GSMシリーズ　ソースメジャーユニット

製品仕様 電圧ソース 電圧測定 出力範囲 ± 21V/ ± 1.05A、 ± 210V/ ± 105 mA レンジ 分解能 確度 電流リミット (Cmpl) 最小値 レンジの 0.1% ± 200.000mV 1µV ± (0.012%+300 μ V) 入力変動 / 負荷変動 レンジの 0.01%、 レンジの 0.01% + 100 μ V ± 2.00000V 10µV ± (0.012%+300 μ V) オーバーシュート <0.1% typical　( フルスケールステップ , 抵抗負荷 ,10mA レンジ ) ± 20.0000V 100µV ± (0.015%+1.5mV) 過渡応答時間 <250 μ s 　(100% 負荷変化 ) ± 200.000V 1mV ± (0.015%+10mV) リップル ・ ノイズ 4mV rms(20Hz~ 1MHz) / 10mV pp(20Hz~ 1MHz) 入力抵抗 >10 GΩ 温度係数 ± (0.15 × 確度仕様 )/° C (0 ～ 18° C, 28 ～ 50° C) 温度係数 ± (0.15 × 確度仕様 )/° C　　(0 ～ 18° C, 28 ～ 50° C) レンジ 分解能 確度 ± 200.000mV 1µV ± (0.02%+600 μ V) 電流測定 ± 2.00000V 10µV ± (0.02%+600 μ V) レンジ 分解能 確度 ± 20.0000V 100µV ± (0.02%+2.4mV) ± 1.00000 μ A 10pA ± (0.029%+300pA) ± 200.000V 1mV ± (0.02%+24mV) ± 10.0000 μ A 100pA ± (0.027%+700pA) ± 100.000 μ A 1nA ± (0.025%+6nA) 電流ソース ± 1.00000mA 10nA ± (0.027%+60nA) 出力範囲 ± 1.05A / ± 21V, ± 105 mA / ± 210V ± 10.0000mA 100nA ± (0.035%+600nA) 電圧リミット (Cmpl) 最小値 レンジの 0.1% ± 100.000mA 1 μ A ± (0.055%+6 μ A) 入力変動 / 負荷変動 レンジの 0.01%、 レンジの 0.01% + 100pA ± 1.00000A 10 μ A ± (0.22%+570 μ A) オーバーシュート <0.1% typical (1mA ステップ , RL = 10k Ω , 20V レンジ ) 負担電圧 < 1mV 温度係数 ± (0.15 × 確度仕様 )/° C (0 ～ 18° C, 28 ～ 50° C) 温度係数 ± (0.1 × 確度仕様 )/° C　　(0 ～ 18° C, 28 ～ 50° C) レンジ 分解能 確度 ± 1.00000 μ A 10pA ± (0.035%+600pA) 抵抗測定※ 1 ± 10.0000 μ A 100pA ± (0.033%+2nA) レンジ 分解能 テスト電流 確度 Normal 確度 Enhanced ± 100.000 μ A 1nA ± (0.031%+20nA) <2.00000 Ω --- --- I ソース確度 +V メジャー確度 ± 1.00000mA 10nA ± (0.034%+200nA) 2.00000 Ω 10 μΩ --- I ソース確度 +V メジャー確度 ± 10.0000mA 100nA ± (0.045%+2 μ A) 20.0000 Ω 100 μΩ 100mA ± (0.1%+0.003 Ω ) ± (0.07%+0.001 Ω ) ± 100.000mA 1 μ A ± (0.066%+20 μ A) 200.000 Ω 1m Ω 10mA ± (0.08%+0.03 Ω ) ± (0.05%+0.01 Ω ) ± 1.00000A 10 μ A ± (0.27%+900 μ A) 2.00000k Ω 10m Ω 1mA ± (0.07%+0.3 Ω ) ± (0.05%+0.1 Ω ) 20.0000k Ω 100m Ω 100 μ A ± (0.06%+3 Ω ) ± (0.04%+1 Ω ) ソース全般 200.000k Ω 1 Ω 10 μ A ± (0.07%+30 Ω ) ± (0.05%+10 Ω ) 出力セトリング時間※ 