リニアエンコーダ 制御用リニヤスケールシステム

リニアエンコーダ ス ケ 制御用リニヤスケールシステム ー ル ユ ニ ッ ト Catalog No.13005(10)

アシ プス リテ ケム ー概 シ要 ョ ン 他 一貫生産による高品質リニアエンコーダ 制御用リニヤスケールシステム目次 Ｓセ Ｔパ 清原工場は、ミツトヨ測定機用のリニアエンコーダおよび外販用「リニヤスケール」の一貫生産工場で シレ 検出原理 ̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶ 3、4 アブソリュートスケールユニット ̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶ 31、32 リー す。ここではリニアエンコーダ用ガラススケールの製造、電装部品の組立て、製品の組立て、検査まで ート ズ形 の一貫生産を行っており、その利点を活かし、更なるスケールの高精度化、品質向上のテーマにも継 制御用リニヤスケールシステム系統図 ̶̶̶̶̶̶̶̶̶ 5 ABS ST700シリーズ ̶̶ ̶̶ ̶̶ ̶̶ ̶̶ ̶̶ ̶̶ ̶ 33～38 続的に取り組んでおります。清原工場の地下研究棟は、高度な目盛加工、精密測定に必要な環境作り 制御用リニヤスケールシステム一覧表 ̶ ̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶ 6 ABS ST1300シリーズ ̶̶ ̶̶ ̶̶ ̶̶ ̶̶ ̶̶ ̶̶ 39～48 を目的に建設されました。 セパレート形・STシリーズ ABS AT1100シリーズ ̶̶ ̶̶ ̶̶ ̶̶ ̶̶ ̶̶ ̶̶ 49～58 清原の盤石な地盤と地下9 mの安定した環境特性を利用し、年間の温度、湿度の変動と外部振動伝 ST36 ̶ ̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶ 7～10 ABS AT1300シリーズ ̶̶ ̶̶ ̶̶ ̶̶ ̶̶ ̶̶ ̶̶ 59～67 播が極力抑制されています。この研究棟におけるマスタスケールの製作、その精度評価および各種 Aア 研究により、リニヤスケールの精度、品質が支えられています。 ST46-EZA ̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶ 11～18 生産中止機種/後継機種 仕様互換表 ̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶ 68 Ｔッ アッセンブリ形・ シセ ATシリーズ リニヤスケールの取り扱いに関して ̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶ 69 リン ーブ AT113 ̶̶ ̶̶ ̶̶ ̶̶ ̶̶ ̶̶ ̶̶ ̶̶ ̶̶ ̶̶ ̶̶ ̶̶ 19～20 ATスケール用エア供給ユニットの仕様について 70、71 ズリ形 表土 スパッタリング装置 AT211 ̶ ̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶ ̶ 21～26 技術資料 ̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶72、73 断熱スタイロフォーム アスファルト防水 インターフェースユニット コンクリート床版 天井裏空間 研究所スペース PSU-200 ̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶ 27、28 防震基礎 PSU-250 ̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶̶ 29、30 ユイ ニン ッタ トー リニヤスケールは、弊社リニアエンコーダ製品の登録商標です。 フ ェ 地下研究棟 ー ス リニアエンコーダ精度評価技術 アプリケーション スア ケ ■半導体製造装置 ブ ーソ リニアエンコーダの精度を保証するには高い信頼性を持った評価システムが必要です。 ATシリーズ　参照 ■各種NC工作機械 ATシリーズ　参照 ダイシングソーの位置決めに 高精度フルクローズドループ制御用に ルリ ワーク ユュ 清原工場の地下研究棟に設置されている自社開発の超高精度測長機は、地下の安定した周 移動テーブル 切削刃 ニー ッ 囲環境に加え、レーザ干渉測長の光路を真空化して不確かさの要因を極力排除したリニアエ ト ト ンコーダの評価システムです。その不確かさは世界最高レベルであり、国際間の相互比較で も確認されています。この高い技術が評価され、2004年度精密工学会の論文賞、2005年度 一般財団法人のFA論文賞を受賞しています。 リニヤスケール リニヤスケール ベット ■露光装置 技 STシリーズ　参照 ■電子部品実装機 術 スキャニングステージの位置決めに STシリーズ　参照 電子部品の高速、高精度実装に 解 リニヤスケール 説 リニヤスケールのトレーサビリティ体系図 リニヤスケール ミツトヨのリニヤスケールは国家標準にトレーサブルです。 国家標準 二次標準 実用標準 ■電子顕微鏡 STシリーズ　参照 ■ FPD検査装置 マスクの観察、パターン回路の測長、欠陥検査等に STシリーズ　参照 欠陥検査・リペアの位置決めに ミツトヨ 計量標準 リニヤスケール 電子ビーム 国立研究開発法人 キャリブレーション課 ミツトヨ 計量標準 ミツトヨ 宇都宮事業所 シリコンウェハ CCDカメラ 産業技術総合研究所 キャリブレーション課 （JCSS認定事業者 №0067） 長さ用 633 nm実用波長安定化 計量標準総合センター （JCSS認定事業者 №0067） 基準周波数発振器 リニヤスケール XYテーブル （リニヤスケールはXYテーブルに内蔵） ワークチャンパ 長さ用633 nmよう素分子吸収線 He-Neレーザ装置 協定世界時に同期した原子時計 （光周波数コム装置の 波長安定化He-Neレーザ装置 光波干渉測長機（スケール用）〈器差〉 モニタ 基準器として使用） 真空ポンプ リニヤスケールは、弊社リニアエンコーダ製品の登録商標です。 XYテーブル駆動方式 1 2 独立行政法人 産業技術総合研究所 国家標準 計量標準総合センター 協定世界時に同期した原子時計 及び光周波数コム装置 ミツトヨ 宇都宮計量標準キャリブレーションセンタ 二次標準 （JCSS認定事業者 No.0031） 長さ用 633nmよう素分子吸収線 波長安定化He-Neレーザ装置 ミツトヨ 宇都宮事業所 実用標準 長さ用 633nm実用波長安定化 He-Neレーザ装置 光波干渉測長機（スケール用） 〈器差〉 リニヤスケール リニヤスケールのトレーサビリティ体系図

検出原理 アシ プス 透過形光電式スケールの検出原理（アッセンブリ形リニヤスケール） 電磁誘導式スケールの検出原理（ リテ ABS ST700、ABS AT1100） アシ プス リテ ケム ケム ー概 ガラススケール シ要 コリメータレンズ 電磁誘導式の基本原理図 　電磁誘導とは、［図1］のように2つのコイルが対向し配 ー概 シ要 ョ ョ ン コイルA 他 受光デバイス 格子目盛 L I1 置されている場合、コイルAに時間的に変化する電流1 1を ン 発光素子 他 （フォトダイオード・アレイ） （目盛ピッチ20 µm） （LED） ～ 流すと、コイルAの周囲に磁束が発生し、コイルBには磁 受光デバイス I2 束を打ち消す方向に誘導起電流 2が生する現象です。（フォトダイオード・アレイ） 20 µm V2 V 　電磁誘導式スケールは電磁誘導を利用して変位量を L 2 電気信号に変換しています。［図2］に検出部の概念図を コイルB 二相正弦波 示します。メインスケールには、正確なピッチでスケール [図1] 電磁誘導式エンコーダの原理 コイルが配置してあります。それに対向して変位するセ 内挿回路 ンサ部には励磁コイルと検出コイルが配置されていま コイルAに時間的に変化する電流Ι1を流すと、コイルAの周囲に磁束が発生する。 コイルBには磁界を打ち消す方向に誘導起電流Ι2が発生する。 す。 励磁コイルに電流を流すと磁束が発生し、対向する 発光素子 （LED） コイル間の透磁率は空気、水、油でほとんど差がない。 スケールコイルに起電流が発生します。その電流によっ コリメータレンズ ガラススケール 分解能 て生じた磁束は対向する検出コイルに起電流を発生さ 二相方形波 電磁誘導式センサは耐水性、耐油性に優れている。 P せます。センサ部の変位量に応じて各コイル間の電磁結 電 　アッセンブリ形リニヤスケールは、ガラススケールを長さの基準として、その格子目盛から発光素子、受光デバイスを用い 圧 Ｖ 合が変化し、スケールコイルのピッチと同じ周期の正弦 て光量変化を検出し変位量を出力しています。ガラススケールの透過光量変化を電気信号に変換する方式を透過形光電式 波信号が得られます。 変位量 検出コイル 変位 と呼びます。 センサ部 マルチトラック化により 　この正弦波信号を電気的に内挿（分割）することによ 励磁コイル スケールコイルアブソリュートエンコーダを構成。 　発光素子（LED）とコリメータレンズにより生成された平行光は、格子目盛を照射します。格子を透過した平行光は、受光デ り、最小分解能のデジタル量として変位測定が可能とな バイスのフォトダイオードアレイ上に格子目盛と同じ周期の干渉縞を生成します。ガラススケールが測長方向に変位すると ります。 スケールにコイルを その干渉縞が移動し、受光デバイスから格子目盛の周期である20 µmピッチの正弦波信号が出力されます。 P 定ピッチで配置 　出力される正弦波は内挿回路で電気分割することで最小分解能を持った方形波（パルス）になります。　 [図2]電磁誘導式スケールの検出原理 反射形光電式スケールの検出原理（ST36等） 両側テレセントリック光学系の原理（ABS ST1300、ABS AT1300） 両側テレセントリックの撮像光学系を搭載した、光電式リニアエンコーダ 受光素子 受光素子 Z 光源 + 両側テレセントリック光学系 X 　両側テレセントリック光学系 Y Z X コリメータレンズ スケール 焦点深度が深い スケール 撮像範囲が広い 検出原理 ・両側テレセントリックの撮像光学系によりスケールの目盛を像としてとらえ、その移動量を受光素子で検出する。 　光電式のセパレート形リニヤスケールは、ガラススケールの格子目盛から発光素子、受光デバイスを用いて、光量変化を検出 し変位量を出力しています。ガラススケールの反射光量変化を電気信号に変換する方式を反射形光電式と呼びます。 特長 　発光素子（LED）とコリメータレンズにより生成された平行光は、インデックススケールの格子およびガラススケールの格子目 ・両側テレセントリックの撮像光学系の採用 ⇒エンコーダのロバスト性向上 盛を照射します。格子目盛を反射した光は、受光デバイスのフォトダイオードアレイ上に干渉縞を生成します。ガラススケール 　●深い焦点深度の確保 ⇒ GAP変動許容（スケールのうねりやステージの姿勢変動、検出器の取付許容など）の拡大 　●広い撮像範囲を確保 ⇒ スケールの汚れや微小なキズなどに対する許容の拡大が測長方向に変位するとその干渉縞が移動し、受光デバイスから目盛周期または１/２周期の正弦波信号が出力されます。 3 4

制御用リニヤスケールシステム系統図 制御用リニヤスケールシステム一覧表 スケールユニット 符号 原点機能 アブソ 正弦波信号の リュート機能 出力信号周期 電装ユニット 分割数 分解能 最大応答速度※1 最小エッジ間隔※2 参考ページ アシ アシ プス プス リテ ST36B 400 0.01 µm 70 mm/s リテ ケム セ ケム ー概 ST36C 200 0.02 µm 150 mm/s (ST36A) ○ － － 4 µm （PSU-200） 125 ns P7～10 シ要 パ ー概 レ 80 0.05 µm 360 mm/s シ要 ョ ン インクリメンタル系 ー (ST36D) ョ 40 0.1 µm 720 mm/s ン 他 ト 他 タ 400 0.05 µm 450 mm/s イ セパレート形 プ 200 0.1 µm 900 mm/s リ ST46-EZA ○ － 20 µm － 40 0.5 µm 2600 mm/s 100 ns P11～18 ニ ヤ 20 1 µm 2600 mm/s 方形波正弦波同時出力タイプ ス ケ 4 5 µm 2600 mm/s ー ABS ST700 － ○ － － － 0.1 µm 5000 mm/s － P33～38 ル 高精度タイプ : ST36※ P7~10 ABS ST1300 － ○ － － － 0.001 µm 8000 mm/s※4 － P39～48 ※差動1Vp-p正弦波出力タイプもラインナップして 0.01 µm 　おりますので、別途ご相談ください。 200 0.1 µm 800 mm/s 小形タイプ : ST46-EZA P11~18 100 0.2 µm 1600 mm/s 80 0.25 µm 40 0.5 µm アッセンブリ形 AT113 ○ － 20 µm PSU-200 125 ns P19、 20 ア 20 1 µm ッ 2000 mm/s※3 セ 10 2 µm ン 正弦波出力タイプ ブ 8 2.5 µm リ 4 5 µm タ スリムタイプ : AT113 P19~20 イ 200 0.1 µm 710 mm/s プ 100 0.2 µm 1400 mm/s 125 ns リ ニ 40 0.5 µm 方形波出力タイプ ヤ AT211 ○ － 20 µm － P21～26 ス 20 1 µm 250 ns 2000 mm/s ケ 8 2.5 µm 500 ns スリム・高速タイプ : AT211 P21~26 ー ル 4 5 µm 1000 ns ABS AT1100 － ○ － － － 0.05 µm 3000 mm/s － P49～58 0.001 µm ABS AT1300 － ○ － － － 0.01 µm 3000 mm/s － P59～67 0.05 µm アブソリュート系 ※1：パルス出力タイプの最大応答速度は理論値（ICスペック）に約10％のマージンをみています。また、スケールの応答速度と分解能により制限されます。 ※2：最小エッジ間隔の説明につきましては、P74「用語解説」の内容を参照ください。 　 最小エッジ間隔の保証値は＋0％、－10％です。スケール機種によっては、上記以外の値も選択可能です。 スリムタイプ : ABS ST700シリーズ P33~38 ※3：AT113は最大応答速度2000 mm/sです。 セパレート形 ※4：インターフェースにより異なります。 高分解能タイプ : ABS ST1300シリーズ P39~48 標準タイプ : ABS AT1100シリーズ P49~58 アッセンブリ形 スリムタイプ : ABS AT1300シリーズ P59~67 信号変換ユニット 信号変換ユニット : PSU-200 P27, 28 シリアル変換ユニット: PSU-251/252 P29, 30 5 6

