測定顕微鏡 MFシリーズ/MF-Uシリーズ

測定顕微鏡 MFシリーズ/MF-Uシリーズ 光 学 機 器 Catalog No.14003(21)

長作動ML対物レンズを搭載した扱いやすい 超広視野・高倍率観察 測定顕微鏡のスタンダードモデル MFシリーズ 視野数：24 全モデルカメラポート標準搭載 測定顕微鏡業界最大の広視野ø24 mm（1×対物使用時） すべてのモデルに、Cマウント対応のカメラを搭載できる 金属顕微鏡と測定顕微鏡を1台に集約 を実現。一度に広い範囲を観察できます。 ポートを標準装備しています。 画像計測システムや観察用デジタルカメラの取り付けが 高解像度観察と高精度測定の両立モデル できます。 MF-Uシリーズ 幅広い対物レンズラインアップ フレアを抑えた超低倍から光学領域の限界に迫る高倍 までの幅広いレンズに切り換えることで、お客様の用途に 応じて最適な倍率を選択することができます。 HBM用TEG （サンプルご提供：株式会社ウォルツ様、株式会社アスカインデックス様） MLCC MFシリーズ MF-Uシリーズ 基板対基板用コネクタ 1 2

P ERFORMANCE 観察・操作性 精度・バリエーション 直感的操作を実現 高精度測定と豊富なステージサイズ クイックリリース機構 X・Y軸：（2.2+0.02L）µm サンプル 手元にあるクイックリリースハンドルにより目視確認無しで FREE JIS B 7153の検査方法に準拠したシステム全体での精度保証を 測 定 粗動・微動の切り換えができます。ステージが完全にフリー していますので、すべてのモデルで高精度に測定ができます。 精 度 状態となる粗動で素早く位置合わせをし、手元で瞬時に微動 JIS 0級に迫る高い精度を確立した測定顕微鏡が、お客様の に切り換え微調整することでスピーディに測定できます。 品質管理・向上に寄与します。 次の測定位置までの距離が長い場合には特に有効です。 手 0 元で、素早 LOCK い位置合わせ クイックリリース ハンドル 規格 X軸測定精度 画像ユニット 測定範囲 画像ユニットを併用頂くことで、エッジをワンクリックするだけの 誰でも簡単な測定が可能です。 参考）JIS B 7153　測定顕微鏡　 　　 各軸の測定精度（20℃） また、わずらわしいワークの並行だしや十字線による測定点 220mm 0級（ 2+0.01L）µm以下 検出が不要となるため、追加工の寸法などもすぐに確認が 1級（ 4+0.02L）µm以下　L=測定長mm できます。 ※画像ユニット：オプション（詳細はP. 13～15をご参照ください） ステージバリエーション 業種を問わず広くお使いいただいている測定顕微鏡だからこそ 100×100 mmから測定顕微鏡最大級の400×200 mmまで、 幅広いステージサイズをラインアップしています。 高精度は そのままに、お客様に最適なサイズをお選びいただけます。 測定時間の短縮を実現 Y軸 200 mm 300mm驚速AF機能 X軸 400 mm 3 mmの段差を10回高さ測定した累計測定時間 約1秒というスピードで、測定したい表面にピント合わせが可能 な驚速AFを搭載しています。 マニュアル 90秒 凹凸の多いワークでもわずらわしいピント調整から解放され、 45％ ストレスなく測定を行えますので作業者の疲労を大幅に低減 短 縮 できます。 Z軸モータドライブ 50秒 50秒 ※社内検証結果であり時間短縮を保証するものではありません。 ワンクリックツール 画像計測システムである画像ユニットを併用することで、エッジ をワンクリックするだけの簡単測定が可能となります。さらに ワンクリックで多くの測定点を一気に取得できますので、従来 型の「十字線で測定点を1点ずつ測定する」方法と比べて大幅に スピードアップ・バラつき低減が可能です。 ※画像ユニット：オプション ワンクリック円ツール ワンクリックボックスツール 3 4 300 mm 220mm

