マルチガス分析計　MultiExact 4100

SERVOPRO MultiExact 4100 マルチガス分析計 高精度なガス純度測定を可能とし、新機能、操作性を刷新、産業ガスに特化した次世代の多成分ガス分析計 主なアプリケーション  空気分離プラントにおける 製品の純度管理および プロセスコントロール  ガス充填アプリケーション  空気分離プロセスへの供給 ガス中の微量CO2モニター  医療ガス（O2, 合成空気）のバリ デーション MultiExact 4100 SERVOPRO MultiExact 4100は、O2（高精度、汎用型標準精度、 特長 微量センサー）、CO2、CO（％または微量ppm）、N2O、 CH4（微 量）などの様々なサンプルガスを同時に分析可能なマルチガス • 最大4流路のガスを同時分析 分析計です。 • AquaXact露点トランスミッターも利用可能 工業用および医療用ガスメーカーのニーズに対応するために特別 • RS232 / RS485 Modbus、Profitbus に設計されたMultiExact 4100は、磁気ダンベル式、ジルコニア式、 （Ethernet Modbus TCP / IP）が利用可能 GFXセンサー（ガスフィルター相関法赤外センサー）、シングルビー ム式IRセンサー、酸化アルミニウム式露点トランスミッターが利用 • アイコン表示によるカラータッチスクリーン 可能です。 • データログまたはソフトウェアアップグレー 非消耗型のセンサーは、高信頼性で且つ長期間に亘り効率的にプ ド用のUSBポート ロセス運転を実現させることができます。 • オプションの自動キャリブレーションにより 保守コストの削減 Learn more about the SERVOPRO MultiExact 4100 Visit www.servomex.com /

PRODUCTDATA : MultiExact 4100 MultiExact 4100で利用可能なセンサー センサー名 対象ガス センサー分類 132.5mm AquaXact露点トランス 微量水分 トランスミッター型 ミッター （シャーシ外に取付け） 481.6mm 磁気ダンベル式 純酸素 ショートセンサー O2センサー パーセントレベル酸素 標準シャーシ （ショートセンサー×4個またはロングセンサー×2個） 1520 / 1522型 パーセントレベル ショートセンサー IRセンサー CO2, CO ジルコニア式 微量酸素 ショートセンサー 1210D型 微量レベル（PPM) ロングセンサー GFXセンサー CO2, CO, N2O, CH4 265.5mm 備考 ロングセンサーが3つ以上の場合は、拡張シャーシとな ります。（右図参照） AquaXact露点トランスミッターは測定ポイントにセン サーを取り付け、MultiExact 4100本体とケーブルで接 続します。 481.6mm 拡張シャーシ （ロングセンサー×3～4個） サンプリング方式 － サンプルガスを安定してセンサーに供給します。 サンプリング方式 対応センサー 特長 フロー フロードリブン 1210D型GFX 一定の流量で調整されたサン 1520/1522型IR プルガスを分析計にガスを導 磁気ダンベル式O2 入する標準タイプ ジルコニア式O2 入口 センサー 出口 シンプルな構造でサンプルガス の消費を抑えられる。 サンプル 外部フィルター 流量計 （オプション） （オプション） プレッシャードリブン 1210D型GFX 圧力を一定にし分析計に導入 1520/1522型IR する。 バイパス 流量計 磁気ダンベル式O2 （0.014MPa - 0.056MPa） （オプション） ジルコニア式O2 内部のバイパス構造によりサン プル圧力の変動に対応できる。 入口 センサー 出口 サンプル 外部フィルター 流量計 （オプション） （オプション） センサープローブ AquaXact露点トラ 測定ポイントに直接に取り付け ンスミッター が可能 5 / 8”-18 ユニファイねじ サンプルブロック（オプション） サンプルブロック （1/4”Swagelok、VCR他）