セパレート形・STシリーズ 正弦波出力/方形波出力タイプ スケールユニット（高精度タイプ） ST36 ■出力信号波形 ●二相正弦波（A、Cタイプ） ●差動1Vpp正弦波（Dタイプ） 出力信号ピッチ λ＝4 µm＝360° A相 Vref A相 Vref ■特長 出力信号ピッチ4 µm Ｓセ Ｓセ Ｔパ Ｔパ シレ ●指示精度±0.5 µm（有効測定長300 mmまで）の高精度タイプです。 シレ リー ●薄形検出ヘッドを実現しました。（厚さ ート 11.5 mm） B相 Vref リー XA相 Vref ート ズ形 ●最大有効測定長3000 mm対応のため、大形装置にも使用可能です。 ズ形 ●信号出力仕様毎に4機種をラインナップしております。 位相差90（°Typ） ST36 ●信号異常時のLED表示機能付です。 VPP＝2 V Vref≒2.5 V ST36 ■仕様 ●スケール原点 200±100 µm B相 Vref 項目 符号 ST36A ST36B ST36C ST36D VOH＝2.4 V min. 検出方式 反射形光電式リニアエンコーダ 位相差90°±10° PZ VOL＝0.4 V max. メインスケール格子ピッチ 8 µm （注意）PZ信号とA相信号およびB相信号との位相差の定義はいたしません 主信号出力ピッチ 4 µm 二相方形波 二相方形波 差動1 Vpp正弦波 XB相 Vref 出力信号形態 二相正弦波 ●二相方形波（B、Cタイプ） （リセット入力仕様） 二相正弦波 有効測定長 10～3000 mm 180°±90° 有効測定長 10 ～300 mm ：±0.5 µm 有効測定長 指示精度（20 ℃） 350 ～500 mm ：±1.0 µm Z相 Vref 有効測定長 600 ～1000 mm ：±2.0 µm 有効測定長 1100 ～3000 mm ：±2.0 µm/m 熱膨張係数 ≈8×10－6/Κ XZ相 Vref 最大応答速度 1200 mm/（s 正弦波出力時） ※二相方形波出力仕様は、P9を参照ください。 （ ） Vref≒2.5 V スケール原点※ 有（50 mmピッチ、10～80 mm：中央1点） 供給電源 DC5 V ±5 % λ＝100 % 最大消費電流 120 mA 250 mA 190 mA （注意）PZ信号とPA信号（またはPB信号） 　　　 との位相差は関係しません。 使用温度/湿度範囲 0～40 ℃　20～80 %RH（非結露） 保存温度/湿度範囲 －20～60 ℃　20～80 %RH（非結露） アラーム表示機能 スケールのアラームをI/F BoxのLEDで表示 ※：スケール原点検出の最大速度は、20 mm/sとなります。 ■出力仕様 1 8 1.出力コネクタ仕様（A、B、Cタイプ） 2.出力コネクタ仕様（Dタイプ） ■各部の名称 ■アラームリセット送受信回路（Bタイプ） ・出力コネクタ（オス）：RDAD-15P-LNA（05）（ヒロセ電機相当） ・出力コネクタ（オス）：RDAD-15P-LNA（05） inchねじ（ヒロセ電機相当） 9 15 ・適合コネクタ（標準付属）：D15-403N-110（テクニカル電子相当） ・適合コネクタ（標準付属）：D15-403N-150 inchねじ（テクニカル電子相当） （10-80） ピンNo. Aタイプ信号名 Bタイプ信号名 Cタイプ信号名 Dタイプ信号名 1 0V（GND） 0V（GND） 0V（GND） XA相 2 0V（GND） 0V（GND） 0V（GND） XB相 3 ＋5V ＋5V ＋5V Z相 4 ＋5V ＋5V ＋5V ＋5V（VDD） 5 A相 リセット入力（アノード） A相 ＋5V（VDD） （100-3000） 6 B相 リセット入力（カソード） B相 N.C 7 Vref Vref Vref N.C リセット入力 8 P（Z スケール原点） P（Z スケール原点） P（Z スケール原点） N.C アラームリセット入力回路は、電流が3～10 mAになるように接続してください。また、 本体内部に抵抗（1.2 kΩ）を内蔵していますので、A（L アノード）－A（L カソード）間に 9 N.C ALM（アラーム、負論理） ALM（アラーム、負論理） A相 5～12 Vをパルス幅10 ms以上与えることによりアラームリセットすることが可能です。 10 Vref PA PA B相 また、12 V以上を与える場合には、外部に抵抗を追加してください。 11 N.C PA PA XZ相 12 N.C PB PB 0V（GND） （付属品） 13 N.C PB PB 0V（GND） 14 N.C PZ PZ N.C 15 F.G F.G F.G 0V（GND） 7 8 VPP VPP 0.15-0.35 V 0.15-0.35 V 0.2-0.6 V 0.2-0.6 V 0.2-0.6 V 0.2-0.6 V

仕様項目選択方式 ●ST36はさまざまな仕様を用意しています。 ●ご要求仕様に合わせて下記数字およびアルファベット をお選びください。 　また、標準仕様（下記推奨項目●/◎印）で良い場合 は、P10のコードNo.、符号にてご依頼ください。 ■取り付け参考図 ●10～80 mm（接着固定タイプ） ●100～3000 mm 単位：mm ■符号の見方 ST36 - - - - Ｓセ 32±0.2 2 32±0.2 2 2×M3深4 2×M3深4 16.9±0.1 Ｓセ Ｔパ 14.9±0.1 // 0.03 A Ｔパ シレ スケール全長 L （0.6）2 11.5 // 0.03 A シレ リー 11.5 （0.6） （20） 有効測定長 L1 （20） 0.015 A リー ート ■主信号出力形態 36 スケール原点マーク 0.015 A ø2（調整ピン用穴）スケール原点信号出力時のヘッド中心位置 （50 mmピッチ） ート ズ形 ø2（調整ピン用穴） 取付け面 32±0.2 2 検出器中心 ズ形 記号 出力 検出器中心 検出器中心 L1/2 2×M3深4 取付け面 2-M3深4 ST36 A 正弦波 ST36 B 方形波+外部リセット入力 C 正弦波＋方形波 ■特殊符号 D 差動1 Vpp 記号 内容 2.8±0.1 32±0.2 2 // 0.01/100 G ●なし 標準選択仕様 □ 0.01/100 36 A ■有効測定長 （ 4.8+0.2 Z 特別仕様 0 L2-L1）/2 有効測定長L1 L3 L3 // 0.01/100 G ※特殊内容がある場合は、Zを選択 スケール全長L2 G;マシンガイド □ 0.01/100 記号 有効測定長（mm） 記号 有効測定長（ A mm） 0010 10 0900 900 4× G;マシンガイド R 2×4 ø4.5 0025 25 1000 1000 ■ヘッドケーブル長 0050 50 1100 1100 記号 長さ 0075 75 1200 1200 　　●A 1 m（高屈曲仕様） 0080 80 1300 1300 B 0.5 m（高屈曲仕様） 5 25±0.2 Model ST36 0100 100 1400 1400 B No. A00001 Part No. 06ABZ763 35 Z 特殊長さ指定（Max.2.5 m） Mitutoyo Corporation MADE IN JAPAN 0150 150 1500 1500 R4 スケール押さえばねA 4 68±0.2 0200 200 1600 1600 2×ø4.5 2×M5通シ （5） 80 0250 250 1700 1700 ■アラーム出力形態 0300 300 1800 1800 0350 350 2000 2000 記号 内容 No. A00001 0400 400 2200 2200 　　●S アラーム信号 5 25±0.2 0450 450 2400 2400 H ハイインピーダンス ヘッドケーブル1 m（高屈曲仕様） 35 （特注にて、Max. 2.5 ｍ迄対応可能） 0500 500 2500 2500 ◎Z ［主信号出力形態］が［A］または［D］の場合 スケール押さえばねB 0600 600 2600 2600 0700 700 2800 2800 ■ディレクション 0800 800 3000 3000 ■スケールユニット寸法表 ※標準仕様につきましては、商品記号の有効測定長部分の表記が異な 記号 内容 りますのでご注意ください。 ●1 正：PA進相 有効 スケール スケール スケール スケール 有効 スケール スケール スケール スケール 標準仕様の例） 2 逆：PB進相 コードNo. 符号 測定長 全長 固定ピッチ 押さえ 押さえ コードNo. 符号 測定長 全長 固定ピッチ 押さえ 押さえ 有効測定長10 mmの場合：ST36□-0010 L（1 mm） L（2 mm） L（3 mm） ばねA ばねB 有効測定長250 mmの場合：ST36□-0250 ◎Z ［主信号出力形態］が［A］または［D］の場合 L（1 mm） L（2 mm） L（3 mm） ばねA ばねB 579-501-0□ ST36◇-10 10 30 ̶ ̶ ̶ 579-518-0□ ST36◇- 900 900 940 90 1個 10個 579-502-0□ ST36◇-25 25 45 ̶ ̶ ̶ 579-519-0□ ST36◇-1000 1000 1040 100 1個 10個 ■スケール原点 579-503-0□ ST36◇-50 50 70 ̶ ̶ ̶ 579-520-0□ ST36◇-1100 1100 1140 90 1個 12個 579-504-0□ ST36◇-75 75 90 ̶ ̶ ̶ 579-521-0□ ST36◇-1200 1200 1240 100 1個 12個 記号 有効測定長10～80 µm 記号 有効測定長100～3000 mm 579-505-0□ ST36◇-80 80 100 ̶ ̶ ̶ 579-522-0□ ST36◇-1300 1300 1340 130 1個 10個 ●B 中央1点（10～80） ●A 50 mmピッチ 579-506-0□ ST36◇-100 100 140 50 1個 2個 579-523-0□ ST36◇-1400 1400 1440 100 1個 14個 Z 特殊位置指定 B 中央1点 579-507-0□ ST36◇-150 150 190 75 1個 2個 579-524-0□ ST36◇-1500 1500 1540 125 1個 12個 ※有効測定長10～80 mmの原点位置は、 Z 特殊位置指定 579-508-0□ ST36◇-200 200 240 100 1個 2個 579-525-0□ ST36◇-1600 1600 1640 100 1個 16個 ［ B：中央1点］が標準仕様となります。 579-509-0□ ST36◇-250 250 290 60 1個 4個 579-526-0□ ST36◇-1700 1700 1740 120 1個 14個 ■分解能・最小エッジ間隔 579-510-0□ ST36◇-300 300 340 75 1個 4個 579-527-0□ ST36◇-1800 1800 1840 100 1個 18個 579-511-0□ ST36◇-350 350 390 85 1個 4個 579-528-0□ ST36◇-2000 2000 2040 100 1個 20個 最小エッジ間隔 579-512-0□ ST36◇-400 400 440 100 1個 4個 579-529-0□ ST36◇-2200 2200 2240 100 1個 22個 分解能 125ns 250ns 500ns 1000ns 579-513-0□ ST36◇-450 450 490 75 1個 6個 579-530-0□ ST36◇-2400 2400 2440 100 1個 24個 A： 70 mm/s 0.01 µm B： 30 mm/s C： 15 mm/s D： 8 mm/s 579-514-0□ ST36◇-500 500 540 80 1個 6個 579-531-0□ ST36◇-2500 2500 2540 95 1個 26個 0.02 µm 579-515-0□ ST36◇-600 600 640 100 1個 6個 579-532-0□ ST36◇-2600 2600 2640 100 1個 26個 E： 150 mm/s F： 70 mm/s G： 30 mm/s H： 15 mm/s 0.05 µm 579-516-0□ ST36◇-700 700 740 85 1個 8個 579-533-0□ ST36◇-2800 2800 J： 360 mm/s K： 180 mm/s L： 90 mm/s M： 2840 100 1個 28個 45 mm/s 3040 100 1個 30個0.1 µm 579-517-0□ ST36◇-800 800 840 100 1個 8個 579-534-0□ ST36◇-3000 3000 N： 720 mm/s ●P： 360 mm/s Q： 180 mm/s R： 90 mm/s ̶ ◎Z：［主信号出力形態］が［A］［D］の場合 ̶ 最大応答速度は正弦波－3 dB減衰時にて1.2 m/s.となります。 ※上記のコードNo.品は推奨項目●/◎印の仕様です。推奨仕様で良い場合上記コードNo.にてご発注ください。 ※最小エッジ間隔は、使用環境条件により0～－10 %の範囲でばらつきます。 　　◇→A（ニ相正弦波）の場合 ：□→1 　　◇→B（ニ相方形波＋リセット入力）の場合 ：□→2 　　◇→C（ニ相正弦波＋二相方形波）の場合 ：□→3 　　◇→D（差動1Vp-p）の場合 ：□→4 ※検出ヘッドが上図のように移動した際の波形です。 9 10 6.6 7±0.2 （12.1） 6 10 8 9±0.2 22 A00001 19 5 ø22 ø5 17.8 6.6 7±0.2 R4 6 （12.1） 10 （9） 5.5±0.2 42±0.2 4 50 21 21 5 5 12+0.5 0 22 22 A00001 22以上 No. A00001