L INE-UP MFシリーズ ～使いやすいスタンダードモデル～ MF-Uシリーズ ～多様な観察方法が可能な万能モデル～ ピント位置による倍率誤差低減 クリアな観察像 微小なキズ、凹凸の検知 テレセントリック光学系 プランアポクロマートレンズ 様々な観察方法 正確な倍率の作り込みによる高精度測定に加え、10倍以下は 作業性の高い長作動距離だけではなく、にじみの原因となる 一般的な拡大像である明視野観察に加え、暗視野観察、簡易 テレセントリック光学系採用し、焦点ズレによる測定誤差を 色収差を補正したプランアポクロマートレンズにより、色再現性 偏光観察、微分干渉観察などの様々な観察方法を、用途に 軽減しています。 に優れたすっきりとした観察像を提供します。 応じてお選びいただけます。 （詳細はP. 7をご参照ください） 安心操作 長作動距離 1-100×までの幅広い対物レンズラインアップすべてで長作動 距離を確保しています。これにより、凹凸のあるワーク測定時 でもワークへの衝突を気にせず測定ができます。 長作動距離 通常観察（明視野観察） 微分干渉①：通常の明視野観察では困難な微小な凹凸を立体的に観察できます。 （詳細はP. 7をご参照ください） 簡単変倍 スライド式ノーズピース スライド式ノーズピースにより2本まで対物レンズを搭載する ことができます。変倍を頻繁に行う測定では、作業効率が大幅に 向上します。 通常観察（明視野観察） 暗視野：散乱光を使うことでキズ・コンタミなどの微小な異常部分のみが浮き出て観察できます。 （詳細はP. 7をご参照ください） マニュアル（2軸 /3軸） マニュアル（2軸 /3軸） カメラ ポート FS対物 リモート クイック 画像AF カメラ FS対物 リモート クイック リリース ポート リリース 画像AF ゼロセット Z軸 カウンタ ティル 電動 ゼロセット Z軸 電動 モータ レボルバ モータ カウンタ ティル ティング ティング レボルバ Z軸モータドライブ Z軸モータドライブ カメラ FS対物 リモート クイック 画像AF カメラ FS対物 リモート クイック ポート リリース ポート リリース 画像AF ゼロセット Z軸 カウンタ ティル 電動 ゼロセット Z軸 カウンタ ティル 電動 モータ ティング レボルバ モータ ティング レボルバ MF-A1010D MF-UJ2017D アイコンの見方 様々な観察方法を可能にする対物レンズ 手元での作業を可能にするリモート 手元でステージの粗微動を切り換えられる ードを オプションで カメラ デジタルカメラ搭載用カメラポート ポート （全モデル標準搭載） FS対物 搭載可能 リモート クイック 標準搭載機能 コントロールボックス リリース クイックリリース機構 作業者のピント誤差を低減し測定スピ 画像AF 選択可能 （MF-Uシリーズのみ） （マニュアルXYステージモデルのみ） 上げる画像オートフォーカス機能 作業者の手の動きを最小限にする 作業者を選ばない左右切り換え・ 作業者の体格に合わせてアイポイントを 非対応 ゼロセット Z軸 驚きのZ軸ピント合わせを実現する カウンタ ティル 倍率を切り換えて測定する際に 手元ゼロセットスイッチ モータ Z軸モータ駆動 ティルト機能付き薄型カウンタ表示 ティング 調整可能なティルティング鏡筒 電動 様々な （MF-Uシリーズ標準搭載） レボルバ 威力を発揮する電動切換式レボルバ 5 6

O PTIONS 対物レンズ MFシリーズ用 ML対物レンズ MF-Uシリーズ用 FS対物レンズ 対応観察方法：明視野観察 符号 コードNo. 倍率 NA 接眼レンズ モニタ 分解能 作動距離 焦点深度 特長： ピント範囲が幅広い（焦点深度が深い）影響により、高さ位置が再現しにくい低倍率（10×以下） 実視野（mm）実視野（mm）※（µm） （mm） （µm） では、高さ位置によって観察倍率が変わらないよう、倍率誤差を低減したテレセントリック M Plan Apo 1× 378-800-12 1× 0.025 ø24 12.80×9.60 11 11.0 440 光学系を採用しています。 M Plan Apo 2× 378-801-12 2× 0.055 ø12 6.40×4.80 5 34.0 91 また、ML対物レンズは、JIS規格を超える自社独自規格を採用し、より正確な倍率となるように M Plan Apo 5× 378-802-6 5× 0.14 ø4.8 2.56×1.92 2 34.0 14 完成度を高めているため、レチクルによる比較測定にも最適です。 