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【総合カタログ】HRX-01/RX-100

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ドキュメント名 【総合カタログ】HRX-01/RX-100
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株式会社ハイロックス

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Digital Microscope HRX-01 RX-100 本   社 Hirox Co.,Ltd. https://www.hirox.com 〒166-0003 東京都杉並区高円寺南2-15-17 Tel 03-3311-9911 Fax 03-3311-7722 2-15-17 Koenji Minami,Suginami-ku,Tokyo166-0003,Japan 大   阪 Tel:+81-3-3311-9911 Fax:+81-3-3311-7722 E-mail:tokyo2@hirox.com 〒577-0013 大阪府東大阪市長田中2-2-30 長田エミネンスビル7F-B Tel 06-6743-3328 Fax 06-6743-3329 Hirox-USA Inc. http://www.hirox-usa.com 名 古 屋 100 Commerce Way, Hackensack, NJ 07601 〒460-0008 愛知県名古屋市中区栄1-14-15 RSビル9F Tel 052-218-1702 Fax 052-218-1703 Tel:+1-201-342-2600 Fax:+1-201-342-7322 Toll-Free:(866)HIROX-US E-mail:info@hirox-usa.com 仙   台 〒980-0804 宮城県仙台市青葉区大町2-10-14 TAKAYUパークサイドビル 2F Tel 022-797-7837 Fax 022-797-7838 Hirox China Co.,Ltd. http://www.hirox.com.cnRoom 809, 8th Floor, Fortune International Plaza, No.43 Guo-Quan Road, Shanghai 200433, China. ■お問い合わせは Tel:+86-21-6564-7772 Fax:+86-21-3362-5017 E-mail:info@hirox.com.cn Hirox Korea Co.,Ltd. http://www.hiroxkorea.com B-501 Acrotower Bldg, 1591 Gwanyang-dong, Dongan-ku, Anyang-city, Gyeonggi-do, 431-908, Korea Tel:+82-31-385-1130 Fax:+82-31-385-9730 E-mail:yoon@hiroxkorea.com Hirox Asia Ltd. http://www.hirox-asia.com Unit 827, 8/F, Ocean Centre, Harbour City, 5 Canton Road, Tsimshatsui Kowloon, Hong Kong Tel:+852 8198-9679 Fax: +852 3015-7657 E-mail:info@hirox-asia.com Hirox Europe Ltd. http://www.hirox-europe.com Jyfel, 300 RN 6 Le Bois des Côtes, Bâtiment A F-69760 Limonest, France Tel:+33 426 25 03 40 Fax:+33 426 23 68 13 E-mail:info@hirox-europe.com 本書の内容はお断りなく変更することがありますのでご了承下さい。 PHP-2005-C057-A_ APP-P2005-0106
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絶対的、 操作性、臨場感、正確さ。テレセントリックレンズの 高精細画像。 ポテンシャルを最大限に集約。 レンズメーカーとして確かな実績を積み重ねてきたハイロックスが試行錯誤の末、 新たに開発したテレセントリックズームレンズ。 HR-1020E デジタルマイクロスコープシステムがレンズ倍率情報を認識して、 高解像度テレセン電動ズームレンズ【10~200 倍】 ステージコントロール、撮影条件などと連動することで、 これまでにない操作性を実現しました。 ● 高解像度で鮮明に映し出す大口径レンズ ● 圧倒的な操作性を実現した電動制御レンズ ● 歪みを徹底的に抑えたテレセントリックレンズ ● 観察倍率 10 倍から対応する広視野高精細ワンショット撮影 フレキ基板 2 3
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電動レンズ、電動スタンドで 飛躍するユーザビリティ レンズのズーム部、ターレット部、ライトセレクタ部の電動制御を搭載し、 3 軸電動スタンドとシステムを組むことでフル電動、全自動システムを実現しました。 対象物をステージに載せれば、アプリ上のメニューをクリックするだけで誰でも簡単に操作できます。 ● 電動ズームレンズで、ワンクリック倍率変換 ● 電動スタンドで、精密制御 ● 全 自動システムでリモート観察を実現 4 5