セパレート形・STシリーズ 正弦波出力 / 方形波出力タイプ スケールユニット （小形タイプ） ST46-EZA ■出力仕様 ■出力信号波形と出力仕様 1 8 ●コネクタピンアサイン ●二相方形波（Bタイプ） （ Bタイプ） 適合コネクタ（付属品） HDAB-15S 9 15 ピンNo. 信号名 ピンNo. 信号名 1、2 0 V（GND） 10 PA（ 主信号パルス_正相） 金属テープスケールタイプ 両端固定仕様 3、4 +5 V（Vcc） 11 PA（主信号パルス_逆相） Ｓセ 5 リセット入力 A（L アノード） 12 PB（ 主信号パルス_正相） Ｓセ Ｔパ 6 リセット入力 A（L カソード） 13 PB（主信号パルス_逆相） Ｔパ シレ シレ リー 7 N.C. 信号ケ14ーブル部P（Zコ原ネ点信ク号タ（パルCスN_3逆）（相）オス） td リー ート ズ形 8 PZ（ 原点信号パルス_正相） 15 F．G ート 9 ALM（ アラーム） ピンNo. 信号名 ピンNo. 信号名 ズ形 1、2、13 0V 8 PB VOH = 2.5 V（最小） ST46- 3、4、11 ＋5V 9 PZ VOL = 0.5 V（最大） 5 PA 10 PZ ST46- EZA ●コネクタピンアサイン td： エッジ間隔、分解能 1 8 6 PA 12、14 未使用 EZA ガラススケールタイプ 金属テープスケールタイプ （ Cタイプ） 7 PB 15 F.G 適合コネク適タ（合CコNネ4ク）：タH（D付A属B-品15）HDAB-15S S（ヒロセ又は相当品（Dsubシリーズ）使用可） 両面テープ固定仕様 0.8±0.4 mm 9 15 ■特長 ピンNo. 信号名 ピンNo. 信号名 ●二相正弦波、二相方形波（Cタイプ） ●押しボタンによる“信号自動調整機能（EZA機能）” を搭載 1、2 0V（GND） 10 PA（ 主信号パルス_正相） 最小エッジ間隔　100～800ns ●検出ヘッド取付時に信号強度が確認できる“セットアップインジケータ” をコネクタシェルに搭載（オシロスコープやPCが不要） 3、4 +5V（Vcc） 11 PA（主信号パルス_逆相） 5 A相（正弦波） 12 PB（ 主信号パルス_正相） ●PCと接続することで “信号強度確認” 、“パラメータ設定” が可能（オプション：アプリケーションプログラム） A相 VDC 6 B相（正弦波） 13 PB（主信号パルス_逆相） ●コネクタシェル内に I/F 回路を搭載“省スペース化” を実現 7 Vre（f ≒Vcc／2） 信号ケ14ーブル部P（Zコ原ネ点信ク号タ（パルCスN_3逆）（相）オス） （注意）PZ信号とPA信号（又はPB信号） 　　　との位相差は関係しません。 ●金属テープスケールタイプでは取付断面積が12.5×9.325 mmの省スペース設計が可能 8 PZ（ 原点信号パルス_正相） 15 F．G 出力信号ピッチ20 µm ピンNo. 信号名 ピンNo. 信号名 ●ガラススケールと金属テープスケールをラインナップ 9 ALM（アラーム） 1、2、13 0V 8 PB 3、4、11 ＋5V 9 PZ 5 PA 10B相 PZ V 6 PA 12、14 未使用 DC ■仕様 7 PB 15 F.G ●アプリケーションプログラムに適合つコいネてクタ（CN4）：HDAB-15S（ヒロセ又は相当品（位D相s差ub9シ0リ°（ーTズyp））使用可） 項目 符号 ST46-EZA （オプション：パーツNo.06AEF800） コネクタ電装部に Vpp=2 v VDC=V ref. (Vcc/2≒2.5 V) 検出方式 光学式反射形リニアエンコーダ セットアップインジケータ搭載 スケール仕様 ガラス仕様 金属テープ仕様 ス ケール格子ピッチ 20 µm 出力信号形態 Bタイプ：ニ相方形波、原点パルス、外部リセット入力 Cタイプ：ニ相方形波、原点パルス、ニ相正弦波 min. 有効測定長 10～3000 mm max. 有効測定長 10～300 mm ：±1 µm 有効測定長 10～1000 mm ： ±5 µm 指示精度 有効測定長 350～500 mm ：±2 µm 有効測定長1100～3000 mm ： ±5 µm/m （20℃において） 有効測定長 600～1000 mm：±3 µm (スケール単体の精度となります。両端固定の場合は 有効測定長1100～3000 mm：±3 µm/m 引っ張り固定後、2点間補正を実施ください) NC側 熱膨張係数 ≈8×10－6/Κ ≈11×10－6/Κ td ※取付部材の材質が鉄相当の場合 検出ヘッド スケール原点 有（50 mmピッチ、10～80 mm：中央1点） 最大応答速度 2600 mm/s (正弦波振幅-3 dBにて VOH = 2.5 V（最小） ) コネクタシェル マイクロUSB 分解能： 0.05～5μm VOL = 0.5 V（最大） 供給電源電圧 DC5 V ±5 % td： エッジ間隔、分解能 最小エッジ間隔　100～800ns 最大消費電流 250 mA 1000μm 使用温度/湿度範囲 0～40 ℃　20 %～80 %RH（非結露） 保存温度/湿度範囲 -20～60 ℃　20 %～80 %RH（非結露） 0.8±0.4 mm ※最小エッジ間隔、分解能はI/F Box無いのSWにより設定。 検出ヘッド移動方向 スケールトラック ■システム構成 （注意）PZ信号とPA信号（又はPB信号）との位相は関係しません。 メインスケール 出力コネクタ（付属品） ※検出ヘッドが上図のように移動した際の波形です。 フィードバックケーブル 原点マーク 検出ユニット コントローラ お客様ご手配（フィードバックケーブル・コントローラ） PC画面で信号強度確認・パラメータ設定が可能 （PCは、お客様にてご準備をお願いします） 11 12 VPP VPP

仕様項目選択方式 ●ST46-EZAはさまざまな仕様を用意しています。 ●ご要求仕様に合わせて下記数字およびアルファベット をお選びください。 　また、標準仕様（下記推奨項目●印）で良い場合は、 ■符号の見方 P14～P18のコードNo.、符号にてご依頼ください。 ■ST46-EZAスケールユニット取り付け参考図 ST46-EZA - - ●有効測定長10～80 mm（アルミベースなし） ●有効測定長10～80 mm（アルミベースあり） 2×M2.5 深さ3 ■主信号出力形態 ■特殊符号 記号 内容 記号 内容 単位：mm 2×M2.5 深さ3 Ｓセ B 方形波＋外部リセット入力 ●なし 標準選択仕様 26 14.4±0.1 ±0.2 Ｓセ Ｔパ C 方形波＋正弦波 Z 特別仕様 30 7.5 （1.8） Ｔパ シレ シレ リー 26 12.1±0.1 26±0.2 ±0.2 リー ート ■ヘッドケーブル長 // 0.05 A ズ形 ■有効測定長 30 7.5 （1.8） 2×M2.5 深さ3 // 0.02 G ート 記号 長さ ズ形 26±0.2 記号 有効測定長 ●A 1 m（標準） 2×M2.5 深さ3 ST46- （mm） 記号 有効測定長 （mm） 記号 有効測定長 // 0.05 A （mm） EZA B 0.5 m // 0.02 G ST46- 0010 10 0450 450 1600 1600 C 2 m S/N B0700001 EZA 0025 25 0500 500 1700 1700 Z 特殊長さ指定（Max.2.5 m） L3 L 5.1 0050 50 0600 600 1800 1800 2.8 4 有効測定長 L G:マシンガイド 1 有効測定長 L1 A 0075 75 0700 700 2000 2000 ■アラーム出力形態 A スケール全長 L2 0.02 G:マシンガイド スケール全長 L2 0.02 0080 80 0800 800 2200 2200 記号 内容 2×R2.75 // 0.02 G 接着剤塗布部 2×R2.75 // 0.02 G 0100 100 0900 900 2400 2400 ●S アラーム信号 シリコン系 // 0.02/100 G KE441を使用のこと。 0150 150 1000 1000 2500 2500 H ハイインピーダンス 0200 200 1100 1100 2600 2600 スケール図面 （2.8） 0250 250 1200 1200 2800 2800 ■ディレクション 0300 300 1300 1300 3000 3000 記号 内容 2×ø2.8 2×ø2.8 M2.6×0.45 M2.6×0.45 0350 350 1400 1400 ●1 正 25 25 0400 400 1500 1500 2 逆 // 0.02/100 G S/N B0700001 63 0.02/100 63 2 0.4 ※標準仕様につきましては、商品記号の有効測定長部分の表記が異な L4 L 2×3 ø3.4 3.8 りますのでご注意ください。 S/N B0700001 S/N B0700001 ST46-EZA MADE IN JAPAN スケール取付部 推奨図（Scale=2/1） ST46-EZA MADE IN JAPAN 06ADY287 Kawasaki,Japan 06ADY287 Kawasaki,Japan 5.1 標準仕様の例） ディレクションが正の時の正弦波、方形波出力信号（A相、B相）、 （2） （2） 有効測定長10 mmの場合: ST46EZA□-0010 原点信号の波形は下図の通りです。 有効測定長250 mmの場合: ST46EZA□-0250 ■原点位置・スケール形状 A相 VDC 記号 スケール形状（有効測定長） 原点位置（有効測定長） ■スケールユニット寸法表 ●A ガラススケール単体－t4.8×w22（100～3000 mm）50 mmピッチ 出力信号ピッチ20 µm ●10～80 mm（アルミベースなし） ●10～80 mm（アルミベースあり） ●B ガラススケール単体－t2.8×w8（10～80 mm） 中央1点 ●C アルミベース付ガラススケール－t5.1×w23（10～80 mm）中央1点 有効測定長 スケール 有効測定長 スケール コードNo. 符号 L1 全長 L2 コードNo. 符号 L1 全長 L L3 L4 D 金属テープスケール両端固定－t0.2×w13（500～3000 mm）50 mmピッチ 2 B相 V (mm) (mm) (mm) (mm) (mm) (mm) DC E 金属テープスケール両面テープ固定 中央1点（10～80 mm） －t0.2×w13（10～3000 mm） 50mmピッチ（100～3000 mm） 579-665-12 ST46EZAB-10B 10 30 579-665-13 ST46EZAB-10C 10 30 15 7.5 Z 特殊形状 特殊位置指定 579-666-12 ST46EZAB-25B 25 45 579-666-13 ST46EZAB-25C 25 45 25 10 位相差90°（Typ） Vpp=2 v VDC=V ref. (Vcc/2≒2.5 V) 579-667-12 ST46EZAB-50B 50 70 579-667-13 ST46EZAB-50C 50 70 40 15 579-668-12 ST46EZAB-75B 75 90 579-668-13 ST46EZAB-75C 75 90 60 15 ■分解能・最小エッジ間隔 579-669-12 ST46EZAB-80B 80 100 579-669-13 ST46EZAB-80C 80 100 70 15 記号 分解能 最小エッジ間隔 最大応答速度 579-665-22 ST46EZAC-10B 10 30 579-665-23 ST46EZAC-10C 10 30 15 7.5 A 100 ns 450 mm/s 579-666-22 ST46EZAC-25B 25 45 579-666-23 ST46EZAC-25C 25 45 25 10 B 200 ns 225 mm/s 579-667-22 ST46EZAC-50B 50 70 579-667-23 ST46EZAC-50C 50 70 40 15 0.05 µm C 400 ns 112 mm/s 579-668-22 ST46EZAC-75B 75 90 579-668-23 ST46EZAC-75C 75 90 60 15 D 800 ns 56 mm/s 579-669-22 ST46EZAC-80B 80 100 579-669-23 ST46EZAC-80C 80 100 70 15 E 100 ns 900 mm/s ●F 200 ns 450 mm/s 0.1 µm G 400 ns 225 mm/s td H 800 ns 112 mm/s J 100 ns 2600 mm/s VOH = 2.5 V（最小） K 200 ns 2250 mm/s VOL = 0.5 V（最大） 0.5 µm L 400 ns 1125 mm/s td： エッジ間隔、分解能 M 800 ns 562 mm/s N 100 ns 2600 mm/s 0.8±0.4 mm P 200 ns 2600 mm/s 1 µm Q 400 ns 2250 mm/s R 800 ns 1125 mm/s 検出ヘッド移動方向 スケールトラック S 100 ns 2600 mm/s T 200 ns 2600 mm/s 5 µm U 400 ns 2600 mm/s V 800 ns 2600 mm/s 原点マーク 13 14 VPP VPP 26 8.5±0.2 2 5.5±0.2 12.5 （9.3） 13.5 21±0.2 16.3 44 8.5 1 7 1.5 1.5 8 3.3±0.2 26 20 5.5±0.2 8.5±0.2 2 （9.3） 13.5 21±0.2 12.5 16.3 44 23 20 23 0.2±0.2