PRODUCTDATA : MultiExact 4100 MultiExact 4100 マルチガス分析計 仕様選定シート （各機能の詳細な仕様につきましては次項からの仕様書を参照ください。） センサーモジュール 1台の分析計に最大4モジュールまで搭載可能 モジュール番号 1 2 3 4 0 - 5 / 100 ppm CO2 □ □ □ □ 0 - 50 / 500 ppm CO2 □ □ □ □ 1210D型 0 - 10 / 50 ppm CO □ □ □ □ GFXセンサー 0 - 50 / 500 ppm CO □ □ □ □ 0 - 50 / 500 ppm CH4 □ □ □ □ 0 - 50 / 500 ppm N2O □ □ □ □ 0 - 1% CO □ □ □ □ 0 - 2.5% CO □ □ □ □ 0 - 10 % CO □ □ □ □ 0 - 2500 ppm CO2 □ □ □ □ 0 - 5000 ppm CO2 □ □ □ □ センサー いずれか選択 1520 / 1522型 0 - 1% CO2 □ □ □ □ IRセンサー 0 - 2.5% CO2 □ □ □ □ 0 - 5% CO2 □ □ □ □ 0 - 10 % CO2 □ □ □ □ 0 - 25% CO2 □ □ □ □ 0 - 50 % CO2 □ □ □ □ 0 - 100 % CO2 □ □ □ □ 0 - 100 % O2 標準精度 □ □ □ □ 磁気ダンベル式 0 - 100 % O2 高精度(小数点以下2桁表示) □ □ □ □ O2センサー 0 - 100 % O2 高精度(小数点以下3桁表示) □ □ □ □ ジルコニア式 0 - 210,000 ppm O2 微量O2 □ □ □ □ 不要 □ □ □ □ 500 ml / min (サンプル流量) □ □ □ □ フローメータ― いずれか選択 2500 ml / min (サンプル流量) 1210Dセンサー用 □ □ □ □ 5000 ml / min (バイパス流量) □ □ □ □ 背圧弁 （BPV） 磁気ダンベルセンサー（高精度）用 □ □ □ □ フィルター フィルター付き □ □ □ □ 2点アラーム □ □ □ □ センサーモジュー 設定可能なアラーム 4点アラーム □ □ □ □ ル1個につきア 8点アラーム □ □ □ □ ラーム2点が必須 電圧出力 0 - 10 VDC OP □ □ □ □ デジタル入力 2 デジタル IP □ □ □ □ 不要 □ □ □ □ アナログ入力 いずれか選択 アイソレート 4-20mA □ □ □ □ AquaXact露点トランスミッター サンプルブロック NPT 1 / 4" 5m □ □ Swagelok 10m □ いずれか ケーブル サンプルブロック VCO 継手 □ いずれか 100m □ 選択 オプション サンプルブロック VCR 継手 □ 選択 ケーブル無し（コネクタのみ） □ サンプルシステム □ AquaXact用3 / 4“アダプター □ （別途お打合せ） 1688型トランスディーサーチップ （交換用スぺア） □ 一般的仕様 流量アラーム Flow Alarm (1210Dセンサーのみ) □ 自動校正 （AquaXactには適用不可） □ RS232 Communication □ 4点リレー（標準） □ RS485 Communication □ 8点リレー、コネクター付き □ いずれか いずれか シリアル通信 RS232 & RS485 Comm Combo □ リレー接点 16点リレー、コネクター付き □ 選択 選択 Modbus RDU □ 24点リレー、コネクター付き □ Profibus □ 32点リレー、コネクター付き □ ベンチトップ □ 「MultiExact 4100で利用可能な いずれか 拡張シャーシ □ 取り付け ラックマウント 耳付き □ センサー」 を参照ください。 選択 ラックマウント スライド式 □ TECHNOLOGIES