M Plan Apo 7.5× 378-807-3 7.5× 0.21 ø3.2 1.71×1.28 1.3 35.0 6.2 M Plan Apo対物レンズ M Plan Apo 10× 378-803-3 10× 0.28 ø2.4 1.28×0.96 1 34.0 3.5 M Plan Apo 20× 378-804-3 20× 0.42 ø1.2 0.64×0.48 0.7 20.0 1.6 符号 コードNo. 倍率 NA 接眼レンズ モニタ 分解能 作動距離 焦点深度 対応観察方法：明視野観察、簡易偏光 M Plan Apo 50× 378-805-3 50× 0.55 ø0.48 0.26×0.19 0.5 13.0 0.9 実視野（mm）※1 実視野（mm）※2 （µm） （mm） （µm） 　　　　　　 観察、微分干渉観察 M Plan Apo 100× 378-806-3 100× 0.70 ø0.24 0.13×0.10 0.4 6.0 0.6 ML 1× 375-036-2 1× 0.03 ø24 12.8×9.6 9.2 61.0 306 特長：湾曲収差・色収差補正したプラン M Plan Apo SL 20× 378-810-3 20× 0.28 ø1.2 0.64×0.48 1 30.5 3.5 ML 3× 375-037-1 3× 0.09 ø8 4.27×3.2 3.06 77.0 34 アポクロマートレンズを採用。 M Plan Apo SL 50× 378-811-15 50× 0.42 ø0.48 0.26×0.19 0.7 20.5 1.6 ML 5× 375-034-1 5× 0.13 ø4.8 2.56×1.92 2.12 61.0 16.3 G Plan Apo 対物レンズ M Plan Apo SL 100× 378-813-3 100× 0.55 ø0.24 0.13×0.10 0.5 13.0 0.9 ML 10× 375-039 10× 0.21 ø2.4 1.28×0.96 1.31 51.0 6.2 M Plan Apo HR 50× 378-814-4 50× 0.75 ø0.48 0.26×0.19 0.4 5.2 0.49 ML 20× 375-051 20× 0.42 ø1.2 0.64×0.48 0.65 20.0 1.6 対応観察方法：ガラス越し観察 M Plan Apo HR 100× 378-815-4 100× 0.90 ø0.24 0.13×0.10 0.3 1.3 0.34 ML 50× 375-052 50× 0.55 ø0.48 0.26×0.19 0.5 13.0 0.9 特長：ガラス越しに観察する際に最適な G Plan Apo 20×（t3.5）378-847 20× 0.28 ø1.2 0.64×0.48 1 空気換算29.42 3.5 ML 100× 375-053 100× 0.70 ø0.24 0.13×0.10 0.4 6.0 0.6 観察像が得られるよう補正設計 。 G Plan Apo 50×（t3.5）378-848-3 50× 0.50 ø0.48 0.26×0.19 0.6 空気換算13.89 1.1 ※1：接眼レンズ10×（標準付属品）を付けた場合 　　（BK7, 3.5 mm厚で補正。その他、 ※2：モニタ実視野は弊社画像ユニット（P.13～14）を使用した際の実視野となります。 特注対応可能。） SL : 超長作動距離タイプ　　HR : 高分解能タイプ ※モニタ実視野は弊社画像ユニット（P. 13～14）を使用した際の実視野となります。 符号 コードNo. 倍率 NA 接眼レンズ モニタ 分解能 作動距離 焦点深度 実視野（mm）実視野（mm）※（µm） （mm） （µm） スライド式ノーズピース（工場オプションのため、後付けすることはできません） BD Plan Apo 2× 378-831-12 2× 0.055 ø12 6.40×4.80 5 34.0 91 BD Plan Apo 5× 378-832-7 5× 0.14 ø4.8 2.56×1.92 2 34.0 14 ML対物レンズを2本取り付けでき、ストレスなく倍率変更が可能です。 BD Plan Apo 7.5× 378-830-7 7.5× 0.21 ø3.2 1.71×1.28 1.3 34.0 6.2 BD Plan Apo 10× 378-833-7 10× 0.28 ø2.4 1.28×0.96 1 34.0 3.5 切り換え時の仕様によって2つのタイプを用意しています。 