●有効測定長100～3000 mm 単位： ●両端固定仕様（有効測定長 mm 500～1000 mm） 単位：mm 2×M2.5 深さ3 （5） 19±0.2 46±0.2 （100±0.2）×n ±0.3 40.5±0.2 20±0.2 （11.5） 固定ブロック （33） （13） 6.5 引張りブロックA ø3.8 26±0.2 スケール全長 L2 14.1±0.1 （20） 有効測定長 L1 （20） 7.5 （1.8） ø6.4 2×M2.5 深3 26 A 30 ±0.2 2×M2.5 深さ3 26 // 0.05 A // 0.2 A // 0.05 G ±0.2 （8） スケールホルダA長 L4 （6.5） 0.05/1000 スケール長 L3 ø5 G:マシンガイド Ｓセ B Ｔパ // 0.02 G Ｓセ Ｔパ シレ 2×ø3.4キリ シレ リー ート 29 リーø6.5座グリ深サ3.5 2×ø3.4キリ 52.5 ート ズ形 固定ブロック 取付寸法図 // 0.05 A （14） ズ形 引張りブロックA 取付寸法図 スケール固定ピッチ L3 スケール固定ピッチ L3 G:マシンガイド B スケール原点信号出力位置 30 7.5 1.5±0.1 ST46- 2×R2.75 4.8 // 0.1 G 50 mmピッチ 2×M2.5 深3 26±0.2 // 0.05 B X 0.2 ST46- EZA EZA A 0.02 // 0.02 G X' （0.6） 5.9 （68） 有効測定長 L1 （74） 2×ø2.8 25 M2.6×0.45 スケール全長 L2 断面 X-X' 63 25 1.5 0.4 25 1.5 0.4 S/N B0700001 2×ø4.5 2×ø4.5 2×R2.75 ST46-EZA MADE IN JAPAN 06ADY287 Kawasaki,Japan 35 35 （2） スケール押さえばねB スケール押さえばねA ■スケールユニット寸法表 ●有効測定長100～3000 mm 2×ø2.8 M2.6×0.45 コードNo. 符号 有効測定長 スケール スケール固定 スケール スケール 25 63 L1 (mm) 全長 L2 (mm) ピッチL3 (mm) 押えばねA (個) 押えばねB (個) 579-670-□1 ST46EZA◇-100A 100 140 50 2 579-671-□1 ST46EZA◇-150A 150 190 75 2 S/N B0700001 ST46-EZA MADE IN JAPAN 06ADY287 Kawasaki,Japan 579-672-□1 ST46EZA◇-200A 200 240 100 2 579-673-□1 ST46EZA◇-250A 250 290 60 4 （2） 579-674-□1 ST46EZA◇-300A 300 340 75 4 579-675-□1 ST46EZA◇-350A 350 390 85 4 579-676-□1 ST46EZA◇-400A 400 440 100 4 ■スケールユニット寸法表 579-677-□1 ST46EZA◇-450A 450 490 75 6 579-678-□1 ST46EZA◇-500A 500 540 80 6 コードNo. 符号 有効測定長 スケール スケール長 スケール L1 (mm) 全長 L2 (mm) L3 (mm) ホルダA長L4 (mm) n 579-679-□1 ST46EZA◇-600A 600 640 100 6 579-680-□1 ST46EZA◇-700A 700 740 85 8 579-678-□4 ST46EZA◇- 500D 500 642 590 546 5 579-681-□1 ST46EZA◇-800A 800 840 100 8 579-679-□4 ST46EZA◇- 600D 600 742 690 646 6 579-682-□1 ST46EZA◇-900A 900 940 90 10 579-680-□4 ST46EZA◇- 700D 700 842 790 746 7 579-683-□1 ST46EZA◇-1000A 1000 1040 100 10 579-681-□4 ST46EZA◇- 800D 800 942 890 846 8 579-684-□1 ST46EZA◇-1100A 1100 1140 90 1 12 579-682-□4 ST46EZA◇- 900D 900 1042 990 946 9 579-685-□1 ST46EZA◇-1200A 1200 1240 100 12 579-683-□4 ST46EZA◇-1000D 1000 1142 1090 1046 10 579-686-□1 ST46EZA◇-1300A 1300 1340 130 10 ※上記のコードNo.品は、推奨項目（ ●印）の仕様です。推奨仕様でよい場合、上記コードNo.符号にてご指定ください。 579-687-□1 ST46EZA◇-1400A 1400 1440 100 14 ◇ → B（二相方形波+外部リセット入力）の場合 ： □ → 1 579-688-□1 ST46EZA◇-1500A 1500 1540 125 12 ◇ → C（二相方形波+二相正弦波）の場合 ： □ → 2 579-689-□1 ST46EZA◇-1600A 1600 1640 100 16 579-690-□1 ST46EZA◇-1700A 1700 1740 120 14 579-691-□1 ST46EZA◇-1800A 1800 1840 100 18 579-692-□1 ST46EZA◇-2000A 2000 2040 100 20 579-693-□1 ST46EZA◇-2200A 2200 2240 100 22 579-694-□1 ST46EZA◇-2400A 2400 2440 100 24 579-695-□1 ST46EZA◇-2500A 2500 2540 95 26 579-696-□1 ST46EZA◇-2600A 2600 2640 100 26 579-697-□1 ST46EZA◇-2800A 2800 2840 100 28 579-698-□1 ST46EZA◇-3000A 3000 3040 100 30 ※上記のコードNo.品は、推奨項目（ ●印）の仕様です。推奨仕様でよい場合、上記コードNo.にてご指定ください。 ◇ → B（二相方形波+外部リセット入力）の場合 ： □ → 1 ◇ → C（二相方形波+二相正弦波）の場合 ： □ → 2 15 16 26 5.5±0.2 8.5±0.2 2 （9.3） 13.5 21±0.2 16.3 44 21 5 12+0.5 0 22 12.5 21 0.9±0.2 5 16 15.6 13.2 6.6 4.8 1.3 26 5.5±0.2 8.5±0.2 2 13.5 21±0.2 16.3 44 17.1 8 1.5 16 6.5 12.4 12.5 2.5±0.2 8 13 （16） S/N B0000777

●両端固定仕様（有効測定長1100～3000 mm） ●両面テープ固定仕様 単位：mm 単位：mm （5） 19±0.2 46±0.2 （100±0.2）×n ±0.3 40.5±0.2 20±0.2 （11.5） ø3.8 44 12±0.2 （44） （8）（33） （13）（（ 6.5） 6.5 33） （33） G:マシンガイド 2×M2.5 深3 26 A ±0.2 // 0.2 G // 0.05 G （5.9） ※有効長75mm以下のスケール原点信号出力位置は、中央1点のみ 0.05/1000 G:マシンガイド 2.4 スケール長 L3 // 0.05 A ø6.4 2×M2.5 深3 （9.325） 26±0.2 A スケール長 L3 // 0.2 A // 0.05 G エンドキャップ ※スケール原点信号出力位置 30 X 50 mmピッチ 7.5 1.5±0.1 1.45 2×M2.5 深3 // 0.1 G エンドキャップ ø5 26±0.2 0.05/1000 Ｓセ 1.3 2×ø3.4通シ （4.8） Ｓセ Ｔパ シレ 29 ø6.5座グリ 深サ3.5 2×ø3.4 Ｔパ52.5 中間固定ブロック 取付寸法図 10 X' 10 エンドキャップ シレ リー 固定ブロック 取付寸法図 30 30 ート 引張りブロックA 取付寸法図 リー 1000×m スケールホルダA長 L4 ズ形 スケール原点信号出力位置 ート ピッチ // 50mm 966 （5） 24 （5） スケールホルダA 0.05 A （14） （50） 有効測定長 L1 （50） 0.2（テープスケール） スケール全長 L （0.125） ズ形 2 B 中間固定ブロック 30 7.5 1.5±0.2 （両面テープ） ST46- スケール 2×M2.5 深3 26 // 0.05 B X 2×R2.75 // 0.1 G ホルダ ± B 0.2 0.2 断面 X-X' ST46- EZA EZA 1.3 X' （68） 有効測定長 L1 （74） （0.6） 5.9 2×ø2.8 スケール全長 L2 断面 X-X' 25 63 M2.6×0.45 2×R2.75 S/N B0700001 ST46-EZA MADE IN JAPAN 06ADY287 Kawasaki,Japan （2） 2×ø2.8 25 M2.6×0.45 ■スケールユニット寸法表 63 コードNo. 符号 有効測定長 スケール全長 スケール長 L1 (mm) L2 (mm) L3 (mm) S/N B0700001 ST46-EZA MADE IN JAPAN 06ADY287 Kawasaki,Japan 579-665-□5 ST46EZA◇- 10E 10 110 70 （2） 579-666-□5 ST46EZA◇- 25E 25 125 85 579-667-□5 ST46EZA◇- 50E 50 150 110 579-668-□5 ST46EZA◇- 75E 75 175 135 ■スケールユニット寸法表 579-670-□5 ST46EZA◇- 100E 100 200 160 579-671-□5 ST46EZA◇- 150E 150 250 210 579-672-□5 ST46EZA◇- 200E 200 300 260 コードNo. 符号 有効測定長 スケール全長 スケール長 スケールホルダ長 L1 (mm) L2 (mm) L3 (mm) L4 (mm) m n 579-673-□5 ST46EZA◇- 250E 250 350 310 579-684-□4 ST46EZA◇-1100D 1100 1242 1190 146 1 11 579-674-□5 ST46EZA◇- 300E 300 400 360 579-685-□4 ST46EZA◇-1200D 1200 1342 1290 246 1 12 579-675-□5 ST46EZA◇- 350E 350 450 410 579-686-□4 ST46EZA◇-1300D 1300 1442 1390 346 1 13 579-676-□5 ST46EZA◇- 400E 400 500 460 579-687-□4 ST46EZA◇-1400D 1400 1542 1490 446 1 14 579-677-□5 ST46EZA◇- 450E 450 550 510 579-688-□4 ST46EZA◇-1500D 1500 1642 1590 546 1 15 579-678-□5 ST46EZA◇- 500E 500 600 560 579-689-□4 ST46EZA◇-1600D 1600 1742 1690 646 1 16 579-679-□5 ST46EZA◇- 600E 600 700 660 579-690-□4 ST46EZA◇-1700D 1700 1842 1790 746 1 17 579-680-□5 ST46EZA◇- 700E 700 800 760 579-691-□4 ST46EZA◇-1800D 1800 1942 1890 846 1 18 579-681-□5 ST46EZA◇- 800E 800 900 860 579-692-□4 ST46EZA◇-2000D 2000 2142 2090 1046 1 20 579-682-□5 ST46EZA◇- 900E 900 1000 960 579-693-□4 ST46EZA◇-2200D 2200 2342 2290 246 2 22 579-683-□5 ST46EZA◇-1000E 1000 1100 1060 579-694-□4 ST46EZA◇-2400D 2400 2542 2490 446 2 24 579-684-□5 ST46EZA◇-1100E 1100 1200 1160 579-695-□4 ST46EZA◇-2500D 2500 2642 2590 546 2 25 579-685-□5 ST46EZA◇-1200E 1200 1300 1260 579-696-□4 ST46EZA◇-2600D 2600 2742 2690 646 2 26 579-686-□5 ST46EZA◇-1300E 1300 1400 1360 579-697-□4 ST46EZA◇-2800D 2800 2942 2890 846 2 28 579-687-□5 ST46EZA◇-1400E 1400 1500 1460 579-698-□4 ST46EZA◇-3000D 3000 3142 3090 1046 2 30 579-688-□5 ST46EZA◇-1500E 1500 1600 1560 ※上記のコードNo.品は、推奨項目（ ●印）の仕様です。推奨仕様でよい場合、上記コードNo.、符号にてご指定ください。 579-689-□5 ST46EZA◇-1600E 1600 1700 1660 ◇ → B（二相方形波+外部リセット入力）の場合 ： □ → 1 579-690-□5 ST46EZA◇-1700E 1700 1800 1760 ◇ → C（二相方形波+二相正弦波）の場合 ： □ → 2 579-691-□5 ST46EZA◇-1800E 1800 1900 1860 579-692-□5 ST46EZA◇-2000E 2000 2100 2060 579-693-□5 ST46EZA◇-2200E 2200 2300 2260 579-694-□5 ST46EZA◇-2400E 2400 2500 2460 579-695-□5 ST46EZA◇-2500E 2500 2600 2560 579-696-□5 ST46EZA◇-2600E 2600 2700 2660 579-697-□5 ST46EZA◇-2800E 2800 2900 2860 579-698-□5 ST46EZA◇-3000E 3000 3100 3060 ※上記のコードNo.品は、推奨項目（ ●印）の仕様です。推奨仕様でよい場合、上記コードNo.、符号にてご指定ください。 ◇ → B（二相方形波+外部リセット入力）の場合 ： □ → 1 ◇ → C（二相方形波+二相正弦波）の場合 ： □ → 2 17 18 16 15.6 （7） 13.2 6.6 4.8 1.3 11.5±0.2 5 8.5 26 ø3.4 5.5±0.2 8.5±0.2 2 13.5 21±0.2 16.3 44 17.1 8 1.5 16 6.5 12.4 12.5 2.5±0.2 ø6.5 ø6.5 8 ø3.4 13 ø3.4 （16） 26 8.5 5.5±0.2 ±0.2 2 13.5 21±0.2 16.3 44 13 20 12.5 1±0.2 13