2 100µs typical 2.00000M Ω 10 Ω 5 μ A ± (0.11%+300 Ω ) ± (0.05%+100 Ω ) 出力立上り時間 ( ± 30%) 300µs, 200V レンジ（100mA Cmpl.） 20.0000M Ω 100 Ω 0.5 μ A ± (0.11%+1k Ω ) ± (0.05%+500 Ω ) 150µs, 20V レンジ（100mA Cmpl.） 200.000M Ω 1k Ω 100nA ± (0.66%+10k Ω ) ± (0.35%+5k Ω ) 対接地電圧 ± 250VDC >200.000M Ω --- --- I ソース確度 +V メジャー確度 リモートセンシング 補償電圧 ( 片側 ) 1V 温度係数 ± (0.15 × 確度仕様 )/° C (0 ～ 18° C, 28 ～ 50° C) コンプライアンス確度 基本仕様にレンジの 0.3% と読み取り値の± 0.02% を追加 ソース I モードマニュアル抵抗測定 不確実性 = I ソース確度 +V メジャー確度 (4-wire ) レンジ変更オーバーシュート※ 3 100mV typical.　 ソース V モードマニュアル抵抗測定 不確実性 = V ソース確度 +I メジャー確度 (4-wire ) （近接レンジ間の変化︓200mV, 2V, 20V レンジ） アクティブ抵抗ガードとガードセンスを使用。 最小コンプライアンス値 レンジの 0.1% 6 線式抵抗測定 最大ガード出力電流 : 50mA (1A レンジを除く )。 コマンド処理時間※ 4 オートレンジ ON︓10ms、 オートレンジ OFF︓7ms 測定確度は負荷に依存します。 ガード出力抵抗 <0.1Ω（ 抵抗モードにて） 一般仕様 絶縁抵抗 シャーシ – 端子間 ≧ 20MΩ (DC 500V) システム仕様 シャーシ – AC 端子間 ≧ 30MΩ (DC 500V) 負荷インピーダンス 通常 20,000pF 台まで安定 仕様条件︓使用温度範囲 +18° C ~ +28° C、 60 分のウォームアップ後 ディファレンシャルモード電圧 250 V Pk 動作環境 屋内使用、 高度︓ ≦ 2000m、 周囲温度︓ 0 ~ 40° C、 相対湿度︓≦ 80% コモンモード電圧 250V DC 設置カテゴリ II、 汚染度 2 コモンモード ・ アイソレーション >10GΩ, <1000pF 保存環境 温度︓-20˚C ~ 70˚C 、 相対湿度︓< 80% オーバーレンジ レンジの 105%（ソース及びメジャー） 電源 100-240VAC、 50 ~ 60Hz 入出力とセンス端子間の電圧降下 (Max.) 5V 消費電力 80W 付属品 CD（ ユーザ ・ マニュアル ,　クイックスタート ・ マニュアル） Sense リード抵抗 (Max.) 1MΩ テスト ・ リード GTL-207A x 1, ワニ口クリップ x 2,　AC 電源コード Sense 入力抵抗 >100G Ω 寸法 ・ 質量 214 (W) x 86 (H) x 356.5 (D) mm、 約 4.8kg ガード ・ オフセット電圧 <150µV, typical ソース出力モード 固定 DC レベル , メモリ ・ リスト ( 機能混在可 , 階段状スイープ ( リニア、 ログ ) ※１. Speed=Normal (1PLC) 時の仕様。 0.1PLC では , レンジの 0.005% をオフセット仕様に追加。 ソース メモリ ・ リスト 最大 100 ポイント ( 但し 200mV,1A レンジでは、 0.05% を追加） メモリ ・ バッファ 5,000 rdg. (5 1/2 桁 )、（タイムスタンプ付の場合 2,500) 0.01PLC では , レンジの 0.05% をオフセット仕様に追加。 バックアップ リチウム電池によるバックアップ (3 年以上 )　初期電池を除く ( 但し 200mV,1A レンジでは、 0.5% を追加） リモートインタフェース、 プログラミング USB/LAN/RS-232C、 IEEE-488.2 (SCPI) ※２. コマンドが処理された後、 最終値の 0.1% 以内に達するまでの時間。 抵抗負荷。 10 μ A ～ 100mA レンジ。 デジタル I/O コネクタ アクティブロー入力、 +5V@ 300mA 供給、 トリガ入力１、 TTL/ リレードライブ４ ※３. 