BD Plan Apo対物レンズ BD Plan Apo 20× 378-834-7 20× 0.42 ø1.2 0.64×0.48 0.7 20.0 1.6 ・ 同焦タイプ（コードNo.176-370-1） BD Plan Apo 50× 378-835-7 50× 0.55 ø0.48 0.26×0.19 0.5 13.0 0.9 対応観察方法：明視野観察、暗視野観察、 基準レンズ（ML3×）とあらかじめ指定した切換レンズ※ 2本の組み合わせで、 BD Plan Apo 100× 378-836-7 100× 0.70 ø0.24 0.13×0.10 0.4 6.0 0.6 簡易偏光観察、微分干渉観察 双方のピント位置が一致するように調整しますので、レンズ切り換え時にピント 特長：性能そのままに暗視野観察にも対応。 ※モニタ実視野は弊社画像ユニット（P. 13～14）を使用した際の実視野となります。 合わせ作業が不要です。 注：指定した組み合わせ以外の倍率の対物レンズを使用した場合は同焦になりません。 レボルバ ・ 倍率タイプ（コードNo.176-370-2） 基準レンズ（ML3×）とあらかじめ指定した切換レンズ※ 2本の組み合わせで、 対応観察 明視野（M Plan Apo/G Plan Apo） コード 双方の倍率を保証します。 No. 378-018 378-216-10 マニュアル/電動 手動レボルバ 電動レボルバ 寸法付タイプや比較測定タイプのレチクルを使用する場合に推奨します。 取り付け本数 4本 5本 注：レンズを切り換えた際、ピントが外れる場合があります。 調心 /同焦機構 調心・同焦付き 調心付き 対応観察 明暗視野（ ※切換レンズは BD Plan Apo） ML3×以外のML対物レンズから選定ください。 コードNo. 176-211 176-212-10 マニュアル/電動 手動レボルバ 電動レボルバ 明暗視野用マニュアル 明視野用マニュアル 電動レボルバ（No.378-216） 取り付け本数 4本 4本 レボルバ（4穴） レボルバ（4穴） 明暗視野用電動レボルバ（4穴） 装着例 調心 /同焦機構 ̶ ̶ ※ 同焦機構のないレボルバと対物レンズを使用する際は 、 　「 同焦調整シムセット（」明視野用：コードNo.378-089、 暗視野用：コードNo.378-090）の併用を推奨します。 偏光装置 微分干渉装置 コードNo.：378-092 コードNo. ：378-080（5X,10X）、378-079　　 用途： 簡易偏光観察時に使用。 　（20X）、378-078（50X,SL20X）、　 また、低倍率レンズ使用時 　378-076（100X,SL80X,SL50X） にコントラストを高める場合 用途： 微分干渉観察時に使用。左記の偏光 にも推奨します。 装置と組み合わせて使用します。 7 8

O PTIONS 接眼レンズ・鏡筒関連 鏡筒部 レチクル 選べるMFシリーズ用接眼装置（必須選択オプション） 鎖線タイプ 単眼装置 双眼装置 角度接眼レンズ デジタル角度接眼レンズ コードNo.176-392 コードNo.176-394 コードNo.375-043 コードNo.176-313-10 No.12AAG838（MF） No.12AAG836（MF） No.12AAG873（MF） No.12AAG878（MF-U） No.12AAG87（7 MF-U） No.12AAG876（MF-U） 　90°鎖線 　90°鎖線 　90°鎖線 　鎖線ピッチ0.2-0.2 　鎖線ピッチ0.2-0.2 　鎖線ピッチ0.2-0.2 　線幅7 µm 　線幅5 µm 　線幅3 µm シンプル・廉価な単眼鏡筒タイプ 疲れにくい双眼鏡筒タイプ 最小読み取り：5’ 倍率10× 、視野数22 ※接眼レンズWF10×/2（4 1個）付属 ※接眼レンズWF10×/2（4 2個）付属 測定範囲：360° 最小表示：0.01°/1'切替式 角度読み取りレチクルが内蔵で回転スケール 測定範囲：0～369.99° No.12AAG839（MF） No.12AAG840（MF） を回転させることで角度測定が可能です。 十字線を回転させるだけで角度測定 No.12AAG879（MF-U） No.12AAG880（MF-U） （目盛り読み） が可能です。