アッセンブリ形・ATシリーズ 正弦波出力タイプスケールユニット AT113 ■取り付け参考図（有効測定長100～1500 mm） 単位：mm AT113 スケール原点は、有効測定長（L0）端（▽印）から、50 mmピッチで出力します。 中間サポート L4 取付方法A 9 L5 9 L2 9 スケールユニット L7 28 L1 本体取付け面 1 ■仕様 // 0.2 G 中間サポート 12 ø5キリ 22 A L0 A C B 項目 符号 AT113 ■出力仕様 （固定） （固定） （固定） 光電式透過形リニアエンコーダ 出力コネクタ（オス） 検出方式 光源：発光ダイオード 1 8 受光素子：フォトトランジスタ DA-15P-NR（JAE） 7 14 ザグリ両面深6.5 適合プラグ 1.5±0.2 19 1.5 80±0.2 2×M6通シø9ザグリ両面深4.5 取付方法B 出力形式 90º位相差二相正弦波 9 15 信号ケーブル ヘッドケーブル（0.3 m） DA-15S-NR（JAE）相当品 // 0.1 A 94 メインスケール格子ピッチ 20 µm M2.6×0.45 G : マシンガイド 主信号出力ピッチ ピン番号 信号 42 42 20 µm 中間サポート 12 B（固定） ø5キリ A（固定） C（固定） 1 0 V 最大有効測定長 1 1500 mm L3 L7 2 0 V 80±0.2 2×ø7通シ 17 L6 指示精度（20 ℃）※1 （5＋5L0 / 1000）µm、 L0：有効測定長（mm） 3 ＋5 V // 0.2 G 47 14ザグリ両面深6.5 Aア 最大応答速度※2 2、000 mm/s 4主信号（A相、B相）出力回路 ＋5 V （2） Aア Ｔッ 5 A相 ＋5V スケール原点 有（50 mmピッチ） 11 Ｔッ シセ 熱膨張係数 ≈8×10－6/Κ 6 リン 主信号（A相、B相）出1力0Ω回路 B相 18 2×M4×0.7深5 ＋5V φ A相 Z スケールユニット シセ 本体取付面 リン ーブ 供給電源電圧 7 基準電圧 DC5 V ±5 % 1KΩ AL B相 ーブ ズリ 8 μPC84410Ω ス＿ケール原点 φZ 形 最大消費電流 60 mA ＋2.5V A相 ●L5、L6、L7寸法は、有効測定長500 mm以上の 9 ALBM相（アラーム） 1KΩ AL 有効測定長（mm） 中間サポート ズリ スケールユニットに付属する中間サポート 形 使用・保存温度範囲 0～45 ℃　－20 ℃～70 ℃ μPC844 10～14 未使用 500～1000 A（1カ所） AT10103 ＋2.5V ＋5V の推奨取付位置を示します。（中間サポート シリーズ 使用・保存湿度範囲（相対湿度） 20～80% RH (非結露 位置は測定長方向に調整可能です） 1100～1500 BC（2カ所） ) 15 F.G AT12113 ヘッドケーブル長 0.3 m ＋5V5.1KΩ アラーム 10Ω 摺動力 5 N以下 μ ＋ PC393 2.5V REF 5.1KΩ ■スケールユニット寸法表 信号ケーブル※3 標準付属品（長さは各タイプ寸法表に記載） μPC844 アラーム 10Ω μ ＋ PC393 AT113 有効測定長 最大移動長 取付穴ピッチ 取付穴ピッチ 全長 中間サポート 中間サポート 中間サポート 信号ケーブルの 2.5V REF μPC844 コードNo. 符号 L（0 mm） L（1 mm） L（2 mm） L（3 mm） L（4 mm） L（5 mm） L（6 mm） L（7 mm） 長さ（m） 長さ パーツNo. 備考 539-201-30 AT113- 100 100 120 258 242 276 2 m 09AAA033A 出力信号波形 延長ケーブル（別売）※3 539-202-30 AT113- 150 150 170 308 292 326 5 m 09AAA033B コンジットタイプ 信号名 出力信号波形 539-203-30 AT113- 200 200 220 358 342 376 7 m 09AAA033C 539-204-30 AT113- 250 250 270 408 392 426 Vpp=2V ̶ 539-205-30 AT113- 300 ※ 300 330 468 452 486 ̶ ̶ 1：機種により高精度タイプを別途準備しております。（スケールユニット寸法表注釈参照） ※2：接続の電装ユニットによる。 20 µm A相 539-206-30 AT113- 350 350 380 518 502 536 Vpp=2V ※3：信号ケーブル、延長ケーブルのビニール被覆タ主イ信プ号（はA、相ご、B注相）文出に力回よ路り製作いたします＋5。V 539-207-30 AT113- 400 400 430 568 552 586 20 µm 539-208-30 AT113- 450 450 480 618 602 636 3 10Ω A相 øZ 539-209-30 AT113- 500 500 540 678 662 696 339 331 B相 AL B相 位相差90° µPC844 1KΩ 539-211-30 AT113- 600 600 640 778 762 796 389 381 出力信号 ＋2.5V 位相差 539-213-30 AT113- 700 90° 700 740 878 862 896 439 431 信号出力回路 539-214-30 AT113- 750 750 780 918 902 936 459 451 ̶ ＋5V 539-215-30 AT113- 800 800 840 978 962 996 489 481 主主信信号号（（AA相相、B、相B相）出）力出回力路回路 ＋5V 基準電圧信号（REF）出力回路 主信号（A相、B相）出力回路 ＋5V 5.1KΩ 70±10 µm 539-216-30 AT113- 900 900 940 1078 1062 1096 539 531 10Ω アラーム A相 øZ 10Ω 539-217-30 AT113-1000 1000 1040 1178 1162 1196 589 581 ＋ µPC393 B相 10Ω AL 2.5V ø REF スケール原点 70±10 µm 539-218-30 AT113-1100 1100 1140 1278 1262 1296 430 µPC844 1KΩ A相 Z µPC844 B相 AL 539-219-30 AT113-1200 1200 1240 1378 1362 1396 460 ＋2.5V µPC844 1KΩ 5 ＋ 539-220-30 AT113-1300 2.5V 1300 1340 1478 1462 1496 ̶ ̶ 490 原点信号（øZ）出力回路 ＋ アラーム信号出力回路 5V 539-221-30 AT113-1400 1400 1440 1578 1562 1596 530 主信号（A相、B相）出力回路 ＋5V ＋5V 539-222-30 AT113-1500 1500 1540 1678 1662 1696 560 5.1KΩ 10Ω ※高精度機種AT113F JIS 0級（3＋3L0/1000）µmの機種もあります。 1ø0ZΩ アラーム A相 5.1KΩ ＋ REF µPC393 B相 2.5V AL アラーム 10Ω ※ご注文により有効測定長100～500 mmにおいて、超高精度AT113S（2＋2L0/1000）µmの機種も製作しています。 µPC844 1µKPΩC844 ＋ REF µPC393 2.5V Vpp=2 V ※指示精度は量子化誤差を含まず、L0は有効測定長（mm） ＋2.5V µPC844 20 µm ＋5V 5.1KΩ アラーム 10Ω 位相差90° ＋ REF µPC393 2.5V µPC844 Vpp=2 V Vpp=2 V 20 µm 20 µm 20±10 µm※6 位相差90° 位相差90° Vpp=2 V 20 µm 20±10 µm※6 20±10 µm※6 位相差90° 20±10 µm※6 19 20 42 ø17 35 52 17 10 ø10.5 1 1 33 1 ø16 28±0.2 17.5 5 15 21.5 5

アッセンブリ形・ATシリーズ 方形波出力タイプスケールユニット（スリム・高速タイプ） AT211 ■多点固定取り付け寸法図 単位：mm ø5キリ ø8.6ザグリ両面 深6 固定用ねじ：六角穴付ボルトM4×25 20 A // 0.1 G 14.3 （4.8） 全長L3 （4.8） L2 100±0.2 100±0.2 100±0.2 L2 定 スケ－ルユニット取付面 // 0.1 G 取り付け方式：多点固 （耐振・耐衝撃に優れたタイプです。） スケールアラーム表示LED AT211 MADE IN JAPAN G:マシンガイド 0.5±0.2 19 エア供給口（M5） 80±0.2 2×M6×1.0 通シ （両サイドにあり） ザグリ両面 深4.5 // 0.1 A 94 ø9 有効測定長 L0 最大移動長 L1 Aア Ｔッ 取り付け方式：両端固定（取り付け省スペースタイプです。） コイルスプリング ヘッドケ－ブル（L=0.3 ｍ/1 mのいずれか） Aア セ Ｔッ シン （30） シセ リブ リン ーリ ーブ ズ リ 形 スケールアラーム表示LED スケ－ルユニット取付可能面 2×M4×0.7 深5 80±0.2 ズ形 （裏面取付方向） // 0.2 G // 0.1 G AT211 0.03/100 AT211 スケ－ルユニット取付面 （正規取付方向） ※ヘッドケーブル取出し方向を逆にしたい場合には、スケールユニットを反転して取り付けてください。 ■特長 ●制御装置に直接接続できるスリムタイプのシールド形スケールです。 メタルフレキタイプ 信号ケ－ブル （L=3/5/7 mのいずれか） ●0.1～5 µmまでの幅広い分解能に対応し2000 mm/sまで高速応答が可能です。 ●多点固定タイプは、高耐振性を実現した仕様です。 ●スケールアラーム表示機能を搭載、メンテナンスが容易です。 （2） ●使用目的に合わせたスケールが選べる仕様項目選択方式です。 M2.6×0.45 （47.4） （56.4） （50） ヘッドケーブル1本タイプ仕様（コネクタなし） ■仕様 項目 符号 AT211 スケ－ルアラ－ム表示LED 、 、 フィ－ドバックケ－ブル用コネクタ 有効測定長（ 900 L0） 100 150、 200、 250、 300、 350、 400、 450、 500、 600、 700、 750、 800 （付属品） 1000、 1100、 1200、 1300、 1400、 1500 mm ケ－ブルおよびNC側コネクタは、ユ－ザ手配 スケール原点 50 mmピッチ、中央一点、左端1点、右端一点（出荷時固定） （ 指示精度（ 3＋3L0/1000）µm〔L0≦500 mmで（2＋2L0/1000）µmの高精度タイプも製作可能〕 20 ℃） L0：有効測定長（mm） ■多点固定取り付け寸法表 熱膨張係数 ≈8×10－6/Κ 耐振動特性 200 m/s2（条件：55～2000 Hz） ※多点固定タイプ 有効測定長 最大移動長 端面寸法 全長 スケールユニット 耐衝撃性 250 m/s2（条件：1/2 sin、 11 ms） ※多点固定タイプ スケールユニット本体 L（0 mm） L（1 mm） L（2 mm） L（3 mm） 固定穴数（個） エア供給口 あり　 ※多点固定タイプ AT211- 100A 100 120 19.5 239 3 種類 出力信号 PA/PA、 PB/PB、 PZ/PZ AT211- 150A 150 170 44.5 289 3 電気的仕様 RS422準拠 AT211- 200A 200 220 19.5 339 4 メインスケール格子ピッチ 20 µm AT211- 250A 250 270 44.5 389 4 最小分解能 0.1、 0.2、 0.5、 1、 2.5、 5 µm（出荷時固定） AT211- 300A 300 330 24.5 449 5 最小エッジ間隔 125、 250、 333、 500、 1000 ns（出荷時固定） AT211- 350A 350 380 49.5 499 5 最大応答速度 90～2000 mm/s（最小分解能および最小エッジ間隔により決定されます） AT211- 400A 400 430 24.5 549 6 供給電源電圧 DC5 V±5 ％ AT211- 450A 450 480 49.5 599 6 最大消費電流 200 mA AT211- 500A 500 540 29.5 659 7 摺動力 5 N以下 AT211- 600A 600 640 29.5 759 8 使用温度範囲 0～45 ℃ AT211- 700A 700 740 29.5 859 9 保存温度範囲 －20～70 ℃ AT211- 750A 750 780 49.5 899 9 使用・保存湿度範囲 20～80 ％RH（非結露） AT211- 800A 800 840 29.5 959 10 ディレクション切替え 正/逆（出荷時設定） AT211- 900A 900 940 29.5 1059 11 アラーム検出 オーバースピード、スケール信号異常 AT211-1000A 1000 1040 29.5 1159 12 アラーム機能 アラーム出力方法 PA/PA、 PB/PB、 PZ/PZの出力は全てハイ・インピーダンス AT211-1100A 1100 1140 29.5 1259 13 アラーム表示 信号ケーブルNC側コネクタの赤色LED点灯（ヘッドケーブル一本のみの仕様は除きます） AT211-1200A 1200 1240 29.5 1359 14 AT211-1300A 1300 1340 29.5 1459 15 AT211-1400A 1400 1440 29.5 1559 16 AT211-1500A 1500 1540 29.5 1659 17 21 22 （34） （19） （41.2） （16） （ø9） 25 40 58 ALARM 46±0.2 5.5 （ø10.5） 10 AIR

■両端固定取り付け寸法図 ■ケーブルパターン 単位：mm 単位：mm 全長 L4 A 22 9 取付穴ピッチ L2 9 1 中間サポート L5 // 0.2 G （56.4） （50） ヘッドケーブル （47.4） （56.4） （50） ヘッドケーブル // 0.1 G 中間サポート L7 スケ－ルユニット取付面 （47.4） （50） （30） （L=0.3/1 mのいずれか） （50） （30） （L=0.3/1 mのいずれか） 中間サポ－ト B A ø5（穴） C （固定） （固定） （固定） スケ－ルアラ－ム表示 信号ケーブル スケ－ルアラ－ム表示 LED LED 信号ケーブル AT211 フィ－ドバックケ－ブル用コネクタ （L=3/5/7 mのいずれか） フィ－ドバックケ－ブル用コネクタ （L=3/5/7 mのいずれか） MADE IN JAPAN （付属品） （付属品） 7 ザグリ両面 深6.5 ケ－ブルおよびNC側コネクタは、ユ－ザ様手配 ケ－ブルおよびNC側コネクタは、ユ－ザ様手配 14 1.5±0.2 19 80±0.2 2×M6×1.0 通シ G:マシンガイド 94 ø9ザグリ両面 深4.5 // 0.1 A 有効測定長 L0 最大移動長 L1 コイルスプリング ヘッドケ－ブル（L=0.3/1 mのいずれか） （50） （30） 17 取付穴ピッチ L3 17 2×M4×0.7 深5 80±0.2 2×ø7 通シ // 0.1 G // 0.2 G ø14ザグリ両面 深6.5 Aア （56.4） ヘッドケーブル Ｔッ （47.4） （L＝0.3/1 mのいずれか） Aア （50） （30） シース/耐油性PVC Ｔッ シセ （45） リン シセ （4） リン ーブ ーブ ズリ B A ø5（穴 C ズリ形 中間サポ－ト （固定） （固定） ） （固定） スケ－ルユニット取付面 スケ－ルアラ－ム表示ＬＥＤ 信号ケーブル 形 1 中間サポートL7 （L=3/5/7 mのいずれか） ヘッドケーブル1本タイプ（コネクタなし） AT211 フィ－ドバックケ－ブル用コネクタ 中間サポート L6 （L＝3/5/9 mのいずれか） AT211 （付属品） ※ヘッドケーブル取出し方向を逆にしたい場合には、スケールユニットを反転して取り付けてください。 ケ－ブルおよび 導線（予備半田） NC側コネクタは、ユ－ザ様手配 メタルフレキタイプ 信号ケ－ブル （L=3/5/7 mのいずれか） （2） （47.4） （56.4） M2.6×0.45 （50） スケ－ルアラ－ム表示 LED フィ－ドバックケ－ブル用コネクタ （付属品） ケ－ブルおよびNC側コネクタは、ユ－ザ手配 ■両端固定取り付け寸法表 有効測定長 最大移動長 取付穴ピッチ（ 全長 中間サポート（ ●中間サポートは、有効測定長により付属する スケールユニット本体 mm） mm） L（0 mm） L（1 mm） L2 L3 L（4 mm） L5 L6 L7 数量が異なります。 AT211- 100B 100 120 258 242 276 有効測定長（mm） 中間サポート AT211- 150B 150 170 308 292 326 500～1000 A（1カ所） AT211- 200B 200 220 358 342 376 1100～1500 B、 C（2カ所） AT211- 250B 250 270 408 392 426 ̶ ̶ AT211- 300B 300 330 468 452 486 AT211- 350B 350 380 518 502 536 AT211- 400B 400 430 568 552 586 AT211- 450B 450 480 618 602 636 ̶ AT211- 500B 500 540 678 662 696 339 331 AT211- 600B 600 640 778 762 796 389 381 AT211- 700B 700 740 878 862 896 439 431 AT211- 750B 750 780 918 902 936 459 451 AT211- 800B 800 840 978 962 996 489 481 AT211- 900B 900 940 1078 1062 1096 539 531 AT211-1000B 1000 1040 1178 1162 1196 589 581 AT211-1100B 1100 1140 1278 1262 1296 430 AT211-1200B 1200 1240 1378 1362 1396 460 AT211-1300B 1300 1340 1478 1462 1496 ̶ 490 AT211-1400B 1400 1440 1578 1562 1596 530 AT211-1500B 1500 1540 1678 1662 1696 560 23 24 （34） （19） （41.2） （16） （ø9） 35 52 21.5 5 17 （ø10.5） 5 15 10 1 1 11 28±0.2 17.5 （41.2） （41.2） ALARM ALARM （ø6.5） （ø6.5） （34） （34） （ø9） （ø6.5） （41.2） ALARM （ø6.5） （ø10.5） （34) （ø6.5）