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History 光学レンズとともに生きるHirox 光学メーカーのデジタルマイクロスコープ ハイロックスの歩み 昭和初期、創業者の先代はレンズ 先 大きく映し出すことで、複数の人が観察 業界最高倍率を誇る 7000 倍ズームレ 進国ドイツからレンズの研磨技術を持ち 場面を共有できる、まったく新しい拡大 ンズ、まるで対象物を手に持って眺め回 創業時から今まで、私たちは変わらず守り続けている3つの信条があります。 帰り、日本でいち早くレンズづくりをは 観察の提案でした。デジタルマイクロス しているかのような、立体動画を実現さ まずは、心地よい、ストレスフリーの観察環境。 じめました。ハイロックスを創業してか コープが主力製品となってから、絶妙な せた 360 度回転のロータリヘッド。光学 らはテレビ用、8 ミリ用の各種レンズ生 陰影を映し出す照明装置の工夫や、クリ メーカーならではの、あらゆるテクニッ 観る人の体の一部となるような扱いやすさで、人にやさしい機材の開発を目指します。 産を主軸とし、1985 年にデジタルマイ アな画像が広がる深い被写界深度を実 クを駆使して光、影、色を自在に操り、 次に、絶対的なリアリティ。長年培ってきたレンズ技術をコアに、真実の画像をどこまでも追求します。 クロスコープの前身となるビデオマイク 現し、ハイロックスはよりリアルな立体 圧倒的な映像美をお届けしています。そ そして最後は、ユーザーの期待に応え、結果を出す誠意。 ロスコープ KH-2000 を開発販売致しま 視の世界へと歩みを進めました。照明と して、レンズとともにより優しい操作性 した。それは、長時間同じ姿勢で顕微鏡 の一体化により、見たいものをより見や を求めてデジタルマイクロスコープの世 細やかなカスタムメイドに対応できるのは、小回りのきくハイロックスの強みでもあります。 をのぞき込む観察者の疲労と負担を大 すく、さらに見えなかったものまで映し 界を開拓し続けます。 妥協を許さないものづくり。それは業界のパイオニアとしての使命です。 きく緩和し、鮮やかな画像をモニタ上に 出すことに成功したレンズシステム。 1985 1988 1996 1999 2000 2002 2006 2011 2015 2016 Now 6 7
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Digital Microscope Hirox Lens Series 0X 20X 40X 100X 200X 500X 1000X 2000X 5000X 10000X 35X-350X 350X-3500X HR-10CE / HR-10C 70X-700X 700X-7000X 140X-1400X HR-5000E / HR-5000 20X-5000X HR-2500E / HR-2500 20X-2500X HR-5040E / HR-5040 50X-400X 20X-800X HR-2016E / HR-2016 20X-160X 6X-320X HR-1020E 10X-200X MXB-050Z 0X-50X MXB-MACRO 0X-20X ※ アダプタ装着時の倍率 高解像度テレセン電動ズームレンズ 10~200倍 高解像度電動レボズームレンズ 20~2500倍 高解像度電動レボズームレンズ 20~5000倍 低倍率 電動ズームレンズ 20~160倍 HR-1020E HR-2500E HR-5000E HR-2016E 高解像度レボズームレンズ 20~2500倍 高解像度レボズームレンズ 20~5000倍 低倍率 ズームレンズ 20~160倍 HR-2500 HR-5000 HR-2016 中倍率 電動ズームレンズ 50~400倍 高解像度電動ズームレンズ 対物レンズ交換式 マクロズームレンズ マクロレンズ HR-5040E HR-10CE MXB-050Z MXB-MACRO 中倍率 ズームレンズ 50~400倍 高解像度ズームレンズ 対物レンズ交換式 HR-5040 HR-10C 8 9
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Digital Microscope Hirox Lens Series 高解像度テレセン電動ズームレンズ 10~200倍 高解像度電動レボズームレンズ 20~2500倍 HR-1020E HR-2500E 高解像度レボズームレンズ 20~2500倍 計測ニーズの高まりを受け、低倍率時の計測においてより効果を発揮する10倍~200倍の倍率をカバー するテレセントリックレンズを開発。低倍率で広視野でありながら歪みの少ない画像をとらえます。電動 HR-2500 制御により初めてデジタルマイクロスコープに触れるユーザーも簡単に操作可能です。 対物レンズが3本ついたレボルバ式レンズになり、十分な作動距離 を確保しつつ、20~2500倍の光学倍率比125倍をカバーする万能レ ンズです。ライトセレクタ機能により対象物に合わせて明視野照明・ 暗視野照明・混合照明が照射可能です。ズーム部、ターレット部、ラ イトセレクタ部に電動機構を備えたタイプはレンズを触ったことが無 いユーザーでも簡単に操作可能です。 