PRODUCTDATA : MultiExact 4100 MultiExact 4100共通仕様 接液部材質 使用環境 トランスデューサー 1210型 1520型 環境条件 屋内でのみ使用可 材質 磁気ダンベル式 ジルコニア式 GFX IR センサー センサー 操作時温度範囲 5 ～ 40 ℃ 標準 高精度 保管時温度範囲 0 ～ 50 ℃ 精度 101.3 kPa ± 10 % ステンレス303 ✔ ✔ ✔ ✔ ✔ 操作時圧力範囲 (1.013 bar ± 10 %) ステンレス316 ✔ ✔ ✔ ✔ ✔ 操作時湿度範囲 10 ～ 90 % RH 結露の無いこと バイトン ✔ ✔ ✔ ✔ ✔ -500 m （海面以下） 運転場所の標高 ～ 2000 m （海抜） ポリプロピレン ✔ 保護等級 IP20 ホウケイ酸ガラス ✔ ✔ 機械的仕様 プラチナ ✔ ✔ 寸法 (L x H x W) 白金イリジウム合金 ✔ ✔ ベンチトップ 432 x 141.2 x 544.2 mm 無電解ニッケル ✔ ✔ 拡張シャーシ付き 432 x 274.2 x 544.2 mm ステンレス310 ✔ ベンチトップ アルミニウム ✔ ラックマウント 482 x 132.5 x 544.2 mm 拡張シャーシ付き イットリア安定化ジルコニア ✔ 482 x 265.5 x 544.2 mm ラックマウント ニッケル鉄 ✔ メインユニット約14kg 重量 シーリングガラス ✔ 拡張シャーシ約13.7 kg 金 ✔ ✔ 供給電源 フッ化カルシウム ✔ 100 ～ 240 VAC, 50 ～ 60 Hz ニッケル ✔ 電圧 (最大許容値± 10 %) サファイア ✔ ヒューズ 6.3 AH / 250V. サイズ 20 x 5 mm エポキシ樹脂 ✔ 最大消費電力 500 VA 30 V (DC または AC) / 1A リレー リレー出力は無電圧接点 mA 出力 オプション部品材質 最大負荷抵抗 1 kΩ フロードリブン ポリプロピレン 絶縁電圧 500 V (DC または AC) （対アース） ポリスホン 出力範囲 プレッシャードリブン ポリプロピレン 通常測定 4 ～ 20 mA ホウケイ酸ガラス フォルト時 0 mA, 2 mA. ユーザー設定可能 流量計 ジュラルミン 電圧出力（オプション） ガラス 最小負荷抵抗 100 kΩ ナイロン フローアラーム 絶縁電圧 シリコンゴム 250 V （DC または AC） （対アース） アルミニウム 出力範囲 ポリカーボネート 通常測定 0 ～ 10 V 内部フィルター ガラスファイバ フォルト時の設定は購入時に フォルト時 指定可能です。 外部フィルター ステンレス316 アンダー範囲 適応せず 13417eaHK

PRODUCTDATA : MultiExact 4100 AquaXact露点トランスミッター仕様 測定原理 大容量薄膜式Al2O3 測定範囲 -100 ℃ to +20 ℃ 精度 ± 3 ℃ 繰返し性（2σ） ± 0.5 ℃ 応答速度 約15分 （48時間の安定後に-39.4℃dpから62.2℃dpまで上昇した場合） 温度範囲 -20 ℃ ～ +70 ℃ サンプル圧力範囲 0 ～ 3.4MPa サンプル流量範囲 2 ～ 15 L / min 保管温度 -40 ℃ ～ +80 ℃ センサー保護 100μステンレス焼結による 校正法 NIST / NPL トレーサブルな多点校正 認証 CEとの電磁適合性、認定された検査室での試験および認定 交換周期 Servomex社はトランスデューサーチップを毎年交換することを推奨します。 寸法 Φ31.5mm x L136 mm （トランスデューサーとコネクタ部） 重量 0.175 Kg 本体材質 ステンレス 動作温度 -30 ℃ ～ +70℃ プロセス接続 5 / 8”-18 ユニファイねじ （他のアダプターも可能） 電気接続 工業規格9.4mm 7ピンコネクタIP65 デジタル7線ケーブルまたは2線4-20mAケーブルはCE要件を満たすためにシールドする必要があります。 