測定機器の校正 標準器と校正装置

計測 測定 シ工 ス具 テ、 ム測定 基 準 器 、 Catalog No.12001(15)

インデックス ゲ ー ジ ブ ロ ッ 各種測定機器の校正に使用する標準器と検査器具を分かりやすくまとめた目次です。 ク 測定機器 校正に使用する標準器・検査器具 ページ 校 ➊ 演算形ゲージブロック自動検査装置 正 演算形ゲージブロック自動検査装置（GBCD-100A） 3 機 ゲージブロック GBCD-100A 器 手動式演算形ゲージブロックコンパレータ（GBCD-250） 5 各種ゲージブロック 7～8 ● 0.5 mm～100 mmまでの長さのゲージブロックを標準器との比較測定により校正する検査装置です。 外 チェックマスタ 熱膨張係数付ゲージブロック 9 側 ハイトマスタ マ 低膨張セラミックスゲージブロック（ゼロセラブロック） 校正機器 セラキャリパチェッカ 9 イ ク インサイドマイクロチェッカ ゲージブロック用アクセサリセット 10 ロ メ デプスマイクロチェッカ ゲージブロック手入れセット 10 ー タ セラストン 10 内 マイクロメータ検査用ゲージブロック 11 側 マ オプチカルパラレル（OP） 11 イ ク オプチカルフラット（ 外側マイクロメータ OF） 11 ロ メ マイクロメータ基準棒（MB） ー 12 タ マイクロメータスタンド（MS） 13 マイクロメータ用オイル 13 ボホ アー セラ内側マイクロチェッカ（CI） マル13 チテ内側マイクロメータ ッス セットリング 14 クト ホールテスト（三点式内側マイクロメータ） セットリング ➋セラ内側マイクロチェッカ ➌セットリング14 ボアマチック（三点式内側マイクロメータ） セットリング 14 CI ●内径測定器 の基点調整に便利です。 シ リ ン ● 内側マイクロメータの基点調整に便利、300 mmと600 mm 　ø1 mm～ø300 mmの鋼製と、ø4 mm～ø45 mmのセラミッ インジケータ検査機（IC2000） 16 ダ ゲ の2機種を用意しています。 　クス製を用意しています。 キャリブレーションテスタ（UDT-2） 17 ー ジ セットリング 14 シリンダゲージ デ シリンダゲージゼロチェッカ（CCG） 14 プ ス ハイトマスタ（HME） 18 マ イ ク グラプレート 22 ロ メ ー タ デプスマイクロメータ デプスマイクロチェッカ（CD） 15 ノ ノギス セラキャリパチェッカ（CC） 15 ギ ス セラキャリパチェッカ（CC） 15 ライザブロック（HMR） 19 ハ チェックマスタ（HMC） 19 ➍セラキャリパチェッカ ➎ インジケータ検査機 イ ハイトゲージ ト 高精度チェックマスタ（HMC-H） 19 CC アイ ゲ -チェッカ IC2000 ー ハイトマスタ（HME） 18 ジ グラプレート 22 ●ノギスやハイトゲージの校正に最適で300 mmと600 mm ●各種インジケータの校正に便利、世界最高水準の指示精度 の2機種を用意しています。 です。 ダ インジケータ検査機（IC2000） 16 イ ダイヤルゲージ ヤ キャリブレーションテスタ（UDT-2/103/105） 17 ル ゲ インジケータ検査機（IC2000） 16 ー てこ式ダイヤルゲージ ジ キャリブレーションテスタ（UDT-2/103/105） 17 て こ インジケータ検査機（IC2000） 16 式 ダ キャリブレーションテスタ（UDT-103/105） 17 イ ヤ 電気マイクロメータ ル ハイトマスタ（HME） 18 ゲ ー グラプレート 22 ジ 超精密四直角マスタ（UM） 電 17 気 三次元測定機 直角度測定器スコヤマスタ（SL） マ 18 イ ク ・工作機械 ハイトマスタ（HME） 18 ロ メ ・精密測定機器 チェックマスタ（HMC） 19 ➏高さ基準器ハイトマスタ ➐グラプレート ー タ ・半導体設備関連 高精度チェックマスタ（HMC-H） 19 ライザブロック（HMR） 19 HME、HMP2 ●各種高さ測定、直角測定、けがき 三 段差マスタ 20 作業を行う基準平面です。 次 ●高さ基準器の一般名称になっているベスト 元 標準スケール 測 20 セラー機、300 mm、450 mm、600 mmの3機種 定 測定投影機・測定顕微鏡 読取りスケール 20 を用意しています。（HMEのみ） 機 標準尺（HL） 20 基準スケール（HL1/2/3） 21 測測 定定 顕投 測定定盤 グラプレート 22 微影 鏡機 ※ 弊社商品は外国為替および外国貿易法の規制貨物等に該当いたします。リスト該当商品を輸出される場合、または日本国外へ持ち出す場合には日本政府の輸出許可が必要と なります。また、キャッチオール該当商品の場合も、ご購入後に輸出される場合はアフターサービスに支障を来すこともあります。いずれの場合でも、ご不明な内容につきましては 最寄りの弊社営業所に必ずお問い合わせください。 測 定 定 盤 1 2

ゲ 定期検査に必要な標準器・校正装置・検査器具 ゲ ー ー ジ ジ ブ ブ ロ ロ ッ ッ ク ミツトヨは精密測定機器の総合メーカとして、皆様の測定機器が最良の状態に管理されるよう、 ク 定期検査に必要な標準器、校正装置および検査器具を製作しています。 校 校 正 正 機 機 器 器 外 外 側 側 マ ゲージブロック ゲージブロック マ イ イ ク ク ロ ロ メ メ ー ー タ タ 内 内 側 側 マ 演算形ゲージブロック自動検査装置 ■仕様 マ イ イ ク 測定対象 レクタンギュラゲージブロック ク ロ スケヤゲージブロック ロ メ メ ー GBCD-100A ー タ ゲージブロックの呼び寸法 0.5 mm～100 mm タ 最小表示量 0.01 µm ボホ 測定方法 基準ゲージブロックとの比較測定 ボホ アー アー マル ●呼び寸法0.5 mm～100 mmのゲージブロックの寸法を基準 検出器方式 上下2本の検出器（デュアルヘッド）による演算方式 マル チテ チテ ッス ゲージブロックとの比較測定により校正する装置です。 検出器上側 品名 高精度電気マイクロメータ ッス クト クト 測定力 1.0 N ・ 基準ゲージブロックと校正されるゲージブロックをホルダに シ 測定子 超硬R20球面測定子 シ リ セットし、スタートさせれば、中央及び端部の5ヵ所の測定ポ 検出器下側 品名 高精度電気マイクロメータ リ ン ン ダ イントを自動的に測定します。 測定力 0.6 N ダ ゲ ゲ ー 測定子 超硬 ー ジ ●上下2本の検出器（デュアルヘッド）による演算方式により薄 R5球面測定子 ジ ±（0.03＋0.3L/1000）µm デ い寸法のゲージブロックのそりの影響が出ないようにしてい 精度 L：ゲージブロックの呼び寸法（mm） デ プ プ ス ス マ ます。 （95％信頼限界） （ 基準ゲージブロックの寸法の不確かさ マ イ イ ク および周囲温度の影響を含まない ） ク ロ ●ゲージブロック検査用ソフトウェアGBPAK-AJにて検査装置 ロ メ 使用空気圧力 0.4 MPa メ ー ー タ タ の操作、等級判定、検査成績書の作成ができます。 使用温度範囲 20 ℃±1 ℃ （温度変化が緩やかで、温風、冷風が直接当たらないこと） また、TSV形式のテキストデータでの出力もできますので、 ノ 使用湿度範囲 58 %±15 ％RH ノ ギ Excelなどの表計算ソフトウェアでも編集が可能です。 電源 AC100 V～120 V、 200～240 V±10%、 50/60 Hz ギ ス ス 消費電力（PCを除く） 100 W ■標準構成 ハ ・測定本体部 ハ イ イ ト ・コントローラ部 ト ゲ ゲ ー ・GBCD-100A用ソフトウェア GBPAK-AJ ー ジ ジ ・ゲージブロックホルダセット ダ レクタンギュラゲージブロック用 ダ イ イ ヤ ・エアホース ヤ ル ル ゲ （ウレタンチューブ、外径ø6 mm、長さ5 m） ゲ ー ー ジ ・Windows PC 特殊ブリッジタイプ ジ て て こ ■ソフトウェア機能 ゲージブロック比較測定機用校正マスタ　 こ 式 式 ダ コードNo,516-1475-J2 ダ イ ゲージブロック検査用ソフトウェア　GBPAK-AJ イ ヤ ● ヤ ル ル ゲ ・自動測定機能 ■オプション ゲ ー ー ジ ジ ・測定データの取り込みと保存 電 コードNo 商品名 説明 電 気 ・データ処理機能 気 マ マ イ 516-145-J2 ゲージブロック比較測定機用校正マスタ（標準タイプ） 検査装置の測定能力の検証及び定期校正用のブロックセット イ ク 計算：中央寸法の寸法差、寸法差幅、最小寸法の寸法差、最大寸法の寸法差 ク ロ 613615-03 セラミックス製ゲージブロック5mm、1級(JIS等級） 原点設定用ゲージブロック ロ メ 判定：等級判定、等級落ち判定 メ ー 02ASQ324 スケヤゲージブロックホルダセット スケヤゲージブロックを測定する際の専用ホルダ ー タ 補正機能：温度補正、変形補正 タ 三 平均演算機能：5回までの繰返し測定の平均値を測定値にすることができます。 三 次 次 元 ・簡易作表/印刷機能 元 測 測 定 ・TSV形式のファイル出力機能（TSVはTab区切りのテキストファイルです） 定 機 機 市販の表計算ソフトウェアなどで読み込めるデータ形式で保存できます。 ・断面寸法の切り換え設定機能 測測 測測 定定 ・規格テーブルファイル（JIS,ISO,DIN及びユーザ規格も登録可能） 定定 顕投 顕投 微影 ・ゲージブロック比較測定機用校正マスタ（別売）を使用してゲージブロックの 測定能力を検証する測定動作及びデータ処理機能を搭載。 微影 鏡機 鏡機・ 測 測 定 定 定 定 盤 盤 3 4

ゲ ゲ ー ジ ゲージブロック ゲージブロック ー ジ ブ ブ ロ ロ ッ ッ ク ク 校 手動式演算形ゲージブロックコンパレータ ■標準付属品 ■ゲージブロック検査用ソフトウェア GBPAK-MJ ■オプション ・ゲージブロックホルダセット ・環境：Windows XP、Vista、7、10 ●ゲージブロック比較測定機用校正マスタ 校 正 正 機 レクタンギュラゲージブロック用のホルダセットです。 ・測定データの取り込みと保存 ・標準タイプ　No.516-145-J2　BM1-11/KTR-GBC 機 器 GBCD-250 器 （ゲージブロック倒れ止め付属） ・データ処理機能 ゲージブロックコンパレータの測定能力の検証及び定期校正に使用する専 計算：中央寸法の寸法差、寸法差幅、最小寸法の寸法差、最大寸法の寸法差 用のブロックセットです。 外 側 ●特許登録済（日本） 外 マ 判定：等級判定、等級落ち判定 側 マ イ イ ク 補正機能：温度補正、変形補正 ロ ● 呼び寸法0.1 mm～250 mmのゲージブロックの寸法を基準 ク ロ メ ー 平均演算機能：5回までの繰返し測定の平均値を測定値にできます。 メ タ ゲージブロックとの比較測定により校正する装置です。 ー ・簡易作表/印刷機能 タ 内 側 ● 上下2本の検出器（デュアルヘッド）による演算方式により 内 ・TSV形式のファイル出力機能（TSVはTab区切りのテキストファイルです） 側 マ テンプレートA（30 mm幅用） ゲージブロック倒れ止め マ イ ク 薄い寸法のゲージブロックのそりの影響が出ないようにし 市販の表計算ソフトウェアなどで読み込めるデータ形式で保存できます。 イ ク ロ メ ・規格テーブルファイル（JIS, ISO, DIN及びユーザ規格も登録可能） ロ ー ています。 メ ー タ ●超ワイドレンジ、高精度センサ（リニアゲージ：測定範囲6 ・ゲージブロック比較測定機用校正マスタ（オプション）を使用して タ 特殊ブリッジタイプ ボホ ゲージブロックの測定能力を検証する測定動作及びデータ処理機能を搭載。 アー mm、有効表示量0.01μm）の採用により、検出器の高さ微調整 ボホ アー マル マル チテ の煩わしさが大幅に解消されます。また、一つの基準ゲージ チテ ッス ッス クト ブロックで呼び寸法の異なるゲージブロックの校正が可能で ゲージブロックホルダA テンプレート（B 35 mm幅用） ●遮蔽板　No.02ASF040 ● スケヤゲージブロックホルダ クト・ （30 mm幅用） （ゲージブロックホルダ機能兼用） す。（呼び寸法が異なる組合わせの測定では精度が異なりま 測定作業者から発する熱 セット　No.02ASD130 シ リ による測定中のゲージブ スケヤゲージブロックを測定するた シ リ ン す。精度は仕様欄をご参照ください） ロックの温度上昇を抑え ダ ■仕様 めのゲージブロックホルダのセット ン ダ ゲ ●オプションのパソコンとゲージブロック検査ソフトウェアを使 ます。 ー です。 ゲ ジ 測定対象 レクタンギュラゲージブロック 長いゲージブロックを測 ー ジ 用することにより、データ取り込み、等級判定、検査成績書作成 スケヤゲージブロック※1 （ゲージブロック倒れ止め付属） 定する際に特に有効で デ プ ができます。また、TSV形式のテキストデータを出力できますの ゲージブロックの呼び 寸法 0.1～250 mm す。 デ プ ス ス マ マ イ ク で、Excel等の表計算ソフトウェアにて編集が可能です。 イ ロ 検出器方式 上下2本の検出器（デュアルヘッド）による演算方式 ク ロ メ ー 最小表示量（有効表示量）0.001μm（0.01μm） メ ー タ 測定方法 基準ゲージブロックとの比較測定 タ テンプレートAS ゲージブロック ±（0.03＋0.3L/1000）μm※2 （30 mm幅用） 倒れ止めS ノ 精度（信頼率95％） L：ゲージブロックの呼び寸法（mm） ノ ギ ス 同一呼び寸法の比較測定 ギ ス ±（0.06＋0.3L/1000）μm※2 ゲージブロック テンプレートBS 精度（信頼率95％） L：ゲージブロックの呼び寸法（mm） ホルダAS （35 mm幅用） ハ 基準ゲージブロックと測定するゲージブロックの寸 （30 mm幅用） ハ イ ト 法差±3mm以内 イ ト ゲ ー 検出器上側：品名 リニアゲージ ゲ ー ジ 測定力 0.4 N コードNo. 商品名 説明 ジ 測定子 超硬R20球面測定子 ダ 検出器下側 品名 リニアゲージ - データ処理装置 GBCD-250に接続するWindws PC ダ イ イ ヤ 測定力 0.2 N - ゲージブロック検査用ソフトウェアGBPAK-MJ ゲージブロック検査用のソフトウェア ヤ ル ゲ 測定子 超硬R5球面測定子 516-145-J2 ゲージブロック比較測定機用校正マスタ 検査装置の測定能力の検証及び定期校正用のブロックセット ル ゲ ー ジ 20 ℃±1 ℃ 02ASF040 遮蔽版 測定中、測定作業者から発する熱を遮蔽しゲージブロックの温度上昇を抑えます。 ー ジ 使用温度範囲 温度の変化が緩やかで、温風、冷風が直接当たらな 02ASD130 スケヤゲージブロック用ホルダセット スケヤゲージブロックを測定する際に必要なゲージブロックホルダセット。 て て こ 式 ダ ■構成 い環境にしてください。 こ 式 ダ イ ヤ 使用湿度範囲 30 ％RH～60 ％RH イ ル GBCD-250本体 ヤ ゲ 外観寸法：測定本体部 455（W）×318（D）×726（H）mm　位置決め装置含む ル ゲ ー GBCD-250用表示部ジ 表示ユニット 210（W）×162（D）×118（H）mm ー ジ 電 レクタンギュラゲージブロック用ホルダセット 質量：測定本体部 約52 kg 電 気 マ 　・テンプレートA（30 mm幅用） 表示ユニット 約2.4 kg 気 マ イ ク 　・ゲージブロックホルダA（30 mm幅用） イ ロ ※1： 特別付属品の専用ホルダ使用により、スケヤゲージブロックの測定がで ク メ 　・テンプレートB（35 mm幅用） ロ きます。 メ ー タ 　・ゲージブロック倒れ止め ※2： 基準ゲージブロックの寸法の不確かさ及び周囲温度の影響は含みま ー タ 取扱説明書 せん。 三 次 検査成績書 三 次 元 測 校正証明書（オプション） 元 測 定 定 機 機 測測 測測 定定 定定 顕投 顕投 微影 微影 鏡機 鏡機・ 測 測 定 定 定 定 盤 盤 5 6

