四重極質量分析計

四重極質量分析計 PrismaPlus 高感度、優れた安定性、インテリジェントな操作をプラスした四重極質量分析計 特 徴 + 最小2msの高速測定 + 最大8桁のダイナミックレンジ + 最大128chの多チャンネル測定 モジュラーデザインにより、産業、環境分野をはじ + 測定質量数：100/200/300 amu から選択可能 + 設置環境に合わせ、ストレート型、L型 から選択可能 め、研究開発分野、半導体製造分野、コーティング + 必要に応じたI/Oモジュールの選択により、低価格を実現 + 4種類以上のイオンソースを含めた、豊富なオプション 技術に至る、さまざまなアプリケーションに適合。 + チャンネルトロン増倍管付きを選択可能 + ファイファー社の真空計接続、及び圧力表示が可能 + 汎用OPC通信による、データ転送プロトコル + ユーザーフレンドリーなGUIソフトウェア（Quadera） + TCP/IP方式Ethernet高速接続・Webブラウザ制御 + VSTAによる、オリジナル測定プログラム + RoHS対応 バイアスされたイオン化室 フィールドアクシス技術 プラスにバイアスされたイオン化室により、チャンバー壁面や、分析計表面 イオン化室で生成された高エネルギーイオンを、より素早くマスフィルター からのEIDが防止出来るため、バックグランドが低く抑制されます。 内へ加速することにより、マスフィルター先端部の電場の乱れによる影響を （EID：電子衝撃により、脱離して生成されるイオン） 防止して、高透過率を実現。さらにマスフィルター内でのイオンを十分減速 させ、感度および隣接ピーク寄与率を向上。 100 +75VDC +150VDC +150V +160V 29

標準オープンイオンソース ガスタイトイオンソース クロスビームイオンソース グリッドイオンソース 高感度RGAおよびリークチェック ガス純度および混合ガスの定量分析 粒子線 および脱離ガス分析 UHV（超高真空）分析 全圧真空計の接続 その他の用途 全圧表示（別途オプションのIO-220が必要） MBE等の分析（モリブデンワイヤー選択可） 電子エネルギー可変型イオンソースを使用した有機ガス成分分析 排気ユニットとの組み合わせによる、スパッタモニタ PKRフルレンジCCゲージ PBRフルレンジBAゲージ ピラニゲージとコールドカソード ピラニゲージとBAゲージによる ゲージによる大気圧-超高真空測 大気圧-超高真空測定のコンビネ 定のコンビネーションゲージ ーションゲージ PrismaPlus QMG220F1 QMG220F2 QMG220F3 QMG220M1 QMG220M2 QMG220M3 検出器 ファラデー ファラデー ファラデー ファラデー/ ファラデー/ ファラデー/ チャンネルトロン チャンネルトロン チャンネルトロン マスレンジ 1-100amu 1-200amu 1-300amu 1-100amu 1-200amu 1-300amu Ｑポール径　直径/長さ 6mm/100mm 6mm/100mm 6mm/100mm 6mm/100mm 6mm/100mm 6mm/100mm 最小検出限界　ファラデーカップ 1×10-10Pa 2×10-10Pa 4×10-10Pa 5×10-10Pa 1×10-9Pa 2×10-9Pa 最小検出限界　チャンネルトロン - - - 1×10-12Pa <2×10-12Pa <4×10-12Pa 感度(Arガス）　ファラデーカップ 1×10-5A/Pa 6×10-6A/Pa 3×10-6A/Pa 5×10-6A/Pa 3×10-6A/Pa 1.5×10-6A/Pa 感度(Arガス）　チャンネルトロン - - - 2A/Pa 2A/Pa 1A/Pa 最大許容圧力　ファラデーカップ 1×10-2Pa 1×10-2Pa 1×10-2Pa 1×10-2Pa 1×10-2Pa 1×10-2Pa 最大許容圧力　チャンネルトロン - - - 1×10-3Pa 1×10-3Pa 1×10-3Pa 隣接マスピーク寄与率(40/41) <10ppm <20ppm <50ppm <10ppm <20ppm <50ppm 測定動作温度　分析管 150℃ 測定動作温度　コントローラ 0℃-40℃ ベーキング可能温度　分析管 200℃（300℃仕様も選択可） 接続フランジ DN40CF 分解能（10%ピーク高さにおける） 0.5-2.5amu 測定速度　アナログ/バーグラフスキャン 20ms-60s/amu 測定速度　Stair 2ms-60s/amu 測定速度　MID 2ms-60s/amu 測定チャンネル数(MID) 128 ピークレシオの再現性 ±0.5% インターフェイス イーサーネット デジタル入力 プロテクション用 電源入力 90-260VAC,50/60Hz 重量 2.4kg 2.4kg 2.4kg 3.8kg 3.8kg 3.8kg 30

