ガス検知システム　MIDASーM

MIDASTM-M ガス監視システム 半導体プロセスや工業製造におけるガス検知に、 新しい視認性、信頼性、使いやすさをもたらします。 Honeywell MidasTM-M ガス検知器は、信頼性の高いセンサ技術を使用して、35種 類以上の主要な毒性ガス、周囲ガス、可燃性ガスを検出します。簡単、迅速、エラーな くお使いいただける、費用対効果の高い製品です。 このデバイスは、特許技術を使用して流量を調整し、エラーのないガス検知を保証し ながら、最大30メートル離れた場所をモニタリングします。 標準の電源および通信機能には、3つのオンボード・リレー(フォームC)、0mA～ 21mAのアナログ出力、およびModbus®/TCP Ethernetデジタル出力が含まれてお り、制御およびアラーム・システムのポートへの接続を容易にし、最適な接続性とサー ビスの相互作用を実現します。 柔軟性の高い機能とオプションにより、Midas-Mガス検知器は箱から取り出して直ぐ にお使いいただける上、お客様のニーズに合わせて簡単に構成できます。各プラグアン ドプレイセンサーカートリッジは事前にキャリブレーションされているため、簡単に準 備完了します。つまり、センサが長く使え、交換が迅速かつ簡単になり、センサの誤り 用途 や消耗によるオペレーターのエラーが発生することはありません。Midas-Mガス検知 • 半導体加工 器を使用すれば、顧客はセンサー校正期間の延長、特許取得済みの診断、および所有 • 軽工業製造 コストの低減が可能になります。 • 大学研究室 • 航空宇宙 • 排水 特長と利点 クリアな視認性 簡単なキャリブレー 簡単取り付け PoE プロトコル 一体型セキュリティ Midas-Mガス検知器 ション コンパクトなサイズの 検知器には、革新 Midas-Mガス検知器の には、明るいLEDと直 工場で校正されたセン ため、スペースが小さ 的なPower over インターフェースには、 感的なインターフェー サーは、頻繁なガステ く、かつ複雑なプロセ Ethernet(PoE)プロト システムの完全性を維 スが装備されており、 ストの必要性を減らし ス環境に適していま コルが含まれています。 持するためにパスワー ガスの読み取り値また ます。 す。Midas-Mガス検 これは、すべての電源、 ドで保護されたメニュ はアラームレベルに瞬 知器は、プラグアンド 制御、および通信要件 ーが含まれています。 時にアラートを提供し プレイ機能を備えてお に対応する単一のイー ます。 り、設置が簡単です。 サネット接続です。

MIDASTM-M 技術仕様 表1. トランスミッター寸法 サイズ(カートリッジ付きユニット) 136mm(高さ)x83mm(幅)x152mm(奥行) 重量-トランスミッター 1.3kg 重量-カートリッジ 0.17kg～0.22kg（センサの種類による） オプションのリレー寸法 サイズ 137mm(高さ)x84mm(幅)x41mm(奥行) 重量 0.31kg POWER要件 動作電圧 定格24VDC、-15～10%(20.4VDC～26.4VDC) Power Over Ethernet(PoE)での動作 電圧 48 VDC PoE(IEEE802.3af準拠) 消費電力 トランスミッター(正常状態)1 標準5W トランスミッター(全負荷状態)2 ≤ 11.45 W トランスミッター（リレー付き） ≤ 12.9 W 出力 視覚 アラーム、電源、障害LED、およびすべてのガス読値とイベントを含むLCD LED:電源(緑)、警報1(赤)、警報2(赤)、故障(黄) リレー（トランスミッター） (3) アラーム1、アラーム2およびフォルト用リレー、30Vdcまたは0.5A@125Vacで定格1.0A Max 10 uA @ 10 mV minimum、ノーマルオープンまたはクローズ、ラッチまたはアンラッチとして設定可能 各チャネルのアラーム1およびアラーム2用リレー8個とコモンフォルト定格用リレー リレー（オプションリレー） 1.0 A@30Vdcまたは0.5A@125Vac Max 10 uA @ 10 mV minimum、ノーマルオープンまたはクローズ、ラッチまたはアンラッチとして設定可能 アナログ 3線式シンク、3線式ソース、4線式絶縁、チャネルごとに0mA～21mA デジタル通信 Modbus/TCP Ethernet/Power over Ethernet(PoE) 認定および仕様 CEマーク EN50270:2015+AC:2016およびEN61000-6-4:2007+A1に適合 ETL認定UL61010-1:2012Ed.3、もしくはIEEE802.3af-2003 性能 個々のセンサデータシートを参照 輸送システム 流量 600mL/min 輸送時間 2秒～25秒（最大） サンプルラインチューブ 3.18mm ID x6.35mm OD チューブ長さ 最大30m(100ft)FEPチューブ エキゾーストラインチューブ 4.76mm ID x6.35mm OD 排気長さ 最大30m(100フィート) 環境ポート インラインエアフィルタが必要 動作温度 0°C～40°C 配線要件 4-20 mA 2線、最大14AWG デジタル CAT5ケーブルまたは同等品:RJ45コネクタ

