ISO16232に準拠した光学顕微鏡と電子顕微鏡の相関コンタミ解析システム

Moment（モノクロ画像） ※SMDで画像追加します。指定があればデータ送付ください。 ※左の●内のアイキャッチはNewかUpGradeに使用 ISO 16232 に準拠した光学顕微鏡と電子顕微鏡の相関コンタミ解析システム ZEISS Correlative Automated Particle Analysis (CAPA) 光学顕微鏡像 電子顕微鏡像 EDS像をオーバーレイ フィルターにトラップした汚染物質を光学顕微鏡でスクリーニング、場所を特定した後に電子顕微鏡にて同一サンプル をイメージング。EDSによる分析を行い、マッピングオーバーレイを実施。 相関コンタミ解析は光学顕微鏡 CAPAによる分析で得た情報に、電子顕微鏡による分析 結果を付加する事で残留粒子を完全に特徴付けする事が可能となるシステムです。 自動車製造産業における清浄度検査 電子顕微鏡による組成分析 これまでの検査では汚染物質の総重量によ 本システムは ISO16232 のPart 8に記 る判定が一般的でした。しかしながらそれで 載されている粒子の組成分析に対応してい はコンタミの密度や分布が分からないため、 ます。電子顕微鏡のEDS検出器で、ター 不十分であると定義されました。ISO ゲットとなる粒子の組成解析が可能となりま 16232・VDA19「自動車部品清浄度検 す。 査の標準化」で光学顕微鏡・電子顕微鏡 をもちいた部品の表面からコンタミを抽出す 光学顕微鏡ベースのコンタミ解析システム キャリブレーションマーカー付きの相関用ホルダー。 る方法と定量的分析・実践方法が記載さ Particle Analyzer 47mm/50mmのメンブレンフィルターに対応しています。 れています。 ISO16232のPart7では光学顕微鏡によ ZEISSでは光学顕微鏡をベースとしたコン るコンタミのサイズと数量の検査が規定され タミ解析システム Particle Analyzer、さら ています。 に電子顕微鏡による解析を可能とした Particle Analyzerでは以下のデータを取 CAPA (Correlative Particle 得することが可能です。 Analysis)をISOに準拠したシステムとして ■ 全ての粒子の数 提案しております。 ■ 金属に分類される反射の大きい粒子数 ■ 非金属に分類される反射のない粒子数 ■ ファイバーの数量 ■ CCC (Component Cleanliness Code) ■ サイズの近い粒子別のカウント メンブレンフィルター上にトラップされた金属粒子の組成 分布。

解析ワークフロー ISOに準拠した清浄度の測定結果 → さまざまなタイプの残留粒子の識別 → 残留金属粒子のクラス分け ZEISSの専用解析ソフトウェアにて測定結果に基づいた粒子群のクラス分け、専用の報告書にまとめる機能も備えています。 更なる詳細情報をもっと迅速に ZEISS Correlative Particle Analysis（CAPA）を使用すると、他社製品での組み合わせで解析を行う場合や、手動で解析を行う場合 とは比較にならない迅速な解析を実現できます。 Complementary Non Noncorrelative Information correlative CAPAmanual automated LM Particle scanning • Number of (25k particle, size ≥ 5µm) 11min 11min 11min particles • Size of particles Particle • Metallic/non- characterization 2min 2min 2min (25k particle, size ≥ 5µm) metallic • Inorganic/ polymeric Automatic EDX EM (all particles or 10 selected particles) ~ 12h < 10min1) • High resolution sub-structure • Compositional Manual EDX (10 selected particles, 10 s per ~ 5h structure of the EDX, retrieval 30min each) critical metallic particles (EDX) Ʃ ~ 5h13min ~ 12h13min 23min 1) inclusive Calibration * EDSの測定時間はマッピングモードではなく、ポイント測定した場合の結果です。 製品画像は実際の仕様と異なる場合がありますのでご注意ください。 本製品の構成、仕様、外観等は予告なく変更する場合があります。（カタログ記載内容：2018年7月現在） 製品の色彩は印刷のため実物とは異なることがあります。 本カタログではTM、®マークは明記していません。システム名、製品名は各開発会社の登録商標または商標です。