型式 HR-2500E HR-2500 Wide-Range 20 30 50 80 120 140 倍率 Mid-Range 140 200 400 600 800 1000 High-Range 350 500 1000 1500 2000 2500 作動距離 Wide-Range:18㎜  /  Mid-Range:10㎜  /  High-Range:10㎜ 視野 15.4㎜~0.12㎜ モータ制御 あり (ズーム部 / ターレット部 / ライトセレクタ部) ─ 高解像度電動レボズームレンズ 20~5000倍 HR-5000E 高解像度レボズームレンズ 20~5000倍 HR-5000 20~5000倍の光学倍率比250倍をカバーする、高倍率観察に対応 したレボルバ式レンズです。対象物を低倍率広視野で観察ポイント 型式 HR-1020E 倍率 10 20 30 50 90 100 120 150 200 を探し、観察ポイントが見つかれば、そのまま高解像度観察が実現 作動距離 54㎜ 視野 30.5㎜ ~1.52㎜ できます。ライトセレクタによる照明切替機能で、どんな対象物にも モータ制御 あり (ズーム部) 適した照明で観察が可能です。 型式 HR-5000E HR-5000 Wide-Range 20 30 50 80 120 140 倍率 Mid-Range 140 200 400 600 800 1000 High-Range 700 1000 2000 3000 4000 5000 作動距離 Wide-Range:18㎜  /  Mid-Range:10㎜  /  High-Range:3㎜ 視野 15.4㎜~0.06㎜ モータ制御 あり (ズーム部 / ターレット部 / ライトセレクタ部) ─ 10 11
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Digital Microscope Hirox Lens Series 低倍率 電動ズームレンズ 20~160倍 高解像度電動ズームレンズ 対物レンズ交換式 HR-2016E HR-10CE 低倍率 ズームレンズ 20~160倍 高解像度ズームレンズ 対物レンズ交換式 HR-2016 HR-10C 絞り機構を備え、深い被写界深度で高低差のある対象物でも鮮明 対物レンズ6種類に対応した同軸落射10倍ズームレンズになります。 な画像を観察できる小型レンズです。また作動距離を十分確保し、 業界最高倍率7000倍の観察も可能。高い拡張性とクラス最高レベ 作業性も良く、スタンドに置けない大きい対象物を観察する際に効果 ルの高解像度レンズで迫力ある拡大観察を実現します。 的なハンディ観察も対応できます。標準時の20~160倍の倍率域が 変倍アダプタを装着することで、6~320倍の観察にも対応します。 型式 HR-2016E HR-2016 型式 HR-10CE HR-10C 倍率 20 30 40 50 80 100 130 160 OL-35 35 50 75 100 125 150 200 250 350 作動距離 44㎜ OL-70Ⅱ 70 100 150 200 250 300 400 500 700 視野 15.4㎜~2.0㎜ OL-140 140 200 300 400 500 600 800 1000 1400 倍率 アダプタ認識機能 あり ※アダプタはワンタッチ装着 OL-140Ⅱ 140 200 300 400 500 600 800 1000 1400 モータ制御 あり(ズーム部 / ロータリーヘッド部 ※ロータリヘッドアダプタはオプション) あり(ロータリーヘッド部 ※ロータリヘッドアダプタはオプション) OL-350Ⅱ 350 500 750 1000 1250 1500 2000 2500 3500 ※低倍率・高倍率アダプタ装着の際は、6~48倍、40~320倍に変倍し、視野・作動距離が変わります。 OL-700Ⅱ 700 1000 1500 2000 2500 3000 4000 5000 7000 作動距離 OL-35:34㎜ / OL-70Ⅱ:21㎜ / OL-140:30.5㎜ / OL-140Ⅱ:12㎜ / OL-350Ⅱ: 10.6㎜ / OL-700Ⅱ:3.4㎜ 視野 9.83㎜~0.04㎜ モータ制御 あり (ズーム部) ─ 中倍率 電動ズームレンズ 50~400倍 マクロズームレンズ / マクロレンズ HR-5040E MXB-050Z / MXB-MACRO 中倍率 ズームレンズ 50~400倍 大きな対象物の全体像から部分拡大までをカバーする低倍率レンズ HR-5040 です。デジカメを扱うような感覚で簡単に高水準な拡大観察が行え ます。マクロレンズは対象物との距離により倍率が可変し、0~20倍 長い作動距離を確保し作業性に優れた大口径ズームレンズです。大 をカバーします。 口径レンズならではの高画質で臨場感ある観察を実現します。標準 時の50~400倍の倍率域が変倍アダプタを装着することで、20~ 800倍の観察にも対応します。 MXB-050Z MXB-MACRO 型式 HR-5040E HR-5040 型式 MXB-050Z MXB-MACRO 倍率 50 100 150 200 250 300 350 400 倍率 0~5 5 10 20 30 40 50 0~20x 作動距離 54㎜ 作動距離 ∞~90mm  ※0~5xの際のWDは可変 ― 視野 6.1㎜~0.78㎜ 視野 ∞~61㎜、61㎜~6.1mm ― アダプタ認識機能 あり ※アダプタはワンタッチ装着 モータ制御 あり(ズーム部 / ロータリーヘッド部 ※ロータリヘッドアダプタはオプション) あり(ロータリーヘッド部 ※ロータリヘッドアダプタはオプション) ※低倍率・高倍率アダプタ装着の際は、20~160倍、100~800倍に変倍し、視野・作動距離が変わります。 12 13