100k Ωの完全な抵抗負荷時のオーバーシュート、 BW 10Hz ～ 1MHz、 20V/200V を除く ※４. :SOURce:VOLTage|CURRent <nrf> コマンドを受信してから出力が変化し始めるまでに必要な最大時間 システム測定速度※ 5 Reading レート (rdg./ 秒 ) [ シーケンス動作時、 60Hz 時 (50Hz 時 )　※ 7] ※５. 電圧または電流測定︓オートレンジ オフ、 フィルタ オフ、 表示オフ、 トリガ ・ ディレイ = 0、 バイナリ読み取り形式 スピード NPLC/ トリガ メジャー動作 ソース ・ メジャー動作 ソース ・ メジャー ※６. 純抵抗リード線使用。 1 μ A ・ 10 μ A レンジでは <65ms。 Pass/Fail テスト ※ 8 ※ 9 ソース ・ メモリ ※ 8 ※７. 1000 ポイントのシーケンス動作より。 ソースは固定レンジ。 内部メモリへ 内部メモリへ 内部メモリへ 内部メモリへ ※８. それぞれ一つの high ・ low リミット値による Pass/Fail テストの実行 Fast 0.01/ 内部 2081(2030) 1551(1515) 902(900) 165(162) ※９. 測定を行う前にソースを再設定する時間を含みます Med. 0.1/ 内部 510(433) 470(405) 389(343) 133(126) ※ 10. START OF TEST 信号の立下がりエッジから END OF TEST 信号の立下がりエッジまでの時間 Norm. 1/ 内部 59(49) 58(48) 56(47) 44(38) ※ 11. :SOURce:VOLTage|CURRent、 :TRIGgered<nrf> のコマンド処理時間は含まれません 詳しくは 2023.5.31 JGSM2305K (TTCWEB)

Source Measure Unit DC ソースメジャーユニット 特長 ● 最大出力　±210V/±1.05A/22W ● ４つのシーケンス出力内蔵（リニア/ログ階段、カスタム、SRC-MEM） ● 過電圧(OVP)/過温度(OTP) 保護機能 ● 測定基本確度0.012％（5½桁分解能時） ● サンプリング・スピード可変 ● SDM(ソース・ディレイ・メジャー)サイクル機能 ● リミットテスト ● ５つの演算機能内蔵 ● 4.3インチ液晶ディスプレイ、数値キー入力 ● リアルタイムクロック内蔵 ● リモートインタフェース（RS-232C、USBTMC、LAN）

Source Measure Unit 1.　液晶ディスプレイ 2.　USBポート(Host) 3.　数値キー 4.　電源スイッチ(スタンバイキー) 5.　方向キー 6.　ファンクションキー 7.　入出力端子 8.　ファンクションキー 9.　メイン電源スイッチ 10.　GPIBポート(オプション) 11.　排気ファン 12.　LANポート 13.　USBポート(Device) 14.　入出力端子 15.　RS-232Cポート 16.　デジタルI/Oポート 17.　AC電源ソケット A 製品概要 GSM-20H10 は、 高精度の定電圧源 / 定電流源と、 高分解能の電圧 / 電流測定機能を 備えたソースメジャーユニット (SMU) です。 最大印可は ±210V の電圧、 ±1.05A の電流が 【 SMU は一般的な DC 電源より高速動作】 ( 当社比 ) 可能です。 最小印可分解能の 10pA ・ 1μV と、 1pA ・ 100nV の測定分解能で精密な電 源及び電圧 / 電流 / 抵抗計として使用することができます。 また、 SMU は印加と測定の機 電圧立上り時間 能が統合されていますので、 制御された値の電流を出力しながら印加された DUT の電圧を測 GSM-20H10 当社汎用 DC 電源 A 定する等の連携動作が個々の機器を組み合わせて使用する場合よりも容易に可能となります。 HI SENSE HI IM VM VS IS 300μsec (at 200V レンジ ) 50msec SENSE LO LO 電圧 ・ 電流出力にはリミット値 ( コンプライアンス値 ) を 設定することができますので過電圧や過電流による デバイスの損傷を防ぐことができます。 ■　動作モード 電源機能と計測機能により、 個々の動作 ・ 組み合わせ動作が可能です。 電圧発生 / 電流測定 (VS/IM)、 電圧発生 / 電圧測定 (VS/VM)、 電流発生 / 電圧測定 (IS/VM)、 電流発生 / 電流測定 (IS/IM)、 抵抗測定 (IS/VM、 VS/IM) B ② ① 電流発生 最大 22W の４象限動作が可能です。①と③象限ではソース ( 電 レンジ 出力 流の供給 ) 動作として、②と④象限ではシンク ( 電流の吸い込み ) 1 μ A ~ 1.00000 μ A として動作とします。 微小電流の一定値で充電や放電を行いなが 10 μ A ~ 10.0000 μ A ら、 その端子間電圧を測定する様な動作も本器一台で可能とな 100 μ A ~ 100.000 μ A ります。 1mA ~ 1.00000mA 10mA ~ 10.0000mA 100mA ~ 100.000mA 【２つの出力範囲】 1A ~ 1.00000A ●±21V まで、 ±1.05A ●±210V まで、 ±105mA 電圧発生 レンジ 出力 【最小印加分解能】 200mV ~ 200.000mV ③ ④ 10pA, 1μV 2V ~ 2.00000V 20V ~ 20.0000V 200V ~ 200.000V

C 基本となる DC 出力に加え、 出力値を変化させるシーケンス機能を搭載し ています。 シーケンス機能は、 一定のステップで電圧 / 電流を変化させた パラメータ例（階段スイープの場合） い時などに使用できる大変便利な機能です。 シーケンス機能には４つのモー ドがあり、 最大 2500 のシーケンスポイントの設定が可能です。 Start 値（開始） Stop 値（停止） Step 値（階段幅） ※ステップの時間は、 「 ソースディレイ ＋ NPLC　」 の時間となります Stop Stop Start Stop Start Start Bias Bias Bias シーケンス動作で得られた測定値は、 PC での取得 や前面のポートに挿入した USB メモリへ出力 (Export) することも可能です。 D ソースメジャー機能 本器はソース動作やメジャー動作に加えて、 一連のソース ・ メジャー動作を行うことができます。 それぞれ個々の機器で行っていた場合に比べその連動性の 調整等を行う手間が省ける為テストシステム全体の簡素化や使いやすさの向上につながります。 また、遅延時間を動作内に含む 「ソース・ディレイ・メジャー」 サイクルは、 印可後の安定した状態での測定を可能にします。 ソース出力 メジャー開始 メジャー終了 ソース ・ ディレイ ・ メジャー トリガ ソース出力後、 DUT 初期の応答状態が不安定な場合があります。 ソース出力 後にメーターが測定を開始する場合、 ディレイ時間を設定して不安定な期間を 過ぎた後に測定を開始し、 安定した測定結果を得ることができます。 印加後に 負荷の応答を待って測定する場合などに有効に機能します。 トリガ ソース ・ ディレイ メジャー レイテンシ E 測定された値に対してリミット値 ( 上限値と下限値 ) を設定し、 リミットテストは、全部で 11 のタイプのテストが可能で複数のリミット値に対する判定を行うことができます。 Pass/Fail 判定可能なリミットテスト機能を備えています。 また、 シーケンス機能の SRC-MEM( ソースメモリ ) と組み合わせることで、 複数条件 ( ソースモード、リミッ ト値、 リミット判定により条件分岐 ) でのテストも可能になります。 結果を３つに分ける例 SRC-MEM 組み合わせ ①±1V 以内 ( リミットテスト２) 条件① ②±2V 以内 ( リミットテスト 3) 　↓ Fail ③それ以上 ( リミットテスト 4) 条件② 条件④ 　↓ 　↓ 条件③ 条件⑤ F サンプリング・スピード (NPLC) G リモートインタフェース DMM ライクなスピード設定 リモート通信用インタフェースは、 USB(TMC) ・LAN ・RS-232C を全モデルに搭 測定の際のサンプリング ・ スピードは 載しています。 また DIGITAL I/O からは、 リミットテストの結果を 0.01PLC~10PLC の選択が可能 です。 AC 電源周波数が 50Hz 信号出力することも可能です。 の 場 合、 1PLC は 20msec、 2PLC は 40msec となります。