ゲ ー ジ 校正機器 校正機器 ゲ ー ジ ブ ブ ロ ロ ッ ッ ク ク 516シリーズ 516シリーズ 516シリーズ 校 レクタンギュラゲージブロック標準セット スケヤゲージブロック標準セット 単体ゲージブロック 校 正 正 機 機 器 器 外 JIS B 7506をご参照ください。 ■仕様（ 各々、符号の末尾が等級を表します。） ●測定面が正方形「24.1×24.1 mm」で、中心にø6.7 mmの貫通し レクタンギュラゲージブロック（ 0.1～1000 mm） 外 側 種類 鋼製 セラミックス製 側 マ マ イ た穴を持ち、取り扱い易さと応用範囲の広さを追求したゲージ セラブロック（ 0.5～500 mm） イ ク ●鋼製とセラミックス製の2タイプがあります。 コード 組数 No. 符号 コードNo. 符号 ク ロ メ 516-937-30 BM1-112-K 516-337-30 BM3-112-K ブロックです。 スケヤゲージブロック（ 0.5～500 mm） ロ メ ー ー タ ● 種々のニーズにお応えするため、様々な組み合わせをご用意 516-938 BM1-112-0 516-338 BM3-112-0 516-939 BM1-112-1 516-339 BM3-112-1 112個組 ● 別売のタイロッド、ねじ、ナットなどにより、ゲージブロック同 タ 内 しています。使用条件、環境、用途に合わせて最適なものを ● 特定の寸法を多数使用される場合は単体ゲージブロックを 516-940 BM1-112-2 516-340 BM3-112-2 士を締結させることが可能です。 内 側 側 マ マ イ お選びください。 ご購入になるのが合理的です。 イ ク 516-941-30 BM1-103-K 516-341-30 BM3-103-K ク ロ 516-942 BM1-103-0 516-342 BM3-103-0 ロ メ ● ご注文の際にはパーツNo.のあとにJISの等級を表わすサフィッ メ ー 516-943 BM1-103-1 516-343 BM3-103-1 103個組 ー タ 516-944 BM1-103-2 516-344 BM3-103-2 クスNo.を組み合わせてお申し込みください。 タ ボホ ボホ アー 516-949-30 BM1-76-K 516-349-30 BM3-76-K アー マル 516-950 BM1-76-0 516-350 BM3-76-0 マル チテ 516-951 BM1-76-1 516-351 BM3-76-1 76個組 チテ ッス ッス クト 516-952 BM1-76-2 516-352 BM3-76-2 クト 516-953-30 BM1-56-K 516-353-30 BM3-56-K シ 516-954 BM1-56-0 516-354 BM3-56-0 シ リ 516-955 BM1-56-1 516-355 BM3-56-1 56個組 リ ン ン ダ 1 mm 516-956 BM1-56-2 516-356 BM3-56-2 ダ ゲ ゲ ー ベース ー ジ 鋼製 516-957-30 BM1-47-K 516-357-30 BM3-47-K ジ 516-958 BM1-47-0 516-358 BM3-47-0 BM1-103 516-959 BM1-47-1 516-359 BM3-47-1 47個組 デ デ プ プ ス 103個組 516-960 BM1-47-2 516-360 BM3-47-2 ス マ マ イ イ ク 516-994-30 BM1-46-K 516-394-30 BM3-46-K ク ロ BM4-112 ロ メ 516-995 BM1-46-0 516-395 BM3-46-0 112個組 516-996 BM1-46-1 516-396 BM3-46-1 46個組 メ ー ー タ タ 516-997 BM1-46-2 516-397 BM3-46-2 ノ 516-128-30 BM1-34-K 516-178-30 BM3-34-K ノ ギ 516-129 BM1-34-0 516-179 BM3-34-0 ギ ス 516-130 BM1-34-1 516-180 BM3-34-1 34個組 ス 516-131 BM1-34-2 516-181 BM3-34-2 516-965-30 BM1-32-K 516-365-30 BM3-32-K ハ ハ イ 516-966 BM1-32-0 516-366 BM3-32-0 516-967 BM1-32-1 516-367 BM3-32-1 32個組 イ ト ト ゲ 516-968 BM1-32-2 516-368 BM3-32-2 ゲ ー ー ジ 516-973-30 BM1-18-K 516-373-30 BM3-18-K ジ 516-974 BM1-18-0 516-374 BM3-18-0 516-975 BM1-18-1 516-375 BM3-18-1 18個組ダ ダ イ イ ヤ 516-976 BM1-18-2 516-376 BM3-18-2 ヤ ル ル ゲ 516-981-30 BM1-9L-K 516-381-30 BM3-9L-K ゲ ー ー ジ 0.001 mm 516-982 BM1-9L-0 516-382 BM3-9L-0 ステップ 516-983 BM1-9L-1 516-383 BM3-9L-1 9個組 ジ て セラミックス製 516-984 BM1-9L-2 516-384 BM3-9L-2 て こ こ 式 式 ダ BM3-103 103個組 516-985-30 BM1-9S-K 516-385-30 BM3-9S-K ダ イ 516-986 BM1-9S-0 516-386 イ ヤ BM3-9S-0 ヤ ル BM3-9S-1 9個組 ル ゲ 516-987 BM1-9S-1 516-387 ゲ ー 516-988 BM1-9S-2 516-388 ー ジ BM3-9S-2 ■仕様（ ジ 各々、符号の末尾が等級を表します。） 電 電 気 516-701-30 BM1-8R-K 516-731-30 BM3-8R-K 気 マ 長尺 516-702 BM1-8R-0 516-732 BM3-8R-0 種類 コードNo. 符号 組数 マ イ 516-703 BM1-8R-1 516-733 BM3-8R-1 8個組 イ ク 516-438 BM4-112-0 ク ロ 516-704 BM1-8R-2 516-734 BM3-8R-2 516-439 BM4-112-1 112個組 ロ メ メ ー 516-440 BM4-112-2 ー タ 516-990 BM1-9LT-0 極薄 516-991 BM1-9LT-1 ̶ ̶ 9個組 516-442 BM4-103-0 タ 三 516-443 BM4-103-1 103個組 三 次 516-992 BM1-9LT-2 516-444 BM4-103-2 次 元 元 測 ※これらの他に、保護ゲージブロックなどがあります。 1 mm 516-450 BM4-76-0 測 定 ベース 516-451 BM4-76-1 76個組 定 機 516-452 BM4-76-2 機 516-458 BM4-47-0 測測 516-459 BM4-47-1 47個組 測測 定定 516-460 BM4-47-2 定定 顕投 顕投 微影 516-466 BM4-32-0 微影 鏡機 516-467 BM4-32-1 32個組 鏡機 長尺ゲージブロック 516-468 BM4-32-2 BM1-8R 516-752 BM4-8R-0 測 長尺 516-753 BM4-8R-1 8個組 測 定 516-754 BM4-8R-2 定 定 定 盤 盤 7 8

ゲ ゲ ー ー ジ 校正機器 校正機器 ジ ブ ブ ロ ロ ッ ッ ク ク 516シリーズ 516シリーズ 516シリーズ 516シリーズ 校 校 正 正 機 熱膨張係数付ゲージブロック 低膨張セラミックスゲージブロック ゲージブロック用アクセサリセット ゲージブロック手入れセット 機 器 器 外 ●ミツトヨの最高技術により支えられた品質により、高精度な ●低膨張セラミックスゲージブロック（ゼロセラブロック）は、 ●ゲージブロック用アクセサリセットの中のホルダや各種ジョウ ● ゲージブロックの使用前の セットコードNo.516-650E 外 側 側 マ 熱膨張係数の値が付いたK級を超えた最高級のゲージブロック 熱膨張が極めて小さく（0±0.02×10－6/K（20 ℃））、軽量な特 などを用いて、色々なゲージを作ることができます。 かえり取りや、密着作業など セット内容 マ イ イ ク ク ロ （鋼製・セラミックス製）です。 殊セラミックスを採用した次世代のゲージブロックです。 ■仕様 に必要な用具をセットにし 両面ラップ済みセラストン ロ メ （100×25×12 mm） メ ー ー タ ●熱膨張係数は、高精度両端面干渉計（DFI）により、測定して ●レクタンギュラゲージブロックの呼び寸法30～1000 mmで、 コードNo. 備 考 たゲージブロック使用時の オプチカルフラット タ 内 います。寸法精度は、高精度ゲージブロック自動光波干渉計 提供しています。 516-601 レクタンギュラゲージブロック用 22個組 必需品です。 (ø45、厚さ12 mm、平面度0.2 μm) 内 側 側 マ ピンセット マ イ イ ク （GBI）により、測定しています。 516-602 レクタンギュラゲージブロック用 14個組 ク ロ ブラシ（写真用ブロワブラシ） ロ メ ●レクタンギュラゲージブロックの呼び寸法100～500 mmで、 516-605 呼び寸法125 mm以上の長尺ゲージブロック用 メ ー 面拭き紙 ー タ 516-611 スケヤゲージブロック用 提供しています。 （レンズペーパ、82×304 mm、500枚） タ 下敷（B4版、人工鹿皮） ボホ ボホ アー 洗浄液容器（ポリ容器、100 mL） アー マル マル チテ 検査用手袋 チテ ッス ッス クト クト シ シ リ パーツNo. 符号 呼び寸法（mm） リ ン ン ダ ダ ゲ 617673-013 30-K-BM7/JC 30 516-601 ゲ ー ー ジ 617675-013 50-K-BM7/JC 50 レクタンギュラ ゲージブロック用 ジ 617681-013 100-K-BM7/JC 100 デ 22個組 デ プ プ ス 617682-013 200-K-BM7/JC 200 ス マ マ イ ■仕様 617683-013 300-K-BM7/JC 300 イ ク ク ロ ロ メ 617684-013 400-K-BM7/JC 400 メ ー 鋼製 セラミックス製呼び寸法 呼び寸法 熱膨張係数 中央寸法の ー タ 617685-013 500-K-BM7/JC 500 タ パーツNo. パーツNo. （mm） の規格 の不確かさ 不確かさ 611681-01A 613681-01A 100 617840-013 600-K-BM7/JC 600 ノ 611802-01A 613802-01A 125 617841-013 700-K-BM7/JC 700 ノ ギ ギ ス 611803-01A 613803-01A 150 617843-013 800-K-BM7/JC 800 ス 611804-01A 613804-01A 175 617844-013 900-K-BM7/JC 900 K級 0.035×10－6 611682-01A 613682-01A 200 /K 30 nm（k=2） 617845-013 1000-K-BM7/JC 1000 ハ JIS/DIN/ISO （k=2） ハ イ （100 mm において） イ ト 611805-01A 613805-01A 250 ※呼び寸法の検査成績書およびJCSSロゴマーク入り校正証明書を標準で ト ゲ 添付します。 ゲ ー 611683-01A 613683-01A 300 ー ジ ジ 611684-01A 613684-01A 400 ■セット ダ 611685-01A 613685-01A 500 ダ イ コードNo. 符号 組数 寸法段階 呼び寸法 イ ヤ ※呼び寸法の検査成績書およびJCSSロゴマーク入り校正証明書を標準で ヤ ル （mm） （mm） ル ゲ 添付します。 ゲ ー ー ジ 　また、熱膨張係数の校正結果および校正証明書を標準で添付します。 30・50・100・200・300・400・ ジ ※価格についてはお問い合わせください。 516-771-30 BM7-12-K/JC 12個組 ̶ 500・600・700・800・900・ て 1000 516シリーズ て こ こ 式 式 ダ ※価格についてはお問い合わせください。 ダ イ イ ヤ セラストン ヤ ル 516-611 ル ゲ ゲ ー SGA-M25 ー ジ スケヤゲージブロック用 ジ 電 ● セラストンは、セラブロック、鋼製ゲージブロックのかえり取り 電 気 気 マ マ イ 専用砥石です。 イ ク ク ロ ロ メ 　パーツNo.601644〔 150（幅）×50（奥行）×20（高さ）mm〕 メ ー ー タ 　パーツNo.601645〔 100（幅）×25（奥行）×12（高さ）mm〕 タ 三 三 次 次 元 元 測 測 定 定 機 機 測測 測測 定定 定定 顕投 顕投 微影 微影 鏡機 鏡機 測 測 定 定 定 定 盤 盤 9 10