MIDASTM-M 技術仕様 表 1（. 続き） ガス濃度表示とインターフェイス 計器 4桁英数字表示、単位別、各チャンネルの濃度バーグラフと他のアイコン駆動インジケーター、4ボタンインターフ ェースキーパッド リモート イーサネット経由のインターネットブラウザアクセス 取り付け詳細 取付け 壁面取付用ネジ穴またはDINレール用オプション 材質 カバー：プラスチック(ポリカーボネート)、シャーシ/取付金具：亜鉛メッキ鋼製、赤フレーム：液体塗装アルミ 保証 トランスミッター 工場出荷日から1年間 センサカートリッジ 工場出荷日から2年間 1 正常状態：(1)ガス警報なし、(2)チューブおよび圧力/真空なし ² 全負荷状態：(1)4チャンネルすべてのガスアラームがオン、(2)最大チューブの長さと吸気/排気ラインの圧力/真空 MIDASTM-M スマートセンサ & カートリッジ 品名/検知ガス 測定レンジ 型番 品名/検知ガス 測定レンジ 型番 カートリッジ MM-CAT 六フッ化タングステン（WF6） 0～12 ppm MMS-Z2 ダミーセンサー MMS-00 アルシン（ASH3 ）※ 0 - 0.2 ppm MMS-K2 塩化水素（HCI) 0～8 ppm MMS-E2 三フッ化ホウ素（BF3）低濃度※ 0 - 2 ppm MMS-Z4 三塩化ホウ素（BCl3) 0～8 ppm MMS-E2 臭素（Br2）※ 0 - 0.4 ppm MMS-Q2 ジク口口シラン（SiH2Cl2) 0～8 ppm MMS-E2 二酸化炭素（CO2）※ 0 - 2.0%vol MMS-T2 臭化水素（HBr） 0～8 ppm MMS-E2 二酸化塩素（CIO2）※ 0 - 0.4 ppm MMS-Q2 シラン（SiH4) 0～20ppm MMS-X2 ジボラン（B2H6）※ 0 - 0.4 ppm MMS-K2 ジシラン（Si2H6) 0～20ppm MMS-X2 エチレンオキシド（ETO） 0 - 40 ppm MMS-ET 水素（H2) 0～1OOOppm MMS-G2 ゲルマン（GeH4 ）※ 0 - 0.8 ppm MMS-K2 塩素（Cl2) 0～2 ppm MMS-L2 シアン化水素（HCN）※ 0 - 20 ppm MMS-Y2 アンモニア（NH3) 0～1OOppm MMS-A2 フッ化水素（HF）低濃度※ 0 - 2 ppm MMS-Z4 一酸化炭素（CO) 0～1OO ppm MMS-C2 セレン化水素（H2Se）※ 0 - 0.4 ppm - ホスフィン(PH3) 0～1200 ppb MMS-R2 硫化水素（H2S） 0 - 40 ppm MMS-H4 オゾン（03) 0～0.4 ppm MMS-U2 ー酸化窒素（NO）※ 0 - 100 ppm MMS-V2 酸素（02) 0～25%vol MMS-D2 二酸化窒素（N02） 0 - 12 ppm MMS-VN 二酸化硫黄（SO2) 0～8 ppm MMS-S2 オルトケイ酸テトラ工チル(TEOS ） 0 - 40 ppm MMS-ET フッ化水素（HF） 0～12 ppm MMS-Z2 六フッ化タングステン（WF6）低濃度※ 0 - 2 ppm MMS-Z4 三フッ化ホウ素（BF3） 0～8 ppm MMS-Z2 塩素（Cl2）低濃度※ 0～0.4ppm MMS-Q2 ※ 順次発売予定です。詳しくは、お問い合わせください。 二酸化炭素（CO2）IR ※ 0～2.0%vol MMS-TR 水素（H2）LEL ※ 0～100%LEL MMS-L2 メタン（CH4）LEL ※ 0～100%LEL MMS-L2 ホスフィン（PH3）※ 0～1200ppb MMS-R3 一酸化炭素（CO） 0～100ppm MMS-C3

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