高性能ドームロード背圧レギュレーター　EQUILIBAR

総合カタログ 高性能ドームロード背圧レギュレーター

高い品質 The Equilibar背圧レギュレーターは低流量、気液混合流体、腐食性 流体、超高温アプリケーションにおいて、高い競争力を発揮します。 優秀なエンジニア Equilibar お客様の仕様に最適な製品を高い技術を持つエンジニアが提案しま す。 全ての背圧レギュレーターは一つ一つ手動で技術者が組立て、高い 品質を満たすよう検査を行います。 Difference 短納期 納期が長くかかるこの業界において、ほとんどの製品を短納期で 対応します。 一般的な背圧弁は、上流圧力をスプリングで制御します。スプリングを利用した設計は可動部が多く、ヒステリシス等に悪 影響を及ぼす原因となります。 しかし、Equilibarの可動部は薄い柔軟なダイアフラムのみです。これにより、クラッキング圧力やヒステリシスが極めて低く、 無摩擦な制御を可能にします。Equilibar背圧レギュレーターの精度はパイロット圧力の精度で制限されます。 1

電空 手動 レギュレーター – OR – レギュレーター 性能表 動作の仕組み Equilibar背圧レギュレーターの パイロットポートに、設定したいプ E/P 入 ロセスの圧力と同じ圧力をかけま 口 パイロット(リファレンス) す。 圧 ダイアフラム 力 この制御圧力で柔軟なダイアフラ ムをオリフィスプレート上に押し下 げます。 入口 出口 流量 入口圧が上昇すると、ダイアフラ ムを持ち上げて、余剰圧を出口 オリフィスから逃がします。 同様に、上流の圧力が下がると、 ダイアフラムをオリフィスに押し下げ、 流れを制限し、上流側の圧力を 安定させます。 電子背圧制御の場合、電空レギュレーターで ヒステリシスやドループ等の多くの問題は、スプリング式減圧レギュレー Equilibarを操作します。 ターを備えた、パイロット操作のEquilibarによって解決されます。 背圧レギュレーターと タイプ 減圧レギュレーター 背圧レギュレーター 減圧レギュレーター 減圧レギュレーターは、入口の高い供給圧 力を出口での低い圧力（下流）まで低 図式 下させるよう調節します。 一方、Equilibarレギュレーターのような 背圧レギュレーターは逆の働きをします。 それらは、入口（上流）で希望の圧力を 調整圧力 下流 上流 保持する為に、必要なだけ開くことによって 開ける 下流圧の上昇 上流圧の減少 入口（上流）圧力を調節します。 閉める 下流圧の減少 上流圧の上昇 2

特徴 非常に広いCVレンジ 頑丈な構造＆ 制御流量最大1,000,000：1を超えるターンダウン比。 容易なメンテナンス 複数のコントロールバルブを、Equilibar背圧レギュレーター Equilibar背圧レギュレーターは棒材金属から直接機械加工さ 1つで対応も可能。 れています。 各Equilibar背圧レギュレーターは、ボディ、ボルト、Oリング、 ダイアフラムで構成されています。 高圧対応 Equilibar背圧レギュレーターは、数分で完全に清掃して組み Equilibar Research シリーズ背圧レギュレーターは 立てることができます。 最大70MPaまで調整可能。 リビルドキットは常に在庫があり、短納期にて対応いたします。 化学的適合性 Equilibar背圧レギュレーターは、仕様に合わせてハステロ イ、チタン、ジルコニウム、PTFE、PVDFなどの多くの金属合 金やポリマー材質で作られます。 無摩擦操作 数十種類のダイヤフラムとOリングオプションがあります。 摩擦を加えて、精度を落とすバネとバルブシートが、 Equilibar背圧レギュレーターにはありません。 高温対応 低圧制御 Equilibar Researchシリーズの背圧レギュレーターは、 Equilibarのダイレクトダイアフラムシーリング技術により、 高温流体での使用やオーブンに設置出来るように、最 高450℃まで使用できます。 約0.1kPaまで制御可能. 混相フロー適合性＆特許取得 自動制御 すべてのEquilibar背圧レギュレーターは、手動および電動で マルチオリフィス設計 制御することができます。 従来の背圧レギュレーターは、単一のオリフィスとバルブ 同じレギュレーターを使用して、マニュアル制御でシステム設計 シートで構成されていますが、Equilibar背圧レギュレー した後、自動化も可能です。 ターは複数のオリフィスを並列に備えています。 この特許取得のマルチオリフィスのデザインは、一般的な レギュレーターで見られる、圧力スパイクなしで、同時に 液体と気体の流れを制御します。 エンジニア顧客サポート このマルチオリフィス設計はスラリー及び粘性流体の圧力 ご質問やご不明な点がある場合は販売代理店までお問い合わ も制御することができます。 せください。 Equilibarエンジニアから早急に回答を得られます。 早い応答速度 Equilibar背圧レギュレーターは、ライン圧力または設定 圧力の変化に即座に応答します。 Equilibarリサーチ・シリーズ・レギュレーターは、高温耐性、2相フロ ー能力、およびコンピュータ自動化の容易さのために、触媒研究シス テムで広く使用されています。 （写真提供：Integrated Lab Solutions、GmbH） 3