ケーブル 周囲温度が60℃を超える場合は、配線温度定格が予想最大周囲温度より高いことを確認して下さい。 最大ケーブル長 200 m（メーカー標準品は100mまで） 消費電力 13 VDC (最小) ～ 33 VDC (最大) 分解能 0.1 ℃dp 単位 ℃dp、 ppmV コントロール RS485による AquaXact コントローラー アナログ出力（4-20 mA） 選択した単位に対してリニアに出力 範囲は数値で設定可能 出力 分解能は0.1℃dpまたは0.25μAの大きい方 デジタル出力（RS485） 露点と温度を出力 アイソレート 電流ループはAquaXactハウジングから電気的に絶縁されています。

PRODUCTDATA : MultiExact 4100 磁気ダンベル式O2センサー 測定原理 リファレンスガス封入型、磁気式 分類 標準精度 高精度 測定範囲 0 – 100 % 0 – 100 % 最小推奨出力範囲 0 – 5% 0 – 0.5% 精度（固有誤差） 0.10% 0.01% リニア誤差 （本質的にリニアですが校正ガスにより異なりま 0.05% 0.05% す） 繰返し性（2σ） 0.1% 0.01% 応答速度 (T90) 15秒 （200 ml / min） 12 秒 （200 ml / min） ゼロドリフト / 週 0.05% O2 0.01% O2 スパンドリフト / 週 0.1% O2 0.02% O2 出力のばらつき (ピーク間の差) 0.05% O2 0.01% O2 (99 – 100 %の範囲で) 他ガスの干渉 産業ガス分析においては影響なし ベント圧力の1％の変化に対して読み値の 周囲圧力係数 ベント圧力に直接比例 0.003％以下 周囲温度系数 (10 ℃毎) 選択された範囲の1% または0.1% O2 選択された範囲の0.2%または0.02% O2 入口圧力変化による影響 選択された範囲の2% または読み値の0.1%以下 ど 0.1% O （0.014MPaから0.056MPa上昇における） ちらか大きい方. 2 サンプル流量影響 選択された範囲の2% または読み値の0.1%以下 ど 0.1% O 50～200 ml / min ちらか大きい方 2 1520 / 1522型IRセンサー仕様 1522型 測定原理 1520型IRセンサー IRセンサー 測定ガス CO CO2 測定範囲 推奨される最小範囲 スケールの80 % 精度（本質的誤差） 測定範囲の1% 直線性 測定範囲の1% 繰返し性（2σ） 測定範囲の1% 応答速度 (T90) 20 秒 （200 ml / min） ゼロドリフト / 週 測定範囲の2% スパンドリフト / 日 測定範囲の1% 出力のばらつき 測定範囲の0.5%または指示値の1.0 %未満のどちらか大きい方 (ピーク間の差) 大気圧の影響 1mbar毎に指示値の0.2% 周囲温度による影響 測定範囲の1%または指示値の±2.0 %未満 （10℃変化における） 入口圧力変化による影響 測定範囲の1.5%または指示値の3.0 %未満のどちらか大きい方 （0.014MPaから0.056MPa上昇における） サンプル流量による影響 測定範囲の1.5%または指示値の3.0 %未満のどちらか大きい方 （50 ～ 200 ml / min） 推奨周期 ： 毎週 低キャリブレーション キャリブレーションガス ： 高純度窒素のご使用を推奨します。 推奨周期 ： 毎日 高キャリブレーション キャリブレーションガス ： 高キャリブレーションガスは、トランスデューサのフルスケールの80〜110 %の 範囲のガスを推奨します。 0 - 1% 0 - 2.5% 0 - 10 % 0 - 2500 ppm 0 - 5000 ppm 0 - 1% 0 - 2.5% 0 - 5% 0 - 10 % 0 - 25% 0 - 50 % 0 - 100 %

