）4極 相 数：3相 回転子構造：かご形 ［ モータの種類］ お客様の使用環境を十分考慮して、モータを選定して下さい。 ●全閉外扇屋内形モータ（当社標準モータ） ●全閉外扇屋外形モータ ●異電圧仕様モータ ●防爆形モータ 　・耐圧防爆屋内／屋外形モータ 　・安全増防爆屋内／屋外形モータ ─ 9 ─

材質と付属品 標準付属品 ブルドン管真空計 水タンク 水タンク 1基 逆止弁 逆止弁 1個 モータ（各種） カップリング［W630Sを除く］ 1組 Vベルト、本体プーリ、モータプーリ［W630Sのみ］ 1式 安全カバー 1式 ブルドン管真空計［W80S～W630S］ 1個 相フランジ［ボルト、ナット、ガスケット付］ 1式 基礎ボルト 1式 安全カバー 材　　　質 構成部品 標準形 耐食形 ケーシング、カバー FC250 SCS14 or SUS316 ポ ン ポートプレート FC250 SCS14 or SUS316 プ 羽根車 SCS13 SCS14 接 本 ガ 体 軸 SUS420J2 SCS329J1 ス 部 連結管 SS400 SUS316 ・接 水タンク SS400 SUS316 液 逆 部 弁箱 FC200 SUS14 止 弁 ディスク SUS304 SUS316 ブルドン管真空計 銅合金 SUS316 軸封 グランドパッキング ※1 ガスケット NBR ※2 FKM W30S ○ ○ 適 W50S ○ ○ 用 W80S ○ モ デ W150S ○ ル W310S ○ ○ ○ ※1：メカニカルシール方式も別途承ります。 W630S ※2：FKM仕様も別途承ります。 ［メカニカルシール形］ Wシリーズの軸封はグランドパッキングを標準採用していますが、その他にメカニカルシールもご用意しております(特別 注文品)。メカニカルシールは、グランドパッキングでは適当な材質のパッキングが無い場合、ポンプ内外部に封液・潤滑剤を 漏れにくくしたい場合、グランドパッキングの耐用時間以上の長時間連続運転が必要な場合などに有効です。 ─ 10 ─

02－WP－08 お問い合わせ先とメンテナンスに関して Osaka Vacuum ■営業拠点 本カタログに掲載している製品についてのお見積り、機種選定、技術相談、使用方法などの各種 お問合せは、下記までご連絡下さい。 西日本営業部 〒541-0042 大阪市中央区今橋3-3-13 Tel 06-6203-3981　Fax 06-6222-3645 東日本営業部 〒104-0061 東京都中央区銀座8-14-14 Tel 03-3546-3731　Fax 03-3546-1560 名古屋営業部 〒460-0002 名古屋市中区丸の内3-18-1 Tel 052-950-3051　Fax 052-950-3062 ■メンテナンスサポート拠点 メンテナンス、オーバーホールのご依頼は、下記までご連絡下さい。 液封式真空ポンプ 堺工場　MPサービスグループ 〒593-8324 大阪府堺市西区鳳東町7-775 （ダイアルイン） Tel 072-271-1681　Fax 072-271-9641 Liquid-ring Vacuum Pumps ■メンテナンスに関して オーバーホール オーバーホールには機種ごとに専用工具が必要です。オーバーホールを行う場合は、当社MP サービスグループにご依頼下さい。 当社工場にご返却いただき作業を行う他、当社スタッフが現地にお伺いする、出張作業も承ります。 技術指導 製品とその用途に精通した技術員が待機しており、製品の運転取扱い手順や点検保守の 仕方などを、お客様に直接ご説明いたします。 有毒ガスを吸引する製品のメンテナンス 人体に有毒なガスを吸引した履歴を持つ製品は、そのままでは作業ができません。お客様で 充分に洗浄して下さい。詳しくはMPサービスグループにお問合せ下さい。 株式会社 大阪真空機器製作所 ■ 西日本営業部 〒541-0042 大阪市中央区今橋 3-3-13 ■ 名 張 工 場 Tel（06）6203-3981 Fax（06）6222-3645 ■ 東日本営業部 〒104-0061 東京都中央区銀座 8-14-14 ■ 堺　工　場 Tel（03）3546-3731 Fax（03）3546-1560 ■ ソウル支店 ■ 名古屋営業部 〒460-0002 名古屋市中区丸の内 3-18-1 Tel（052）950-3051 Fax（052）950-3062 ■ 上海事務所 関連 Osaka Vacuum U.S.A., Inc. 上海欧洒 真空機器有限公司 会社 ターボ分子ポンプ・複合分子ポンプ・磁気軸受形ターボ分子ポンプ・ 磁気軸受形複合分子ポンプ・ヘリカル溝真空ポンプ・ ターボ分子ポンプ排気ユニット・ドライ真空ポンプ・油回転真空ポンプ・ Osaka Vacuum, Ltd. ルーツ真空ポンプ・液封式真空ポンプ・油拡散真空ポンプ・ エジェクタ・真空システム・真空装置・真空バルブ・真空部品 株式会社　大阪真空機器製作所 2022.05.PDF（S）