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Digital Microscope Hirox Accessory Series ロータリヘッド 拡散照明 低倍率・高倍率 透過偏光 360°回転するプリズムを介して、斜め方向からのダイナミックな光学 光をあらゆる方向に拡散させることで、方向性を持たず対象物に ズームレンズが備えている倍率域をさらに低倍率域・高倍率域まで 対象物の下から照明を照射する透過照明での偏光観察が可能で 3Dリアルタイム観察を実現します。これによって、形状の把握やわず 均一に光を照射します。強い反射を抑えると同時に、暗い部分は 拡張することができます。1本のレンズのズーム倍率が広がることで観 す。透明なフィルム、生物、でんぷん粉体などの観察に効果を発揮し かな凹凸の発見などに効果を発揮します。角度可変ロータリヘッドは 明るくします。リング反射が起こる電球や金属表面などの観察に 察領域が増し、多くの対象物の観察が可能になります。 ます。 プリズムの角度を4段階(25°,35°,45°,55°)に設定できます。 有効です。 QFP モーター 磁気ヘッド でんぷん粒子 可変照明 偏光 同軸落射 ハンディ観察 照明の照射角度を任意に変更(落射~サイド)することが可能です。角 特定の光の波長をカットすることで、反射光を抑えて対象物を鮮明 照明をレンズ光軸と平行に照射する明視野照明での観察が可能で レンズと対象物を接触させてレンズを固定した状態で手ブレ効果を 度の変更により表面の凹凸形状がさらに観察しやすくなり、バリ、キ に描写します。印刷物や基板、肌などコーティングした表面の下の層 す。フラットで反射率の高い鏡面、研磨面などの表面状態観察に有 抑えた観察が出来ます。ステージに載せられないお大きな対象物、 ズなども容易に判別できます。 の表面を観察する際に、見えなかった表情を引き出します。 効です。 採取できない対象物などのハンディ観察時に効果を発揮します。 ファブリック 溶接の溶け込み HDDプラッタ汚れ 自動車フロントバンパー 14 15
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Digital Microscope Hirox Stand Series 高精度アングルスタンド 0.05㎛の緻密なコントロール 電動XYステージが標準搭載した3軸電動アングルスタンドを新たに開発。 Z軸ダイヤルは微粗動切替スイッチ付きで、 シームレスかつ直感的な操作が可能です。 スタンドのポール部は90°傾きまで対応しており、 大型電動XYステージ 真横からの観察も可能です。 100mm×100mmの有効ストロークをもった高精度大型電動XYス テージもラインナップに加わりました。大きい対象物の観察、広い視 更に角度センサーにより斜め何度からの観察かも認識します。 野での画像連結撮影などのシーンで緻密なステージコントロールで 電動XYステージは手動タイプ、50×50mm電動タイプ、 オペレータをサポートします。 100×100mm電動タイプの3タイプに対応しております。 透過照明をスタンドに内蔵することで、 落射、透過同時照明にも対応し、 全てが電動で精密に稼働し、 各種センサがオペレータをサポートすることで、 微粗動ダイヤル 今までにないストレスフリーな観察を実現します。 シリンダ デュアルライト 回転ステージ 指向性の高いLED照明を2点からフレキシブルに照射できます。観察 ウエハー観察に有効な回転ステージの装着も対応可能です。4イ において重要な要素である照明の選択肢が広がることで、フラットな ンチ、5インチ、6インチサイズは掘り込みによって固定できます。8 樹脂や金属部品の微細な凹凸、透明フィルムやガラス内のキズな インチ以上のサイズも対応可能です。 ど、対象物をより鮮明に映し出します。 スタンドポール傾きセンサ 透過照明LED ステージ・レンズ 高さセンサ 電動XYステージ 50×50mm/ 100×100㎜ 実装部品 ウェハ 16 17
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Digital Microscope Hirox Digital Microscope Series 選べる HRX-01 フラッグシップモデル HRX-01はパソコンと接続して使用する5Mカメラ、4K解像度対応の デジタルマイクロスコープシステム デジタルマイクロスコープです。レンズ、スタンドが電動制御対応で、対象物をステージに載せれば、スタンド、レンズに触れることなく、 観察が可能です。またオペレータの必要な機能に応じたシステムを自 由に選択できるので、必要最低限のシステムで初期投資を抑え、後 カメラ、レンズ、スタンド全てを見直して、 から機能を追加してシステムを拡張することができます。 デジタルマイクロスコープのシステム一式を新たに設計・開発しました。 ユーザーのご用途により細かく対応すべく、フラッグシップ、スタンダードの2モデルをラインナップし、 それぞれがさらに用途に合わせて機能を選べる設計にしました。 R X - 1 0 0 スタンダードモデル RX-100はHRX-01と同様にパソコンと接続して使用して頂くシステム です。拡大観察に必要な、観る、撮る、測るの機能は十分に有した デジタルマイクロスコープです。フラッグシップモデルと同じ観察倍 率域をカバーしたレンズラインナップを用意しております。 18 19