性能の利点 Equilibar背圧レギュレーターは、精密圧力制御の劇的なブレイクスルーです。 要求の厳しいプロセス用に設計されたEquilibarは、広範囲の圧力と流量にわたって比類のない精度を提供します。 高感度高性能 一般的な背圧レギュレーターは、圧縮されたバネを使用しており、 性能比較 Equilibar vs. Spring BP regulator 過剰圧力がかかるにつれて徐々に開くような構造です。 Air Flow, LPM Equilibar背圧レギュレーターは、摩擦のない柔軟なダイアフラ 0 200 400 600 800 ムのみを使用して圧力を調整します。 80 これにより、ほとんどのアプリケーションで1％未満の過剰圧力で 70 500 完全に開きます。 60 複数のオリフィスにより、大部分のアプリケーションでは1000：1 400 以上の非常に広い流量比を制御し、二相流体も処理できます。 50 300 Equilibar背圧技術は、米国および他の国の特許によって保 40 護されています。 30 200 20 100 10 劇的な安定性向上 0 0 Equilibarは、圧力制御における新しい業界標準を確立します。 0 5 10 15 20 25 30 Air Flow, SCFM このチャートは、他社製スプリングレギュレーターよりもEquilibarの Equilibar® GS2 3/8” 優れた流動安定性を示しています。 Spring BP regulator (1/4”, 3/8”, 1/2”) 注：従来のバネで作動する背圧調整のため、流量に対する圧 Equilibar® GS2 1/4” 力変動は、Equilibarレギュレーターよりもかなり大きいことを示し ます。 (「性能比較」参照) ウルトラワイドフローレンジ性能表 流量変動に対する精度 3/8” GSD3 Back Pressure Regulator 大部分の背圧レギュレーターの入口圧力は、プロセスの流量 の変化に伴って大きく変化します。 Air Flow, LPM 右のグラフは、Equilibar GS / GSDレギュレーターがどのよう .3 3 30 300 100 に広範囲に変動する流量であっても一定のプロセス圧力を保 持することを示しています。 GS / GSDレギュレーターは 10000：1の流量ターンダウン比を達成することができます。 これは、フロー消費量が大幅に変化するアプリケーションで非 100 10 常に役立ちます。 突然のスパイクや流れが低下しても圧力 は安定して維持されます。 1 10 0.1 1 0.01 0.1 1 10 100 Air Flow, SCFM Various Set Points: psig .25 5 .5 10 1 30 2 4 Inlet Pressure, psi Inlet Pressure, psi Inlet Pressure, kpa Inlet Pressure, kpag g

背圧レギュレーター一覧 GSシリーズ【一般産業用】 P6-8 • 最大使用圧力：2,500psi（17.2MPa) • CVレンジ：0.001～8.5 • 本体材質：SS316,PVC,Hastelloy,アルミニウム等 • ダイアフラム：PTFE, Viton, Buna, PE, SS316, Polyimide • 接続：1/4”~1”NPT, BSP, VCR, フランジ等 • 最高使用温度：327℃ リサーチシリーズ【研究用】 P9-13 • 最大使用圧力：10,000psi (70MPa) • CVレンジ：0.000000001～0.6 • 本体材質：SS316L, Hastelloy C276, Titanium, Zirconium, Monel • ダイアフラム：SS316L, Hastelloy ,PTFE/Glass, Polyimide, PEEK等 • 接続：1/16” ~1/4” NPT, HPLC 等 • 最高使用温度：450℃ BDシリーズ【大流量用】 P14-15 • 最大使用圧力：1,000psi (7MPa) • CVレンジ：0.1~160 • 本体材質：SS316L, Hastelloy C276, Titanium, Zirconium • ダイアフラム：SS316L, Hastelloy ,PTFE/Glass, Polyimide, PEEK 等 • 接続：1.5” ~ 4” NPT, BSPP,フランジ 等 • 最高使用温度：60℃(高温対応は応相談) FDシリーズ【サニタリー用】 P16-18 • 最大使用圧力：150psi (1MPa) • CVレンジ：0.0000001~19 • 本体材質：SS316L, Hastelloy , Titanium, Zirconium • ダイアフラム:PTFE(USP ClassⅥ), EPDM(USP ClassⅥ), Viton(Reinforced),Buna-N(Nitrile)等 • 接続：1/4”~2” トリクランプ,スタブ管 等 • 最高使用温度：135℃ EVRシリーズ【真空産業用】 P19-22 • 最小使用圧力：-100kPa • CVレンジ：0.001~160 • 本体材質：SS316,PVC,アルミニウム等 • ダイアフラム：PTFE,Viton,EPDM等 • 接続：1/4”~4”NPT, BSP, フランジ等 • 最高使用温度：327℃ 5

GS シリーズ仕様(メタルボディ) 一般産業向け背圧レギュレーター 図1参照 最高使用圧力 CV ポートタイプ DIM A DIM B パイロット モデル 入口/出口サイズ ポートサイズ PSIG(MPag) MIN MAX 標準 オプション ｍｍ ステンレス316 / 316L,ハステロイC276,チタン,ジルコニウム材質モデル GSD2/GS2 750(5.2) 76 34 GSDM2 1000(7) 83 34 1.20 1/4" GSDH2 2500(17.5) 84 41 B, C, O, GSD3/GS3 500(3.5) R, S, T 89 36 1E-03 GSDM3 1200(8.3) 95 39 1.80 3/8" GSDH3 2500(17.5) 98 45 GSD4/GS4 500(3.5) 114 44 3.20 1/2" 1/8" N GSDH4 1500(1) (NPT) 127 50 GSD6/GS6 400(2.8) 152 51 GSDM6 800(5.6) 5.50 3/4" B, C, F, G, 159 62 GSDH6 3000(21) O, R, S, T 163 74 1E-02 GSD8/GS8 250(1.75) 178 64 GSDM8 750(5.2) 8.50 1" 184 70 GSDH8 2500(17.5) 198 85 アルミニウム材質 GSD2 400(2.8) 1.20 1/4" 76 34 GSD3 250(1.75) 1E-03 1.80 3/8" 89 36 GSD4 200(1.4) 3.20 1/2" 1/8" N B, C, T 114 44 (NPT) GSD6 150(1) 5.50 3/4" 152 51 1E-02 GSD8 75(0.5) 8.50 1" 178 64 ポートオプション 技術仕様 表示 タイプ 表に記載されている圧力定格は、ユニットの設定可能な最大圧力です。 N NPT (標準) 最大使用圧力 ユニットは、より低い圧力で最適な性能を得るように構成することができます。 B BSPP C Custom 耐圧 定格圧力の150% ¹ F 150# Flange 設計圧力 最大本体圧力の400% 2 G 300# Flange 150℃まで（メタルボディ、PTFEダイヤフラム、Viton Oリング） O Swagelok VCO 温度対応 200℃まで（メタルボディ、メタルダイアフラム、Viton Oリング） 300℃まで（メタルボディ、メタルダイアフラム、カルレッツOリング） R SwagelokVCR S SAE 接液部材質 Stainless Steel 316/316L (標準) 本体材質 オプション: Hastelloy C276, Titanium, Zirconium リファレンスポート Viton (FKM) (標準) O-リング オプション: Kalrez (FFKM), PTFE, EPDM, Buna-N PTFE/Glass Laminate (標準) Inlet ダイアフラム オプション: Stainless Steel SS316/316L, Hastelloy C276, Virgin PTFE, FKM, 入口 出口 Polyimide, Buna-N, PEEK, EPDM 1 すべてのEquilibarユニットは、出荷前に定格圧力の150％でテストされています。 2 ASME B31.3に従って設計されており、4倍の安全係数が組み込まれています。 Viton®およびKalrez®は、DuPontの登録商標です。VCO®およびVCR®はSwagelokの商標です。 注意：Equilibarレギュレーターは、安全装置または遮断装置ではなく、制御装置であり、そのように使用すべきではありません。 図1 6