手動タイプと異なり、 　90°実線、45°鎖線 　90°鎖線、60°鎖線 ※専用接眼レンズ付属（10倍、視野数21） 読み間違いがありません。 　鎖線ピッチ0.2-0.2 　鎖線ピッチ0.2-0.2 ※接眼装置部なしで直接取り付け 　 られます。 　線幅5 µm 　線幅5 µm 高機能なMF-Uシリーズ用鏡筒（MF-U標準搭載） 操作する方の体格に合わせた位置にアイポイント調整が可能なため、 寸法付タイプ（MFシリーズ専用 10×接眼レンズと併用にてご使用ください。） どなたでも疲れにくく、快適な観察が行えます。 0～30° ※接眼レンズWF10×/2（4 2個）付属 No.12AAG84（2 MF） No.12AAG843（MF） No.12AAG844（MF） 接眼レンズ 0 10 20 30 40 50 60 70 80 90100 十字線目盛線 十字線付同心円 目盛線 0.1/20 mm ø1.2～ø18 0.1/10 mm 標準付属の10×レンズのほかに20×の高倍率タイプをラインナップ。ご用途にあわせてお選びいただけます。 線幅7 µm 線幅7 µm 線幅10 µm 接眼レンズ WF10×/24 WF20×/12 コードNo（. 1個） 378-866-5 378-858-5 コードNo（. 2個組） 378-866 378-858 デジタル角度接眼レンズ用レチクル（標準内蔵） 倍率 10× 20× 視野数 24 12 合焦検出ユニット 90°実線、45°鎖線 LEDのチャートパターンをワークに投影することで、簡単・高精度にピント 合焦検出ユニット フォーカスパイロット 鎖線ピッチ0.2-0.2 合わせが行えます。高さ測定の人的誤差・繰り返し誤差の低減に効果的です。 線幅5 µm 符号 FP-05 FP-05U 同心円パターンとスリットパターンの切り換えが可能。LED光も緑と赤の2色 からお選び頂けるため、様々な測定ワークに対応します。 コードNo． 375-057-10 375-058-10 375-067-10 375-068-10 （緑） （赤） （緑） （赤） 緑色LEDまたは赤色LED ●同心円パターン ●スリットパターン 光源 ・パターンの上下が合致した位置が合焦位置となります ・被検物の表面状態に合わせたパターン選択や輝度調整 MF用 MF-U用・0.5×光学系によりTVモニタ上で広視野観察（別途カメラ装着） 合焦再現性 約1.5 µm（20×レンズ使用時）※サンプルによる弊社計測参考値 適用機種 MF MF-U 各レチクルは取付板付きです。モデルによって取付板の形状が異なりますので、ご使用のモデルに合うものをお選びください。 9 10

O PTIONS 内部照明 外部照明 LED照明装置 LEDリング照明装置 ハロゲンと比べ長寿命となりますので、ランニングコストの MFシリーズ用 ：コードNo.176-367-2 低減とランプ交換の手間が省けます。また、調光時の反応も早い ：コードNo.176-371（ スライド式ノーズピース用） ため、ワークに最適な照明条件を探す際にストレス無く操作が MF-Uシリーズ用 ：別途お問い合わせください。 できます。 濃色樹脂・基板・小径円筒物の観察では高いコントラストが MFシリーズ用 ：透過落射Set コードNo.176-449 得られ、画像測定にも最適。明るさを変えても色合いは MF-Uシリーズ用 ：透過落射Set コードNo.176-450 変化しません。 透過照明用 落射照明用 ※リングライト照明はML10×以下に対応しています。 それ以上の倍率の対物レンズを使用されますと コードNo.176-449 光量が足りず観察に支障が出る恐れがあります。 ハロゲン照明装置 スタンダードのLED照明装置では観察しづらい反射率の低い MFシリーズ装着例 MF-Uシリーズ装着例 ワークを測定する際にお選びください。 MFシリーズ用 ：透過落射Set コードNo.176-451 MF-Uシリーズ用 ：透過 コードNo.176-452 落射 150 W コードNo.176-316 ツインファイバ照明装置 MF・MF-Uシリーズ共用：コードNo.176-387 ※MF-Uシリーズでハロゲン照明を使用される場合、外部コントロール コードNo.176-451 ケーブル（100 W用：12AAD128、150 W用：12AAG888）を併用すると、 ワークの斜め横から光を照射することで陰影を際立たせ、より立体的 フロントパネル・QSPAK側での光量調整を行えるようになります。 