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Digital Microscope Sample Image 電子・電機・半導体 化学・医療・製薬 ソーラーパネル 打錠機クラック CPU背面 インク跡 ICチップパターン 自動車用パワーモジュール ペアン止血鉗子 化粧品 自動車・金属・精密部品 バイオ・農業・食品 フィルター 樹皮 ギア 花托(植物) 6枚刃ドリル先端 6枚刃ドリル先端3D ミツバチ スティックシュガー 20 21
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Digital Microscope 観る 新たな カメラとレンズで 徹底追及した ライブHDR ガイドマップ 今までのHDR 処理はコントラスト調整した画像を合成した静止画でし 取り込んだ画像をマップとし、電動XYステージの位置情報と連動がで 観察性能 たが、リアルタイムでHDR 処理した映像で観察が可能になりました。 きます。低倍率の画像をマップとすることで、高倍率で視野が狭くなっ た際でもどの位置を観察しているかが一目で分かります。 コネクタ 基板 撮影設定再現機能 自動最適化 保存した画像の撮影条件を、リアルタイム映像の撮影条件に反映さ リアルタイム映像に対して最適なカメラ設定をワンクリックで切り替え せることが出来ます。 過去に撮影した対象物と同系統の際に、 常に ます。微妙な色味の調整を必要とするユーザーの為にも、細かい撮影 同条件で観察・撮影することが可能です。 設定も用意してます。 ライブフォーカス 立体的な対象物であっても、 観察エリア 全面にピントが合った鮮明な画像を一瞬で 作成します。 初心者の方でもワンクリック で操作できるため、 観察現場での作業性 が格段に上がります。 蝶の羽 毛 植物(葉) 22 23
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Digital Microscope 撮る 対象物の形状、 質感を 画像連結 ありのまま 倍率を高くすれば解像度は上がるが 記録する 視野が狭くなるという光学顕微鏡の常 識を超え、 高解像度かつ広視野の画 高品質撮影 像作成を実現します。 新型電動スタンドにより、 1視野ではおさまらない 範囲でも最大 50000×50000ピクセ ル分の連結した画像が作成可能です。 深度合成を掛けあわせることで3 次元 での広視野画像も作成できます。 高品質画像保存 高解像度レンズと最適な照明で映し出した 基板 対象物のリアルな表情を最高品質のまま静 止 画、 動 画 で 記 録します。 静 止 画 は BMP、 TIFF、 JPEGの保存形式に対応し、 動画は1本最大 200 分まで録画できます。 金属キズ ポジション録画 タイマー録画 あらかじめ登録したXY座標値に自動で移動し、次々に撮影します。オー 設定した時間ごとに自動で画像を保存する機能で、 長時間経過観察 トフォーカス機能と組合せで鮮明にピントが合った撮影が可能です。 が必要な対象物に有効です。 時間経過によって対象物の形状が変化 する場合でも、 オートフォーカス機能でピントを逃すことはありません。 mm 1.00 0.95 0.90 0.85 0.80 0.75 0.70 0.65 0.60 0.55 0.50 0.45 0.40 0.35 0.30 0.25 0.20 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14mm ドリル刃先 ゼブラフィッシュ 24 25
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Digital Microscope 測る 様々な 検査シーンで 粗さ計測 活用できる プロファイル上に粗さ曲線、うねり曲 直感的に使える 線を表示し粗さ測定 (Ra、 Rz、 Rzjis) が可能です。 カットオフ値も選択可能 豊富な計測ツール です。 対象物の表面の違いを数値で表すことができます。 多彩な計測ツール 対象物のキズの大きさ、 深さ、 精密部品の 仕上り寸法、高さ寸法など観察だけでなく、 数値によるアプローチも実現します。 対象 物の長さ、角度、面積、円弧など2D計測 ドリル だけでなく、 深さ、 高さ、 体積など3D計 測など実用的かつ簡単にご使用頂ける豊富 な計測ツールに対応しております。 オートカウント 体積・表面積計測 輝度、 RGB 値に基づいて今まで以上に正確に自動検出します。 ヒス 3D画像上で計測したい箇所を指定するだけで、指定箇所の表面積、 トグラムを作成して輝度を抽出、 画面上をクリックして色を抽出するこ 体積の計測が可能です。 とで、 個数、 面積、 面積率などを計算します。 コイル 中空糸 銅精密部品 26 27