GS シリーズ仕様(ポリマーボディ) 図2参照 最高使用圧力 CV ポートタイプ DIM A DIM B モデル パイロット 入口/出口サイズ ポートサイズ PSIG(MPag) MIN MAX 標準 オプション ｍｍ PVC, CPVC, PVDF,PEEK 材質モデル GSD2/GS2 120 (0.83) 1.20 1/4" 83 40 B, C, S, T GSD3/GS3 100 (0.7) 1E-03 1.80 3/8" 95 43 GSD4/GS4 75 (0.5) 3.20 1/2" 1/8" N 121 46 (NPT) GSD6/GS6 50 (0.3) 5.50 3/4" B, C, F, S, T 159 59 1E-02 GSD8/GS8 50 (0.3) 8.50 1" 184 74 PTFE 材質モデル GSD2/GS2 1.20 1/4" 83 41 GSD3/GS3 1E-03 1.80 3/8" 95 46 N GSD4/GS4 50 (3) 3.20 1/2" 1/4" B, C, T 121 51 (NPT) GSD6/GS6 5.50 3/4" 159 64 GSD8/GS8 1E-02 8.50 1" 184 85 ポートオプション 技術仕様 表示 タイプ 表に記載されている圧力定格は、ユニットの設定可能な最大圧力です。 最大使用圧力 N NPT (標準) ユニットは、より低い圧力で最適な性能を得るように構成することができます。 B BSPP 耐圧 定格圧力の150% ¹ C Custom F 150# Flange 設計圧力 最大本体圧力の400% 2 G 300# Flange S SAE 温度対応 40℃まで(ポリマー本体材質) リファレンスポート 接液部材質 PVC (標準) 本体材質 オプション: PTFE, PVDF, PEEK, PVC 入口 出口 O-リング Viton (FKM) (標準) オプション: Kalrez (FFKM), PTFE, EPDM, Buna-N PTFE/Glass Laminate (標準) ダイアフラム オプション: Virgin PTFE, FKM, Polyimide, Buna-N, PEEK, EPDM 図2 ¹ すべてのEquilibarユニットは、出荷前に定格圧力の150％でテストされています。 ² ASME B31.3に従って設計されており、4倍の安全係数が組み込まれています。 ポリマーモデルは、圧縮ガス用途には推奨されていません。 7

GSシリーズ型式選定表 例 GSD 2 S N X - N S X P 100 T 150 G X VV B X - X P T X 1 2 3 4 5 - 6 7 8 9 10 11 12 13 14 1 モデル 6 パイロットポートタイプ 12 ダイアフラム厚 N NPT GSD Standard O Ring Design （メーカー選定） B BSPP GS No O Ring Seals 13 O リング (GSDのみ) S SAE GDSM Medium Pressure Models (接液部) O VCO® GSDH High Pressure Models VV Viton® Shore 75 R VCR® 2 接続サイズ WW 7 キャップ材質 Viton ®Shore 90 KK Kalrez® Grade 7075 2 1/4” (非接液部) S 316/316L S/S LL Kalrez® Grade 7090 3 3/8” P PVC FF PTFE 4 1/2” A アルミニウム(アルマイト) EE EPDM 6 3/4” H Hastelloy C276 BB Buna 8 1” T Titanium 3 ボディ材質 Z Zirconium 14 特殊オプション F PTFE S 316/316L S/S B 取り付けブラケット K PEEK P PVC D PVDF (ポートサイズ 2 & 3 のみ) M Monel O 酸素禁油 A アルミニウム(アルマイト) H Hastelloy C276 8 ボ ル ト T Titanium （メーカー選定） Z Zirconium 9 圧力レート F PTFE 10 温度レート(°C) 設計圧力 K PEEK 本体耐圧と同圧以下 青の表記は短納期対応可能 D PVDF 10 温度レート(°C) 流体仕様詳細をご連絡頂ければ、 最適な型式を選定致します。 M Monel 温度制限： 4 ポートタイプ 40℃ ポリマー本体材質 150℃ PTFEダイアフラム材質 N NPT 200℃ バイトンOリング材質 B BSPP 300℃ カルレッツOリング材質 S SAE 11 ダイアフラム材質 O VCO® G. PTFE (Glass Reinforced) R VCR® B. Buna-N (Nitrile) F 150# Flanges V. FKM Fluoroelastomer G 300# Flanges M. EPDM E. Polyethylene F. PTFE (Virgin) 5 改訂 # S 316/316L S/S （メーカー選定） H. HastelloyC276 I. Polyimide K. PEEK L. Kel-F Q Monel 8