PRODUCTDATA : MultiExact 4100 1210D型 GFXセンサー仕様 測定原理 1210型 GFX（ガスフィルター相関法赤外式）センサー 測定ガス 微量CO2 微量CO2 微量CO 微量CO 微量CH4 微量N2O * 測定範囲 0 – 10 ppm 0 - 500 ppm 0 – 50 ppm 0 – 500 ppm 0 – 50 ppm 0 – 50 ppm （さらに高範囲も対応可） 推奨最小範囲 0 – 5 ppm 0 - 50 ppm 0 – 10 ppm 0 – 50 ppm 0 – 10 ppm 0 – 10 ppm 精度 指示値の1%また 指示値の1%また 指示値の1%また 指示値の1%また 指示値の1%また 指示値の1%また （本質的誤差） は0.1 ppm** は0.5 ppm** は0.5 ppm** は0.5 ppm** は0.5 ppm** は0.5 ppm** 指示値の1%また 指示値の1%また 指示値の1%また 指示値の1%また 指示値の1%また 指示値の1%また 直線性 は0.1 ppm** は0.5 ppm** は0.5 ppm** は0.5 ppm** は0.5 ppm** は0.5 ppm** 指示値の1%また 指示値の1%また 指示値の1%また 指示値の1%また 指示値の1%また 指示値の1%また 繰返し性（2σ） は0.1 ppm** は0.5 ppm** は0.5 ppm** は0.5 ppm** は0.5 ppm** は0.5 ppm** 応答速度 (T90) 20 秒 （2000 ml / min） ゼロドリフト / 週 0.2 ppm 1 ppm 1 ppm 1 ppm 1 ppm 1 ppm 指示値の2%また 指示値の2%また 指示値の2%また 指示値の2%また 指示値の2%また 指示値の2%また スパンドリフト / 週 は0.2 ppm** は1 ppm** は1 ppm** は1 ppm** は1 ppm** は1 ppm** 出力のばらつき 指示値の1%また 指示値の1%また 指示値の1%また 指示値の1%また 指示値の1%また 指示値の1%また (ピーク間の差) は0.1 ppm** は0.5 ppm** は0.5 ppm** は0.5 ppm** は0.5 ppm** は0.5 ppm** 大気圧の影響 （分析計ベント圧力の1%変 0.40 % 0.40 % 0.25% 0.25% 1% 0.50 % 化における） 指示値の3%また 周囲温度による影響 指示値の3%また 指示値の3%また 指示値の3%また 指示値の3%また 指示値の3%また は0.25 ppm CO （10℃変化における） 2 は1 ppm CO2 ** は1 ppm CO ** は1 ppm CO ** は1.5 ppm CH4 ** は1 ppm N2O ** ** 入口圧力変化による影響 1.5% of reading, （0.014MPaから0.056MPa上 0.25 ppm CO2 1 ppm CO2 0.5 ppm CO 0.5 ppm CO or 0.5 ppm CH4 1 ppm N2O 昇における） ** 指示値の1%また 指示値の1%また 指示値の1%また 1.5% of reading, 指示値の1%また サンプル流量による影響 指示値の1%また は0.25 ppm CO2 は0.25 ppm CO は0.25 ppm CO or 0.5 ppm CH は0.5 ppm N O （50 ～ 200 ml / min） は1 ppm CO2 ** 4 2 ** ** ** ** ** 推奨周期 ： 毎週 低キャリブレーション キャリブレーションガス ： 測定するガスの濃度より±5ppmのガスにて低キャリブレーションを行います。 高純度窒素のご使用を推奨します。 推奨周期 ： 毎月 高キャリブレーション キャリブレーションガス ： 高キャリブレーションガスは、トランスデューサのフルスケール6〜110 %のガスを使用できます。 範囲の上限で高キャリブレーションガスを選択してください。 500 ppm CO2 ～ 1% O2 ～ 0.5 ppm 0.5 ppm 2% H O ～ 0.5 2% H O ～ 0.5 0.2ppm CO ～ 0.5 10 ppm CO ～ 他ガスの干渉 干渉無し 干渉無し 2 2 ppm ppm ppm 0.5 ppm 0.5% H2O < 1 ppm 2% H2O ～ 0.5 ppm 備考 *O2バックグラウンドのガスについても測定可能 ** どちらか大きい方