四重極質量分析計 HiQuad QMG700 超高真空や高品質なガス導入システムとの組み合わせで性能を発揮する ハイエンド型四重極質量分析装置 四重極 RFジェネレーター ■分析管 イオンソース・イオンオプティクス （代表例） 検出器 ■コントローラー ＋ ＋ プリアンプ・イオンカウンター ■制御・分析 　ソフトウェア 31

特 徴 基本仕様 QMG700標準仕様（8mmロッドシステム） + モジュラー型デザインでアプリケーションに最適化 測定質量数 1～300,512,1024,2048 amu 　・最大2048amuの測定レンジ。1-16amu高分解能タイプも用意。 1～16,128,340（高分解能型） 　・多種類のイオンソース・イオンレンズ、3種類のフィラメント材質 二次電子増倍管での検出限界（分圧） イオンカウンティング： 5×10-14Pa 　　（開放型・分子ビーム測定型・密閉型・超高真空用） イオン電流アンプ： 2×10-13Pa 　・Faraday検出器、90度偏向SEM検出器、イオンカウンター対応 安定性 ＜0.1％（8時間以上測定） + 高感度・低ノイズにより10桁以上のダイナミックレンジを実現 クラッキングパターン安定性（近似ピーク値） ±1％ + PV社独自のテクノロジーを採用 最小測定スピード 0,125msec～60s/mas（s MID） 　・バイアス型イオンソース技術 0,125msec/amu～60s/amu（Scan） 　・フィールドアクシス技術 測定チャンネル数 128 ch + 最大128chの多チャンネル測定、最小0.125msの高速スキャン イオン化エネルギー可変 <10 eV～125 eV + 電子エネルギー可変（＜10ev～125ev） + TCP/IP方式イーサネット高速接続・Webブラウザ制御 + 先進設計の標準添付ソフトQuadera R 　・簡易な操作性と64bitOS正式対応 　・マトリクス校正機能付き濃度測定 　・簡易校正機能付き分圧測定 　・VSTAによるユーザープログラミング 傑出した測定特性 ■感度・ダイナミックレンジ ■長時間安定性 空気中のキセノン（136Xe : 7.8ppb in Air）をノイズレベルを大幅に超えて 空気成分（100％にノーマライズ）の定量結果。 検出しており、10桁の広いダイナミックレンジを達成。 安定した相対標準偏差から長時間の測定、安定測定が可能。 ■高速測定 ■分解能とピーク形状 最小の0.125msecからの高速測定による呼気分析 測定質量数が1～2048amuタイプに、マグネット付きクロスビームイオンソース （呼気導入の経過測定） 及び二次電子増倍管付き分析管の構成にて測定。 ニーズに合わせた多彩な構成で、最先端技術開発用途に最適です。 32

ベンチトップガスモニター OmniStar/ThermoStar 大気圧ガスの直接導入・分析可能！ 1ppm以下の検出限界！ コンピュータ制御型、オンラインガスモニター 触媒、環境分析、熱分析 に最適な質量分析計 主な特徴 OmniStar + 2段減圧方式による高速なレスポンスと、マスディスクリミネーションの抑制 + 産業、環境向けに適したモデル + 200℃までの温度制御ヒータ付きキャピラリ付属（オプションで350℃） + 測定質量数： M/e＝1-100、 1-200、1-300 + ガスタイト型イオン源の採用により少量の導入ガスを効率良くイオン化 100%酸素導入も可能 ThermoStar + オンライン濃度計算による定量分析 + + 最小2msの高速測定触媒、熱分析（TG-MS）向けに適したモデル + + 温度等外部信号取り込み・計算機能測定質量数： M/e＝1-100、1-200、1-300 + スレッシュホールド機能による外部機器制御 + 自動可変バルブ機構（オプション）による、ワイド圧力レンジでの測定 分析チャンバーヒーター 真空計 加熱ガス インレット チャンバー ユーザーインターフェース 加熱機構付 サンプリングライン 質量分析計 （キャピラリー） ターボ分子ポンプ ダイアフラムポンプ 主な仕様 OmniStarTM ThermoStarTM ガス接続 ステンレスキャピラリ 石英キャピラリ 位置 側面（上面、左右側面の三方向から選択） 側面（上面、左右側面の三方向から選択） 長さ 1000mm（オプション：2000mm） 1000mm（オプション：2000mm） ガスインレット 操作 ソフトウェアによるバルブ制御 連続オープン 圧力減圧 2段 2段 ガス流量 1- 2 sccm 1- 2 sccm 導入圧力 1000 hPa（大気圧） 1000 hPa（大気圧） キャピラリ設定温度 200℃（オプションで最大350℃） 200℃（オプションで最大350℃） アナログ出力 4チャンネル 12bit 4チャンネル 12bit アナログ入力 5チャンネル 12bit 5チャンネル 12bit デジタル出力 7リレー接点 24VDC 7リレー接点 24VDC デジタル入力 4接点 4接点 ポンプステータス 1リレー接点スイッチングコンタクト 1リレー接点スイッチングコンタクト 重量 35kg 35kg 33