リサーチシリーズ仕様 独自の特許取得済みマルチオリフィス技術は、非常に広い流量範囲と優れた二相流性能を備えています。 ベース 最高使用圧力 CV 入口/出口 パイロット 接続タイプ DIMA DIM B 重量 ﾃﾞｯﾄﾞﾎﾞﾘｭｰﾑ¹ パート# ゲージ圧 MIN MAX ポートサイズ ポートサイズ 標準 オプション ｍｍ Kg mL 標準低流量モデル LF0 7MPa 1E-08 0.01 1/16’’ V (HPLC) A, C, N 64 39 0.8 0.27 LF1 7MPa 1E-08 0.07 1/8" N(NPT) A, B, C, O, 64 39 0.8 2.19 LF2 7MPa 1E-08 0.07 1/4" N(NPT) R, T, V, W 64 39 0.8 3.27 H3P0 20MPa 1E-08 0.01 1/16’’ V (HPLC) A, C, N 64 42 0.9 0.17 H3P1 20MPa 1E-08 0.07 1/8" N(NPT) A, B, C, O, 64 42 0.9 2.08 1/8" H3P2 20MPa 1E-08 0.07 1/4" N(NPT) R, T, V, W 70 42 1.1 3.48 H6P0 40MPa 1E-08 0.01 1/16’’ V (HPLC) A, C, N 70 42 1.1 0.17 H6P1 40MPa 1E-08 0.07 1/8" N(NPT) A, B, C, O, 70 42 1.1 2.18 H6P2 40MPa 1E-08 0.07 1/4" N(NPT) R, T, V, W 70 42 1.1 3.25 H10P1 70MPa 1E-06 0.07 1/8" W A,C 76 53 1.4 1.28 大流量用モデル HF1 7MPa 0.41 1/8" 64 39 0.8 5.65 HF2 7MPa 0.41 1/4" N 64 39 0.8 6.68 1E-05 1/8" B,C H3PF2 20MPa 0.35 1/4” (NPT) 70 42 1.1 7.75 H6PF2 40MPa 0.35 1/4” 70 42 1.1 6.23 高温用モデル HT1 40MPa 1E-05 0.07 1/8" C,R, 82 50 1.6 2.62 N HT2 40MPa 1E-05 0.07 1/4" 1/8" T, V, W 95 50 2 3.70 (NPT) HTF1 40MPa 1E-05 0.35 1/8" C 95 50 2 8.93 ¹デッドボリュームはおおよその値であり、参考値です。 ダイアフラムが「下」位置にあると仮定して算出します。 ポートオプション 表記 タイプ 最大CV 1リ/フ8ァ" レNPンTスRポefート (All models) N NPT (標準) 最大限 A HiP (高圧用) 0.072 B BSPP 最大限 B C Custom – O Swagelok VCO® 0.072 入口 出口 R SwagelokVCR® 0.072 T Tube Stub 0.072 A V HPLC 0.001 - 0.018 ほとんどのモデルでブラケットが使用可能 W Autoclave Speed-Bite 0.07 技術仕様 接液部材質 表に記載されている圧力定格は、ユニットの設定可能な最大圧力で ステンレス 316/316L (標準） す。 最大使用圧力 本体材質 オプション: Hastelloy C276, Titanium, Zirconium, PTFE3, ユニットは、より低い圧力で最適な性能を得るように構成することがで PVDF3, PEEK3, PVC3, Monel きます。 Viton® (FKM) (標準) 耐圧 定格圧力の150% ¹ O-リング オプション: 設計圧力 最大本体圧力の400% 2 Kalrez® (FFKM), PTFE, EPDM, Buna-N, Grafoil® (HT のみ) 150℃まで（メタルボディ、PTFEダイヤフラム、Viton Oリング） PTFE/Glass Laminate (標準) 温度対応 200℃まで（メタルボディ、メタルダイアフラム、Viton Oリング） ダイアフラム オプション: ステンレスSS316/316L, Hastelloy C276, 300℃まで（メタルボディ、メタルダイアフラム、カルレッツOリング） Virgin PTFE, FKM, Polyimide, Buna-N, PEEK, EPDM 1 すべてのEquilibarユニットは、出荷前に定格圧力の150％でテストされています。 2 ASME B31.3に従って設計されており、4倍の安全係数が組み込まれています。 3 ポリマーユニットは最大許容圧力が低くなります。 Viton®およびKalrez®は、DuPontの登録商標です。VCO®およびVCR®はSwagelokの商標です。 Grafoil®はGrafTechの商標です。 注意：Equilibarレギュレータは、安全装置または遮断装置ではなく、制御装置であり、そのように使用すべきではありません。 9 www.equilibar.com 828.650.6590

標準低流量モデルの性能曲線（窒素） 3000 2500 2000 1500 1000 500 0 0.01 0.10 1.00 10.00 100.00 1000.00 10000.00 100000.00 1000000.00 Flow,ml/min 青い部分のパフォーマンスは構成によって異なります。 より高い流量のモデルは、より大きな流動においても同様の性能を示します。 これらの性能曲線は窒素によるものですが、気体、液体、または混合相のサービスに、Equilibar背圧レギュレーターを使用する事ができます。 ボルト キャップ 非接液部O-リング ダイアフラム 接液部 O-リング 本体 パイププラグ (選択モデルのみ) 10 Inlet Pressure, psig