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Digital Microscope 測る その他の機能 針状粒子計測 金属粒界計測 通常の画像解析では重なって1つの対象とみなされてしまう、 交錯 研磨した金属組織を観察する際、 通常の2 値化では処理ができな しあった針状粒子を1 本 1 本を分離して計測することが可能です。 ガ い境界を特殊なアルゴリズムによって認識、 分離して粒子径や面積 ラス繊維やワイヤーなど細長く、 重なりやすい対象物の長さ、 幅、 などを計測することが可能です。 針状比、 個数などを計測します。 コンタミ検査 メンブレンフィルタ上の異物やウエハー表面のキズ検出な どに効果を発揮する解析・検査ソフトにも連動します。 航空材料ウィスカ 金属組織 微小な粒子やコンタミのカウント、 面積計測が可能で、 洗浄度測定に関する規格 (ISO160232、 VDA19.1)に準 拠したレポート作成も実現します。 Excel 転送 リモート観察 画像情報、 計測画像、 計測リスト、 統計などのデータをワンクリッ 電動ズームレンズ、 電動スタンドシステムだからこそできる新たな観 クでExcelに転送します。 テンプレートはカスタマイズ可能で、 パソ 察スタイルです。 インターネット、社内ネットワークに関わらず、ネッ コンとの親和性がさらに高まります。 トワークに接続されたパソコンに専用ソフトをインストールすれば、 別の場所からでも倍率操作、 ステージ操作ができ、 リアルタイムで 観察、 計測、 記録が実現できます。 半導体上のコンタミ(UV照明/暗視野照明) excel転送 28 ※この見開きページ機能は別途オプションソフトが必要です。 29
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Digital Microscope Customize Line Up デジタルマイクロスコープで絵画を観る Other Case オランダの美術館が所蔵するフェルメール作『真珠の耳飾りの少女』を検証するプロジェクトにHIROX EUROPEスタッフが参画しました。本プロジェクトは2週間にわたって美術館内で行われ、来場者が見学で きるようガラス張りスペース内で進められました。絵画全体を撮影するため、非常に広い稼働領域をもつ XYZ3軸電動スタンドを作成しました。 撮影風景・映像 セットアップの様子 観察システムの設置、検証風景はQRコード先の弊社WEBサイトにて公開中です。 ガラス板、 大型基板、 絵画など大きい対象物に対応する大型スタンド。 ❶ ❸ ❷ ステージに乗らない大型対象物の観察が可能なポータブルタイプ。 Copyright : Mauritshuis ≪ Girl with the pearl Earring - Johannes Vermeer ≫ 円盤状の対象物を回転させながら、 端から中心まで観察できるスタンド。 12インチウェハにも対応。 Copyright : Mauritshuis ≪ Girl with the pearl Earring - Johannes Vermeer ≫ ■システム構成 ❶ 右目 140 倍 ❷ イヤリング 35 倍 モニタ一体型パソコン 門型スタンド デジタル 35~5000倍 マイクロスコープ ズームレンズ メインユニット 電動Z軸 フォーカスブロック 高さ計測 ❸ 唇 140 倍 電動XYステージ ※ 絵画全体を35倍で9000枚以上撮影し、データ化しました。光学メーカーならで はのレンズで、1つ1つの画像はインクのひび割れまでリアルに鮮明に映し出して ステージ上に置けない対象物に効果を発揮するフレキシブルアームスタンド。 います。さらに、瞳、イヤリング、青のスカーフ、唇など、研究者が注目する部分 を140倍で撮影し、3Dデータ化し、インクの厚みを計測しました。 30 31
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Digital Microscope Hirox System Line Up レンズ 電動ズームレンズ(HRX-01対応)/ズームレンズ(HRX-01、RX-100対応) アダプタ HR-1020E AC-1020S AC-1020D AC-1020P AC-1020C 高解像度テレセン電動ズームレンズ サイド照明アダプタ 拡散照明アダプタ 偏光照明アダプタ 同軸落射アダプタ (10〜200倍) HRX-01/RX-100 デジタルマイクロスコープ AC-2016S AC-2016D AC-2016VD AC-2016R AC-2016P AC-2016LOW AC-2016HI AC-2016HIDHR-2016E HR-2016 可変照明アダプタ 拡散照明アダプタ WD可変拡散照明 ロータリヘッド 偏光アダプタ 低倍率アダプタ 高倍率アダプタ 高倍率拡散照明 低倍率電動ズームレンズ(20~160倍) 低倍率ズームレンズ(20~160倍) アダプタ アダプタ アダプタ HR-5040E HR-5040 カメラユニット 中倍率電動ズームレンズ(50〜400倍) 中倍率ズームレンズ(50〜400倍) AC-5040S AC-5040D AC-5040VD AC-5040RV AC-5040P AC-5040LOW AC-5040HI 可変照明アダプタ 拡散照明アダプタ WD可変拡散照明 角度可変ロータリヘッド 偏光アダプタ 低倍率アダプタ 高倍率アダプタ アダプタ アダプタ HR-2500E HR-2500 高解像度電動レボズームレンズ 高解像度レボズームレンズ AC-REV-S AC-REV-D AC-REV-P サイド照明アダプタ 拡散照明アダプタ 暗視野偏光アダプタ (20〜2500倍) (20〜2500倍) ■ AD-25S1 AD-25S2 AD-25S3 AD-25S4 ADB-25P1 AD-25P2 AD-25R1 片射アダプタ 固定絞りアダプタ 可変絞りアダプタ 中心絞りアダプタ 偏光アダプタ 単波長アダプタ オプティカルロータ HR-5000E HR-5000 (2個1組) アダプタ ■は付属品です。 