ゲ ー 外側マイクロメータ 外側マイクロメータ ゲ ー ジ ジ ブ ブ ロ ロ ッ ッ ク ク 516シリーズ 157シリーズ 167シリーズ ●カタログNo.13（精密測定機器・総合カタログ）もあわせて ご参照ください。 校 単位：mm マイクロメータ検査用ゲージブロック オプチカルパラレル（OP） マイクロメータ基準棒（MB） 校 正 正 機 機 器 器 ● 外側マイクロメータの最大許容誤差や測定面の平面度、平行 ● 外側マイクロメータの測定面の平面度と平行度を測定します。 ●最大測定長50 mm以上の外側マイクロメータの基点調整用 60 外 外 側 側 マ 度の測定のために選んでセットされたゲージブロックです。 ● スピンドルの回転角に基づいて厚みの異なる4枚が1組となっ に使用します。 L マ イ イ ク ク ロ ています。 コードNo. 符号 呼び寸法（mm） 呼び寸法に対する L 寸法許容差（µm） ℓ（mm） 直径（mm） ロ メ メ ー ー タ ●外径　ø30 mm 167-108 MB-200 200 ±5.0 47 タ 内 鋼製 167-108　MB-200 167-103　MB-75 167-109 MB-225 225 ±5.5 47 内 側 BM1-10M 167-110 MB-250 250 ±6.0 52 側 マ マ イ 10個組 167-111 MB-275 275 ±6.5 57 イ ク 167-112 MB-300 300 ±7 64 ク ロ ロ メ 167-113 MB-325 325 ±7.5 69 167-114 MB-350 350 ±8 74 ø9.4 メ ー ー タ タ 167-115 MB-375 375 ±8.5 80 ボホ 167-116 MB-400 400 ±9 85 ボホ アー 167-117 MB-425 425 ±9.5 90 アー マル マル チテ ■精度 167-118 MB-450 450 ±10 95 ●平面度0.3 µm　●寸法差幅2.0 µm 167-119 MB-475 475 ±10.5 101 チテ ッス ッス クト クト ■外観寸法図 単位：mm 単位： シ mm シ リ リ ン 60 ン ダ セラミックス製 ダ ゲ BM3-10M L ゲ ー ー ジ 10個組 ジ 157-903 L 12.7 コードNo. 符号 呼び寸法（mm） 呼び寸法に対する OP-25 L 寸法許容差（µm） ℓ（mm） 直径（mm） デ デ プ プ ス 167-120 MB-500 500 ±11 106 コードNo. 符号 呼び寸法（mm）呼び寸法に対する ス マ L 寸法許容差（µm） ℓ（mm） 直径（mm） マ イ ■仕様（ 167-121 MB-525 525 ±11.5 112 イ ク 各々、符号の末尾が等級を表します。） l ク ロ 167-122 MB-550 550 ±12 117 ロ メ ●マイクロメータ検査用の専用セットです。BM1-10M、BM3- 167-101 MB-25 25 ±1.5 18 メ ー コードNo. 符号 用 途 厚さ(mm) 平面度（µm）平行度（µm） 167-123 MB-575 575 ±12.5 122 ー タ 167-102 MB-50 50 ±2.0 40 ø6.35 167-124 MB-600 600 ±13 128 タ 10Mは、JIS B 7502-2016 マイクロメータ「最大許容誤差の測 157-903 OP-25 外側マイクロメータ 12.00、12.12 167-103 MB-75 75 ±2.5 40 167-125 MB-625 625 ±13.5 133 定方法」に推奨されている組み合わせです。大形マイクロ (0～25 mm用) 12.25、12.37 0.1 0.2 L 11 167-126 MB-650 650 ±14 138 ノ 単位：mm 167-127 MB-675 675 ±14.5 142 ノ ギ ギ ス メータの最大許容誤差の検査にはBM1-8M、BM3-8Mを併用 167-128 MB-700 700 ±15 147 157-904 OP-50 外側マイクロメータ 25.00、25.12 167-129 MB-725 ス 725 ±15.5 153 すると便利です。 (25～50 mm用) 25.25、25.37 0.1 0.2 167-130 MB-750 750 ±16 158 ø11.9 167-131 MB-775 775 ±16.5 164 BM1-10MK、BM3-10MKは、シンブル1回転でスピンドルが ※50 mm以上の測定範囲の外側マイクロメータの平行度はゲージブロックを 60 ハ L 167-132 MB-800 800 ±17 170 ハ イ 併用して測定します。 イ ト 2.0 mm移動するカンタマイク検査用の専用セットです。 167-133 MB-825 825 ±17.5 175 ト ゲ 167-134 MB-850 850 ±18 180 コードNo. 符号 呼び寸法（mm） 呼び寸法に対する ゲ ー L 寸法許容差（µm） 直径（mm） 167-135 MB-875 875 ±18.5 185 ー ジ ■仕様（ 各々、符号の末尾が等級を表します。） 158シリーズ 167-136 MB-900 900 ±19 191 ジ 167-104 MB-100 100 ±3 167-137 MB-925 925 ±19.5 196 ダ 鋼製 セラミックス製 コード 組数 備 167-105 MB-125 125 ±3.5 ø7.9 167-138 MB-950 950 ±20 201 ダ イ イ ヤ No. 符号 コードNo. 符号 考 オプチカルフラット（OF） 167-106 MB-150 150 ±4 167-139 MB-975 975 ±20.5 207 ヤ ル ル ゲ 167-107 MB-175 175 ±4.5 167-140 MB-1000 1000 ±21 211 516-103 BM1-10N-0 516-152 BM3-10N-0 ゲ ー 516-101 BM1-10N-1 516-153 BM3-10N-1 10個組 ※25 mmとびに、MB-2000まであります。 ー ジ 516-154 BM3-10N-2 外側マイクロ マイクロメータなどの測定面の平面度を測定します。 ジ て て こ 516-977-30 BM1-10-K メータ用 167シリーズ 167シリーズ こ 式 516-978 BM1-10-0 516-378 BM3-10-0 式 ダ 0～25 mm ダ イ 516-979 BM1-10-1 516-379 BM3-10-1 10個組 イ ヤ ヤ ル 516-980 BM1-10-2 516-380 BM3-10-2 MB（ねじマイクロメータ用） MB（V溝マイクロメータ用） ル ゲ ゲ ー ー ジ 516-106 BM1-10M-0 516-156 BM3-10M-0 ジ 電 電 気 516-107 BM1-10M-1 516-157 BM3-10M-1 10個組 JIS B 7502-2016 ●ねじマイクロメータの基点調整に使用します。 ●V溝マイクロメータの基点調整に使用します。 516-108 BM1-10M-2 516-158 BM3-10M-2 対応 気 マ マ イ イ ク ク ロ ロ メ 516-580 BM1-10MK-0 516-390 BM3-10MK-0 メ ー 516-581 BM1-10MK-1 516-391 BM3-10MK-1 10個組 カンタマイク専用 ー タ 516-582 BM1-10MK-2 516-392 BM3-10MK-2 タ 167-264 167-262 三 516-111 BM1-16-0 516-161 BM3-16-0 外側マイクロ MB-100　ネジ60° MB-50　ネジ60° 167-329　MB-25パイ 三 次 次 元 516-112 BM1-16-1 516-162 BM3-16-1 16個組 メータ用 ■仕様 ■仕様 元 測 測 定 516-113 BM1-16-2 516-163 BM3-16-2 0～50 mm コードNo. 符号 呼び寸法（mm） コードNo. 符号 ø mm 定 機 メートル（ユニファイ）　θ＝60゜ 167-327 MB-5奇数溝 5 機 516-115 BM1-8M-0 516-165 BM3-8M-0 外側マイクロ 516-116 BM1-8M-1 516-166 BM3-8M-1 8個組 メータ用 158-118　OF-45A 167-261 MB-25　 ネジ60゜ 25 167-328 MB-10奇数溝 10 測測 516-117 BM1-8M-2 516-167 BM3-8M-2 0～200 mm 167-262 MB-50　 ネジ60゜ 50 167-329 MB-25奇数溝 25 測測 定定 25 mmピッチ 定定 顕投 ■仕様 167-263 MB-75　 ネジ60゜ 75 167-330 MB-40奇数溝 40 顕投 微影 167-264 MB-100 ネジ60゜ 100 微影 鏡機 コード 167-331 MB-55奇数溝 55 No. 符号 厚さ（mm） 外径（mm） 平面度（µm） 鏡機 ウィットウォース　θ＝55゜ 167-332 MB-70奇数溝 70 158-117 OF-45B 0.2 12 ø45 167-272 MB-25　 ネジ55゜ 25 167-333 MB-85奇数溝 85 測 158-118 OF-45A 0.1 167-273 MB-50　 ネジ55゜ 50 測 定 定 定 158-119 OF-60B 0.2 167-274 MB-75　 ネジ55゜ 75 定 盤 15 ø60 167-275 MB-100 ネジ55゜ 100 盤 158-120 OF-60A 0.1 ※25 mmとびに、MB-275まであります。 11 12 ø7.9 11 12.7 ø6.35 D ø13 ø9.4 ø11.9 ø14 ø17

ゲ 外側マイクロメータ 内側マイクロメータ ホールテスト/ボアマチック/シリンダゲージ ゲ ー ー ジ ジ ブ ブ ロ ロ ッ ッ ク ク 156シリーズ 515シリーズ 177シリーズ ■精度 校 マイクロメータスタンド（MS） セラ内側マイクロチェッカ（CI） セットリング セットリング寸法 寸法許容差 刻印値の不確かさ 真円度/円筒度 校 正 ｄ(mm) (µm) (µm) (µm) 正 機 ø 機 器 1≦øｄ≦45 ±10 1.5 1.0 器 ●マイクロメータを保持して使用するためのスタンドです。 ●内側マイクロメータの基点確認が確実に、簡単にできます。 ●内側マイクロメータ、ホールテスト、ボアマチックおよびシリンダ 45＜øｄ≦60 1.5 1.0 外 外 側 60<øｄ≦90 1.5 1.5 側 マ ■仕様 ●IM、IMJ、IMJ-M、IMP（50以上）に使用できます。（IMJ-MJ、 ゲージなどの基点確認に使用します。 マ イ 00 1.5 2.0 イ ク 90<øｄ≦1 ±20 ク ロ コードNo. 符号 外側マイクロメータの測定範囲 IMZ、IMZ-M、IMZ-MJ、IMSは不可） 00<øｄ≦150 1.5 2.0 ロ メ 1 メ ー 156-101-10 MS-RB 15～100 mm用※ ー タ 150<øｄ≦225 1.5 2.5 タ 内 156-105-10 MS-SB 25・50 mm用（角度固定タイプ） ■仕様 225<øｄ≦300 1.5 3.0 内 側 156-102 MS-M 100～300 mm用 側 マ イ コードNo. 符号 基点確認の範囲（mm） ブロックの寸法許容差 ※寸法の実測値を 156-103 MS-L 325～1000 mm用 0.001 mm単位まで刻印します。 マ イ ク 515-585 CI-300C 25～300 ±（1＋ L ※円筒度の定義は、 1̶50）µm JIS B 0621幾何偏差の定義および表示 4.4円筒度により ク ロ ロ メ ※一部取り付かない製品（OMV-100, GMA-100MX, SPM-100MX, 515-586 CI-600C 25～600 L：設定長さ（mm） ます。 メ ー ー タ CPM15(30)-100MX, PDM-100MX, BLM-75MX, 100MXなど）があります。 （ 円筒度測定位置は、測定範囲の両端と中央の3断面） タ ●カタログNo.13（精密測定機器・総合カタログ）もあわせてご参照ください。 ●カタログNo.13（精密測定機器・総合カタログ）もあわせてご参照ください。 ボホ ボホ アー 156-105-10 515シリーズ アー マル マル チテ チテ ッス MS-SB 177-146 177-147 177-300 ッス クト （角度固定タイプ） シリンダゲージゼロチェッカ（CCG） クト シ シ リ リ ン 515-585 ●測定範囲18～400 mmのシリンダゲージ ン ダ ダ ゲ CI-300C ゲ ー の基点をレクタンギュラゲージブロックを ー ジ ジ 156-101-10 併用することにより、確認できます。 デ デ プ MS-RB 156-102 プ ス MS-M 177-429 177-432 ス マ マ イ イ ク ク ロ ロ メ メ ー マイクロメータ用オイル ー タ タ ■仕様 ノ ギ ●商品の潤滑用、防錆用オイルです。 鋼製 セラミックス製 ノ ギ ス コードNo. 寸法（mm） コードNo. 寸法（mm） コードNo. 寸法（mm） ス 　コードNo.20700　ミクロール（潤滑油 30 mℓ） 177-220 ø1.0 177-177 ø16.0 177-418 ø4.0 ■仕様 177-222 ø1.1 177-133 ø17.0 177-420 ø6.0 ハ 177-225 ø1.2 177-285 ø18.0 177-423 ø8.0 コードNo. 符号 基点確認範囲（mm） ハ イ イ ト 177-227 ø1.3 177-286 ø20.0 177-424 ø10.0 515-590 CCG-400 18～400 ト ゲ ゲ ー 177-230 ø1.4 177-139 ø25.0 177-425 ø12.0 ー ジ ジ 177-236 ø1.75 177-288 ø30.0 177-427 ø16.0 ダ 177-239 ø2.0 177-140 ø35.0 177-429 ø20.0 ダ イ ヤ 177-242 ø2.25 177-290 ø40.0 177-430 ø25.0 イ ヤ ル 177-208 ø2.5 177-178 ø45.0 177-431 ø30.0 ル ゲ ゲ ー 177-246 ø2.75 177-146 ø50.0 177-432 ø35.0 ー ジ ジ 177-248 ø3.0 177-292 ø60.0 177-433 ø40.0 て こ 177-250 ø3.25 177-314 ø62.0 177-434 ø45.0 て こ 式 177-252 ø3.5 177-147 ø70.0 式 ダ ダ イ イ ヤ 177-255 ø3.75 177-316 ø75.0 ヤ ル ル ゲ 177-204 ø4.0 177-294 ø80.0 ゲ ー ー ジ 207000 177-257 ø4.5 177-318 ø87.0 ジ 電 177-205 ø5.0 177-148 ø90.0 電 気 気 マ 177-263 ø5.5 177-296 ø100 マ イ イ ク 177-267 ø6.0 177-298 ø125 ク ロ ロ メ メ ー 177-271 ø6.5 177-300 ø150 ー タ タ 177-275 ø7.0 177-302 ø175 三 177-125 ø8.0 177-304 ø200 三 次 177-279 ø9.0 177-306 ø225 次 元 元 測 177-126 ø10.0 177-308 ø250 測 定 定 機 177-284 ø12.0 177-310 ø275 機 177-132 ø14.0 177-312 ø300 測測 ※特殊寸法のセットリングも製作いたします。 測測 定定 ●カタログNo.13（精密測定機器・総合カタログ） 定定 顕投 顕投 微影 もあわせてご参照ください。 微影 鏡機 鏡機 測 測 定 定 定 定 盤 盤 13 14