Ultra Low Flow モデル仕様 Ultra Low Flowモデルは、通常のシリーズと同様に動作しますが、より低い流量で動作することができます。 ベース 最高使用圧力 CV 1 入口/出口 パイロット 接続タイプ DIMA DIMB 重量 ﾃﾞｯﾄﾞﾎﾞﾘｭｰﾑ パート# ゲージ圧 MIN MAX ポートサイズ ポートサイズ 標準 オプション mm Kg mL U3L0 20MPa 1E-09 0.01 1/16’’ 1/8” V (HPLC) A, N,C 64 42 0.9 0.25 U3L1 20MPa 1E-09 0.05 1/8" 1/8" N(NPT) A, B, C, O, 64 42 0.9 2.16 U3L2 20MPa 1E-09 0.05 1/4" 1/4" N(NPT) R, T, V, W 70 42 1.1 3.34 U6L0 40MPa 1E-09 0.01 1/16’’ 1/8’’ V (HPLC) A, N,C 70 42 1.1 0.25 U6L1 40MPa 1E-09 0.05 1/8" 1/8" N(NPT) A, B, C, O, 70 42 1.1 2.28 U6L2 40MPa 1E-09 0.05 1/4" 1/4" N(NPT) R, T, V, W 70 42 1.1 3.34 U10L0 70MPa 1E-06 0.01 1/16’’ 1/8” N(NPT) A, N,C 76 53 1.4 3.34 U10L1 70MPa 1E-06 0.05 1/8" 1/8" N(NPT) A, C, W 76 53 1.4 1.33 ¹デッドボリュームはおおよその値であり、参考値です。ダイアフラムが「下」位置にあると仮定して算出します。 1リ/8フ"ァ NレPンTスReポート ポートオプション (All models) 表記 タイプ 最大CV N NPT (標準) 最大限 A HiP (高圧用) 最大限 B B BSPP 最大限 入口 出口 C Custom – O Swagelok VCO® 最大限 A R SwagelokVCR® 最大限 ほとんどのモデルでブラケットが使用可能 T Tube Stub 最大限 V HPLC 0.001 - 0.018 W Autoclave Speed-Bite W125 最大限 技術仕様 接液部材質 表に記載されている圧力定格は、ユニットの設定可能な最大圧力 Stainless Steel 316/316L (標準) です。 最高使用圧 本体材質 Also available: Hastelloy C276, Titanium, ユニットは、より低い圧力で最適な性能を得るように構成することが Zirconium, PTFE3, PVDF3, PEEK3, PVC3, Monel できます。 Viton® 耐圧 定格圧力の150% ¹ (FKM) (標準) O-リング Also available: Kalrez® (FFKM), PTFE, EPDM, Buna-N 設計圧力 最大本体圧力の400% 2 PTFE/Glass Laminate (標準) 150℃まで（メタルボディ、PTFEダイヤフラム、Viton®Oリング) Also available: Stainless Steel SS316/316L, 温度対応 200℃まで（メタルボディ、メタルダイアフラム、Viton®Oリング) ダイアフラム Hastelloy C276, Virgin PTFE, FKM, Polyimide, 最大300C（メタルボディ、メタルダイアフラム、カルレッツOリング) Buna-N, PEEK, EPDM Ultra Low flowモデルの性能曲線（窒素） 3500 ボルト 3000 キャップ 2500 非接液部O-リング 2000 ダイアフラム 1500 交換可能オリフィスセット 接液 O-リング 1000 本体 500 0 0.01 0.10 1.00 10.00 100.00 1000.00 10000.00 100000.00 1000000.00 Flow, ml/min 青い部分のパフォーマンスは構成によって異なります。 より高い流量のモデルは、より大きな流動においても同様の性能を示します。 これらの性能曲線は窒素によるものですが、気体、液体、または混合相のサービスに、Equilibar背圧レギュレーターを使用する事ができます。 1 すべてのEquilibarユニットは、出荷前に定格圧力の150％でテストされています。 2 ASME B31.3に従って設計されており、4倍の安全係数が組み込まれています。 3 ポリマーユニットは最大許容作動圧力を低下させます。 Viton®およびKalrez®は、DuPontの登録商標です。VCO®およびVCR®はSwagelokの商標です。 Grafoil®はGrafTechの商標です。 注意：Equilibarレギュレーターは、安全装置または遮断装置ではなく、制御装置であり、そのように使用すべきではありません。 181 www.equilibar.com 828.650.6590 Inlet Pressure, psi g