に観察が可能です。標準付属の集光レンズとの併用で高輝度での スポット照射も可能です。 交換用ランプ コードNo.176-316 用途に応じて高輝度タイプとロングライフタイプをお選びいただけます。 対応モデル 該当照明装置 照明方式 高輝度 ロングライフ MF 176-451 透過/落射 513667 12BAB345 176-452 透過 513667 12BAB345 MF-U 176-316 落射（150 W） 12BAJ075 12BAJ076 照明フィルタ 用途に応じてお選びください。 　GIFフィルタ ： コントラストが映える観察フィルタ 　LBフィルタ ： 暖色のハロゲン光を実際の色味に近づけるフィルタ 　NDフィルタ ： 観察条件（色温度）を変えずに減光するフィルタ ※ハロゲンランプは電圧変化による減光で色温度が変化 （赤色に近づく）する特性があります。 ND2：光量1/（2 透過率50%） ND8：光量1/8（透過率12.5%） 光源タイプ 対応モデル コードNo. 照明方式 GIF LB80 ND2 MF 176-449 LED照明 透過/落射 12AAA645 ― ― MF-U 176-450 MF 176-451 透過/落射 ハロゲン照明 12AAA645 12AAA646 12AAA643 MF-U 176-452 透過 11 12

QSPAK - 画像ユニット専用ソフトウェア - O PTIONS 簡単・汎用モード切換（EZ / PRO） シンプル＆操作ガイダンス表示のEZモードでは、わかりやすい EZモード（簡単測定モード） 測定アイコンとガイダンス機能により初めての方でも戸惑う 画像ユニット ことなく測定ができます。またQSPAKのフル機能をサポートする PROモードに切り換えることで、より高度な測定ニーズにも しっかりサポートします。 PROモード（汎用測定モード） 測定プログラムの簡単編集（スマートエディタ） 作成した測定プログラムの中で、編集したい項目を選択する システム例 だけで、簡単にプログラムの修正・編集が行えます。 バラつき解消・効率化 ダイアログによる照明条件の編集 画像ユニットの併用で、エッジをワンクリックするだけの誰でも簡単な測定が可能になります。 また、わずらわしいワークの走り出しや十字線による測定点検出が不要となるため、追加工の寸法などすぐに確認ができます。 ダイアログによる設計値・公差の編集 ビデオウインドウ上で円ツール編集 バラつきを約90%減少 平均測定時間も約70%短縮 豊富なエッジ検出機能 単位：µm 単位：µm 異常点除去機能…………………………バリや欠けなどの異常点を除去します。 12 10 µm 120 105秒 デュアルエリアコントラストツール ……… 2つの領域の最適光量を自動調整します。 10 100 オートトレースツール ……………………次を予測し輪郭データを自動検出します。 8 80 輪郭形状解析・輪郭照合の際には、2次元解析ソフト（FORMTRACEPAK-AP）をお使いください。 6 60 4 40 30秒 簡単多点測定（ワンクリックツール） 2 1 µm 20 0 0 エッジをワンクリックするだけで、多点測定によるバラつきを 抑えた正確な測定ができます。 測定顕微鏡 測定顕微鏡 測定顕微鏡 測定顕微鏡 のみ &画像ユニット のみ &画像ユニット バリや欠けなどの異常点を除去する機能が同時に使えます。 仕様 画像ユニット 10D コードNo. 359-762 グラフィックス機能 ワンクリック円ツール ワンクリックボックスツール イメージセンサ 1/2インチ カラーCMOS 300万画素 画像検出カメラ 外観寸法・質量（カメラ部のみ） 56(W)×54(D)×78(H)mm・0.4 kg 光学系倍率 0.5×（0.5×TVアダプタ標準付属） 現在位置・座標系・測定要素・測定結果がグラフィックス上に自動 OS 日本語版 Windows 11 64 bit 平均測定時間も約30%に短縮 表示され、測定のし忘れや間違いを未然に防ぐことができます。 （105秒→30秒弱に） PC モニタ 24型LCD また、2次元CADデータを取り込む※ことで、ワーク全体のどの ソフトウェア QSPAK Vision Unit Edition 場所を見ているのかを把握できます。 