仕様項目選択方式 ●AT211はさまざまな仕様を用意しています。 ●ご要求仕様に合わせて下記の数字およびアルファベット （例） 　をお選びください。 AT211 - 1 5 0 0 A 1 S - P 1 - A B 有効測定長 　また、特に指定の必要性がない場合は●をお選びください。 1500 mm 信号ケーブル 　※この仕様項目以外の特殊対応につきましては別途ご相談ください。 長さ3 m 取付方式 　1VP-P正弦波出力仕様も別途対応できます。（バラ線タイプ） メタルフレキなし 多点固定 　特殊仕様項目の記号は、Zとなります。（有効測定長項目は除く） スケール原点 ヘッドケーブル 長さ 50 mmピッチ ディレクション 0.3 m 正：PA進相 コイルスプリングあり ■符号の見方 指示精度 （3＋3Lo/1000） 分解能 µm 0.5 µm 応答速度54 m/min 最小エッジ間隔 AT211 - - - 500 ns ■信号ケーブル 記号 長さ（L） メタルフレキ※1 ● A 3 m あり スケールアラーム表示LED 　B 3 m なし 非防水 防水コネクタ（専用） スケールユニット ■有効測定長一覧 　C 5 m あり N MODEL AT211 C 　D 5 m なし 記号 有効測定長（ 装 mm） 記号 有効測定長（mm） 記号 有効測定長（mm） 　E 7 m あり 置（CN5） （CN4） （CN3） （CN2） （CN1） 0100 100 0450 450 1000 1000 　F 7 m なし フィードバックケーブル 信号ケーブル ヘッドケーブル 0150 150 0500 500 1100 1100 （ユーザ手配） 付属コネクタ（信号ケーブル使用時） 　G※ 2 3 m なし Aア 0200 200 0600 600 1200 1200 Ｔッ 　H※ 2 5 m なし Aア Ｔッ シセ 0250 250 0700 700 1300 1300 　J ※ 2 7 m なし シセ リン 0300 300 0750 750 1400 1400 ーブ 　X 信号ケーブルなし 信号ケーブル部コネクタ（CN3）（オス） 出力回路仕様 リン 0350 350 0800 800 1500 1500 PA ーブ ズリ形 ※ 0400 400 0900 900 1：メタルフレキなしの場合はビニール 1 8 ピンNo. 信号名 ピンNo. 信号名 A相 PA PA ズリ 被覆仕様になります。 1、2、13 0V 8 PB PA 形 PB ※2：G、H、 Jの信号ケーブルコネクタ部 3、4、11 ＋5V 9 PZ B相 PB AT211 （CN3）はハーフピッチコネクタ仕様。 AM26C31 PB 5 PA 10 PZ PB AT211 6 PA 12、14 未使用 最小エッジ間隔 t t t t t＝125～1000 ns ■取り付け方式 9 15 7 PB 15 F.G PZ Z相 PZ 記号 適合コネクタ（CN4）：HDAB-15（S ヒロセまたは相当品（Dsubシリーズ）使用可） PZ PZ 60±10 µm A 多点固定 B 両端固定 ■ヘッドケーブル ■スケール原点 記号 長さ（L）コイルスプリング コネクタ（50 mmピッチ間隔 CN1） 記号 左端1点の場合のスケール原点位置 中央1点の場合のスケール原点位置（有効測定長の中央） ● A 0.3 m あり 専用防水 スケールアラーム表示LED ● 1 50 mmピッチ ピッチ50 右端1点の場合のスケール原点位置 　B 0.3 m なし 専用防水 非防水 防水コネクタ（専用） スケールユニット 10 10 　2 中央 1点 　C 1 m なし 専用防水 N MODEL AT211 C 　3 左端 1点 　D 3 m 装 　 右端 1点 AT211 4 MADE IN JAPAN 　E 4 m 置（CN5） （CN4） （CN3） （CN2） （CN1） 　 フィードバックケーブル 信号ケーブル ヘッドケーブル F 5 m なし なし （ユーザ手配） 付属コネクタ（信号ケーブル使用時） 有効測定長マークより 単位：mm 　H 7 m 　J 8 m 　K 9 m ※コイルスプリングなしの場合は、ビニール ユーザ手配コネクタ ■指示精度（20 ℃） 被覆仕様になります。 （CN5） スケールユニット N 記号 MODEL AT211 ヘッドケーブル1本タイプ（コネクタなし） C ● S （3＋3L0/1000） µm 装 ※L0は、有効測定長（mm）です。 単位：mm 置 　H （2＋2L0/1000） µm ※Hタイプは、500 mm以下のものに適用されます。 ヘッドケーブル一本タイプ（コネクタなし） バラ線 ■仕様組合せ表 4 （分解能・応答速度・最小エッジ間隔） 検出ヘッド 45 L ヘッドケーブル 最小エッジ間隔 AT211 （ns）注分解能（µm） 125 250 333 500 1000 ヘッドケーブル1本タイプ（コネクタなし）の場合のALM信号 線材色 信号名 線材色 信号名 1kΩ 白、黒 0V 青 PB 0.1 A： 710 B： 360 C： 260 D： 180 E： 90 0.2 F： 1400 G： 710 H： 530 J： アラーム回路 360 K： 180 ALM High 茶、赤 ＋5V検出ヘッ紫ド移動方PZ向 Low（アラーム発生時） 橙 PA 灰 PZ 0.5 L： 2000 M： 1800 N： 1300 P： 900 Q： 450 TC7S08（東芝C-MOS）相当 黄 PA ピンク ALM 1.0 ̶ ● R： 2000 S： 2000 T： 1800 U： 900 緑 PB 2.5 ̶ ̶ ̶ W： 2000 X： 2000 5.0 ̶ ̶ ̶ ̶ Y： 2000 ■ディレクション ※記号A～Y＝最大応答速度mm/s 記号 注：最小エッジ間隔は使用環境条件により0～－10 ％ ● 1 正：PA進相 PA 　 の範囲でばらつきます。 　2 逆：PB進相 正：PA進相 PB AT211 PA 検出ヘッド移動方向 逆：PB進相 PB ※スケール移動時の設定です。 25 26 PA 正：PA進相 PB PA 逆：PB進相 PB ※スケール移動時の設定です。 ø6.5

インターフェースユニット パルス信号変換ユニット PSU-200 ■出力仕様 ■接続例 20 14 出力コネクタ（オス） MR-20RMA（本多通信工業） PSU-200 制御装置 PSU-200 4 適合プラグ +5V コネクタ：MR20（F 本多通信工業） PA R1 7 1 16 ケース：MR-20（L 本多通信工業） A PA 17 R2 ●PSU-200とは弊社リニヤスケールから出力されている正弦波信号を最小4分割・最大200分割 標準付属品 PB R1 R1 18 B すると共に正弦波を方形波信号に変換し出力することでNCフィードバックシステムや計測制 PB 19 R2 ピンNo. 信号名 信号説明 R1 PZ R1 御装置等にリニヤスケールと併用することにより位置決めの高精度化を実現できる装置です。 14 1、2、3 0V シグナルランド Z PZ 15 R2 4、5、6 ＋5V 供給電源 2kΩ R1 7 AL アラーム出力 AL AL 7 8 AL（コレクタ） アラーム出力 TTL AM26C32:TI 9 AL（エミッタ） AM26C31:TI +5V +5V ■システム構成例 10 AL（アノード） リセット入力 +5V 4 R1:560Ω 11 AL（カソード） +5V 5 R2:110Ω +5V 12、13 N.C 未使用 6 弊社リニヤスケール PSU-200 制御装置 14 PZ Z相出力 0V 1 0V 2 ■外観寸法図 単位： 15 PZ mm 0V 16 PA A相出力 3 0V 0V 14 17 PA CAL PWR 18 PB B相出力 ALM PZ O.S P.E 19 PB +V +V 20 F.G フレームグランド TLP521 AL 8 ‒ Ry +1 R3 I N P AL U 9 T 1 4 CAL PWR 2 ■最大応答速度について ALM PZ 5 +V +V O.S P.E O 3 6 U T I 設定 最大応答速度（m/min） 最大入力 1.2kΩ AL ( ) 10 P N U T 7 P U 周波数 AL ( ) Ry 最小 スケールピッチ 11 2 T 分割数 エッジ間隔 4 µm 10 µm 20 µm 40 µm （kHz） F.G ‒V 20 ユイ ニン O 62.5 ns 120 300 600 1200 500 OUTPUT ユイ U ニン ッ 8 T P トタ 125 ns 120 300 600 1200 500 ッ トター U フ ■各部の名称および機能 T 4 250 ns 120 300 600 1200 500 ー フ ェ ー 500 ns 120 300 600 1200 500 ●アラームリセット入力回路は、電流が3～10 mAになるように ェ ー ス No. 名称 機能 28 2×ø4.5（穴） 1000 ns 60 150 300 600 250 ス PSU-200 ① CALランプ 通常未使用 62.5 ns 120 500 接続してください。また、本体内部に抵抗（1.2 kΩ）を内蔵して 300 600 1200 PSU-200 ② ALMランプ スケールの断線・短絡、および異常信号を検出した時に点灯。 125 ns 120 300 600 1200 500 いますので、A（L アノード）－A（L カソード）間に5～12Vをパル ③ O.Sランプ オーバースピードを検出した時に点灯。 8 250 ns 120 300 600 1200 500 ス幅100 ms以上与えることによりアラームリセットを行うこと PSUに電源が供給中のみ点灯。 500 ns 60 150 300 600 250 が可能です。また、12V以上を与える場合には、外部に抵抗を ④ PWRランプ 尚、電源は外部機能からのDC＋5Vです。 1000 ns 30 75 150 300 125 追加してください。 ⑤ PZランプ スケールが原点を通過した時に点灯。 62.5 ns 120 300 600 1200 500 ⑥ P.Eランプ 外部機器からのDC＋5V電源の電圧低下およびノイズ障害等を検出すると点灯。 125 ns 120 300 600 1200 500 ⑦ INPUTコネクタ リニヤスケールを接続する入力コネクタ。 10 250 ns 96 240 480 960 400 ●アラーム出力仕様 ⑧ OUTPUTコネクタ 外部機器と接続する出力コネクタ。 500 ns 48 120 240 480 200 　・ラインドライバ出力 1000 ns 24 60 120 240 100 ■仕様 62.5 ns 120 300 600 1200 500 【ハイインピーダンスモードの場合】 125 ns 96 240 480 960 400 　 すべての出力がハイインピーダンスになります。 コードNo. 539-005 20 250 ns 48 120 240 480 200 項目 PSU-200 【アラーム信号出力モードの場合】 500 ns 24 60 120 240 100 軸数 1軸 AL信号が“H” レベルから“L”レベルになります。 1000 ns 12 30 60 120 50 入力 入力コネクタ DA-15S-NR（JAE）相当品 アクティブの 出力（PA、 PA、 PB、 PB、 PZ、 PZ）は継続して出力 62.5 ns 96 240 480 960 400 入力信号 二相正弦波信号および基準電圧 125 ns 48 120 240 480 200 されます。 原点信号、スケールアラーム信号 40 250 ns 24 60 120 240 100 出力 出力コネクタ MR-20RMA（本多通信工業） 500 ns 12 30 60 120 50 　・フォトカプラ出力 出力信号 二相方形波信号：PA、 PA、 PB、 PB ラインドライバ差動出力 1000 ns 6 15 30 60 25 原点信号：PZ、 PZ ラインドライバ差動出力 62.5 ns 48 120 アラーム出力 240 480 200 アラーム信号：AL　CMOS出力 125 ns 24 60 アラーム発生時 フォトカプラ出力トランジスタが○ 120 240 100 アラーム信号：AL（コレクタ）、AL（エミッタ）フォトカプラ出力 80 250 ns 12 30 正常動作時 フォトカプラ出力トランジスタが○ 60 120 50 入力信号 アラームリセット信号：AL（アノード）、AL（カソード）フォトカプラ入力 500 ns 6 15 30 60 25 分割数 4、 8、 10、 20、 40、 80、 100、 200（スイッチにて選択） 1000 ns 3 7.5 15 30 12.5 分割数の選択、最小エッジ間および最大応答速度の設定 62.5 ns 38.4 96 192 384 160 機能 スケールの断線・短絡・異常検出（アラーム警報）、異常信号検出（アラーム警報） 125 ns 19.2 48 96 192 80 供給電源電圧低下警告（警告灯表示のみ）、ハイ・インピーダンスモード/アラーム信号出力モードの切換え 100 250 ns 9.6 24 40 原点位置検出ランプ、ヒステリシス幅の設定（分割数と連動）、外部アラームリセット入力（フォトカプラ）、ディレクションの切換 48 96 500 ns 4.8 12 24 48 20 供給電源 DC5 V±5 ％ 1000 ns 2.4 6 12 24 10 消費電流 200 mA 62.5 ns 19.2 48 96 192 80 保存温度範囲 －20 ℃～70 ℃ 125 ns 9.6 24 48 96 40 動作温度範囲 0 ℃～50 ℃ 200 250 ns 4.8 12 24 48 20 外観寸法 幅160 mm×厚さ28 mm×奥行き100 mm 500 ns 2.4 6 12 24 10 質量 約620 g 1000 ns 1.2 3 6 12 5 最大応答速度は、スケールの応答速度により、制限されます。 最小エッジ間隔は使用環境条件により0～－10 ％の範囲でばらつきます。 27 28 160 100 175 7.5 190 Code No. 539-005 Model PSU-200 Serial No. 9000061 Power DC5V Mitutoyo Corporation MADE IN JAPAN