Zero Flow モデル仕様 標準マルチオリフィス設計と同様に作動しますが、ソフトシートを使用して効果的なゼロフロー圧力制御を実現します。 ベース 最高使用圧力 CV 入口/出口 パイロット 接続タイプ DIMA DIMB 重量 ﾃﾞｯﾄﾞﾎﾞﾘｭｰﾑ¹ パート# ゲージ圧 MIN MAX ポートサイズ ポートサイズ 標準 オプション mm Kg mL ZF0 20MPa 0 1/16” 1/8” V (HPLC) A, C, N 64 42 0.9 0.25 0.015 A, B, C, O, ZF1 20MPa 0 1/8" 1/8" N(NPT) 64 42 0.9 2.16 R, T, V, W ¹デッドボリュームはおおよその値であり、参考値です。 ダイアフラムが「下」位置にあると仮定して算出します。 ポートオプション 1リ/フ8ァ" レNPンTスRポefート 表記 タイプ 最大CV (All models) N NPT (標準) 最大限 A HiP (高圧用) 最大限 B BSPP 最大限 B C Custom – Inle Outle O Swagelok VCO® 最大限 t t R SwagelokVCR® 最大限 A T Tube Stub 最大限 ほとんどのモデルでブラケットが使用可能 V HPLC 0.001 W Autoclave Speed-Bite W125 最大限 技術仕様 接液部材質 表に記載されている圧力定格は、ユニットの設定可能な最大圧力 Stainless Steel 316/316L (標準) です。 オプション: Hastelloy C276, Titanium, Zirconium, 最大使用圧力 本体材質 PTFE3, PVDF3, PEEK3, PVC3, Monel, PTFE/Glass ユニットは、より低い圧力で最適な性能を得るように構成することが Laminate できます。 Viton® (FKM) (標準) 耐圧 定格圧力の150% ¹ O-リング オプション: Kalrez® (FFKM), PTFE, EPDM, Buna-N (Nitrile) 設計圧力 最大本体圧力の400% 2 Stainless Steel SS316/316L (標準) 150℃まで（メタルボディ、PTFEダイヤフラム、Viton®Oリング） オプション: Hastelloy C276, PTFE/Glass Laminate, ダイアフラム Virgin PTFE, FKM, Polyimide, Buna-N, (Nitrile) 温度対応 200℃まで（メタルボディ、メタルダイアフラム、Viton®Oリング） PEEK, EPDM 最大300C（メタルボディ、メタルダイアフラム、カルレッツOリング） ZFシリーズの性能曲線（窒素) 3500 ボルト 3000 2500 キャップ 2000 非接液 部O-リング ダイアフラム 1500 ﾌﾛｰﾃｨﾝｸﾞﾊﾌﾞ 交換可能 1000 オリフィスセット 接液部 O-リング 500 本体 0 0.01 0.10 1.00 10.00 100.00 1000.00 10000.00 100000.00 1000000.00 Flow, ml/min これらの性能曲線は窒素によるものですが、気体、液体、混合相でも、 Equilibar背圧レギュレーターを使用できます。 1 すべてのEquilibarユニットは、出荷前に定格圧力の150％でテストされています。 2 ASME B31.3に従って設計されており、4倍の安全係数が組み込まれています。 3 ポリマーユニットは最大許容作動圧力を低下させます。 Viton®およびKalrez®は、DuPontの登録商標です。VCO®およびVCR®はSwagelokの商標です。 Grafoil®はGrafTechの商標です。 注意：Equilibarレギュレーターは、安全装置または遮断装置ではなく、制御装置であり、そのように使用すべきではありません。 12 Inlet Pressure, psi g

リサーチシリーズ型式選定表 例 LF 1 S N N X – N S X P 500 T 150 G X V V B N X – X P T X 1 2 3 4 5 6 – 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 1 モデル 6 改訂# 14 O-リング (接液) 7MPa以下 X (メーカー選定) V Viton® FKM Shore 75 LF Cv: 1E-7to 0.07 7 ® パイロットポートタイプ W Viton FKM Shore90 HF Cv: 1E-4 to 0.5 N NPT K Kalrez® FFKM Grade 7075 21MPa以下 B BSPP L Kalrez® FFKM Grade 7090 U3L Cv: 1E-8 to0.05 W AutoclaveSpeed-Bite F PTFE Grade 55 H3P Cv: 1E-6 to0.07 O VCO® M EPDM Grade70 H3PF Cv: 1E-4 to 0.5 R VCR® B Buna-N Grade 70(ニトリル) 42MPa以下 V HPLC G Grafoil (HT のみ) U6L Cv: 1E-8 to0.05 A HiP 15 O-ring (非接液) H6P Cv: 1E-6 to0.07 8 キャップ材質 (非接液) V Viton® FKM Shore75 H6PF Cv: 1E-4 to 0.5 S 316/316L S/S W Viton® FKM Shore90 70MPa以下 P PVC K Kalrez®FFKM Grade 7075 ® U10L Cv: 1E-8 to 0.05 F PTFE L Kalrez FFKM Grade 7090 H10P Cv: 1E-6 to 0.07 K PEEK F PTFE Grade 55 H10PF Cv: 1E-4 to0.5 D PVDF M EPDM Grade70 B Buna-N Grade70 (ﾆﾄﾘﾙ) その他 9 ボルト G Grafoil ® (HT のみ) HT 高圧用 X (メーカー選定) ZF ゼロフロー 16 O-ring (接液) 10 圧力レート U3L, U6L, U10L, ZF のみ対象 2 ポートサイズ 設計圧力 その他のモデルは空白 0 1/16" 本体耐圧と同圧以下 (空白) 無し 1 1/8" 11 温度レート V Viton® FKM Shore 75 2 1/4" 温度制限： W Viton® FKM Shore90 3 本体材質 40℃ ポリマー本体材質 K Kalrez® FFKM Grade 7075 S 316/316L S/S 150℃ PTFEダイアフラム材質 L Kalrez® FFKM Grade 7090 H HastelloyC276 200℃ バイトンOリング材質 M EPDM Grade70 T Titanium 300℃ カルレッツOリング材質 B Buna-N Grade 70 (ニトリル) Z Zirconium 12 ダイアフラム材質 17 O-ring (接液) F PTFE G PTFE (ガラス入り) ZF のみ K PEEK B Buna-N(ニトリル) その他のモデルは空白 D PVDF V FKM Fluor elastomer (空白) 無し ® 4 ポートタイプ M EPDM V Viton FKM Shore 75 N NPT E Polyethylene W Viton® FKM Shore90 F PTFE (Virgin) K Kalrez® B BSPP FFKM Grade 7075 ® W AutoclaveSpeed-Bite S 316/316L S/S L Kalrez FFKM Grade 7090 O VCO® H HastelloyC276 M EPDM Grade70 R VCR® I Polyimide B Buna-N Grade 70 (ニトリル) V HPLC K PEEK 18 オプション A HiP L Kel-F (空白) 無し 5 ブランク C FEP B マウンティングブラケット N 無し 13 ダイアフラム厚 O 酸素禁油 (メーカー選定) 緑の表記は即配達対応型式 流体仕様詳細をご連絡頂ければ、 最適な型式を選定致します。 130 www.equilibar.com 828.650.6590