モニタ倍率 約19×（対物レンズ3×使用時:約57×/撮像範囲:4.49×3.36 mm） 各軸の測定精度※（測定環境20°C） 測定顕微鏡の精度に依存します。 ※オプションソフトウェア（詳細はP. 12をご参照ください） 最小表示量 0.1 µm 最大消費電力 最大 312 W（モニタ含む） ※測定精度は、画像測定における測定実測値と真値の差とします。 ナビゲーション機能（クイックナビゲーション） 単位：µm 校正用チャート 単位：µm 12 120 一度測定プログラムを組めば、次回測定時にナビ 10 100 校正用チャート ゲーションの指示に従うだけで誰にでも熟練者並み 8 80 の測定が可能になります。 CMOSカメラのピクセルサイズ補正やレボルバの6光軸オフセット 60 バラつきを約11.4%まで減少 平均測定時間も約30%に短縮 補正に使用します。 4 （10µm→1µm台に） 40 （105秒→30秒弱に） ※レンズによっては、機能の使用制限があります。 2 20 ①次の測定位置を赤十字線で ② 測定位置が近づくと赤十字線 ③ それぞれの十字線が重なり、 　詳しくは、弊社営業へお問い合わせください。 0 示します。 と緑十字線に近づきます。 ターゲットが出てきたら、入力 測定顕微鏡 測定顕微鏡 コードNo. 02ATN6950 ボタンを押して測定終了です。 のみ &画像ユニット 測定顕微鏡 測定顕微鏡 のみ &画像ユニット 13 14

O PTIONS オプションソフトウェア 演算処理・カメラ FORMTRACEPAK-AP - 2次元解析ソフト - ImageX PRO 7000 - デジタルカメラ - オートトレースツールで取得した点群データを活用し、輪郭形状解析・設計値照合ができます。 高精細な観察・画像保存と、画面内での簡易計測ができます。 コードNo. 176-385 最大記録画素数 測定した画像から簡単操作でシームレスに形状解析が 設計値データとの輪郭照合が可能です。 500万画素（2560×1920） 撮像素子 1/2.5型　カラーCMOS 可能です。 例えば任意直径の仮想円を定義することで、オーバーピン径 フレームレート 6.3 fps 測定が可能です。 画像サイズ 2560×1920、1280×960、853×640、640× （ライブ表示時） 480、426×320、320×240 マウント形状 Cマウント 外観寸法・質量 46（W）×47（H）×26.3（D）mm 約39 g 500万画素　カラーCMOSカメラ（USB 3.0） ソフトウェア（DVDドライブ） 構成 取扱説明書、校正用レチクル USBケーブル（3 m） ※別途Cマウント、データ処理装置用パソコンが必要です。 システム例 ※詳細は、No.14021 ImageX PRO 7000カタログをご参照ください。 ※ImageX PRO 7000は国内のみでの取り扱いとなります。 演算処理用途 QM-Data - 二次元データ処理装置 - フットスイッチ 形状解析例 歯車の輪郭照合、オーバーピン測定例 QS-CAD I/F - CADモデル有効活用 - MeasurLink - 異常の早期発見 - QSPAKの2次元CADデータの入力機能と測定した結果のCAD 統計データをリアルタイムに取得・表示でき、工程の異常を データ形式での出力機能を持ち合わせています。 早期発見できます。また、データ変化点を分析することで問題点 各測定項目の設計値が自動入力されるため、CAD図面との誤差 を把握でき、同様の傾向が出た際には即座に原因対策をとる コードNo.： 264-160-10 コードNo.：12AAJ088 照合する際に効果的です。 ことができます。 用途： データ処理装置を使用せずに各種演算・ 用途： データ入力用フットスイッチ。 また、CADデータと同期することでワークの全体と現在位置が 測定プログラムの作成が可能です。 ハンドルから手を離さずに足で踏む 表示されるため、次の測定箇所への移動をスムーズに行えます。 活用事例 最小表示量： 0.1 µm ことで、データ処理装置に測定点を （対応 プログラム機能： CAD形式：2D DXF, 2D IGES） 測定手順の作成・実行・編集 入力することができます。 