ゲ ー ジ デプスマイクロメータ ノギス/ハイトゲージ ダイヤルゲージ/てこ式ダイヤルゲージ/ ゲ ー シリンダゲージ/レバーヘッド ジ ブ ブ ロ ロ ッ ッ ク ク 515シリーズ 515シリーズ 170シリーズ 校 正 デプスマイクロチェッカ（CD） セラキャリパチェッカ（CC） インジケータ検査機 アイ-チェッカ IC2000 校 正 機 機 器 器 ●ノギス・ハイトゲージの精度検査を ハイトゲージ使用例 外 ●デプスマイクロメータ ●ダイヤルゲージ、ハイケータ、テストインジケータ、デジマ 側 能率的に行えます。 外 側 マ 専用に設計され、能率 チックインジケータ、リニヤゲージ、ミューチェッカ、シリンダ マ イ イ ク 的な基点調整ができ ク ロ ゲージなどのインジケータ類の校正に使用します。 ロ メ メ ー ます。 ー タ ● 当社従来機比約2.5倍の送り速度で、効率検査に役立ちます。 タ 内 ● 各種インジケータを高精度に検査し、信頼の高いデータを取 内 側 側 マ マ イ 515-555 得できます。 イ ク ク ロ CC-300C ロ メ メ ー ● デジタル式でデータ出力機能付のインジケータは、全自動 ー タ タ 515-570 測定機能、アナログ式のインジケータは、半自動測定機能で ボホ ■仕様 CD-150 校正が可能です。 ボホ アー アー マル コードNo. 符号 基点設定範囲（mm） 本体の寸法許容差 マル チテ チテ ッス クト 515-570 CD-150 0～150 ±（1＋ L 1̶50）µm ッス クト 515-571 CD-300 0～300 L：設定長さ（mm） ■仕様 シ ●カタログNo.13（精密測定機器・総合カタログ）もあわせてご参照ください。 シ リ 測定範囲 100 mm リ ン ン ダ 最小表示量 0.01 µm ダ ゲ ゲ ー 指示精度 本体縦姿勢 （0.1+0.4L/100）µm L=任意の測定長（mm） ー ジ ジ 送り速度 最大 10 mm/s デ デ プ プ ス 駆動方式 モータドライブ ス マ マ イ 測長ユニット リニアエンコーダ イ ク ク ロ ロ メ 半自動測定 メ ー 測定方式 ー タ 全自動測定（データ出力付きインジケータの場合に可）※1 タ 検査機本体部寸法（幅×奥行き×高さ） 169×205.5×559.5 mm ノ 本体質量 20 kg ノ ギ ギ ス 対応規格 ISO, JIS, JMAS, ANSI, ASME, DIN, VDI/VDE/DGQ※2, BS ス ■仕様 使用温度範囲 20 ℃±0.5 ℃ 電源 AC100 V～240 V±10 %、 50/60 Hz ハ イ コードNo. 符号 測定範囲 (mm) ブロックの寸法許容差（µm） ブロックの寸法許容差幅（µm） ハ 消費電力（PCを除く） 最大20 W イ ト ゲ 515-555 CC-300C 20～ ト ー 300 ±5 2 ※1：全自動測定を行うには、インジケータの接続ケーブルが別途必要となります。 ゲ ー ジ 515-556-2 CC-600C 20～ 600 ±5、±7（測定範囲 ジ 350～600 mm） 2、4（測定範囲350～600 mm） ※2：ISO 9493-2010、JIS B 7533-2015（関連ゲージ：TI）、DIN 878-2006（ 関連ゲージ：DG）などの規格に対応しています。 ※インジケータの種類により、オプションのステム径や取付け用アタッチメントが必要な場合があります。検査可能なインジケータについては別途、お問い合わせ ダ ●カタログNo.13（精密測定機器・総合カタログ）もあわせてご参照ください。 ください。 ダ イ ●詳細は、カタログNo.12015（アイ-チェッカ）をご参照ください。 イ ヤ ヤ ル ル ゲ ゲ ー ー ジ ジ て て こ こ 式 式 ダ ダ イ イ ヤ ヤ ル ル ゲ ゲ ー ー ジ ジ 電 電 気 気 マ マ イ イ ク ク ロ ロ メ メ ー ー タ タ 三 三 次 次 元 元 測 測 定 定 機 機 測測 測測 定定 ●アナログ式インジケータの検査 ●デジタル式インジケータの検査 ●シリンダゲージの検査 ●テストインジケータの検査 定定 顕投 顕投 微影 微影 鏡機 鏡機 測 測 定 定 定 定 盤 盤 15 16

ゲ ゲ ー ダイヤルゲージ/てこ式ダイヤルゲージ/ 三次元測定機 ー ジ シリンダゲージ/レバーヘッド （工作機械・精密測定機器・半導体設備関連） 三次元測定機（工作機械・精密測定機器・半導体設備関連） ジ ブ ブ ロ ロ ッ ッ ク 直交座標を持つ、三次元測定機・工作機械・精密測定機器・半導 ク 170・521シリーズ 311シリーズ 515シリーズ 体関連設備などの運動精度（真直度・直角度）や精度（位置決め 校 ハイトマスタ 校 正 キャリブレーションテスタ（UDT） 精度）確認用の基準器類です。また、真直度や直角度を測定する 正 機 直角度測定器スコヤマスタ（SL) 機 器 測定機器のマスタとしても使用できます。 器 外 UDT-2 ● スライダに取り付けたテストインジケータを測定面に沿って ●各種精密高さ測定のマスタとして使用します。 外 側 側 マ ●主に、目量が0.01 mm読みのインジケータに使用します。 311シリーズ 走らせるだけで、連続的に直角度、真直度を高精度に測定で マ イ イ ク ク ロ ■仕様 ロ メ ダイヤルゲージ、テストインジケータ、シリンダゲージなどの 超精密四直角マスタ（UM） きます。操作は、本体背面にある上下動ハンドルを使用しま メ ー ー タ 校正に用います。 す。 コードNo. 符号 測定範囲（mm）最小表示量（mm） 備 考 タ 内 515-322 HMP2-300 5～310 0.001 標準形 内 側 ●測定範囲は25 mmです。 側 マ ● 真直度および直角度を検査するための基準器で、4面すべて ● シリンダゲージの校正にはシリンダゲージ検査用スタンド 515-374 HME-300DMB 10～310 マ イ イ ク 515-376 HME-450DMB 10～460 0.001 普及形 ク ロ が超精密ラッピング技術によって仕上げられており、基準面と （No.12AAK824）別売りを使用してください。 デジタルタイプ ロ メ メ ー 515-378 HME-600DMB 10～610 ー タ して使用可能です。 タ ●ステム取付穴はø6 mmとø8 mmの2種類です。 ※ライザブロック（高さ延長用ブロック）も製作しています。 ● 仕様基準面の真直度および直角度は高精度に仕上げられてボホ 単位：µm ボホ アー ※標準シリンダゲージCG-35AX～CG-400AXとマイクロメータヘッド付シリンダ ゲージCGM-100X～CGM-400X、浅穴シリンダゲージCGF-35X～CGF-150X います。また、3種類のサイズがラインアップされています。 アー マル マル チテ HME- HME- チテ ッス 項目 符号 HMP2-300 HME- 300DMB ッス ク 450DMB 600DMB ト の検査に使用できます。 クト ■仕様 H≦310 mm ±1.5 シ UDT-103/105 ブロックの 使用基準面 側面 シ リ 寸法許容差 310＜H≦450 mm ― ― ±2.5 ●主に、目量が0.001 mm読みのインジケータに使用します。 コードNo. 符号 サイズ（mm） リ ン 450＜H≦610 mm ― ― ― ±3.5 ン ダ 直角度 真直度 直角度 質量 W×L× 平行度 ダ ゲ T ブロックの H≦310 mm 1 2 ゲ ー ダイヤルゲージ、テストインジケータ、ミューチェッカなどの （µm）（µm）（µm）（µm）（kg） 校正に用います。 311-111 UM-110 90×110×25 1 1 5 5 1.5 寸法許容差幅 310＜H≦610 mm ― ― 2.5 ー ジ ジ ブロックの送り誤差 ±1.0 ±2 ±2.5 デ 311-112 UM-210 160×210×25 1 1 5 5 5.0 デ プ プ ス ● 測定範囲はUDT-103が1 mm、UDT-105が5 mmです。 311-113 UM-310 260×310×30 1 1 5 5 14.0 ●カタログNo.13（精密測定機器・総合カタログ）もあわせてご参照ください。 ス マ マ イ イ ク ※UM-310には、取り付け、取り外し可能なハンドルが標準付属しております。 ク ロ ロ メ ■仕様 ※ご注文により製作いたします。 メ ー ー タ コードNo. 符号 指示誤差（µm）/全測定範囲 戻り誤差（µm）測定範囲（µm） タ 170-102-10 UDT-2 ±1 0.5 0～25 311-215 SL-150 311-225 SL-250 311-245 SL-450 ノ 521-103 UDT-103 ±0.2 0.2 0～1 ノ ギ ギ ス 521-105 UDT-105 ±0.8 0.8 0～5 ス ●カタログNo.13（精密測定機器・総合カタログ）もあわせてご参照ください。 ■仕様 直角度 真直度 外観寸法（mm） コードNo. 符号 ストローク ハ （mm） 公差 公差 質量 （μm） （μm） 幅 奥行き 高さ（kg） ハ イ イ ト ト ゲ 311-215 SL-150 150 3 2 180 200 420 13.7 ゲ ー ー ジ No.311-111 No.311-112 No.311-113 311-225 SL-250 250 6 2.5 180 200 520 16.2 ジ UM-110 UM-210 UM-310 311-245 SL-450 450 9 3.5 220 220 720 24 ダ ダ イ イ ヤ ヤ ル ル ゲ ゲ ー ー ジ ジ て て こ こ 式 式 ダ ダ イ イ ヤ ヤ ル ル ゲ 521-103 ゲ ー ー ジ UDT-103 170-102-10 ジ 電 UDT-2 電 気 気 マ マ イ イ ク 515-374 515-322 ク ロ ロ メ HME-300DMB HMP2-300 メ ー ー タ タ 三 三 次 次 元 元 測 測 定 定 機 機 測測 測測 定定 定定 顕投 顕投 微影 微影 鏡機 鏡機 測 測 定 定 定 定 盤 盤 17 18

ゲ ゲ ー ジ 三次元測定機（工作機械・精密測定機器・半導体設備関連） 測定投影機/測定顕微鏡 ー ジ ブ ブ ロ ロ ッ ッ ク ク 515シリーズ 515シリーズ 516シリーズ 182シリーズ 校 チェックマスタ（HMC） 校 正 正 機 高精度チェックマスタ（HMC-H） 段差マスタ 標準尺 （ご注文により製作いたします） 機 器 器 外 ● 検査専用器として全ブロックを固定したもので、三次元測定機 ● 検査専用器として全ブロックを固定したもので、三次元測定機 ● 段差は段階状で、ブロックNo.1から5に ●JIS B 7541に準拠したガラス製標準尺です。 外 側 側 マ や工作機械など大形機器の検査も楽にできます。 や工作機械など大形機器の検査も楽にできます。 かけて低くなっています。 マ イ イ ク ク ロ ●縦、横両姿勢での使用が可能です。 ロ メ ●縦、横両姿勢での使用が可能です。 メ ー ー タ タ 内 1 2 3 4 5 516-199 内 側 側 マ マ イ ● 隣接段差を光波干渉計にて、値付けを 182-502 イ ク ク ロ HL-500 ロ メ しています。また、隣接段差の許容値は メ ー ー タ ±0.20 µm以内です。 タ ボホ ● 用途に応じて、鋼製とセラミックス製で 182-501 ボホ アー 各2種類がラインアップされています。 HL-250 アー マル マル チテ 515-724 515-723 515-722 515-743 515-742 　515-740 チテ ッス セラミックス製 ト HMC-1500 HMC-1000 HMC-600 HMC-1000H HMC-600H 　HMC-300H ッス ク ●隣接段差とは、隣合う測定ブロックの 516-499 クト 中央寸法の差になります。 シ シ リ ■仕様 リ ン ■仕様 ■仕様 ■仕様 ン ダ ダ ゲ コードNo. 515-720 515-721 515-722 515-723 515-724 コードNo. 515-740 515-741 515-742 515-743 515-744 ゲ ー 符号 HMC-300 HMC-450 HMC-600 HMC-1000 HMC-1500 符号 HMC-300H HMC-450H HMC-600H HMC-1000H HMC-1500H 材質 鋼製 コードNo. 182-501 182-502 ー ジ ジ 測定範囲 300 mm 450 mm 600 mm 1000 mm 1500 mm 測定範囲 300 mm 450 mm 600 mm 1000 mm 1500 mm コードNo. 516-198 516-199 符号 HL-250 HL-500 デ デ プ H≦310 mm ±2.5 µm H≦310 mm ±1.2 µm 商品名 段差マスタ 10S 段差マスタ 300S プ ス ブロックの 310＜H≦610 mm ― ±3.5 µm ブロックの 310＜H≦610 mm ― ±1.8 µm 材質 セラミックス製 測定長（mm） 250 500 ス マ マ イ 寸法許容差 610＜H≦1010 mm ― ― ― ±5.0 µm 寸法許容差 610＜H≦1010 mm ― ― ― ±2.5 µm コードNo. 516-498 516-499 全長（mm） 280 530 イ ク ク ロ 1010＜H≦1510 mm ― ― ― ― ±8.0 µm 1010＜H≦1510 mm ― ― ― ― ±4.0 µm ブロックの H≦ 商品名 セラ段差マスタ 10C セラ段差マスタ 450 mm 1.0 µm 300C　 幅（mm） 20 30 ロ メ メ ー ブロックの H≦310 mm 1.2 µm ー タ 寸法 310＜H≦610 mm ― 1.5 µm ブロックNo. 1 2 3 4 5 1 2 3 4 5 厚さ（mm） 10 20 寸法許容差幅 450＜H≦1010 mm ― ― 1.5 µm タ 許容差幅 610＜H≦1010 mm ― ― ― 2.0 µm 1010＜H≦1510 mm ― ― ― ― 2.0 µm 累積段差（µm） 0 10 15 17 18 0 300 400 450 470 材質 低膨張ガラス 1010＜H≦1510 mm ― ― ― ― 2.5 µm 質量 3.6 kg 5.4 kg 7.2 kg 12 kg 18 kg 隣接段差（µm） 10 5 2 1 300 100 50 20 ノ 質量 7 kg 10 kg 13 kg 22 kg 30 kg ※ご注文によりセラミック製も製作いたします。 熱膨張係数/K （0.00±0.02）×10－6 ノ ギ ギ ス ●カタログNo.13（精密測定機器・総合カタログ）もあわせてご参照ください。 ●カタログNo.13（精密測定機器・総合カタログ）もあわせてご参照ください。 目盛線幅（µm） 4 ス 515シリーズ 目盛ピッチ（mm） 1 ■ 外観寸法図 単位：mm 許容差（20 ℃）（µm） 0.5＋L/1000　 L＝任意の2線間の長さ（mm） ハ ライザブロック（HMR） ハ イ ブロックNo.表示 イ ト ト ゲ 1 2 3 4 5 ゲ ー ■外観寸法図 ー ジ 下 ジ ● ハイトマスタの高さ延長用ブロックです。 単位：mm . 以 全長 ダ 300 100 50 20 μm R0 2 測定長 厚さ ●スコヤマスタSL-150および250にも使用できます。 1 ダ イ イ ヤ 7 7 7 7 7 隣接段差表示 目盛面 ヤ ル ル ゲ 45 ゲ ー Model No.HL－＊＊＊ Serial No. ー ジ 5 目盛線太さ4 µm ジ 段部拡大図 アライメントマーク 太さ20 µm て て こ こ 式 式 ダ ダ イ イ ヤ ヤ ル ル ゲ 172シリーズ 172シリーズ ゲ ー ー ジ ジ 電 電 気 標準スケール 読取りスケール 気 マ マ イ イ ク ク ロ ロ メ ● 測定投影機の倍率を測定するためのガラス製スケールです。 ●投影機の投影像を直接測定するためのガラス製スケールです。 メ ー ー タ タ ●標準スケールの投影像検定用として多く使用されています。 三 三 次 次 元 元 測 測 定 定 機 機 測測 測 定定 515-113 515-114 515-115 172-116 測 172-118 定定 顕投 投 微影 HMR-150A HMR-300A HMR-600A 顕 微影 鏡機 鏡機 ■仕様 ■仕様 ■仕様 測 コードNo. 符号 高さ 高さの許容差 本体高さの偏差幅 質量 コードNo. スケール長さ 最小目盛 スケール精度 コードNo. スケール長さ 最小目盛 スケール精度 定 （mm） （μm） （μm） （kg） 172-116 50 mm 0.1 mm （3+5L/1000）µm 172-118 200 mm 測 172-330 80 mm L＝測定長（mm） 172-161 300 mm 0.5 mm （15+15L/1000）µm 定 定 盤 515-113 HMR-150A 150 ±0.6 0.6 5.7 L＝測定長（mm） 定 盤 515-114 HMR-300A 300 ±1.0 0.8 11.3 172-329 600 mm 515-115 HMR-600A 600 ±2.0 1 31 19 20 15 6 26 （最大高さ） 幅 4 2

