極めてダイヤモンドに近い組成のカーボン膜を作製可能
DLC皮膜 特徴
1） 従来の単原子をイオンにするプロセスと異なり、原子を数千の塊にしてイオン化、基材に照射するプロセス
2） クラスターイオンの特異な照射効果により、極めてダイヤモンドに近い組成のカーボン膜を作製することができる
3） 高硬度・耐摩耗性・高耐熱・高導電性・耐防汚性の皮膜を生成できる
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このカタログについて
| ドキュメント名 | GCIB方式DLC 超硬質炭素皮膜・高導電性炭素皮膜 製品概要 |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 1.4Mb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 株式会社野村鍍金 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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GCIB方式DLC
超硬質炭素皮膜
高導電性炭素皮膜
製品概要
－株式会社 野村鍍金－
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DLC皮膜
特徴
ガスクラスターイオンビーム
（ＧＣＩＢ）
1） 従来の単原子をイオンにするプロセスと異なり、原子を数千の塊にしてイオン化、
基材に照射するプロセス
2） クラスターイオンの特異な照射効果により、極めてダイヤモンドに近い組成の
カーボン膜を作製することができる
3） 高硬度・耐摩耗性・高耐熱・高導電性・耐防汚性の皮膜を生成できる
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高硬度DLC皮膜（タフカーボン）
特徴
1) 高硬度Hv5000・耐熱性500℃・寸法保持性が良い
2) 炭素のみからなる薄膜（コーティング）で水素を全く含まない
3) アモルファス（非晶質）であり、結晶性を持たない 平滑で滑り性が良い
4) 従来膜（CVD）と比べて、２～３倍の硬さ、２倍の耐熱性、高い密着性あり
5) 低温形成プロセス100℃以下、従来膜（CVD）は200℃以上
(CVD)
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タフカーボン 用途例 ①
精密機械部品（摺動部品、ガイド部品）
効果：２～４倍
（比較相手：DLC処理した素材）
※非汚染性も良好（相手材：はんだ）
刃物（フィルム、紙、樹脂向け）
効果：２～４倍
（比較相手：コーティング未処理の素材）
非鉄金属向け工具チップ
効果：１０～１５倍
（比較相手：コーティング未処理の素材）
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タフカーボン 用途例 ②
インプラント（カラー部分)
チタン製であるカラー部分にタフカーボンを成膜し、チタン表面性状を改質す
ることで、細菌付着とバイオフィルム(＝微生物の集合体)形成の抑制及び形
成されたバイオフィルムの剥離が容易になる。
口腔内からの細菌の入口となる
カラー部分にタフカーボンを成膜
協力：東北大学大学院歯学研究科、東京都市大学工学部機械工学科
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タフカーボン 用途例 ③
外科用器具
SUS製の外科用器具にプリオン(=病原体タンパク質)を付着させた。
プリオンが付着しにくい為、水洗で簡単に除去できる。
水洗
細菌を蛍光に光らせる 蛍光部分が確認されない
協力：東北大学大学院歯学研究科
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導電性DLC皮膜
（タフコンダクターB・タフコンダクターM）
特徴
1） 体積低効率と硬度
＜タフコンダクターB＞ ＜タフコンダクターM＞
体積抵抗率：５×１０-3Ω･cm 体積抵抗率：１×１０-3Ω･cm
硬 度：Hv4000相当 硬 度：Hv2000相当
2） 接触抵抗値
3500
プローブ接触抵抗
3000
2500 タフ
コン
2000 タフコンダクターB
はんだ
1500
1000
左記抵抗測定の概略図
500 タフコンダクターM （プローブ先端はクラウン型）
金めっき
0
0 10 20 30 40
荷重(g)
接触抵抗値(mΩ)
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タフコンダクターB・タフコンダクターM
皮膜特性①
・タフコンダクターMは、金めっきプローブに近い接触抵抗を示す
・タフコンダクターBは、接触抵抗がやや高いものの形状保持性が高い
金めっき タフコンダクター
10万回連続接触抵抗測定後の形状変化
(荷重30ｇ×10万回 相手材：はんだ)
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タフコンダクターB・タフコンダクターM
皮膜特性②-１
・はんだ付着に対して、強い耐性がある
タフコンダクターM タフコンダクターB タフカーボン
金めっき
はんだ片
加熱後の結果は次ページへ
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タフコンダクターB・タフコンダクターM
皮膜特性②-２
金めっき タフコンダクターM タフコンダクターB タフカーボン
フラックス等は焦げ付いているが、
溶着
溶融はんだ片は粒になって弾かれている
＜用途＞
・電子部品検査装置の電極
・ICソケット向けプローブ 等
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野村鍍金は産業と社会の発展に貢献できる
価値ある企業をめざしてチャレンジし続けます
企業概要
企 業 名 ： 株式会社野村鍍金
本 社 ： 大阪市西淀川区姫島5-12-20
Tel （06）6471-0966 / Fax （06）6471-8299
事業内容： 産業機械向け表面処理加工
産業用機械製品の設計及び製作
表面処理プラントエンジニアリング
表面処理技術コンサルタント
資 本 金 ： 1600万円
創 業 ： 大正5年（1916年）
設 立 ： 昭和17年（1942年）11月12日
代 表 者 ： 代表取締役社長 野村修平
従業員数： 250名
事 業 所 ： 大阪市西淀川区・神戸市北区・広島県福山市
栃木県鹿沼市・さいたま市中央区