プロセス微量酸素分析計　DF-550E

SERVOMEX プロセス微量酸素分析計 DF-550E超微量酸素分析計は、クーロメトリックセンサーを使用した分析計で、 電子グレードの超高純度ガスに超微量レベルで含まれる汚染物質の酸素を測定する ように設計され、品質管理等の用途に適しています。 特徴 用途  5年間の保証付き非消耗型センサー  品質管理  出荷時校正済み  リーク検知  小限のメンテナンス  応答速度および異常状態からの回復が速い  1台で複数のバックグラウンドガスに対応  検出下限200 ppt  オプションの校正システムを用意

主な特徴 所有コストが低い センサーは安定性が高く、必要な調整は年1回のスパン校正のみです。バッテリーの交換を計画的に行う必要もありませ ん。5年間のセンサー保証が標準で付いています。 高感度 検出下限（LDL）は200 pptを実現しています。感度は100 pptです。 豊富なオプション 複数の校正システムや、補助バッテリーなど豊富なオプションが用意されています。 電気安全性 IEC 61010-1: Ed 2に適合した電気安全性を実現しています。 製品は、IEC 60664-1に基づき「設置カテゴリII」に分類されています。 また、IEC 60664-1に基づき「汚染度2」に分類されています。 EC指令に適合 DF-550Eは、以下のEC指令に適合しています。 低電圧指令（2002/73/23EEC） EMC指令（2001/89/336/EEC） 必要電源等 電源 AC 110VまたはAC 220V、50／60 Hz ゼロガス 不要 スパンガス センサーの動作範囲に入る任意の混合比のN2／O2混合ガス 仕様 ガスの種類 O2 技術 非消耗型の電気化学式クーロメトリックセンサー 性能 動作範囲 0～20 ppbから0～10 ppmまで * 上記2レンジ間の任意の範囲 ** 損傷を防ぐためにセンサーが停止する 大15分間まで、 大100 ppmの稼動範囲に対応可能 小推奨出力レンジ 0～20 ppb 固有誤差（精度） 示度の±3%または±0.1 ppb 試料流量時の応答時間(T90) 15秒未満（0.7リットル／分の場合） ゼロドリフト／月 極微小 スパンドリフト／月 極微小 検出下限（LDL） 200 ppt 復帰時間 直前の安定示度の10 ppb以内に復帰するまで5分未満 出力／入力 出力 非絶縁DC 4～20 mA、DC 0～1、0～2、0～5または0～10 V（校正中フリーズするようにアナログ出力を設 定可能） 出力範囲 0～20 ppbから0～10 ppmまでの任意の範囲 アラーム 電解液の状態および温度 二重目盛り範囲 出力が第1レンジを超えた場合に出力のレンジを切り替えるための2つの選択可能な第2アナログ出力レンジ を用意 ガススケールファクター N2またはAr以外の気体に対するバックグラウンドガス補償 Page 2

仕様（続き） オプション Stab-Elセンサーシステム 極微量の酸性ガスまたはイオン汚染でも動作が可能です。極微量の酸性成分を含む試料の場合は、 オプションのStab-Elをご使用ください。 濃度アラーム 個別に割り当て可能な 大4つのノンラッチ型アラーム、または校正中を示すインジケーター。SPDT接点の 定格値は5アンペア（DC 30 V時）です。 低流量アラーム 可聴／可視流量アラーム（×1） リレー接点 個別に割り当て可能な 大4つの接点、定格値0.3アンペア（DC 30 V時） アナログ出力 絶縁DC 4～20 mA、DC 0～1、0～2、0～5または0～10 V シリアル通信 RS232またはRS 485双方向シリアル通信 シリアルポートアダプタ 分析計のRS232ポートから9ピンD-subコネクタまで（10フィート） 取り付け パネルマウントまたは19インチラックマウント 高純度圧力調整器 吸気口能力3000 psig、出口圧力調節可能（0～15 psig）、排気口圧力5 psig以上必要（1／4インチVCR 対応継ぎ手）、取り付け済みまたは取り付けられていない状態で納入 高純度流量調整弁 上流隔離遮断および流量調整用の超高純度ベローズ弁（1／4インチVCR対応継ぎ手） 下流隔離弁 排気圧の変動からアナライザーを隔離 ステンレス製排気口 H2等の可燃性試料用として推奨 自動校正システム メニュー方式の自動ゼロ／スパン弁切り替え、空気ダイヤフラム弁およびゼロ浄化装置を、小型のオンボー ドパッケージに納めて提供。サイズはオプションのパネルの位置から奥行きわずか12.5インチ（70～100 psig の空気供給が必要） ユーザー校正 外部のスパン／ゼロソレノイドおよび弁を制御するためのDC 6 Vのスイッチ電源付きソフトウェア コンポーネントの自動制御 手動校正システム 手動の直角回しスプリングレスダイアフラムを、携帯性を重視し、分析計のリヤパネルとコンパクトに 一体化された、環状の突合せ溶接アセンブリに納めて提供 大容量浄化装置 ソースガスの純度が10 ppbを超える用途や、携帯使用の場合など試料源が頻繁に切り替わる用途に推奨 されるオプションです。標準的な浄化装置の30倍の能力を発揮します。 N2パージ H2等の可燃性サンプルには、パージインターロックエンクロージャーを推奨します。 補助バッテリー入力電源 AC電源に依存しない携帯使用が可能になります。 試料ガス 温度 0°C～50°C（32°F～122°F） 露点 周囲温度 低 5°C（9°F）以下 条件 オイルフリー、非腐食性、非結露、不燃性 微粒子 2 µmまで濾過 排気 大気に排気 試料流量 0.24～0.7リットル／分 試料圧力 15～25 psig（2.03～2.72 BarA） 周囲条件 温度 +0°C～+45°C（安定） 相対湿度 0～95% RH、結露なし 海抜高度 海抜2000メートル 注意： 極微量レベルを超える酸性成分を含む試料については、オプションの試料前処理をServomexにお問い合わせく ださい。 Page 3

内容 オプション 電源リード線： 3種類の電源リード線が用意されています。  米国 DC 22-28 V、1アンペア（ 大） AC 100/120 V AC 220-240V 出力： アナライザーには、非絶縁4～20 mAおよびDC 0～1、0～2、0～5、 アナログおよび または0～10 Vの出力が標準で付いています。 電圧出力 取り付け： DF-550Eはデスクトップが標準ですが、パネルマウントやラック  デスクトップ マウントも可能です。 ユーザーマニュアル：  英語 サービスおよびサポート 接ガス部 新規の設置のほか、Servomexの従来品や他社製品 分析計には以下の材質が使用されて の交換に際しては、お客様と共に特注のサービス います。 およびサポートパッケージを開発することで、お ステンレス鋼 客様のスケジュールおよびご予算の範囲で十分な G10エポキシ 測定と工場設備の運転を確実に実現いたします。 ポリプロピレン タイゴン 寸法 試料排気口 1/8°圧縮 アース取出し口 試料吸気口 寸法はすべてインチ（mm）表示 1/4°VCR® 互換オス型 Servomexはつねに製品の改善を目指しており、予告無しに仕様を変更する権利を有します。 © Servomex Group Limited. 2011. A Spectris company. All rights reserved. Page 4