『精密測定機器ソリューション紹介』ー半導体業界編ー

精密測定機器ソリューション紹介 PRECISION IS OUR PROFESSION Catalog No. 11018(4) ̶ 半導体業界 編 ̶

半半導導体体製製造造ププロロセセスス向向けけ計計測測ソソリリュューーシショョンン 半導体向け前工程のアプリケ半ー導ショ体ン製造プロセス向け計測ソリューション ■A/N MARK（SEMI規格）：幅、位置、 ■CVD装置用部品：セラミックヒータ、シリコンリング ■CVD装置用部品：シャワーヘッド 　ドット径や深さ 　平坦度、断面形状解析、表面粗さ 　ノズル孔の内径、真円度、位置度、表面性状解析（3D粗さ） 電気自動車への生産シフト、5G実用化によるサービス拡大などの影響で急成長している半導 画像測定機クイックビジョンPro、 　三次元測定機、表面粗さ測定機、輪郭形状測定機、 　画像測定機クイックビジョンProストリーム機能付き 非接触3D計測システムクイックビジョンWLI Pro 　非接触変位センサ搭載画像測定機 QVH4 Pro 非接触3D計測システムクイックビジョンWLI Pro 体産業の発展へ幅広いフィールドで測定の課題解決を実現します。 各業界における半導体の応用 自動車（インテリジェント製造業） 前工程 スマートフォン（インテリジェント通信業） ウェハの調達 パターン形成～素子形成 平坦化 CMP（Chemical MechanicalPolishing） フ ォトマスク ダイヤモンドブレード インゴット ウェ 感光剤 繰返し ウェハ ハ サーバ・クラウドデータセンター トランジスタ ポリッシング 半導体 ウェハ プレート ウェハ デジタル家電製品（デジタルカメラ、テレビ、洗濯機） ■インゴットの外径 ■露光装置 ■ウェハの厚み ■裏面の粗さ ■CMP装置用部品：研磨パッド 　レーザスキャン 　高精度リニヤスケール 　高精度リニヤゲージ 　表面粗さ測定機 　溝幅、溝深さ、溝ピッチ、表面粗さ 　マイクロメータ 　LGH、 画像測定機クイックビジョンPro、 　高精度デジタル測長機 表面粗さ測定機 　ライトマチック 高速鉄道（インテリジェント製造業） 1 2

半半導導体体製向造けプ後ロ工セ程スの向アけプ計リ測ケ半ソー導リシュ体ョー製ンシ造ョプンロセス向け計測ソリューション ■切断面観察 ■チップ厚み ■リードフレーム ■リードの幅、ピッチ、高さバラツキ ■リードの幅、ピッチ、間隙 ■エッチング装置用部品：静電チャック、シリコンリング ■プローブカード、ICテストソケット 　測定顕微鏡 　LGH 　幅、ピッチ、高さ、ねじれ等 　画像測定機、測定顕微鏡 　レーザスキャン 　平坦度、断面形状、表面粗さ 画像測定機クイックビジョンProストリーム機能付き、 　画像測定機、測定顕微鏡 　マイクロメータ 　三次元測定機、表面粗さ測定機、輪郭形状測定機、 測定顕微鏡 　非接触変位センサ搭載画像測定機QVH4 Pro 座標測定機 ピン高さ測定 穴の測定 精密センサ 後工程 ダイシング ダイボンディング～ ワイヤボンディング 封入・分離 捺印～リード加工 配線形成 ウェハ検査 封入・分離 リードフレーム 酸化膜 金属膜 後工程へ 000 0 ウェハ トランジスタ ボンディングワイヤ 拠点 代理店ネットワーク 30ヵ国・地域 60ヵ国以上 ■切断後、裏面のバリ高さ ■ワイヤのループ高さ ■はんだボールの高さ、直径、ピッチ ■CVD装置用部品：シャワーヘッド ■ウェハプローバ、プローブ針 　非接触3D計測システム 画像測定機クイックビジョンPro、 　パッケージ基板のコプラナリティ 　ノズル孔の内径、真円度、位置度、表面性状解析（3D粗さ） 　顕微鏡ユニット、測定顕微鏡、投影機 クイックビジョンWLI Pro、 非接触3D計測システムクイックビジョンWLI Pro、 非接触変位センサ搭載画像測定機QVH4 Pro、 　画像測定機クイックビジョンProストリーム機能付き 　測定顕微鏡 測定顕微鏡 非接触3D計測システムクイックビジョンWLI Pro、 非接触3D計測システムクイックビジョンWLI Pro 測定顕微鏡 最大高さ 4 2 3

座標測定機 画像測定機 形状測定機 光学機器 精密センサ 試験・計測機器 スケールユニット 測定工具、測定基準器、計測システム h4_147_240919.indd PRECISION IS OUR PROFESSION 海外拠点 国内営業 ･サービス拠点 営業所・事務所 営業所・事務所・M3 Solution Center 拠点 代理店ネットワーク 30ヵ国・地域 60ヵ国以上 ̶ 半導体業界 編 ̶ こちらからすべての拠点をご確認いただけます。 https://www.mitutoyo.co.jp/corporate/network/ お求めは当店で̶ 最寄りの営業所をご確認いただけます。 https://www.mitutoyo.co.jp/corporate/network/japan/#sale 当社商品は外国為替および外国貿易法に基づき、日本政府の輸出許可の取得を必要とする場合が あります。商品の輸出や技術情報を非居住者に提供する場合は最寄りの営業所へご相談ください。 ●当社商品は製造現場での使用を前提とした、工業用商品として設計、製造、販売されています。 ●本カタログで使用される当社商品名、サービス名およびロゴマークは、日本およびその他の国における株式会 　社ミツトヨの登録商標または商標です。また、その他の会社名および商品名等は、各社の登録商標または商標で 　ある場合があります。 〒213-8533 川崎市高津区坂戸1-20 -1 ●仕様、価格、デザイン（外観）ならびにサービス内容などは、予告なく変更することがあります。ご了承ください。 https://www.mitutoyo.co.jp ●本カタログに掲載されている仕様は2024年11月現在のものです。 148