高解像度電動レボズームレンズ 高解像度レボズームレンズ (20〜5000倍) (20〜5000倍) OL-35 OL-70 II OL-140/OL-140 II OL-350 II OL-700 II NR-405-OL パソコン スタンド 対物レンズ35-350倍 対物レンズ70-700倍 対物レンズ140-1400倍 対物レンズ350-3500倍 対物レンズ700-7000倍 OLシリーズ用リング照明 HR-10CE HR-10C 高解像度電動ズームレンズ 高解像度ズームレンズ (対物レンズ交換式) (対物レンズ交換式) スタンド ソフトウェア ST-AS ST-AS ST-AS ST-G 高精度アングルスタンド 高精度アングルスタンド 高精度アングルスタンド 高精度スタンド HRS-3D 3D計測ソフト MXB-050Z AS-50 AS-100 AS-M FB-M HRS-TL 画像連結ソフト(2D、3D) マクロズームレンズ 高精度電動XYステージ 高精度電動XYステージ 手動XYステージ 高精度ブロック 【50×50mm】 【100×100mm】 【透過照明対応】 XY-GB2 【透過照明対応】 【透過照明対応】 SP-Software コンタミ検査ソフト 透過用XYステージ XY-CB MXB-MACRO 透過用ステージブロック マクロレンズ 標準システム 3D計測システム 画像連結システム フルシステム デジタルマイクロスコープの基本機能を標準搭載 日頃の解析で凹凸形状の立体観察が多い方 高解像度・広視野の観察が多い方 多種多様なサンプルを様 な々方法で観察したい方 モデル HRX-01 RX-100 HRX-01 RX-100 HRX-01 RX-100 HRX-01 RX-100 2D計測 ● ● ● ● 3D計測 ー ● ー ● 画像連結※2 ー ー ● ● 電動ズーム ● ▲※1 ● ▲※1 ● ▲※1 ● ▲※1 PCモニタ解像度 4K Full HD 4K Full HD 4K Full HD 4K Full HD ※1:高解像度テレセン電動ズームレンズ:HR-1020Eについては、 “RX-100”に接続可能です。 ※2:画像連結(オプション機能):電動XYステージが必ず必要となります。 ST-HL AS-XYL AC-ST-DL AC-ST-R AC-ST-P 大型スタンド 大型スライドステージ デュアルライト 回転ステージ 透過偏光フィルタ 32 33
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Digital Microscope Specif icat ion HRX-01 フラッグシップモデル RX-100 スタンダードモデル ■ 基本仕様 ■ 推奨パソコン モニタ ■ 基本仕様 ■ 推奨パソコン モニタ 2/3型 CMOSイメージセンサ OS Windows10 64bit 2/3型 CMOSイメージセンサ OS Windows10 64bit 撮像素子 撮像素子 グローバルシャッタタイプ CPU インテル Corei7 第7世代以降 グローバルシャッタタイプ CPU インテル Corei5 第7世代以降 映像表示 画素数 500万画素 パソコン メモリ 32GB 以上 映像表示 画素数 320万画素 パソコン メモリ 16GB 以上 2448(H)×2048(V) HDD/SSD 512GB 以上 1958(H)×1638(V) HDD/SSD 512GB 以上 カメラ 解像度 カメラ 解像度 2040(H)×1530(V) インターフェース USB3.0(タイプA)×4 1632(H)×1224(V) インターフェース USB3.0(タイプA)×4 走査方式 プログレッシブスキャン モニタ 解像度 4K解像度 3840×2160 走査方式 プログレッシブスキャン モニタ 解像度 Full HD解像度 1920×1080 ユニットセルサイズ 3.45μm(H)×3.45μm(V) ユニットセルサイズ 3.45μm(H)×3.45μm(V) フレームレート 50fps(Max) ■ アプリケーション フレームレート 50fps(Max) ■ アプリケーション 画像処理 カメラ映像設定 画像処理 カメラ映像設定 HDR機能 リアルタイム表示 / 25fps(Max) HDR機能 リアルタイム表示 / 25fps( Max) エンジン カメラ映像モード選択 エンジン カメラ映像モード選択 ランプ 高輝度LED ライブHDR ランプ 高輝度LED ライブHDR 光源 ランプ寿命 30,000時間(参考値) カメラ映像最適化 光源 ランプ寿命 30,000時間(参考値) カメラ映像最適化 色温度 5700K(Typ.) 撮影設定再現 色温度 5700K(Typ.) 撮影設定再現 PC出力 USB3.0(タイプB)×1 オートフォーカス機能※1 PC出力 USB3.0(タイプB)×1 オートフォーカス機能※2 観察機能 観察機能 インターフェース 専用スタンド出力 専用コネクタ×1 ライブフォーカス機能※1 インターフェース 専用スタンド出力 専用コネクタ×1 ライブフォーカス機能※2 拡張USBポート USB3.0(タイプA)×2 デジタルズーム機能 拡張USBポート USB3.0(タイプA)×2 デジタルズーム機能 周囲温度 5~40℃ XYステージマップ機能※2 周囲温度 5~40℃ XYステージマップ機能※3 周囲湿度 20~80%(ただし氷結、結露なきこと) ガイドマップ機能※2 周囲湿度 20~80%(ただし氷結、結露なきこと) ガイドマップ機能※3 保存温度 -15~50℃(ただし氷結、結露なきこと) 3D構築機能※1 