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超音波モータ HRシリーズ

製品カタログ

サーッと動いてピタリと位置決め 最高速度250mm/sで真空でも使える10nm精度の超音波モータのご紹介

10nmのステップ分解能
AB2アンプのDCモードなら1nmのステップ分解能を実現
1μm/sから250mm/sまでのワイドな速度範囲
制限のない可動範囲
高い応答性
4~32Nの抜群の駆動力
電力なしで3.5~28Nの静止保持力
1.4x10-8Pa(10-10torr)までの高真空対応
電磁場を発生させない
回転部のないシンプル構造なダイレクトドライブ
HRモータはイスラエルにあるNANOMOTION社の超音波モータです。
世界で広く使われており、医療機器(MRIなど)、光学機器(レーザ関連やスタビライザなど)、半導体製造装置(搬送装置)、顕微鏡(電子顕微鏡や生理学分野)、軍用、低軌道衛星(画像安定化)の分野で利用されています。
国内実績は、半導体製造装置のウェハ搬送部、ウェハ検査装置、電子顕微鏡の微動ステージ、自動車用エンジンの検査装置、その他。

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このカタログについて

ドキュメント名 超音波モータ HRシリーズ
ドキュメント種別 製品カタログ
ファイルサイズ 388.9Kb
登録カテゴリ
取り扱い企業 株式会社工苑 (この企業の取り扱いカタログ一覧)