BD シリーズ仕様 大流量液体、気体および気液混合アプリケーション向け ポート パイロット モデル サイズ ポートサイズ 本体材質 最大圧力レート MIN CV MAX CV DIM A DIM B Psig(kPa) 図3 参照(mm) BD12S 1.5" 1/8" Stainless Steel 316/316L 50(350) 0.01 14.3 241 99 BDM12S 1.5" 1/8" Stainless Steel 316/316L 150(1030) 0.01 14.3 241 102 BD12A 1.5" 1/8" Anodized Aluminum 75(515) 0.01 14.3 193 89 BD12P 1.5" 1/8" PVC 50(350) 0.01 14.3 229 109 BD16S 2" 1/8" Stainless Steel 316/316L 75(515) 0.03 30.2 279 104 BDM16S 2" 1/8" Stainless Steel 316/316L 150(1030) 0.03 30.2 279 145 BD16A 2" 1/8" Anodized Aluminum 50(350) 0.03 30.2 224 104 BD16P 2" 1/8" PVC 65(450) 0.03 30.2 279 130 BD24S 3" 1/4" Stainless Steel 316/316L 50(350) 0.06 90 381 132 BDM24S 3" 1/4" Stainless Steel 316/316L 100(700) 0.06 90 381 155 BD24A 3" 1/4" Anodized Aluminum 30(210) 0.06 90 318 155 BD24P 3" 1/4" PVC 30(210) 0.06 90 381 224 BD32S 4" 1/4" Stainless Steel 316/316L 75(515) 0.15 160 508 206 BD32A 4" 1/4" Anodized Aluminum 30(210) 0.15 160 508 206 BD32P 4" 1/4" PVC 30(210) 0.15 160 508 244 技術仕様 接液部材質 Stainless Steel 316/316L (標準) 表に記載されている圧力定格は、ユニットの設定可能な最大圧力です。 本体材質 オプション: Hastelloy C276, Titanium, Zirconium 最大使用圧力 ユニットは、より低い圧力で最適な性能を得るように構成することができま す。 Viton (FKM) (標準) O-リング オプション: Kalrez (FFKM), PTFE, EPDM, Buna-N 耐圧 定格圧力の150% ¹ PTFE/Glass Laminate (標準) 2 ダイアフラム オプション: Stainless Steel SS316/316L, Hastelloy C276, Virgin 設計圧力 最大本体圧力の400% PTFE, FKM, Polyimide, Buna-N, PEEK, EPDM 150℃まで（メタルボディ、PTFEダイヤフラム、VitonOリング） 温度対応 200℃まで（メタルボディ、メタルダイアフラム、VitonOリング） 300℃まで（メタルボディ、メタルダイアフラム、カルレッツOリング） 1 すべてのEquilibarユニットは、出荷前に定格圧力の150％でテストされています。 2 ASME B31.3に従って設計されており、4倍の安全係数が組み込まれています。 ポートオプション 表示 タイプ 図3 N NPT (標準) B BSPP B C Custom F 150# Flange G 300# Flange 入口 出口 O Swagelok VCO A R SwagelokVCR S SAE BDシリーズ4”モデル 14

BDシリーズ型式選定表 例 BD 12 S N G X - N S X P 30 T 100 V X V BD 1 2 3 4 5 6 - 7 8 9 10 11 12 13 14 1 モデル 9 ボルト BD BD （メーカー選定） 2 ポートサイズ 10 圧力レート 12 1.5” 30 30 in Hg(100kPa) 16 2” 10 10 in Hg(35kPa) 24 3” 11 温度レート 32 4” 40 40C (ポリマーユニット) 3 ボディ材質 60 60C (メタルユニット) *高温対応モデルは応相談 S 316/316L S/S 12 ダイアフラム材質 P PVC G PTFE (Glass Reinforced) A アルミニウム(アルマイト) B Buna-N (Nitrile) ４ ポート接続タイプ V FKM Fluoroelastomer N NPT M EPDM B BSPP E Polyethylene F 150# Flanges F PTFE (Virgin) 5 ブランク I Polyimide （メーカー選定） 13 ダイアフラム厚 6 改訂 # （メーカー選定） （メーカー選定） 14 O リング 7 リファレンスポートタイプ (接液) N NPT VVVV Viton® Shore 75 B BSPP KKKK Kalrez® Grade 7075 8 キャップ材質(非接液) FFFF PTFE EEEE EPDM S 316/316L S/S BBBB Buna P PVC A アルミニウム(アルマイト) 青文字は短納期対応可能 流体仕様詳細をご連絡頂ければ、 最適な型式を選定致します。 BDシリーズ4”モデル ANSI150#フランジ付き 15

FD シリーズ仕様 バイオファーマなどサニタリー用途 DIM A’ モデル 接続 パイロットポート 本体材質 DIM A DIM B DIM C DIM D 最大圧力 CV レンジ (スタブ管) 接続 mm Psig(MPa) MIN MAX FDO4 1/2” Tri-Clamp 86 n/a 36 51 25 1E-7 1.0 FDO6 3/4” tri-Clamp 151 49 49 127 25 1E-3 4.0 316LS/S, 1/8” FDO8 1” Tri-Clamp Hastelloy C 204 151 61 152 50 150(1) 1E-3 8.0 NPT & other FDO12 1.5” Tri-Clamp 230 173 69 178 50 1E-2 12 FDO16 2” tri-Clamp 280 223 91 229 64 1E-2 19 1/8” NPT ReferencePort ダイアフラム材質 C 材質 PTFE (USP Class VI) EPDM (USP Class VI) B Viton (Reinforced) D Buna-N (Nitrile) Glass Reinforced PTFE Other (C/F) A’ (Tube Stub) A (Tri-Clamp) FD08 性能グラフ 16