ゲ ゲ ー ー ジ 測定投影機/測定顕微鏡 測定定盤 ジ ブ ブ ロ ロ ッ ッ ク ク 182シリーズ ■外観寸法図 517シリーズ 単位：mm 校 正 機 基準スケール グラプレート 校 10 （ご注文により製作いたします） ●HL1 全長 正 1 機 器 測定長 目盛面 2.7 最小目盛ピッチ0.1 器 ●測定顕微鏡や測定投影機のテーブルの指示精度の測定や 0 10 20 30 40 50 60 70 190 200 外 HL1－200 95＊＊＊ ●経年変化がほとんどない 外 側 側 マ マ イ 半導体製造装置の精度評価に使用します。 ● 0 10 　グラプレートは均一組織の優れた自然石である斑レイ岩を イ ク HL2 全長 10 ク ロ 1 ロ メ 測定長 目盛面 4.7 0.5 採用しており、数千年もの昔から自然にシーズニングされて メ ー ー タ いるため、経年変化がほとんどありません。これに比べて鋳 タ 内 0 10 20 30 40 50 60 70 490 500 内 側 Model No. HL.2－500 Serial No. 鉄製の定盤は、熱処理技術が著しく向上したとはいえ、絶対 側 マ 1500×1000 mmの マ イ イ ク ● 0 HL3 10 とはいえず経年変化を避けられません。 大形グラプレートと ク ロ 標準鋼製スタンド※2 ロ メ 全長 10 測定長 目盛面 4.7 1 ●耐摩耗性が高い メ ー ー タ タ 　かたさは、鋳鉄より2倍以上かたく、耐摩耗性が高い事がグラ ボホ 0 10 20 30 40 50 60 70 490 500 ボホ アー 目盛線100X Model No. HL.3－500 Serial No. プレートの最も大きな特長となっています。 アー マル マル チテ チテ ッス 0 10 （参考：ショア硬度） ッス クト ■仕様 斑レイ岩 Hs73～93 クト 花こう岩 Hs70～80 シ シ リ コードNo. 182-511-30 182-512 182-513-30182-514-30182-521-30182-522-30182-523-30182-524-30182-525-30182-531-30182-532-30182-533-30182-534-30 鋳　　鉄 Hs32～40 リ ン 符号 HL1-50 HL1-100 HL1-150 HL1-200 HL2-100 HL2-200 HL2-300 HL2-400 HL2-500 HL3-250 HL3-500 HL3-750 HL3-1000 ン ダ 測定長（mm） 50 100 150 200 100 200 300 400 500 250 500 750 1000 ●耐食性に優れる ダ ゲ 750×500 mmの キャスタ付スタンド（落下防止付）※2 ゲ ー ー ジ 全長（mm） 75 125 175 225 130 230 330 430 530 280 530 780 1030 　錆びの発生がなく、また、酸に対しても減量が少なく、鋳鉄に グラプレートと 熱膨張係数/K 8.5×10－6 落下防止スタンド※2 ジ デ 目盛線幅（µm） 20 50 100 比べて耐食性に優れています。 デ プ ※2 オプション プ ス ス マ 材質 ソーダライムガラス ●リンギングしにくい マ イ イ ク 許容差（20 ℃）（µm） 1.5+2L/1000 L＝任意の2線間の長さ（mm） ク ロ 　鋳鉄定盤ではリンギングがおこり、作業が中断される場合が ロ メ メ ー ー タ ありますが、グラプレートは、正常の状態ではリンギングしに タ くく、軽快な作業ができます。 ノ ●キズがついてもかえりがでない ノ ギ ギ ス ス ・鋳鉄定盤では、定盤面にきずができた場合、材質的に粘りがあるため、 かえりや盛り上がりが発生し、平面度が損なわれます。従って、測定精度 ハ が悪くなったり、測定物や測定器具を損なうことにもなります。 ハ イ イ ト ・グラプレートの場合は組織が細粒でかたく、鋳鉄よりねばりが少ないの ト ゲ ゲ ー で、かえりや盛り上がりは発生しません。従って、平面度の狂いがなく相 ー ジ ジ 手の器具も損ないません。 ダ ダ イ イ ヤ ヤ ル ル ゲ ゲ ー ー ジ 鋳鉄定盤の一例 ジ て て こ こ 式 式 ダ ダ イ イ ヤ ヤ ル ル ゲ ゲ ー ー ジ グラプレートの一例 ジ 電 電 気 気 マ マ イ イ ク ク ロ ●非磁性体 ロ メ メ ー ー タ 　グラプレートは非磁性体のため、磁性のある器具でも簡単に タ 使用できます。 三 三 次 次 元 ●維持費が安価 元 測 　グラプレートは錆ませんので寿命が長く、鋳鉄定盤に比較し 測 定 定 機 機 て維持費も著しく安価になります。 測測 測測 定定 定定 顕投 顕投 微影 微影 鏡機 鏡機 測 測 定 定 定 定 盤 盤 21 22 36 22 36 2.5 2.5 3.5 3.5 3.5 2 2 5 2 2 5 1.7 1.5 5

ゲ 測定定盤 測定定盤 ゲ ー ー ジ ジ ブ ブ ロ ロ ッ ッ ク ク ■仕様 ■ グラプレート1500×1000×200 mmの主要寸法と ■精密定盤の等級 校 サイズ（ ） 諸元 513・1992（精密定盤）では、全面の平面度を次のように規定していま 校 正 コード 等級 mm No. 平面度 質量 各種スタンド（オプション）のコードNo. H ・JIS B 7 （A：縦×B：横×h：高さ） K l （μm） （kg） 標準鋼製スタンド 落下防止スタンド キャスタ付スタンド （mm） す。 正 機 ●主要寸法図 機 器 517-401 00 2 器 使用面の呼び寸法 全面の平面度の公差値（μm） 周辺部分の除外幅 対角線の長さ 517-301 0 300×300×100 240 240 3 27 － － － － （mm） 0級 1級 2級 （mm） （mm） 外 517-101 1 5 L＝1500 h 160× 100 3 6 12 2 188 外 側 517-411 00 2 150 側 マ ＝ 150 1100 200 250× 160 3.5 7 14 3 296 マ イ 517-311 0 450×300×100 240 390 3 40 － － － － 400× 250 4 8 16 5 471 イ ク ク ロ 517-111 1 6 630× 400 5 10 20 8 745 ロ メ 517-414 00 2.5 d b メ ー 1000× 630 6 12 24 13 1180 ー タ 517-314 0 600×450×100 370 500 4 80 517-203 517-203R 517-203CR 755～775 タ 補助点 荷重点 1600×1000 8 16 33 20 1880 内 517-114 1 8 2000×1000 9.5 19 38 20 2236 内 側 517-403 00 2.5 （2点） a 側 マ 2500×1600 11.5 23 46 20 2960 マ イ 517-303 0 600×600×130 500 500 5 140 517-204 517-204R 517-204CR 755～775 イ ク 250× 250 3.5 7 15 5 354 ク ロ 517-103 1 8 ロ メ e c 400× 400 4.5 9 17 8 566 メ ー 517-405 00 3 ー タ 630× 630 5 10 21 13 891 タ 517-305 0 750×500×130 420 630 5 146 517-205 517-205R 517-205CR 755～775 1000×1000 7 14 28 20 1414 ボホ 517-105 1 9 517-407 00 3 主支持点（3点） ボホ アー ・全面の平面度の計算式については、「参考1平面度の公差の基礎」に記述し アー マル 517-307 0 1000×750×150 630 700 6 337 517-206 517-206R 517-206CR 755～775 マル チテ てありま チテ ッス 517-107 1 12 す。 ッス クト ●諸元 クト 517-409 00 3.5 t ＝ C1 l ＋ C2 517-309 0 1000×1000×150 700 700 7 450 517-207 517-207R 517-207CR 735～775 数 値 単位 備 考 シ 517-109 1 13 ここに t：全面の平面度の公差（μm） シ リ リ ン 517-413 00 4 支点間の距離 l 1100 mm グラプレートの サイズにより異なる l：最も近い上の100 mmに丸めた定盤の対角線の呼 ン ダ ダ ゲ 517-313 0 1500×1000×200 700 1100 8 900 517-208 517-208R 517-208CR 735～775 517-113 1 16 断面Ｂ B 1000 mm 〃 び長さ（ ゲ ー mm） ー ジ ジ 517-410 00 4.5 厚さ（断面ｈ） h 200 mm 〃 C1, C2：定盤の等級に対する定数 デ 517-310 0 2000×1000×250 700 1500 9.5 1500 517-209 517-209R 517-209CR 735～775 荷重 W 200 N JISの数値 デ プ プ ス 517-110 1 19 C ス マ ヤング率 E 1.17×105 N/mm2 ― 1 及び C2 の値 マ イ 517-416 00 5 イ ク 517-316 0 2000×1500×300 1100 1500 10 2700 517-210 517-210R 517-210CR 735～775 03 Bh3 定盤の等級 C1 C2 ク ロ ロ メ 断面二次モーメント Ｉ 1000×20 mm4 Ｉ＝ メ ー 517-116 1 20 12 12 0 0.003 2.5 ー タ タ 特注品 00 5.5 抗折力（基準強さ） Pb 1 0.006 5 26.5 N/mm2 ― 517-317 0 2000×2000×350 1500 1500 11 4200 06AAY174※1 700～706※2 2 0.012 10 安全率 S 20 ― ― ノ 517-117 1 22 ・石定盤に物を載せたり移動したりする際、ゴミや汚れが付着していると、表 ノ ギ 特注品 00 6.5 最大許容荷重 σｂ 1.325 N/mm2 σｂ＝Pb/S ギ ス ス 517-318 0 3000×1500×400 1100 2000 12.5 5400 06AAY175※1 700～706※2 02 Ｉ Bh2 面に傷が付いたり、磨耗を促進したりして、精度に影響を及ぼす場合があり 断面係数 Z 1000×20 517-118 1 25 mm3 Z＝ ＝ 6 h/2 6 ますので、良く拭き取ってからご使用ください。 特注品 00 7 517-319 0 3000×2000×500 1500 2000 13.5 9000 06AAY176※1 700～706※2 長さ L 1500 mm グラプレートの ハ ■定盤の剛性 ハ イ サイズにより異なる イ ト 517-119 1 27 温度差 ΔT ― ℃ 設置環境により異なる JIS B 7513・1992では、精密定盤の剛性を次のように規定し ト ゲ ゲ ー ※1：専用のブロック架台で支持します。（落下防止、キャスタ付きの設定はありません。）ブロック架台は、支持脚用と補助脚用の2種類があり、パーツNo.により使用 線膨張係数 ー ジ 数量、高さ寸法が異なります。 α 5.3×10-6 ― ― ています。 ジ ※2：大形グラプレート用ブロック架台の底面からグラプレート上面までの寸法です。 平面度誤差 V ― mm 設置環境により異なる 「使用面の中央に荷重を加えたとき、負荷部分のたわみが ダ ダ イ 200 Nにつき1μmを超えないような剛性をもつものでなければ イ ヤ ・穴あけ、ねじブッシュ加工等の他に、高精度、大形サイズ、特殊寸法のものも製作致します。 ヤ ル ならない。」 ル ゲ 詳細は最寄りの営業課へご相談ください。 ゲ ー ー ジ ・標準価格は車上渡し、書類（校正証明書、トレーサビリティ体系図）なしの価格です。 校正証明書付については、お問い合わせください。 このたわみ量は下記の式で求められ、グラプレートはこの ジ て 弊社での据付調整、書類添付の金額はお問い合わせください。 規格値を十分に満足するものになっています。（ex.1500× て こ こ 式 式 ダ 1000×200 mmの場合のたわみは0.09μm） ダ イ イ ヤ ヤ ル W l3 ル ゲ y ゲ ー ■外観寸法図 ー ジ ＝ 48EＩ ジ 電 電 気 単位：mm ■限界強度 気 マ マ イ イ ク 主要寸法図のように、a, b, cの3点で定盤を支持し、d, eの2点 ク ロ ロ メ メ ー l グラプレート用標準鋼製スタンド を補助点とした場合に定盤の中央にかけ得る最大許容荷重 ー タ タ A （レベリングボルト付） （Wmax）は次の式で求めることができます。 三 三 次 （ex.1500×1000×200 mmの場合の限界強度は32000 N） 次 元 元 測 測 定 W 2σb・Bh2 定 機 max ＝ 3 l 機 測測 ■温度差による平面度誤差について 測測 定定 定定 顕投 使用面と裏面に温度差が生じた場合の平面度誤差は、次の式 顕投 微影 微影 鏡機 で簡易的に求めることができます。但し、実際の結果とは異 鏡機 なる場合があり、参考値としてご使用ください。 測 （ex. 1500×1000×200 mm、温度差0.2 ℃の場合の平面度誤 測 定 定 定 差は2.2 μm） 定 盤 盤 V＝α（L2＋B2）ΔT／8h 23 24 K h B H K700 150 B＝ 150 1000 荷重W c a b