インターフェースユニット シリアル変換ユニット PSU-250シリーズ ■システム構成例 ●ATスケール接続の場合 ●STスケール接続の場合 制御装置 弊社リニヤスケール 制御装置 ●PSU-250シリーズは、弊社リニヤスケールから出力されている正弦波信号を PSU-250 　シリアル信号に変換するインターフェースユニットです。 PSU-250 ●主信号（正弦波）に対して、400分割に相当するシリアルデータを出力します。 信号ケーブル ●PSU-251は、三菱電機株式会社殿サーボアンプ MR-J4シリーズと接続可能。※1 POWER ADJ. Model ST36A(2Vpp) Part No. 06ACA444 A00001 Mitutoyo Corporation MADE IN JAPAN ●PSU-252は、パナソニック株式会社殿サーボアンプ MINASシリーズと接続可能。※1 ■各部の名称および機能 ※信号ケーブルは、オプションです。下記ケーブルを別途購入ください。 　信号ケーブル 2 m：パーツNo.970712-2 3 m：パーツNo.970712-3 No. 名称 機能 ■入力仕様 ■出力仕様 5 m：パーツNo.970712-5 ① INPUTコネクタ リニヤスケールを接続するコネクタ ② OUTPUTコネクタ サーボアンプと接続するコネクタ ●入力コネクタ（INPUTコネクタ） ●出力コネクタ（OUTPUTコネクタ） ③ 端子台 外部電源DC＋5Vを入力する端子台 ・コネクタ（メス）：RDAD-15S-LNA（ヒロセ電機） ・コネクタ（メス）：10220-52A2VC（3M） ショート金具 ・サーボアンプから電力を供給する場合はつけて使用してください。 ・適合プラグ：HDAB-15P（ヒロセ電機） ・適合プラグ：10120-3000VE（3M） ④ ・端子台から電力を供給する場合ははずして使用してください。 ピンNo. 信号名 信号説明 ピンNo. 信号名 信号説明 PSUに電力が供給されているときに点灯 1、2 0 V シグナルグランド 1、2、11、12 0V シグナルグランド ⑤ PWRランプ ユイ アラーム時点滅（ 緑） 3、4 +5 V 供給電源 18、19、20 +5V +5V電源 ニン 5 PA A相 6、8～10 N.C 未使用 ユイ ニン ッ 6 PB B相 7 RQ/DT 正相リクエスト／データ ッ トター 7 Vref 基準電圧 トタ17 RQ/DT 逆相リクエスト／データ ー フ ェ 8 PZ Z相 3 PA テスト信号 フ ェ ー 1 5 2 3 4 9 AL スケールアラーム 4 PB テスト信号 ー ス 10～14 N.C 未使用 5 PZ テスト信号 ス POWER ADJ. PSU-250 INPUT OUTPUT +5V 0V VIN VOUT 15 F.G フレームグランド 13～16 N.C 未使用 Model ST36A(2Vpp) Part No. 06ACA444 No. A00001 PSU-250 PWR シリーズ シリーズ ●外部電源入力（端子台） ピンNo. 信号名 信号説明 1 +5 V OUT +5V電源出力※ 2 +5 V IN +5V電源入力※ 3 0 V シグナルグランド ■仕様 ■各種スケール接続時の分解能と最大応答速度 4 F.G フレームグランド ※サーボアンプの供給電源（出力コネクタより供給） コードNo. 539-006 539-007 スケール機種 分解能 最大応答速度 を使用時：ピン1、2を付属のショートピースでショー 項目 トしてください。 PSU-251 PSU-252 AT113 0.05 µm 2000 mm/s ※端子ねじ：M3 軸数 1軸 1軸 ST36A 0.01 µm 1200 mm/s 入力仕様 二相正弦波信号および基準電圧、原点信号、スケールアラーム信号 ST46-EZAC 0.05 µm 2600 mm/s 最大入力周波数：500 kHz ■外観寸法図 単位：mm 6.5 16.5±0.2 48±0.2 6.6 三菱電機株式会社殿製 パナソニック株式会社殿製 2×ø5（穴 5（ 穴）出力仕様 MR-J4シリーズ高速シリアルデータ※1 MINAS A5シリーズ※1 ） 2× ø 分割数 400分割 アラーム検出：スケール断線、短絡、異常検出 機能 アラーム出力：シリアル通信のステータス・データに出力およびPWRランプ点滅 また、PWRランプ点灯 サーボアンプからの供給 ：DC5 V±5 % 外部電源供給 ：DC5 V±5 % 供給電源 電源供給選択は外部電源供給用端子台のショートピースにより切替 サーボアンプもしくは外部電源供給の選択はサーボアンプの電源仕様（特に最大供給電流）および 使用するスケール電源仕様を参照ください。 消費電流 150 mA（スケール除く） 保存温度範囲 －20 ℃～70 ℃ 動作温度範囲 0 ℃～40 ℃ ※1 適用システムの詳細につきましては各メーカー様へご確認ください。 27.5 60 29 30 15 110 7.5 125±0.2 140 10 120±0.2 （ 0.1 INPUT OUTPUT PWR BLE （ 0.1 m ） INPUT OUTPUT PWR +5V INPUT 0V VIN VOUT OUTPUT PWR

アブソリュートスケールユニット ■仕様 シリーズ スケールタイプ 最大有効測定長 最大応答速度 指示精度（20℃）※ ABS ST700シリーズ セパレート形 6000 mm 5000 mm/s （5＋5L0/1000） µm ABS ST1300シリーズ セパレート形 12000 mm 8000 mm/s ±5 µm/m （3＋3L0/1000） µm ABS AT1300シリーズ Sタイプ アッセンブリ形 2200 mm 3000 mm/s Hタイプ 1000 mm （2＋2L0/1000） µm ABS AT1100シリーズ アッセンブリ形 3040 mm 3000 mm/s （3+5L/1000） µm L= 140～2040 mm （5+5L/1000） µm L=2240～3040 mm ※：L0＝有効測定長（mm）、ABS ST700シリーズについてはスケールベースタイプの場合の精度、ABS ST1300シリーズについては、有効測定長1.1 m以上の場合の精度 ABS ST1300シリーズ（両端固定仕様） ABS AT1100シリーズ ■アブソリュートスケールユニットのデータ増加方向 ABS ST1300シリーズ（両面テープ仕様） ●ABS ST700シリーズ 検出器移動時データ増加方向 ABS AT1300シリーズ ●ABS ST1300シリーズ ABS ST700シリーズ（スケールベースタイプ） ■スケール形式 適用システム※ 分解能 検出器移動時データ増加方向 スア メーカー名 サーボシリーズ インターフェース 0.001 µm 0.01 µm 0.05 µm 0.1 µm スア ケブ 検出器移動時データ増加方向 ケブ ーソ ルリ αインターフェース ABS ST1352 ABS ST1351 ABS AT1153 ABS ST758 ーソ ユュ ファナック株式会社殿 FANUC シリアルαi シリーズ ルリ ニー α ABS AT1357 iインターフェース ABS AT1354 ABS AT1353 ユュ ̶ ●ABS AT1100シリーズ ニー ット ット ト ト MDS-D/MDS-DHシリーズ 三菱高速シリアル(4線式) ABS AT1347 ABS AT1344 ABS AT1143 ABS AT1343 ABS ST748 三菱電機株式会社殿 MR-J3シリーズ ̶ ̶ ̶ 三菱高速シリアル（2線式） ABS ST748A MR-J4シリーズ ABS ST1342A ABS ST1341A ABS AT1347A ABS AT1344A ABS AT1343A 株式会社安川電機殿 サーボパック 安川シリアルインターフェース ABS ST1382A ABS ST1381A Σ7シリーズ Σ-LINK ABS AT1387A ABS AT1384A ABS AT1383A ABS ST788A 検出器移動時データ増加方向 パナソニック株式会社殿 MINAS A5シリーズ パナソニックインターフェース ABS ST1372A ABS ST1371A ̶ ABS ST778A シーメンスAG社殿 SINAMICSシリーズ SINUMERIKシリーズ DRIVE-CLiQインターフェース ̶ ̶ ABS AT1123 ̶ ●ABS AT1300シリーズ CKD日機電装株式会社殿 VPHシリーズ ABS ST1302A ABS ST1301A ̶ サーボランド株式会社殿 SVFシリーズ Power-UMAC、Power- ミツトヨENSISインターフェース オムロン株式会社殿 ABS ST1302A ABS ST1301A ABS AT1103A ABS ST708A Clipper、Power-Brickシリーズ ABS AT1307A ABS AT1304A ABS AT1303A CK3M その他制御機器メーカー殿 ※ 適用システムの詳細につきましては各メーカー様へご確認ください。 検出器移動時データ増加方向 31 32

セパレート形・ABS STシリーズ アブソリュート スケールユニット（スリムタイプ） ABS ST700シリーズ ■仕様 項 目 　　　 タイプ スケールベースタイプ 分解能 0.1 µm ■特長 検出方式 電磁誘導式アブソリュート位置検出方式※ 形態 セパレートタイプ・スケール ●セパレート形で電磁誘導検出方式を採用したアブソリュートスケールです。 スケールベースタイプ 有効測定長（精度保証範囲） 100～3000 mm 3200～6000 mm ●非接触検出のため、リニアモータ等の高速・高加速度制御に最適です。 指示精度（20 ℃） （5+5L0/1000） µm L0：有効測定長 mm （5+5L0/1000）µm L0：有効測定長 mm ●検出ヘッドを従来体積比約1/3に小形化 50 mm（W）×28 mm（D）×11 mm（H） 最大応答速度 5000 mm/s ●ケーブル取り出し口は四方向に可能、取付穴は上・横方向に用意 熱膨張係数 ≈12×10－6/Κ ●指示精度（5＋5L0/1000）µmを実現（従来品：（8＋5L0/1000）µm）※L0：有効測定長（mm） 使用条件 温度 0～50 ℃ 湿度 20～80 %RH（非結露）●各社サーボアンプ（高速シリアルインターフェース）に対応。 20～70 %RH（非結露） 保存条件 温度 －20～70 ℃ －20～60 ℃ 湿度 20～80 %RH（非結露） 20～70 %RH（非結露） 電源電圧 5 V±10 %（検出ヘッド部において） （リップル＋スパイクノイズ成分が100 mV以下のこと） 消費電流 270 mA（ Max.） 耐振動特性 300 m/s2（ 55～2000 Hz） 耐衝撃性 500 m/s（2 1/2 sin、 11 ms） ■符号の見方 長さ / ケーブル径 1 m / ø3.8 mm（ 高屈曲ケーブル） ヘッドケーブル コネクタ 1） D-sub（15ピン オス） コネクタ（非防水） 2） D-sub（ 9ピン メス） コネクタ（非防水）：ABS ST7 0 8 A L - 100 A - R ST788Aに適用 最大信号ケーブル長 29 mまで可能（ヘッドケーブルを含んだ長さ）（取扱説明書参照ください） ヘッドケーブル 検出器取り付け 上、横　各1ヶ所 アブソリュートタイプ A：スケールベースタイプ の取出方向 ケーブル出し方向 4方向（上、下、左、右）選択可能 R ：右側 EMC規格 CEマーク対応 有効測定長： L ：左側シリーズ名 100 mm ～ 6000 mm ※ 取付時の信号調整方法については、P37を参照してください。 セパレートタイプ U： 上側 アブソリュートリニヤスケール ABS ST700シリーズ（有効測定長≦3 m） 表示なし ： 100 mm ～ 3000 mm D： 下側 ABS ST700Lシリーズ（3.2 m≦有効測定長≦6 m） L ：3200 mm ～ 6000 mm 通信方式 ■システム構成 ◇フィードバックケーブルについて A： 2線式 ●株式会社安川電機殿サーボアンプへ接続するフ 表示なし： 4線式 スケールベース 検出ヘッド ヘッドケーブル1 m フィードバックケーブル ィードバックケーブルは、株式会社安川電機殿 インターフェース仕様※1 検出ヘッド 形状 および 分解能 製シリアルケーブルが使用可能です。 スア ケブ 0： ミツトヨENSIS高速シリアル対応 5： ファナック殿 高速シリアル 8： 形状　 50 mm（W）×28 mm（D）×11 mm（H） サーボアンプ 　ケーブル形番：JZSP-CLP70-□□-（E 03、05、10、15、20） スア ケブ ーソ ABS ST708A、ST708AL ABS ST758、ST758L 分解能 0.1 µm ルリ 4： 三菱電機殿 高速シリアル 7： パナソニック殿 高速シリアル コネクタ2 ●三菱電機株式会社殿MR-J4/MR-J3シリーズに接 ーソ 出力コネクタ （オプション品）コネクタ3 ユュ ABS ST748A、ST748AL ABS ST778A、ST778AL 続するフィードバックケーブルは、下記コード ルリ ニー ABS ST748、ST748L 8： 安川電機殿 高速シリアル No.にて弊社へご用命ください。 ユュ ユーザ様ご手配 ニー ット 　MR-J4/MR-J3シリーズ用 5 m：No.06ACF117A ット ト ABS ST788A、ST788AL 10 m：No.06ACF117B ト ABS ABS ST700 シリーズ ■出力仕様 ST700 シリーズ ■対応インターフェース ● ST788A（L） ● ST748A（L）、ST778A（L）、ST708A（L） ● ST748（L）、ST758（L） 出力コネクタ（メス） 5 1 出力コネクタ（オス） 出力コネクタ（オス） Dsub 15ピン 1 8 1 8 ファナック株式会社殿 シリアルα Dsub 9ピン Dsub 15ピン i シリーズ 適合コネクタ 適合コネクタ 適合コネクタ 9 6 9 15 9 15 三菱電機株式会社殿 MITSUBISHI CNCドライブユニットMDSシリーズ 17JE-23090-02（D2C）（DDK） HDAB-15（S ヒロセ電機） HDAB-15（S ヒロセ電機） または、相当品（Dsubシリーズ）使用可 または、相当品（Dsubシリーズ）使用可 または、相当品（Dsubシリーズ）使用可 三菱電機株式会社殿 MELSERVO サーボアンプ MR-J4シリーズ MR-J3シリーズ ピン番号 信号名 ピン番号 信号名 ピン番号 信号名 株式会社安川電機殿 サーボパックΣ7シリーズ 対応インターフェース※1 1 ＋5V（VCC） 1 0V（GND） 1 0V（GND） パナソニック株式会社殿 MINAS A5シリーズ 2 RQ/D（T S） 2 0V（GND） 2 0V（GND） 株式会社ミツトヨ 3 ＋5 V（VCC） 3 ＋5 V 3 ＋5 V ENSIS※2 4 N.C 4 ＋5 V 4 ＋5 V 　CKD日機電装株式会社殿 VPHシリーズ 5 0V（GND） 5 N.C 5 DT 　サーボランド株式会社殿 SVFシリーズ 6 RQ/DT（ /S） 6 N.C 6 DT 　オムロン株式会社殿 Power-UMAC、Power-Clipper、Power-Brick、CK3Mシリーズ 7 N.C 7 RQ/DT 7 RQ ※ 8 N.C 8 RQ/DT 8 RQ 1 適用システムの詳細（接続の可否）については、必ず各メーカー様へご確認ください。 9 0V（GND） 9 N.C 9 N.C ※2 ENSISは、ミツトヨの登録商標です。 コネクタシェル F.G 10 N.C 10 N.C ※TEST端子（ピンNo.7、8）は未接続でご使用ください。 11 ＋5 V 11 ＋5 V 12 N.C 12 N.C 13 0V（GND） 13 0V（GND） 14 N.C 14 N.C 15 F.G 15 F.G コネクタシェル F.G コネクタシェル F.G ※TEST端子（ピンNo.9、10）は未接続でご使用ください。 ※TEST端子（ピンNo.9、10）は未接続でご使用ください。 33 34