Designed with ASME BPE in mind. “弊社は、お客様のバルブ選択プロセスを簡略化することを約束しており、 エンジニアの直接サポートだけでなく、バイオファーマのすべての ニーズを満たすバルブも備えています。 -Jeff Jennings, Equilibar President ” FDシリーズは棒材から機械加工され、その後機械研磨、電解研磨されます。 隙間のないクラッシュシール設計は、Oリングを不要にさせ、より簡単な洗浄に役立ちます。 目視で残留液がないことを確認する広範なリボフラビン試験を行いました。 排水性 CIP / SIP FDシリーズの背圧レギュレーターは、優れた排水性を 他のバルブでは、CIP / SIPプロセスを一方向に行う必要があ 持つようシビアに設計されており、厳しいテストを実施し りますが、Equilibar FDシリーズの背圧レギュレーターは、両 ております。垂直方向に設置した場合、FDO6シリー 方向で洗浄することができます。ほとんどのダイアフラムでは ズの背圧レギュレーターは、4mlの水分しか溜らず、 10bar(1MPa),135℃でCIP/SIPが可能です。 20 psiのエアブローを30秒間供給すると完全に排水 されます。 17

FD シリーズ型式選定表 例 FDO 4 S H E 5D - N S C P 102 T 100 G 10 F 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 1 モ デル 8 キャップ材質 FDO FD series, in line (本体材質と同じ番号) FDT FD series, angled (メーカー選定) S 316/316L S/S 2 ポート接続 9 ボル 4 1/2” ト (メーカー選定) 6 3/4” 8 1” 10 圧力レート 12 1.5” 16 2” 最高仕様圧力(in psig) (本体許容圧力以下) 3 本体材質 S 316/316L S/S H HastelloyC276 11 温度レート I Hastelloy C22 100 （標準） T Titanium Grade 2 12 ダイアフラム材質 Z Zirconium 702 G PTFE (Glass reinforced) 4 ポートタイプ B Buna-N (Nitrile) H トリクランプ V FKM Fluoroelastomer T スタブ管 M EPDM 5 U EPDM, USP Class VI オプション F PTFE (Virgin) D 6 mm ID (FDO4 Only) Y PTFE (Virgin, USP Class VI) E 10 mm ID (FDO4 Only) L Low flow, 6 mm ID (FDO4 Only) 13 ダイアフラム厚 N 無し U Flow Through Option (FDT Only) (メーカー選定) 6 改訂 # 14 O リング/プラグオプション (メーカー選定) F PTFE Plug (FDO only) Y USP VI PTFE Plug (FDO Only) 7 リファレンスポートタイプ S Silicone Gasket (FDT Only) (非接液) N 1/8” NPT D 1/8” BSPP 青文字は短納期対応可能 流体仕様詳細をご連絡頂ければ、 最適な型式を選定致します。 18

EVR シリーズ仕様 真空アプリケーション向け 圧力範囲 DIM A DIM B CV 範囲 モデルナンバー 入口/ ボディ材質 0 ~ -100kPa 出口 ｍｍ MIN MAX (12 to 760 torr) [0 to -980 mbar] 1/4”～1”サイズレギュレーター(図4参照) EVR-GSD2A 1/4” AnodizedAluminum 76 33 1.00E-03 1 0 ~ -34kPa [0 to -340 mbar] EVR-GSD2S 1/4” Stainless Steel 316 76 33 1.00E-03 1 EVR-GSD2P 1/4” PVC 83 38 1.00E-03 1 *低い所で0～-0.5kPa[-5mbar]の圧力レンジ EVR-GSD3A 3/8” AnodizedAluminum 89 36 1.00E-03 1.8 電気式オプションでカスタム設定も可能 EVR-GSD3S 3/8” Stainless Steel 316 89 36 1.00E-03 1.8 EVR-GSD3P 3/8” PVC 95 41 1.00E-03 1.8 接続タイプ EVR-GSD4A 1/2” AnodizedAluminum 114 41 1.00E-03 3 NPT (標準) EVR-GSD4S 1/2” Stainless Steel 316 114 41 1.00E-03 3 BSPP EVR-GSD4P 1/2” PVC 121 46 1.00E-03 3 SAE EVR-GSD6A 3/4” AnodizedAluminum 152 51 1.00E-02 6.2 150# Flange EVR-GSD6S 3/4” Stainless Steel 316 152 51 1.00E-02 6.2 ダイアフラムオプション EVR-GSD6P 3/4” PVC 159 57 1.00E-02 6.2 Buna - N (Nitrile) EVR-GSD8A 1” AnodizedAluminum 178 66 1.00E-02 9.9 FKM EVR-GSD8S 1” Stainless Steel 316 178 66 1.00E-02 9.9 EPDM EVR-GSD8P 1” PVC 184 74 1.00E-02 9.9 PTFE (Glass Reinforced) 1.5”～4”サイズレギュレーター(図5参照) PTFE (Virgin) EVR-BD12A 1.5" AnodizedAluminum 241 99 1.00E-02 14.3 O リングオプション EVR-BD12S 1.5" Stainless Steel 316 241 99 1.00E-02 14.3 Buna - N (Nitrile) EVR-BD12P 1.5” PVC 229 109 1.00E-02 14.3 Viton EVR-BD16A 2" AnodizedAluminum 279 104 3.00E-02 30.2 Kalrez EVR-BD16S 2" Stainless Steel 316 279 104 3.00E-02 30.2 EPDM EVR-BD16P 2” PVC 279 130 3.00E-02 30.2 PTFE EVR-BD24A 3" AnodizedAluminum 381 155 6.00E-01 60 温度範囲 EVR-BD24S 3" Stainless Steel 316 381 155 6.00E-01 60 ポリマーユニット:40C EVR-BD24P 3” PVC 381 226 6.00E-01 60 メタルユニット: 60C EVR-BD32A 4" AnodizedAluminum 508 206 1.50 160 EVR-BD32S 4" Stainless Steel 316 508 206 1.50 160 *高温対応モデルは応相談 EVR-BD32P 4” PVC 508 244 1.50 160 真空専用、絶対真空、および真空から陽圧のオプションが利用できます。 76.2mm 76.2mm To B Inlet Outlet Vacuum B Pump A A 図 4: 1/4”～1”レギュレーター寸法図 図 5: 1.5”～4”レギュレーター寸法図 19