ゲ ー ジ 測定定盤 標準器・校正機器校正予約サービス ブ ロ ッ ク グラプレートは精密な基準面です。据付けが不適切ですと本 ■支持点と据付台 標準器・校正機器の検査/ 校正を事前に予約できるサービスです。 校 来の精度を保つことができないことがありますのでご注意く ・グラプレートは、最もたわみの少ない位置の3点を選び支持足をつけて 正 機 ださい。 つぎの事項に留意することが必要です。 あります。大形グラプレートについては、多点支持を行うことが必要な 器 場合があります。 ■据付け場所 ・スタンドについては、グラプレートが小・中形であれば一体方式、大形で 外 側 ●温度変化の少ない場所 あればブロック架台（三脚方式）のものなど、鋼製や、鋳鉄製のものなど ◆予約日（現品受付日）より最短納期で校正を完了し出荷いたします。 マ イ ク 設置環境の温度変化が大きいと、使用面と裏面に温度差が が用意されています。 ◆予約日（現品受付日）の直前までご使用いただくことができます。 ロ メ ー 生じてしまい、平面度誤差が生じてしまいます。直射日光が当 ◆希望日の１ヶ月前まで予約の申込みをお受けいたします。 タ ■大形グラプレート用ブロック架台の外観図 たる場所や、冷暖房装置の近くなど、グラプレートが温度の ※予約状況、ご依頼内容等によっては、お客様のご希望に添えない場合がございます。 内 側 マ 影響を受ける場所に設置する事は避け、温度差が極力生じ ※お申込み後、予約日・出荷予定日・現品送付先（校正実施部署）をご連絡いたします。 （支持脚用ブロック架台） （補助脚用ブロック架台） イ ク ないような安定した環境下でご使用下さい。 　　期日までに現品を校正実施部署にお送りください。（送料はお客様負担となります。） ロ メ ー ※推奨環境：温度20±1 ℃、湿度58±2 ％、使用面と裏面の温度差 0.2 ℃ 　※予約日とは現品受付日になります。校正実施日ではありません。 タ 以内 ■サービスの流れ ■主な対象機種及び納期 ボホ ●振動のない場所 アー マル チテ 定盤上では、テストインジケータ（てこ式ダイヤルゲージ）や 現品直送 ミツトヨ ・オプチカルフラット、オプチカルパラレル 5稼動日 ッス クト ミューチェッカ（電気マイクロメータ）などの検出器を利用し ・マイクロメータ基準棒 5稼動日 ・内側マイクロチェッカ 5稼動日 て測定する場合が多く、指針が振れて読みにくいことのない 予約申込 予約申込 サ ・デプスマイクロチェッカ 5稼動日 シ リ ・キャリパーチェッカ 5稼動日 ン ように振動のない場所であることが必要です。 ダ ●切粉、塵埃の影響が少ない場所 ■使用面の据付け高さ 販 ー ・チェックマスタ 5稼動日 売 ビ 校 お 店 ス 正 ・ダイヤルゲージ検査機（UDTシリーズ） 5稼動日ゲ ー 使用面の高さは作業能率に関係するため、事前に作業内 客 様 ・標準スケール 5稼動日 ジ グラプレートは、精密測定室ばかりでなく、現場でも多量に使 回答 様 回答 営 部 業 門 ・読取スケール（投影機用） 5稼動日 容に応じて決定しておくことが必要です。一般に使用面 ・標準尺、基準スケール 5稼動日 デ プ 用されておりますが、切粉や砥石粉等の影響のある場所、塵 ス の高さは750 mm前後です。 課 ・ゲージブロック マ イ 埃のひどい場所は避けてください。 100 mmまで 7稼動日 ク 特殊・長尺 10稼動日 ロ メ 補充、入替（250 mmまで対応可能） 校正後、ご連絡 ー タ ■アクセサリ（オプション） 校正完了品返送 ・ハイトマスタ 10稼動日 ・リングゲージ 10稼動日 ・グラプレートクリーナー No.517-660 サービスをご希望されますお客様は、ご購入先の販売店様へご依頼く ・iチェッカ 11稼動日 ノ グラプレートのゴミやホコリ除去 ギ ださい。 ス し、グラプレート上で使用される ※ご依頼の内容、個数により納期が延びる場合 ハイトゲージ等の移動がスムーズ がございます。 に行えます。 ※上記以外の機種に関しましては、最寄りの ハ イ サービス営業課にお問合せください。 ト ゲ ー ジ ダ イ ヤ ル ゲ ー ジ て こ 式 ダ イ ヤ ル ゲ ー ジ 電 気 マ イ ク ロ メ ー タ 三 次 元 測 定 機 測測 定定 顕投 微影 鏡機 測 定 定 盤 25 26

長さのトレーサビリティ メートルの定義：「メートルは1秒の299,792,458分の1の時間に光が真空中を 伝わる行程の長さ」 日本の長さのトレーサビリティシステム ミツトヨは校正事業を通じてお客様の計測機器管理をサポートします JCSSのトレーサビリティシステムにおける長さの国家標準（特定標準器）は、2009年7月16日、「633 nmよう素安定化 ミツトヨは長さの国家標準と同等の光周波数コム装置を頂点とした長さのトレーサビリティをJCSSを基盤として確立し、 レーザ装置」から「協定世界時に同期した原子時計及び光周波数コム装置」に変更されました。 ミツトヨ商品の国家標準へのトレーサビリティと品質保証体制を構築しています。 更に、2015年11月9日、 光周波数コム装置を組み込んだ時間の国家標準（特定標準器）「協定世界時に同期した原子 これらを通じてお客様からの信頼に応え、お客様の事業発展に貢献して参ります。 時計」を基準とした長さのトレーサビリティシステムが追加されました。　 計量法ではこの国家標準を「特定標準器」として校正事業者登録制度（JCSS）を定め、「 校正」を通して日本における JCSS を基盤とした ミツトヨのトレーサビリティ体系 すべての長さの標準器、測定機器の国家標準への繋がりを確立しています。 特定標準器 〈国立研究開発法人 産業技術総合研究所〉 協定世界時に同期した原子時計 国家標準 jcss 国家標準　特定標準器 国家標準　特定標準器 国立研究開発法人 産業技術総合研究所 所有 ・国立研究開発法人 産業技術総合研究所⎫ ・国立研究開発法人 情報通信研究機構 ⎬所有 jcss 特定二次標準器 協定世界時に同期した原子時計 ⎭ ミツトヨ 基準周波数発振器 及び光周波数コム装置 協定世界時に同期した原子時計 （光周波数コム装置の基準器として使用） JCSS ミツトヨ標準の階層 常用参照標準 特定二次標準器 ミツトヨ 長さ用633 nm よう素分子吸収線波長安定化 He-Neレーザ装置 認定校正事業者 JCSS認定事業者 周波数標準器 JCSS 計量標準キャリブレーション課 特定二次標準器 （光周波数コム装置を用いた場合） 常用参照標準 ミツトヨ 長さ用633 nm実用波長安定化He-Neレーザ装置 宮崎工場 JCSS認定事業者 宇都宮キャリブレーションセンタ 計 JCSS 広島キャリブレーションセンタ 量 633 nm 532 nm 1.5 µm （よう素） （よう素） （アセチレン） 常用参照標準／ワーキングスタンダード 常用参照標準 ゲージブロック、段差ゲージ、標準尺 テクノサービス事業本部 法 レーザ装置 JCSS認定事業者 校 633 nm 532 nm 1.5 µm JCSS （よう素） （よう素） （アセチレン） 実用標準 正 レーザ装置 等 ゲージブロック、マイクロメータ基準棒、段差ゲージ 事 業 JCSS認定 者 常用参照標準／ワーキングスタンダード JCSS認定事業者 マイクロメータ、ノギス、ダイヤルゲージ、リングゲージ 登 全ての測定機器 電気マイクロ、ダイヤルゲージテスタ、標準尺等 実用波長安定化レーザ装置 録 温度標準 常用参照標準 制 度 標準温度センサ、水の三重点 長さ測定に重要な影響を与える温度の 測定についてもトレーサビリティを確保 常用参照標準／ワーキングスタンダード JCSS しています。 JCSS認定事業者 温度センサ、表示付温度計 ゲージブロック、標準尺、チェックマスタ 等 豆知識 「 アメリカから移入されたトレーサビリティ」 （移入初期の解説記事） （1）校正証明書 　最近アメリカの標準の研究者、校正サービスの専門家の間ではよくこ この一連の校正を通した国家標準との繋がりを確保する仕組みがトレーサビリティシステムです。 ミツトヨが発行する校正証明書は、国家標準にトレーサブルな の言葉が使われる。リライアビリティ（reliability）を信頼度と訳するような 標準器により校正されたことを証明するものであり、その旨が 良い訳語がみあたらないので、トレーサビリティのまま使用させてもら JCSS マイクロメータ、ノギス、ダイヤルゲージ、三次元測定機、基準器 等 明記されています。 うが、この言葉は元来、NBSの校正サービスの専門家が使いはじめたも ので、“traceability of calibration to NBS（” NBSへの校正のトレーサビリティ） トレーサビリティの定義（JIS Z 8103：2019） （2）ミツトヨのトレーサビリティ体系図 の略である。 「個々の校正が不確かさに寄与する、切れ目なく連鎖した、文書化された校正を通して、測定結果を参照基準に関係付けることが 測定器の校正が国家標準までどのような経路でつながってい （中略） つまり、正しい測定をするということは、現在の社会では、統一 できる測定結果の性質。」 された系の中での技術的な行為なのである。アメリカでは、この標準の るかを示した上記のトレーサビリティ体系の概略は、「校正体系 根源になるのが、NBSの国家標準で、ここから何らかの形でトレースした 保証書」として弊社ホームページに公開しており、常に最新のも ものでなければ正しい標準、正確な測定とはいえない。 JCSS（計量法校正事業者登録制度） のをご参照，ご利用いただけます。 （桜井健二郎：エレクトロニクス、1963（昭和38）年、1月号、56ページ） JCSSとは、Japan Calibration Service System（計量法校正事業者登録制度）の略称であり、校正事業者が計量法関係法規及びISO/IEC （3）商品別トレーサビリティ体系図 日本計量新報社 計量百科13「トレーサビリティのすすめ」より 17025の要求事項に適合していることを、NITEが審査・認定し、登録する制度です。この制度に基づき発行される校正証明書は、国家標 校正をご依頼の際のご要望により、商品別のトレーサビリティ 準へのトレーサビリティを保証しています。 NB（S National Bureau of Standard）：当時のアメリカ国立標準局 体系図の発行にも対応しております。 現在の NITE：独立行政法人製品評価技術基盤機構（National Institute of Technology and Evaluation） NIS（T National Institute of Standard and Technology） 27 28

ISO/IEC 17025 試験所及び校正機関の能力に関する一般要求事項 ISO/IEC 17025は「認定された校正事業者」が満たさなければならない世界共通の条件です 校正機関の能力に関する一般要求事項 経済のグローバル化に対応した規格です ミツトヨは全商品の校正サービスにおいて ISO/IEC 17025 規格のポイント 世界のあらゆる経済圏で共通の基準として認知された校正事業 品質マネジメントシステム規格ISO 9001の要求事項に、試験所、 ISO/IEC 17025:2017 ISO/IEC 17025の認定取得を目指しています 者のための規格であり、全ての認定された校正事業者が満たす 校正機関を対象とした技術的要求事項を追加し、充実させた （JIS Q 17025:2018） 規格です。 ことを求められる必須条件です。日本の標準を預かる産業技術 ISO/IEC 17025に基づくJCSS認定事業者として、この規格に適合 一般要求事項 ◇技術的記録 総合研究所も例外ではありません。 資源に関する要求事項（要約） ◇測定不確かさの評価 した校正サービスを提供しています。 ◇公平性 ◇結果の妥当性の確保 満たすべき条件は管理能力と技術能力です ●計量トレーサビリティ（6.5項） ◇機密保持 ◇結果の報告 ラボラトリは、測定結果を適切な計量参照に結び付けるよう、 校正サービスの提供を適切に維持するための組織運営の管理 組織構成に関する要求事項 ◇苦情 ISO/IEC 17025対応校正サービス品目 それぞれの校正が測定不確かさに寄与している、文書化された ◇不適合業務 能力と、提供する校正サービスのレベルを保証するための技術 資源に関する要求事項 レーザ波長 ：計量標準キャリブレーション課 切れ目のない校正の連鎖によって、測定結果の計量トレーサ ◇ データの管理及び 的能力が審査対象となります。 ◇一般 情報マネジメント ビリティを確立し、維持しなければならない（。6.5.1） ゲージブロック（干渉測定） ：宮崎工場、 ◇要員 特定の校正対象（タイプ・測定範囲）ごとに技術能力の 宇都宮キャリブレーションセンタ プロセスに関する要求事項（要約） ◇施設及び環境条件 マネジメントシステムに ◇設備 関する要求事項 審査が行われます ゲージブロック（比較校正） ：宮崎工場、 ●測定不確かさの評価（7.6項） ◇計量トレーサビリティ ◇選択肢 校正事業者・部署に対する審査ではなく、校正サービスの対象と 宇都宮キャリブレーションセンタ 校正を実施するラボラトリは、所有する設備を含め、全ての校正 ◇ 外部から提供される製品 ◇ マネジメントシステムの なる特定の品目あるいはタイプ・測定範囲を認定範囲として、 標準尺（干渉測定） ：宇都宮キャリブレーションセンタ に関する測定不確かさを評価しなければならない（。7.6.2） 及びサービス 文書化 それぞれの範囲での技術能力の審査が行われます。 ●結果の妥当性の確保（7.7項） プロセスに関する要求事項 ◇ マネジメントシステム文書 段差ゲージ（干渉測定） ：宮崎工場、 の管理 宇都宮キャリブレーションセンタ IATF 16949等でも要求されています ラボラトリは、利用可能で適切な場合、他のラボラトリの結果との ◇ 依頼、見積仕様書及び契約 ◇記録の管理 段差ゲージ（比較測定） ：宇都宮キャリブレーションセンタ 比較によって、そのパフォーマンスを監視しなければならない（。7.7.2） のレビュー ◇リスク及び機会への取組み IATF 16949等の品質マネジメント規格では、測定機器の検査・校 ◇ 方法の選定、検証及び妥当 ◇改善 マイクロメータ、ノギス、 ：宇都宮キャリブレーションセンタ、 正の依頼先校正事業者はこの規格による認定事業者であるこ ●結果の報告（7.8項） 性確認 ◇是正処置 ダイヤルゲージなど 広島キャリブレーションセンタ 結果は、通常、報告書（例えば、試験報告書又は校正証明書又は ◇サンプリング ◇内部監査 とを要求しています。 表面性状 ：広島キャリブレーションセンタ サンプリング報告書）の形で、正確に、明瞭に、曖昧でなく、客観的 ◇試験・校正品目の取り扱い → ◇マネジメントレビュー 定期審査により能力の確認・維持が図られます 温度 白金測温抵抗温度計、 ：計量標準キャリブレーション課 に提供されなければならない（。7.8.1.2） 認定校正事業者に対して能力の確認・維持のため認定機関に 指示計器付温度計 よる定期的な ISO/IEC 17025に基づく審査が行われます。国際 三次元測定機、画像測定機 ：テクノサービス事業本部 （出張校正） MRA対応認定校正事業者は2年毎、それ以外は4年毎に登録更 豆知識 認定と認証では審査対象の内容範囲に違いがあります！ 新のための審査が行われます。 硬さ標準片 ：広島キャリブレーションセンタ （ロックウェル、ビッカース） ・・・「ISO/IEC 17025、JCSSの認定を取得する。」 ・・・「ISO 9001の認証を取得する。」 相互評価に基く相互承認（MRA） 硬さ試験機（ロックウェル） 両者の差は、認定が要求事項の適合性の審査・評価に加え、技術能力・認証する能力を実証することにより成立することです。 異なる経済圏の認定機関が同一の規格に基づき、同等の能力 力計 ：川崎キャリブレーションセンタ 認定（accreditation）： 認証（certification）： を有して校正事業者の認定を行っていることを相互に評価・確 　など 認定機関（accreditation body）と呼ばれる権威ある機関が、認証機関 認証機関（ 2019年2月現在 certification body）、適合性評価機関（ CAB：conformity （certification body）と呼ばれる適合性評価機関；審査機関に対し、要 assessment body）が、製品、サービス、プロセスが標準、規定、規格を満 認しあうことにより成り立つMRAがボーダレスな経済圏の成立 求事項の適合性の審査・評価を行い、更に認証（審査）を遂行する能力 たしているかどうかを審査・評価（適合性評価： conformity assessment ） に不可欠です。ミツトヨが発行するJCSS校正証明書は、ILAC及び 最新の情報につきましては、 のあることを確認した上で公式に承認する行為を認定といいます。 し、文書で保証する行為を認証といいます。 APACのMRAによって、国際的に認められています。 弊社ホームページ https://www.mitutoyo.co.jp/ をご確認ください。 NITE ：製品評価技術基盤機構 JAB ：日本適合性認定協会 JQA ：日本品質保証機構 ILAC：International Laboratory Accreditation Cooperation（国際試験所認定協力機構） 認定・認証システム例 JSA ：日本規格協会 APAC:Asia Pacific Accreditation Cooperation (アジア太平洋認定協力機構) ・ISO 9001：JAB 認定機関 ・ISO/IEC 17025：NITE MRA：Mutual Recognition Arrangement（ 相互承認協定） ISO 9001認証機関に認定証を発行 JCSS認定事業者、JNLA認定試験所に認定証を発行 認定 ・ISO 9001認証機関：JQA、JSAなど 認証機関／適合性評価機関 ・ISO/IEC 17025：JCSS認定事業者、JNLA認定試験所 ISO 90001の登録証発行 校正証明書、試験成績書の発行 （ 証明書、成績書にJCSS、JNLA認定機関の 認定 　　　　　　　　ロゴマークの使用が認められる） ・一般企業のISO 9001 適合性評価対象 ・計測機器の校正、製品評価など マネージメントシステム 29 30