PRODUCTDATA : MultiExact 4100 ジルコニアセンサー仕様 測定原理 704型ジルコニア式 測定ガス 微量O2 測定範囲 0 - 210,000 ppm *** 推奨される最小範囲 0 - 5 ppm 精度 （本質的誤差） 0.1 ppm O2 ** 直線性 0.1 ppm O2 + 繰返し性（2σ） 0.1 ppm O2 + 応答速度 (T90) 15 秒 （400 ml / min） ゼロドリフト / 週 指示値の0.1% または 250 ppb * スパンドリフト / 日 指示値の0.1% または 250 ppb * 出力のばらつき (ピーク間の差) 指示値の0.5% または 10 ppb + 5 ppm H2 5 ppm CO 他ガスの干渉 5 ppm CH4 上記のガスにより 1 ppm O2 の指示誤差が発生 大気圧の影響 影響無し 周囲温度による影響 指示値の1% または 10 ppb * （10℃変化における） 入口圧力変化による影響 指示値の0.15% または 0.1% ppm * （0.014MPaから0.056MPa上昇における） サンプル流量による影響 0.15 ppm または 指示値の2% * （50 ～ 200 ml / min） 推奨周期 ： 毎月 低キャリブレーション キャリブレーションガス ： 低キャリブレーションガスは、微量酸素を含む純粋なバックグラウンドガス （純度99.9999%の高純度窒素） 100～1000 ppmまたはそれ以下の酸素を含むガス 推奨周期 ： 毎月 高キャリブレーション キャリブレーションガス ： 高キャリブレーションガスは、209500 ppmの酸素（20.95％）を含む クリーンな乾燥空気 * どちらか大きい方 ** キャリブレーションガスによる 備考 *** 21 % O2 の数値も表示 + 0 - 100 ppm の範囲で 本カタログは2018年7月現在の内容であり、予告なく変更されることがあります。 本分析計は93 / 42 EEC医療機器指令に記述される様な人命に係る使用や医療用途にはご使用できません。 Website: https://www.ybk.co.jp/ E-mail : yashima_info@ybk.co.jp 東日本支社 〒107-8484 東京都港区赤坂3-9-1 岡山支店 〒712-8044 岡山県倉敷市東塚6-7-31 TEL.03-3588-6371 FAX.03-3588-6312 TEL.086-455-7010 FAX.086-455-7094 長野オフィス 〒390-0851 長野県松本市大字島内4603-5 坂出出張所 〒762-0032 香川県坂出市駒止町1-1-11 島内駅前テナントビル2階 JA香川県坂出市支店ビル3階 TEL.0263-40-5270 FAX.0263-40-5271 TEL.0877-46-8816 FAX.0877-46-5573 名古屋支店 〒464-0075 愛知県名古屋市千種区内山3-29-10 九州支店 〒806-0021 福岡県北九州市八幡西区黒崎3-9-18 朝日生命千種AMビル5階 ECS第25ビル7階 TEL.052-732-1611 FAX.052-732-1620 TEL.093-644-2660 FAX.093-644-2661 四日市営業所 〒510-0864 三重県四日市市中里町21-3 周南オフィス 〒745-0034 山口県周南市御幸通1-5 徳山御幸通ビル6階 TEL.059-347-1371 FAX.059-345-2250 TEL.0834-33-2611 FAX.0834-33-2612 大阪支店 〒534-0025 大阪府大阪市都島区片町2-2-48 JEI京橋ビル8階 TEL.06-7166-0512 FAX.06-7166-0513 PBTDS ME4100 Rev.4 Date:02/22 1348a6f_HU_000