超精密3軸自由曲面加工機 650FG v2　

Nanotech 650FG v2 ムーアナノテクノロジー 超精密3軸自由曲面加工機 オプションのC軸、B軸機構を追加することで、 4軸または5軸加工機に拡張可能 New Major Technology Advancements ● 全回転範囲で回転精度12.5nm以下を保証する新しい多孔質グラファイトエアーベアリングスピンドルを標準搭載 ● 業界をリードする8.4pm（0.0084nm）の分解能を持つリニアスケールフィードバックシステム ● パッシブエアー防振装置を搭載。ベースには温度安定性と振動減衰特性に優れる一体型エポキシグラナイトを採用 ● 最高速10,000回転までのヘビーデューティーワークスピンドル（最大ワーク荷重：85kg@spindle nose）を採用。 　 ダイヤモンド切削に加えオプションで研削も可能（冷却装置はオプション） ● CNCシステムはDelta Tau Data Systems社製Power PMAC 64bitモーションコントローラーを搭載 ● CNCシステムは１分間あたり最大40,000行のプログラム先読みが可能 ● 22インチ ワイドスクリーンと業界初のタッチ/スワイプスクリーンでの操作が可能な Power NC T M HMI コント 　 ローラー（Nano SMART T M ） ● 油圧系統と空気圧系統をまとめたコンパクトなユーテリティーキャビネット ● 最大加工径650mm（標準） Fast Tool Servo on B-axis 60K Micro-Milling Spindle HD Vertical Grinding Spindle

Nanotech Specif ication 2014 年 12 月現在 機械全般 詳　　細 軸対称非球面およびトロイダル面、スロースライドサーボ機能による自由曲面、ラスターフライカットによる自由曲面、 システム構成 プリズム形状光学素子加工のための超精密3軸、4軸、5軸自由曲面加工機 最大加工径 直径650 mm ×長さ300 mm ベース構造 クーラント溝付一体成形エポキシグラナイト 防振装置 最適位置に配置されたパッシブエアー式防振装置 Delta Tau 1GHz Power PMAC 64bit CPU CNCモーションコントロ－ラー（Nano SMART T M ） コントロールシステム Intel i5 2.4GHz Windows 7 Professional 64-bit 16GB DDR3、1.6GHz メモリー、DVD-RW 22インチカラーマルチタッチディスプレイ プログラム分解能 0.01nm リニア / 0.0000001°回転 加工性能 材料 • 高純度アルミ材を使用（加工はX-Z面およびY-Z面で実行） （レーザー干渉計および白色干渉計で測定） 形状精度（P • V）: ≦ 0.15μm/直径75 mm、250 mm R凸球面、表面粗さ（Ra）: ≦ 3.0 nm 主軸ワークスピンドル ヘビーデューティー（標準） タイプ 米国PI 社製　多孔質グラファイトジャーナル製エアーベアリング 温度安定性とツール中心繰り返し精度維持のために、クローズドループチラーはエアースピンドルのジャーナルおよびモーター部分を 液冷装置（オプション） 温度制御した液体で冷却 / チラーは液温をPID制御で±0.5°F（±0.28℃）に制御。流量はCNCコントローラーからソレノイドを制御 回転速度範囲 50 ～ 10,000 rpm 最大加工径 650 mm（標準） 最大負荷（半径方向） 85 kg ＠0.7 MPa / 102 kg ＠1.0 MPa @spindle nose 最大負荷（軸方向） 180 kg ＠0.7 MPa @spindle nose 軸方向剛性 228 N/μm @0.7 MPa 半径方向剛性 (@spindle nose) 98 N/μm @0.7 MPa 駆動システム フレームレス、ブラシレスDCモーター 回転精度 軸方向≦ 12.5 nm、半径方向≦ 12.5 nm 直 線 軸 X　軸 Z　軸 Y　軸（垂直軸） タイプ 箱型油静圧軸受 油静圧軸受（エアーベアリング式カウンターバランス付） ストローク 350 mm 300 mm 150 mm 駆動システム ブラシレスDCリニアモーター デュアルブラシレスDCリニアモーター フィードバックタイプ レーザーホログラフィックリニアスケール フィードバック分解能 0.0084 nm（8.4 pm） フィードレート 2,000 mm/min 真直度精度 全域で0.3μm 全域で0.5μm/中心部100 mmで0.3μm 静圧油供給装置 小型、低流量、低圧力のクローズドループサーボ制御式油供給装置 オプション回転軸 B　軸 C　軸 タイプ 油静圧軸受 多孔質グラファイト エアーベアリング（液冷） 回転駆動範囲 360 °（両方向） 　 駆動システム ブラシレスDCモーター 軸方向剛性 875 N/μm ワークスピンドルに同じ 半径方向剛性 260 N/μm ワークスピンドルに同じ 位置決め精度 ≦±1.0 arc second（補正後） フィードバック分解能 0.005 arc second 0.01 arc second 最大速度（位置決めモード） 50 rpm 3,000 rpm 回転精度 軸方向≦ 0.1μm、半径方向≦ 0.1 μm 軸方向≦ 12.5 nm、半径方向≦ 12.5 nm ユーティリティー ● 温 度：最適加工結果のために温度安定性は±0.5°C以内　　　　　● 本体サイズ：約1.8 m（W） ×1.8 m（D） × 2 m（H） 　　　　　● 装置重量： 約 3,180 kg　 ● エ ア ー：圧力 0.7 - 1.0 MPa 流量 280 L/min 　　　　　　　　● 電 力：220 VAC 　50/60 Hz　3相（11 kVA） ※本体サイズは機械本体のみのサイズです。　※装置重量は本体のみ（オプション等含ず）の重量です。 オプション （※オプションは機種により異なります。お問い合わせください） Factory Options Additional Accessories ● C軸（ワークスピンドル ポジション コントロール） ● 光学式ツールセッティングシステム ● 光学式観察パッケージ ● 油静圧軸受けB軸 ( 回転軸 ) ● 3Dタッチプローブ ● 自動レべリングシステム ● Nanotech ファストツールサーボ（NFTS-6000） ● クーラントシュラウド ● NanoMETER - ナノメーター ● シアーダンプド防振装置 ● 電気マイクロおよびマグネットスタンド ● 機上測定装置および形状エラー補正システム（WECS） ● エアーシャワー温度制御装置 ● ハンドヘルド操作ペンダント ● NanoBalance - ナノバランススピンドルバランスソフト ● 60K rpm PI ISO2.25 研削ミリングスピンドル ● 微小高さ調整付工具台（ツールホルダー） ● NanoCAM 2D Basic/Full ● 10K rpm PI 4R 研削スピンドル ● デュアルノーズツールホルダー ● NanoCAM 3D プログラミングソフトウェア http://enablekk.com E-mail : info@enablekk.com 本　　　社　〒332-0012 埼玉県川口市本町4 -1 - 8 川口センタービル Tel : 048-227-4688 Fax : 048-227-4622 愛知事務所　〒446-0063 愛知県安城市昭和町 17-22 B号室 Tel : 0566-70-7580 Fax : 0566-70-7581 製品の仕様は予告なく変更される場合があります。予めご了承ください。 Ver.1808-NA(65V2)