校正結果の信頼度を示すのが「計測の不確かさ」 です 不確かさの必要性と役割 誤差の無い測定結果はありません 産業界のグローバル化：貿易の技術障壁の排除（1995年 WTO/TBT協定） ⇒ 測定結果信頼度の表現の統一、共有化 その誤差を 言語の統一：信頼性表現における表現の曖昧さの排除 ⇒ 用語、算出方法、表記方法の統一、共有化 　ルールに従って求めた値が 　　　　　計測の不確かさです。 不確かさ普及の経緯 1977年　CIPM 計測における不確かさの表現についての国際的な合意がないことを認識し、BIPMに対し、 勧告の作成を要請 計測の不確かさは 1979年　BIPM 31の国立計量研究機関と5つの国際機関に呼びかけ、作成の同意を得る 1980年　CIPM BIPMの作業部会　実験の不確かさの表現　勧告INC-1(1980)を提示 　　　測定能力を表しています。 これが「計測における不確かさの表現ガイド」の基礎となる 計測の不確かさの明示は 1993年　ISO/TAG4/WG3： 国際標準化機構　計測に関する諮問グループ　第3作業部会　 　　　測定（校正）結果の品質を 計測における不確かさの表現ガイド（GUM）発行 1996年　 GUMの日本語訳発行 （25.4 ± 0.2） mm 　　　責任もって保証することの宣言です。 2008年　JCGM ISO/IEC Guide 98-3：2008 発行 2012年　 TS Z 0033：2012 発行 2018年　 TS Z 0033：2012 廃止 ⇒ ISO/IEC Guide 98-3:2008 0.2 mmは何を示すのでしょうか？ CIPM：Comitë international des poids et mesures 国際度量衡委員会 最大許容誤差（P-P） BIPM：Bureau international des poids et mesures 国際度量衡局 標準偏差　σ、2σ、3σ JCGM：Joint Commitee for Guides in Metrology 計量関連ガイドに関する合同委員会 計測の不確かさに統一 計測における不確かさの表現のガイドの目的と概要 不確かさが多くの分野に適応できること 不確かさの概念を説明 算出方法の統一　GUM 　　　　　使いやすいこと　 不確かさの具体的な評価方法を示す 測定結果　25.4 mm　 誤差要因の合成方法：二乗和平方根 　　　　　誰が評価しても結果に差がないこと 不確かさの表記方法を示す 不確かさ　0.2 mm（ k =2） 95 %の信頼の水準で25.2と 25.6の間に真値があることを 示しています 包含係数： k 豆知識 計測・計量・測定・校正はここが違う。 k =2：信頼の水準95 ％（±2σの信頼区間に相当） 計測：Measurement k =3：信頼の水準99 ％（±3σの信頼区間に相当） 特定の目的をもって、事物を量的に捕らえるための方法・手段を σ：標準偏差 考究し、実施し、その結果を用い所期の目的を達成させること 包含係数k（＞1）を乗じた不確かさを 計量：Metrology 拡張不確かさと呼びます。長さ計測をはじめ多くの分野 において、包含係数 k =2を選択します。 公的に取り決めた測定標準を基礎とする計測のこと 測定：Measurement ある量を、基準として用いる量と比較し JCSS校正証明書は、ILACおよびAPACのMRA（相互承認協定）によって、国際的に認められています。 数値または符号を用いて表すこと 校正：Calibration JCSS校正証明書には、測定の不確かさが記載されます。 計器または測定系の示す値、若しくは、実量器または標準物質の表す値と、 ミツトヨはすべての校正に対し第三者の保証を得た測定の不確かさを記述することを目標に認定事業の取得、拡大に努力しています。 標準によって実現される値との関係を、確定する一連の作業のこと JIS Z 8103:2000 より 31 32

産業の基盤技術の維持・安定 正確かつ最新の精密測定情報を社会に提供すること。最高の技術で、産業の発展に貢献すること。 私たちミツトヨは、精密測定機器のご提供と校正サービスを通じて、技術革新を続ける産業界の基盤技術 の維持・確立のお手伝いをさせていただいております。 １．全世界のキャリブレーションラボ ■日本国内 ■海外現地法人 日本国内では、各生産部門において、主管する商品の検査・校正を 1993年、改正計量法に基づく計量法トレーサビリティ制度（JCSS）が 以下の海外現地法人は、各国の認定機関からISO/IEC 17025に適合し ・欧州：イ ギリス、オランダ、ドイツ、スイス、イタリア、スウェーデン、 実施しております。 設立されました。これは、国から認められた認定機関により認定・登録 た校正機関として認定を取得し、各認定機関の標章付き校正証明書 チェコ、ハンガリー また、宇都宮・川崎・広島の各キャリブレーションセンタおよび各地域 された校正事業者が、国家標準にトレーサブルな標準器を使用して を発行しています。また、各認定校正機関の発行する校正証明書は、 ・米州：アメリカ、カナダ、メキシコ、ブラジル、アルゼンチン のサービス拠点においてもネットワークを形成し、測定工具から機器 測定機器の校正を実施し、JCSS標章付の校正証明書を発行すること ILAC、APACのMRA（相互承認協定）、またはEAのMLA（多国間協定）の ・亜州：シ ンガポール、タイ、インドネシア、ベトナム、マレーシア、台湾、 商品までの校正を実施しております。 ができる制度です。 それぞれに署名している国・地域間で、相互に認められています。 インド、韓国、中国 さらに、海外においても各国・地域の弊社現地法人がキャリブレー 宮崎工場、テクノサービス事業本部、および各キャリブレーションセンタ ションラボを設置し、校正を実施しております。 は、「国際MRA対応JCSS登録事業者」として、ISO/IEC 17025に適合し ミツトヨグループのISO/IEC 17025認定状況 た校正を実施しております。弊社が発行するILAC-MRAシンボル付の ２．認定事業者 校正証明書は、ILAC・APACを通じて国際MRAに署名している国また 国名 認定部門、海外現地法人 区分 認定範囲 認定機関 認定番号 認定日 ミツトヨは日本国内および海外の現地法人において、それぞれの 長さ 633nm領域のレーザ、532nm領域のレーザ 2017-04-28 は経済地域内で有効となります。 計量標準キャリブレーション課 IA Japan/NITE（JCSS） 0067 国の認定機関からISO/IEC 17025 の認定を受けて測定機器の校正 温度 白金抵抗温度計、指示計器付温度計 2018-08-30 宮崎工場 長さ ゲージブロック、段差ゲージ など IA Japan/NITE（JCSS） 0030 1994-05-02 サービスを行っています。 標準尺 宇都宮 長さ 2005-11-01 キャリブレーションセンタ ゲージブロック、段差ゲージ、ノギス など IA Japan/NITE（JCSS） 0031 1998-05-06 日本 温度 白金抵抗温度計、指示計器付温度計 2005-11-01 川崎キャリブレーションセンタ 力 力計 IA Japan/NITE（JCSS） 0086 2005-09-01 JCSS0067 JCSS0030 JCSS0031 長さ ノギス、マイクロメータ、ダイヤルゲージ など 2002-04-11 計量標準キャリブレーション課 宮崎工場 宇都宮キャリブレーションセンタ 広島キャリブレーションセンタ IA Japan/NITE（JCSS） 0109 硬さ ロックウェル硬さ基準片、ロックウェル硬さ試験機（現地校正）、 ビッカース硬さ標準片 2007-02-21 テクノサービス事業本部 長さ 三次元測定機（現地校正）、画像測定機（現地校正） IA Japan/NITE（JCSS） 0186 2006-12-27 シンガポール ミツトヨアジアパシフィック 長さ／硬さ 三次元測定機、画像測定機、工具顕微鏡、形状測定機 など SAC LA-1996-0102-C 1996-11-08 タイ タイミツトヨ 長さ 三次元測定機、画像測定機、工具顕微鏡、形状測定機 など TISI 0258 2015-05-29 インドネシア インドネシアミツトヨ 長さ／硬さ 三次元測定機、画像測定機、工具顕微鏡、形状測定機 など KAN LK-183-IDN 2014-08-20 ベトナム ベトナムミツトヨ 長さ 三次元測定機、画像測定機、工具顕微鏡、形状測定機 など BoA VILAS 741 2014-04-18 マレーシア マレーシアミツトヨ 長さ／硬さ 三次元測定機、画像測定機、工具顕微鏡、形状測定機 など STANDARDS MALAYSIA SAMM 152 2013-10-10 台湾 台湾ミツトヨ 長さ／硬さ ゲージブロック、三次元測定機、画像測定機、形状測定機、 硬さ基準片 など TAF 0336 1998-06-15 インド ミツトヨサウスアジア 長さ／硬さ ノギス、マイクロメータ、ダイヤルゲージ など NABL C-0349 2006-02-03 韓国 韓国ミツトヨ 長さ 形状測定機、三次元測定機、画像測定機 KOLAS KC16-321 2016-11-10 中国 上海ミツトヨ 長さ ノギス、マイクロメータ、ダイヤルゲージ など CNAS CNAS L5506 2012-02-28 イギリス 英国ミツトヨ 長さ／硬さ ゲージブロック、ノギス、三次元測定機 など UKAS 0332 1990-07-30 オランダ オランダミツトヨ 長さ／温度 ゲージブロック、ノギス、三次元測定機 など RvA K086 1994-10-14 ドイツ ドイツミツトヨ 長さ ゲージブロック、ノギス、三次元測定機 など DAkkS D-K-15096-01-00 1995-01-10 スイス スイスミツトヨ 長さ ゲージブロック、ノギス、三次元測定機 など SAS SCS 0074 1996-12-18 イタリア イタリアミツトヨ 長さ ゲージブロック、基準半球、三次元測定機 など ACCREDIA LAT N.107 1998-05-01 スウェーデン ミツトヨスカンジナビア 長さ 三次元測定機 SWEDAC 1794 2002-03-04 JCSS0086 JCSS0109 JCSS0186 チェコ チェコミツトヨ 長さ 三次元測定機 NA 694/2016 2016-12-08 川崎キャリブレーションセンタ 広島キャリブレーションセンタ 営業サービス統括本部 ハンガリー ハンガリーミツトヨ 長さ ゲージブロック、ノギス、三次元測定機、画像測定機 など NAH NAH-2-0341/2018 2018-11-05 アメリカ 米国ミツトヨ 長さ／硬さ ゲージブロック、ノギス、三次元測定機（現地校正）など A2LA 0750.01 1998-04-20 カナダ カナダミツトヨ 長さ ゲージブロック、ノギス、マイクロメータ など CLAS/SCC 2003-05 2003-10-07 長さ ゲージブロック、ノギス、三次元測定機 など D-45 2000-11-21 メキシコ メキシコミツトヨ 長さ ノギス、マイクロメータ、ダイヤルゲージ など EMA D-45-S1 2014-12-12 硬さ 硬さ基準片 など DZA-28 2015-01-21 ブラジル 長さ／硬さ ゲージブロック、ノギス、三次元測定機、ロックウェル硬さ試験機 など CGCRE 0031 1992-09-15 南米ミツトヨ アルゼンチン 長さ マイクロメータ、三次元測定機 など OAA LC 010 2002-11-07 認定機関／認定制度の名称 NITE： 独立行政法人 製品評価技術基盤機構 TAF： 財団法人全国認定基金会 ACCREDIA： イタリアの認定機関 IAJapan： 認定センター NABL： インド試験所認定機構 SWEDAC： スウェーデン認定協会 JCSS： 計量法トレーサビリティ制度 KOLAS： 韓国の認定機関 CMI: チェコ計量研究所 SAC： シンガポール認定理事会 CNAS： 中国合格评定国家认可委员会 BKFH:　 ハンガリーの国家計量標準機関 TISI： タイ工業省工業規格協会 UKAS： イギリスの認定機関 A2LA： 米国試験所・校正機関認定協会 KAN： インドネシアの認定機関 RvA： オランダ認定協会 CLAS/SCC： カナダラボラトリ評価サービス BoA： ベトナムの認定機関 DAkkS： ドイツの認定機関 EMA： メキシコの認定機関 STANDARDS MALAYSIA： マレーシアの認定機関 SAS： スイス認定サービス CGCRE： ブラジルの認定機関 OAA： アルゼンチンの認定機関 海外の国家計量研究所および認定機関の日本語名称は、弊社が調査・確認した情報です。 最新の情報につきましては、弊社ホームページ https://www.mitutoyo.co.jp/ をご確認ください。 最新の情報につきましては、弊社ホームページ https://www.mitutoyo.co.jp/ をご確認ください。 2019年2月現在 33 34