保存温度 -15~50℃(ただし氷結、結露なきこと) 3D構築機能※2 使用環境 使用環境 雰囲気 腐食ガスのないこと (リアルカラー、サーフェス、ワイヤーフレーム) 雰囲気 腐食ガスのないこと (リアルカラー、サーフェス、ワイヤーフレーム) 汚染度 2 分割・表示 上下分割、左右分割、4分割 汚染度 2 分割・表示 上下分割、左右分割、4分割 過電圧カテゴリー Ⅱ 静止画録画(BMP、TIFF、JPEG) 過電圧カテゴリー Ⅱ 静止画録画(BMP、TIFF、JPEG) 定格電圧 AC100V~240V 50/60Hz 動画録画(WMV) 定格電圧 AC100V~240V 50/60Hz 動画録画(WMV) 電源 録画 電源 録画 消費電力 200W タイマー録画 消費電力 200W タイマー録画 本体部 約2.5kg ポジション録画 本体部 約2.5kg ポジション録画 重量 重量 カメラ部 約1kg 直線、円、円弧、角度、周囲長、面積、円間距離、垂直線、 カメラ部 約1kg 直線、円、円弧、角度、周囲長、面積、円間距離、垂直線、 外形寸法 幅130㎜×高さ243.6㎜×奥行275㎜ X軸間、Y軸間、XY軸間、平行線、手動カウント 外形寸法 幅130㎜×高さ243.6㎜×奥行275㎜ X軸間、Y軸間、XY軸間、平行線、手動カウント 本体 本体 (突起部除く) (縦置きスタンド含む) 自動計測、色抽出、自動面積、自動幅 (突起部除く) (縦置きスタンド含む) 自動計測、色抽出、自動面積、自動幅 2D計測 2D計測 HRレンズシリーズ 計測・統計リスト表示 HRレンズシリーズ 計測・統計リスト表示 レンズ制御 対応方式 レンズ制御 対応方式 電動ズームレンズ / 手動ズームレンズ エッジ吸い付き機能 手動ズームレンズ ※1 エッジ吸い付き機能 PC 表示モニタ解像度 4K解像度 3840×2160 Line検出点吸い付き機能 PC 表示モニタ解像度 Full HD解像度 1920×1080 Line検出点吸い付き機能 エクセル転送 あり エクセル転送 あり ■ レンズ(HRレンズシリーズ) 高さ計測(平均高低差、最大高低差)、角度、幅、半径 ■ レンズ(HRレンズシリーズ) 高さ計測(平均高低差、最大高低差)、角度、幅、半径 観察対応倍率 0~7000倍 粗さ計測(Ra、Rz、Rzjis) 観察対応倍率 0~7000倍 粗さ計測(Ra、Rz、Rzjis) ズーム部/ターレット部 制御方式 電動 / 手動 プロファイル比較 ズーム部/ターレット部 制御方式 手動※1 プロファイル比較 3D計測 3D計測 自動倍率認識機能 あり ポイント高さ計測 自動倍率認識機能 あり ポイント高さ計測 (オプション) (オプション) アダプタ認識機能 あり 面積、体積計測 アダプタ認識機能 あり 面積、体積計測 補正機能 補正機能 ■ スタンド/ステージ (平面補正、ノイズ除去、スムージング、高さ反転) ■ スタンド/ステージ (平面補正、ノイズ除去、スムージング、高さ反転) 傾斜スタンドタイプ(傾斜角度範囲:右90° 左60°) 画像連結※3 2D:50000×50000pixel 傾斜スタンドタイプ(傾斜角度範囲:右90° 左60°) 画像連結※3 2D:20000×20000pixel 傾斜角度センサー (オプション) 3D:20000×20000pixel 傾斜角度センサー (オプション) 3D:10000×10000pixel ベース部 ベース部 ステージ位置上下動機構 コンタミ検査ソフト※3 ステージ位置上下動機構高精度 高精度 コンタミ検査ソフト ※3 あり なし アングルスタンド LED透過照明内蔵、外部補助照明接続対応 (オプション) アングルスタンド LED透過照明内蔵、外部補助照明接続対応 (オプション) (ST-AS) (ST-AS) ステージモータ:5相ステッピングモータ コメント・図形入力機能 ステージモータ:5相ステッピングモータ コメント・図形入力機能 Z軸ブロック部 ステージ分解能:0.05μm その他 言語切替機能 Z軸ブロック部 ステージ分解能:0.05μm その他 言語切替機能 ステージ移動量:80mm ヘルプ機能:マニュアル ステージ移動量:80mm ヘルプ機能:マニュアル ステージモータ:2相ステッピングモータ ステージモータ:2相ステッピングモータ ステージ分解能:0.15625μm ※1 高精度アングルスタンド(ST-AS)と組み合わせることで、ご使用頂けます。 ステージ分解能:0.15625μm ※1 高解像度テレセン電動ズームレンズ: HR-1020Eについては、”RX-100”に接続可能です。 電動タイプ ※2 高精度電動XYステージと組み合わせることで、ご使用頂けます。 電動タイプ ※2 高精度アングルスタンド(ST-AS)と組み合わせることで、ご使用頂けます。 ステージ天板サイズ:170×170mm / 240×235mm ステージ天板サイズ:170×170mm / 240×235mm (AS-50/AS-100) (AS-50/AS-100) ※3 高精度電動XYステージと組み合わせることで、ご使用頂けます。 ステージ移動量:50×50mm / 100×100mm ステージ移動量:50×50mm / 100×100mm XYステージ XYステージ 耐荷重:3㎏ 耐荷重:3㎏ ステージ天板サイズ:240×180mm ステージ天板サイズ:240×180mm 手動タイプ 手動タイプ ステージ移動量:76mm×51mm ステージ移動量:76mm×51mm (AS-M) (AS-M) 耐荷重:1㎏ 耐荷重:1㎏ 34 35