■取り付け参考図 50 ■取り付け参考図 50 42±0.2 単位：mm 42±0.2 単位：mm ●スケールベースタイプ（100～3000 mm） 30 2×M3×0.5 深5 ●スケールベースタイプ（3200～6000 mm） 30 2×M3×0.5 深5 スケールベース長 : L スケールベース長 : L1 1 スケールベース中心位置 : L スケールベース中心位置 : L2 2 （10） L4±0.2 （L3±0.2）×n L4±0.2 （10） （10） L4±0.2 （L3±0.2）×n L4±0.2 （10） 44 44±0.2 ±0.2 R4 Model ST7*8AL S/N F0212345 R4 Model ST7*8A S/N F0012345 S/N F0012345 S/N F0012345 8 キリ 8 2×M3×0.5 深 2×M3×0.5 深 3 3 シリアルデータ増加 4.6 キリ シリアルデータ増加 ø4 .6 Z× スケールベース 検出ヘッド Z× スケールベース 検出ヘッド // 0.1 // 0.1 G G □ 0.1/1000 出力コネクタ形状 □ 0.1/1000 出力コネクタ形状 ST788Aの場合 G:マシンガイド ST788ALの場合 G:マシンガイド 上：U （選択） ヘッドケーブル：1 m M2.6×0.45 上：U ヘッドケーブル：1 m M2.6×0.45 （選択） 左：L 右：R （46.4） 左：L 右：R （46.4） （選択） （標準） （選択） （標準） （45.3） Model ST7*8AL S/N F0212345 Model ST7*8A S/N F0012345 （45.3） // 0.05 // 0.05 G G 下：D □ 0.05/1000 下：D □ 0.05/1000 （選択） ケーブル出し口指示図 （選択） ケーブル出し口指示図 2.4 （ ±0.2 2） 2.4±0.2 （2） C/N. 579-***R08 C/N. M/N. ST7*8AL-****A-R 579-***R08 M/N. ST7*8A-****A-R スケール表面から スケール表面から 検出ヘッドまでの距離 検出ヘッドまでの距離 ■寸法表 ■寸法表 コードNo. 符号 有効測定長 最大 L1 L（ 移動 L2 L3 L4 取付穴数 コードNo. 符号 有効測定長 最大 L1 L2 L（0 mm） 移動長 L3 L4 取付穴数 0 mm） 長 （mm） （mm） （mm） （mm） n （mm） Z （mm） （mm） （mm） （mm） n （mm） Z 579-301*□8 ST7◇8（A）-100A-* 100 110 180 90 80 579-331*□8 ST7◇8（A）L-3200A-* 3200 3210 3280 1640 14 230 17 579-302*□8 ST7◇8（A）-200A-* 200 210 280 140 130 579-332*□8 ST7◇8（A）L-3400A-* 3400 3410 3480 1740 16 130 19 579-303*□8 ST7◇8（A）-300A-* ― 300 310 380 190 180 3 579-333*□8 ST7◇8（A）L-3600A-* 3600 3610 3680 1840 16 230 19 スア 579-304*□8 ST7◇8（A）-400A-* 400 410 480 240 230 579-334*□8 ST7◇8（A）L-3800A-* 3800 3810 3880 1940 18 130 21 ケブ 579-305*□8 ST7◇8（A）-500A-* 500 510 580 290 2 スア 80 579-335*□8 ST7◇8（A）L-4000A-* 4000 4010 4080 2040 18 230 21 ケブ ーソ ルリ 579-306*□8 ST7◇8（A）-600A-* 600 610 680 340 130 ユュ 579-307*□8 ST7◇8（A）-700A-* 700 710 780 390 180 5 579-336*□8 ST7◇8（A）L-4200A-* ーソ 4200 4210 4280 2140 20 130 23 ルリ 579-337*□8 ST7◇8（A）L-4400A-* 4400 4410 4480 2240 20 230 23 ユュ ニー ット 579-308*□8 ST7◇8（A）-800A-* 800 810 880 440 230 579-338*□8 ST7◇8（A）L-4600A-* ニー 4600 4610 4680 2340 200 22 130 25 ット ト 579-309*□8 ST7◇8（A）-900A-* 900 910 980 490 80 579-339*□8 ST7◇8（A）L-4800A-* 4800 4810 4880 2440 22 230 25 ト ABS 579-310*□8 ST7◇8（A）-1000A-* 1000 1010 1080 540 130 ST700 4 シリーズ 579-311*□8 ST7◇8（A）-1100A-* 1100 1110 1180 590 180 7 579-340*□8 ST7◇8（A）L-5000A-* 5000 5010 5080 2540 24 130 27 ABS ST700 579-341*□8 ST7◇8（A）L-5200A-* 5200 5210 5280 2640 24 230 27 シリーズ 579-312*□8 ST7◇8（A）-1200A-* 1200 1210 1280 640 230 579-313*□8 ST7◇8（A）-1300A-* 1300 1310 1380 690 80 579-342*□8 ST7◇8（A）L-5400A-* 5400 5410 5480 2740 26 130 29 579-314*□8 ST7◇8（A）-1400A-* 1400 1410 1480 740 130 579-343*□8 ST7◇8（A）L-5600A-* 5600 5610 5680 2840 26 230 29 579-315*□8 ST7◇8（A）-1500A-* 1500 1510 1580 790 6 180 9 579-344*□8 ST7◇8（A）L-5800A-* 5800 5810 5880 2940 28 130 31 579-316*□8 ST7◇8（A）-1600A-* 1600 1610 1680 840 230 579-345*□8 ST7◇8（A）L-6000A-* 6000 6010 6080 3040 28 230 31 579-317*□8 ST7◇8（A）-1700A-* 1700 1710 1780 890 80 符号の◇印は、インターフェース仕様を指定します（0、4、5、7、8）。 579-318*□8 ST7◇8（A）-1800A-* 1800 1810 1880 940 200 130 579-319*□8 ST7◇8（A）-1900A-* 1900 1910 1980 990 8 180 11 コードNo.と符号の*印は、ヘッドケーブル取り出し方向を指定します（R、L、U、D）。 コードNo.の□印は、以下の通り。 579-320*□8 ST7◇8（A）-2000A-* 2000 2010 2080 1040 230 ST708ALの場合 : 0 579-321*□8 ST7◇8（A）-2100A-* 2100 2110 2180 1090 80 ST748ALの場合 : 4 579-322*□8 ST7◇8（A）-2200A-* 2200 2210 2280 1140 130 ST748Lの場合 : 3 579-323*□8 ST7◇8（A）-2300A-* 2300 2310 2380 1190 10 180 13 ST758Lの場合 : 5 579-324*□8 ST7◇8（A）-2400A-* 2400 2410 2480 1240 230 ST778ALの場合 : 7 579-325*□8 ST7◇8（A）-2500A-* 2500 2510 2580 1290 80 ST788ALの場合 : 8 579-326*□8 ST7◇8（A）-2600A-* 2600 2610 2680 1340 130 579-327*□8 ST7◇8（A）-2700A-* 2700 2710 2780 1390 12 180 15 579-328*□8 ST7◇8（A）-2800A-* 2800 2810 2880 1440 230 579-329*□8 ST7◇8（A）-2900A-* 2900 2910 2980 1490 14 80 579-330*□8 ST7◇8（A）-3000A-* 3000 3010 3080 1540 130 17 符号の◇印は、インターフェース仕様を指定します（0、4、5、7、8）。 コードNo.と符号の*印は、ヘッドケーブル取り出し方向を指定します(R、L、U、D)。 コードNo.の□印は、以下の通り。 ST708Aの場合 : 0 ST748Aの場合 : 4 ST748の場合 : 3 ST758の場合 : 5 ST778Aの場合 : 7 ST788Aの場合 : 8 35 36 0.4±0.1 11 28±0.2 （25.6） 22.1±0.2 2.5 22±0.2 7±0.2 （15） （32.2） （16） （41.2） 6.5+0.1 -0.05 7.2 スケール厚 0.4±0.1 11 28±0.2 （25.6） 22.1±0.2 2.5 22±0.2 7±0.2 （15） （32.2） （16） （41.2） 6.5+0.1 -0.05 7.2 スケール厚

■ABS ST700シリーズにおける取り付け時の信号調整方法 ●装置に取り付けた後の信号調整と確認を行うためには、パソコンと専用ソフトウェア（ABS ST700 信号調整プログラム）に よる調整が必要になります（調整のため、60 mm以上の移動量を確保してください）。 　本ソフトウェアにより、以下の設定および確認が出来ます。 　　1）スケール信号の自動調整 ⇒ スケールベースと検出ヘッドは、所定の寸法で取り付けておく必要があります。 　　2）スケール信号振幅（信号強度）の確認 　　3）スケール原点（絶対位置データがゼロ）の設定 　　4）絶対位置データの確認 　　5）エラー履歴のクリア 　　6）ABS合成エラーチェック（有効測定長3200 mm～6000 mmの機種のみ） ●用意するもの ●「変換ユニット、専用ソフトウェア」セットパーツNo. 項目 数量 内容 備考 セットNo. 対応機種 変換ユニット 接続ケーブルB PC※ 1 Windows PC ユーザ様用意 06ADZ751 ST708A、ST708AL USB-485 DS15（P 本体）MITケーブル 変換ユニット 1 USB-485(422)DS15P 06ADT457 ST748A、ST748AL USB-485 DS15（P 本体）MELケーブル （株式会社システムサコム社製） 06ADP485 ST778A、ST778AL ST788A、ST788AL USB-485 DS15（P 本体）Y/MATケーブル 接続ケーブルＡ 1 USBケーブル オプション 接続ケーブルＢ 1 RS-485ケーブルないしRS-422ケーブル （セット販売） 06ADZ752 ST748、ST748L USB-422 DS15（P 本体）MDSケーブル 06ADR760 ST758、ST758L USB-422 DS15（P 本体）FANUCケーブル 専用ソフトウェア 1 ソフトウェア名称 『ABS ST700 Signal Adjustment Program』 　 ※本プログラムが実行可能なPCの動作環境を以下に示します。 　　CPU ： 1 GHz以上 　　メモリ ： 最小1 GB以上 　　プログラム容量 ：10 MB 　　OS ： Windows 7以上 　　モニタ ：1024×768 以上を推奨 ●接続方法 接続ケーブルA フィードバックケーブル USBポート （USBケーブル） （ユーザ様ご手配） ヘッドケーブル 検出ヘッド スケールベース パソコン USB-485 （422）DS15P 接続ケーブルB スア （RS-485ケーブルないしRS-422ケーブル） ABS ST700シリーズ アース スア ケブ ケブ ーソ ※感電防止のため、アース接地を実施してください。 ーソ ルリ ユュ ※「パーツNo.06ADZ751」を使用の場合は、ヘッドケーブルと接続ケーブルBを接続してください。 ルリ ニー ※変換ユニットの電源は、パソコンのUSBポートから接続ケーブルAを通して供給されています。 ユュ ニー ット ット ト ト ABS ABS ST700 ST700 シリーズ シリーズ ■検出ヘッドとメインスケールの互換性について ●有効測定長3000 mm以AC1下00Vと有効測定長3200 mm以上の メインスケール 検出ヘッド ST700シリーズでは、メインスケールおよび検出ヘッドが異 なることから、互換性はありませんのでご注意ください。 有効測定長3200 mm～6000 mm用 可 有効測定長3200 mm～6000 mm用 ●ST7□□（L）とST7□□A（L）では、通信規格が異なることから 不可 互換性はありません。 有効測定長3000 mm以下用 可 有効測定長3000 mm以下用 37 38