３． トレーサビリティ体系（標準の保証と維持） ミツトヨでは日本の国家標準に直接つながった長さ標準器などを を行っています。更に高精度な長さ測定に必要不可欠な温度の校正 保有し、測定機器の校正に使用する標準器の校正を行うことにより、 事業も実施しております。また、硬さや振動といった試験機器分野の お客様がご使用になる各種測定機器のトレーサビリティ確立と維持 トレーサビリティの確立と維持も行っております。 《ミツトヨ標準器のトレーサビリティ体系》 《ミツトヨ標準器のトレーサビリティ体系》 長さ区分のトレーサビリティ 温度区分のトレーサビリティ 試験・計測機器類のトレーサビリティ 国立研究開発法人 産業技術総合研究所 計量標準総合センター【 NMIJ/AIST】 国立研究開発法人 産業技術総合研究所 計量標準総合センター【 NMIJ/AIST】 国立研究開発法人 国立研究開発法人 産業技術総合研究所 計量標準総合センター【NMIJ/AIST】 国立研究開発法人 協定世界時に同期した原子時計 〈 特定標準器〉 協定世界時に同期した原子時計及び光周波数コム装置 〈 特定標準器〉 産業技術総合研究所 情報通信研究機構 計量標準総合センター 温度定点群実現装置 ミツトヨ 広島キャリブレーションセンタ ミツトヨ 川崎キャリブレーションセンタ ミツトヨ 計量標準キャリブレーション課 ミツトヨ 計量標準キャリブレーション課【 JCSS認定事業者 No.0067】 〈特定標準器〉 【JCSS認定事業者 No.0109】 【JCSS認定事業者 No.0086】 【JCSS認定事業者 No.0067】 日本電気計器検定所 国立研究開発法人 ロックウェル硬さ標準片 力基準機（実荷重式） 基準周波数発振器〈特定二次標準器〉 基準周波数発振器〈特定二次標準器〉 【JEMIC】 産業技術総合研究所 〈特定二次標準器〉 〈特定二次標準器〉 （光周波数コム装置の基準器として使用） （光周波数コム装置の基準器として使用） 計量標準総合センター ミツトヨ 宮崎工場 ミツトヨ 計量標準キャリブレーション課 一般財団法人 ミツトヨ 宮崎工場 ミツトヨ 計量標準キャリブレーション課 参照オプティカルフラット 日本電気計器検定所 【JEMIC】 【JCSS認定事業者 No.0030】 【JCSS認定事業者 No.0067】 日本品質保証機構 【JCSS認定事業者 No.0030】 【JCSS認定事業者 No.0067】 温度計校正用定点実現装置 長さ用633nmよう素分子吸収線 長さ用633nm よう素分子吸収線 長さ用633nm よう素分子吸収線 長さ用633nm よう素分子吸収線 〈特定副標準器〉 波長安定化He-Neレーザ装置 波長安定化He-Neレーザ装置 波長安定化 He-Neレーザ装置〈常用参照標準〉 波長安定化 He-Neレーザ装置（ワーキングスタンダード） 一般財団法人 〈常用参照標準〉 〈ワーキングスタンダード〉 JCSS認定事業者 JCSS認定事業者 日本軸受検査協会 基準分銅 電気関連 基準圧子 ミツトヨ 宇都宮キャリブレーションセンタ ミツトヨ 宮崎工場 ミツトヨ 宇都宮キャリブレーションセンタ JCSS認定事業者 温度計校正用定点実現装置/ ミツトヨ 宮崎工場 【JCSS認定事業者 No.0031】 長さ用633nm 実用波長安定化 He-Neレーザ装置 【JCSS認定事業者 No.0031】 長さ用633nm実用波長安定化 長さ用633nm 実用波長安定化 長さ用633nm 実用波長安定化 He-Neレーザ装置 白金抵抗温度計 He-Neレーザ装置 He-Neレーザ装置 天秤/はかり 圧電型/サーボ型 電気関連標準器 〈常用参照標準〉 〈特定二次標準器〉 〈常用参照標準〉 加速度ピックアップ ミツトヨ 宮崎工場 ミツトヨ 宇都宮キャリブレーションセンタ 【JCSS認定事業者 No.0030】 【JCSS認定事業者 No.0031】 校正用ブロックゲージ 校正用ブロックゲージ ミツトヨ 力計 ゲージブロック 長さ測定用スケール 精密天秤 〈ワーキングスタンダード〉 〈常用参照標準〉 計量標準キャリブレーション課 【JCSS認定事業者 No.0067】 温度計校正用定点実現装置 （水の三重点）/白金抵抗温度計 ミツトヨ 広島キャリブレーションセンタ 〈常用参照標準〉 振動試験装置/振動計 【JCSS認定事業者 No.0109】 硬さ試験機 /硬さ標準片 ミツトヨ テクノサービス事業本部 ミツトヨ 宇都宮キャリブレーションセンタ ミツトヨ 広島キャリブレーションセンタ 〈ワーキングスタンダード〉 試しおもり 【JCSS認定事業者 No.0186】 【JCSS認定事業者 No.0031】 【JCSS認定事業者 No.0109】 校正用ブロックゲージ/段差ゲージ/基準スケール/ 校正用ブロックゲージ/ 校正用ブロックゲージ/ 長さ用633nm実用波長安定化He-Neレーザ装置 マイクロメータ基準棒/段差ゲージ マイクロメータ基準棒/段差ゲージ 〈常用参照標準〉 〈ワーキングスタンダード〉 〈常用参照標準〉 各種試験機器 硬さ試験機 釣合い試験機 振動試験機 振動計測機器 地震観測機器 この体系図はミツトヨ製品の一部について、トレーサビリティの概略を示したものであり、個々の製品の詳細な体系図については、個別に発行しています。 検査・校正機器 段差ゲージ ゲージブロック リングゲージ ダイヤルゲージ校正器 標準尺、基準スケール レーザ光源 オプチカルフラット/ 現在、個別のトレーサビリティ体系図の修正を順次行っておりますが、一部、本トレーザビリティ体系図と相違があることをご了承ください。 オプチカルパラレル 最新の情報につきましては、弊社ホームページ https://www.mitutoyo.co.jp/ をご確認ください。 2019年2月現在 各種測定機器 三次元測定機 画像測定機 精密センサ 測定工具 形状測定機 測長ユニット 光学機器 温度計 弊社は、光周波数コム装置を基準とする校正業務のJCSS認定を取得した民間の認定事業者として、2017年4月に日本で初めて登録されました。 2019年2月現在 《ミツトヨグループ　キャリブレーションラボラトリにおける ISO/IEC 17025認定状況》 国 家 日 本 シンガポール マレーシア インドネシア タイ ベトナム インド 台湾 韓国 中国 アメリカ カナダ メキシコ ドイツ イギリス イタリア オランダ スウェーデン スイス チェコ ハンガリー ブラジル アルゼンチン 計 量 NMIJ/ NMC/ NML- Puslit VMI- RC- 研 AIST A＊STAR SIRIM KIM-LIPI NIMT STAMEQ NPLI NML R.O.C. KRISS NIM NIST N INMS CENAM PTB NPL INRIM VSL RISE METAS CMI BKFH INMETRO INTI 究 ILAC 所 〈MRA〉 認 定 IAJapan/NITE APAC SAC STANDARDS CNCA/ EA 機 JCSS 〈MRA〉 KOLAS 関 CNAS A2LA CLAS/ MALAYSIA KAN TISI BoA NABL TAF SCC EMA 〈MLA〉 DAkkS UKAS ACCREDIA RvA SWEDAC SAS NA NAH CGCRE OAA 認ミ ミツトヨ ミツトヨ ミツトヨ ミツトヨ ミツトヨ ミツトヨ ミツトヨ マレーシア インドネシア タイ ベトナム ミツトヨ 台湾 韓国 上海 米国 カナダ メキシコ メキシコ ドイツ 英国 イタリア オランダ スカンジナビア スイス チェコ ハンガリー 南米ミツトヨ 南米ミツトヨ 定ツ 計量標準 宮崎工場 宇都宮 川崎 広島 テクノ アジアパシフィック ミツトヨ ミツトヨ ミツトヨ ミツトヨ サウスアジア ミツトヨ ミツトヨ ミツトヨ ミツトヨ ミツトヨ ミツトヨ ミツトヨ ミツトヨ ミツトヨ ミツトヨ ミツトヨ ミツトヨ ミツトヨ ミツトヨ ミツトヨ （ブラジル） （アルゼンチン） 校ト キャリブレー キャリブレー キャリブレー キャリブレー サービス 認定No. （釜山） 認定No. 認定No. 認定No. 認定No. 正ヨ ション課 ションセンタ ションセンタ ションセンタ 事業本部 LA-1996- 認定No. 認定No. 認定No. 認定No. 認定No. 認定No. 認定No. CNAS 認定No. 認定No. D-45 （長さ） 認定No. D-K-15096 認定No. 認定No. 認定No. 認定No. 認定No. 認定No. NAH-2-0341 認定No. 認定No. 機の 認定No.0067 認定No.0030 認定No.0031 認定No.0086 認定No.0109 認定No.0186 0102-C SAMM 152 LK-183-IDN 0258 VILAS741 C-0349 0336 KC16-321 L5506 0750. 01 2003-05 認定No. DZA-28 -01-00 0332 LAT N.107 K 086 1794 SCS 0074 694/2016 /2018 0031 LC010 関 （長さと温度） （長さ） （長さ） （力） （長さと硬さ） （長さ） （長さと硬さ） （長さと硬さ） （長さと硬さ） （長さ） （長さ） （長さと硬さ） （長さと硬さ） （長さ） （長さ） （長さと硬さ） （長さと硬さ） D-45-S1 （長さ） （硬さ） （長さ） （長さと硬さ） （長さ） （長さと温度） （長さ） （長さ） （長さ） （長さ） （長さと硬さ） （長さ） 　 ●日本 ●タイ ●中国 ●ドイツ ●チェコ 　AIST ：国立研究開発法人 産業技術総合研究所 　NIMT ：タイ国家計量標準機関 　NIM ：中国计量科学研究院 　PTB ：国立物理工学研究所 　CMI ：チェコ計量研究所 　NMIJ ：計量標準総合センター 　TISI ：タイ工業省工業規格協会 　CNCA ：中国国家认证认可监督管理委员会 　DAkkS ：ドイツの認定機関 　NA ：チェコの認定機関 　IAJapan ：認定センター ●ベトナム 　CNAS ：中国合格评定国家认可委员会 ●イギリス ●ハンガリー 　NITE ：独立行政法人 製品評価技術基盤機構 　VMI-STAMEQ ：ベトナム国家計量機関 ●アメリカ 　NPL ：国立物理学研究所 　BKFH ：ハンガリーの国家計量標準機関 　JCSS ：計量法トレーサビリティ制度 　BoA ：ベトナムの認定機関 　NIST ：国立標準技術研究所 　UKAS ：イギリスの認定機関 　NAH ：ハンガリーの認定機関 ●シンガポール ●インド 　A2LA ：米国試験所・校正機関認定協会 ●イタリア ●ブラジル 　NMC/A＊STAR ：シンガポール科学技術研究庁 　NPLI ：インド国立物理学研究所 ●カナダ 　INRIM ：イタリア国家計量標準機関 　INMETRO ：工業技術院計量研究所 　 　SAC ：シンガポール認定理事会 　NABL ：インド試験所認定機構 　NRC-INMS ：カナダ測定標準研究所 　ACCREDIA ：イタリアの認定機関 　CGCRE ：ブラジルの認定機関 ●マレーシア ●台湾 　CLAS/SCC ：カナダラボラトリ評価サービス ●オランダ ●アルゼンチン 　NML-SIRIM ：マレーシア標準工業研究所 　NML R.O.C. ：國家度量衡標準實驗室 ●メキシコ 　VSL ：オランダ計量研究所 　INTI ：アルゼンチン国家工業技術機関 　STANDARDS MALAYSIA ：マレーシアの認定機関 　TAF ：財団法人全国認定基金会 　CENAM ：国家度量衡センター 　RvA ：オランダ認定協会 　OAA ：アルゼンチンの認定機関 ●インドネシア ●韓国 　EMA ：メキシコの認定機関 ●スウェーデン 　Puslit KIM-LIPI ：インドネシア科学院 計測標準研究センター 　KRISS ：韓国標準科学研究院 　RISE ：スウェーデン技術研究所 ILAC ：国際試験所認定協力機構 　KAN ：インドネシアの認定機関 　KOLAS ：韓国認定機構 　SWEDAC ：スウェーデン認定協会 APAC ：アジア太平洋認定協力機構 ●スイス MRA ：相互承認協定 海外の国家計量研究所及び認定機関の日本語名称は、弊社が調査・確認した情報です。 　METAS ：スイス度量衡局 EA ：欧州認定協力機構 最新の情報につきましては、弊社ホームページ https://www.mitutoyo.co.jp/ をご確認ください。 　SAS ：スイス認定サービス MLA ：多国間協定 2019年2月現在 35 36

民間の認定事業者として日本初 長さの基準で国家標準と同等の性能をもつ 光周波数コム装置を用いた校正業務でJCSSの認定を取得 《JCSS認定事業の範囲と校正測定能力（主な標準器）》 長さ測定用レーザ ゲージブロックなどの ゲージブロックなどの ゲージブロックなどの ゲージブロックなどの ― 最高測定能力　1.1×10-13を達成 ― 高精度端度器 端度器 高精度端度器 端度器 標準尺 株式会社ミツトヨは、社内の最上位の長さの基準とすべく、光周 事 計量標準キャリ 業 ブレーション課 宮崎工場 宇都宮キャリブレーションセンタ 波数コム装置を産業技術総合研究所の指導のもと、弊社 つくば の No.0067 No.0030 No.0031 研究所にて開発してきました。 範 囲 この度、2017年4月28日に、この光周波数コム装置を標準とする 633 nm領域の波長 光波干渉測定法 比較測定法 光波干渉測定法 比較測定法 校正業務のJCSS認定を取得した民間の認定事業者として日本 532 nm領域の波長 0.1 mm以上 0.1 mm以上 500 mm超 0.5 mm以上 1000 mm 以下 1000 mm以下 1000 mm以下 1000 mm以下 1000 mm以下 で初めて登録されました。これにより、長さの国家標準と同等の 性能をもつ光周波数コム装置を頂点としたミツトヨのトレーサ ビリティ体系を構築しました。 （ 0.1 mm以上 0.1 mm以上 500 mm超 0.5 mm以上 350 mm 以下 L 1.1×10 -13 100 mm以下 100 mm以下 1000 mm以下 100 mm以下 　（0.10＋0.12・L/1000） µm 1メートルの長さの定義は、光が真空中を299 792 458分の1秒 ＝校 　0.020 µm 　0.06 µm （0.24+0.07・L/1000） µm 　0.06 µm 呼正 350 mm超 間に進む距離です。 び測 100 mm超 100 mm超 100 mm超 1000 mm以下 寸定 250 mm以下 1000 mm以下 1000 mm以下 　（0.06＋0.25・L/1000） µm 光周波数コム装置は、時間の国家標準にトレーサブルな基準 法能 　（0.010＋0.00010・L） µm 　（0.04＋0.00043・L） µm （　0.04＋0.00043・L） µm 周波数発振器を基準に正確な光周波数を発生させることので 光周波数コム装置の外観 mm力 250 mm超 ） きる「光周波数のものさし」です。この装置により長さの基準と あります。 1000 mm以下 　（0.020＋0.00020・L） µm して使われている よう素分子吸収線波長安定化He-Neレーザ 光周波数コム装置の基準である基準周波数発振器は、産業技術 （k =2） 装置などの正確なレーザ光の波長である「長さのものさし」を 総合研究所の時間の国家標準である原子時計とトレーサブル 最新の情報につきましては、弊社ホームページ https://www.mitutoyo.co.jp/ をご確認ください。 201290年19年2月2月現現在在 校正することができます。光周波数コム装置は、今までのミツトヨ であり、GPSを介した遠隔校正により約960秒周期で常時校正 の長さの基準であった特定二次標準器の よう素分子吸収線波 されています。 長安定化He-Neレーザ装置を基準とした校正の最高測定能力 また、光周波数コム装置のシステム性能を確認、維持していくた 4.2×10-11の約380倍という、世界トップレベルの最高測定能力 めに、社内に２台の光周波数コム装置を整備し、定期的に相互 1.1×10-13を達成しました。 比較評価を行い、最高の性能を確保しています。 今までの最高測定能力は、東京から博多までの約1000 kmを髪の ミツトヨは日々進化する技術と向き合い、ミツトヨ商品の国家標準 毛の太さくらい（約0.05 mm）の精度で測定する能力に相当し、 へのトレーサビリティと商品保証の基盤を今まで以上に強固な 光周波数コム装置の最高測定能力は、地球から月までの距離 ものとし、これらを通じてお客様からの信頼に応え、精密測定を （約38万 km）を髪の毛の太さくらいの精度で測定する能力が 通じてお客様の事業発展に貢献してまいります。 ■光周波数コム装置の概念図 弊社ホームページの「動画ライブラリ」内に「トレーサビリティ」を解説した動画があります。 https://mitutoyo.gallery.video/#/overlay/5771534973001 をご参照ください。 JCSS 登録証 JCSS 認定証 2019年2月現在 37 38