金型の調整・交換時期対策 統計処理： 測定項目、データ数、最大値、最小値、 切削工具の調整・交換時期対策 他 平均値、標準偏差、レンジ、ヒストグラム、 測定機能別統計（コマンド別統計） 表示部： カラーTFTLCD（LEDバックライト付き） 現在位置 チルト機構： あり オプション： ESC/Pプリンタ用ケーブル：No.12AAA804（2 m） 24pin カラー・モノクロ対応 その他 Cマウントアダプタ 0.5×TVアダプタ（Cマウント） 顕微鏡本体とCマウント形状のデジタルカメラ取付時に必要 顕微鏡本体とCマウント形状のデジタルカメラ取付時に使用し、 です。 接眼レンズの実視野とモニタでの観察エリアを近づけます。 コードNo. 970441 コードNo. 375-054 15 16

O PTIONS その他 微動付き回転テーブル（A） 微動付き回転テーブル（B） クランプ装置 Vブロック台 傾斜センタ コードNo.： 176-305 コードNo：. 176-306 用途：ワークの走り出し・位置微調整 用途： ワークの走り出し・位置微調整 コードNo.： 176-107 コードNo：. 172-378 コードNo.： 172-604 外観寸法： 280（W）×280（D）×23.7（H）mm 外観寸法： 342（W）×342（D）×23.2（H）mm クランプ最大長さ： 35 mm 支持可能な最大径：ø25 mm ±10°の傾斜姿勢可能、 テーブル上面 ø240 mm 360°回転 角度読み無し テーブル上面 ø270 mm 360°回転 角度読み無し 用途： 基板・プレス品などの薄いワークの 取付面から中心高さ：38～48 mm 角度最小読み1° 質量： 5.5 kg 質量： 6.5 kg 固定 用途： 円筒形状の固定 用途： ねじ有効径・深さ測定などの 有効ガラス径（mm）：ø182 有効ガラス径（mm）：ø238 外観寸法： 6（2 H）×15（2 W）×38（D）mm 外観寸法： 11（7 H）×90（W）×45（D）mm センタ加工物の固定 適用機種： 1010・2010サイズ（MF/MF-Uシリーズ両対応） 適用機種： 2017・3017・4020サイズ（MF/MF-Uシリーズ両対応） 質量： 0.4 kg 質量： 0.8 kg 支持可能最大寸法： 水平時ø80×140 mm ※併用可能オプション： 172-604 傾斜センタ ※ クランプ装置・Vブロック台・傾斜センタ台との併用はできま ※2010サイズはステージアダプタB併用 ※2010サイズはステージアダプタB併用 支持可能最大寸法： 10°傾斜時ø65×140 mm 176-107 クランプ装置 せん。 　2017・3017・4020サイズはステージアダプタ併用可 　2017・3017・4020サイズはステージアダプタ併用可 質量： 2.5 kg 172-378 Vブロック台 ※2010サイズはステージアダプタB併用 クランプネジ（2箇所） 2-6.6×11.6長穴 　2017・3017・4020サイズはステージアダプタ併用可 280 2-φø7穴7穴、、 120 30 220 口元φø141ザ4ザググリリ深深44 13 84 4-6.8穴 31 7 7 240 29˚ 7 3 0 7˚ クランプネジ 12 （2箇所） 75（70～80可能） 0 13 （44） 75 取付用T溝寸法 ø188 ( T溝詳細 ax）載 物 ø 220 ガ 2-M6深8 270 ラス ø 外 240 径 ） 238(載物 ガラ ス有 効径 ） ø ø25（m 150 min） 41 90° ø4（ 200 9 20（9） 105 125 ø ø62 38 152 24 2.5 ø28 90 22--M66深88 (103.945) ø28 回転ツママミミ 58 支持可能ワーク詳細図 4-C 220 M6 (137.618) (0.7) 9.5 13 220 M6 クランプネジ 回転ツマミ 120 342 23.2 84 4-6.8穴 クランプネジ 7 対物ミクロメータ 設置台（顕微鏡本体用） 防振台 13 T溝詳細（44） 75 240 2-6.6×11.6長穴 13 ステージアダプタ 7 90’(87’(0)° 9 20（9） 105 150 コードNo.： ステージアダプタ ： 38 152 75（70～80可能） 176-304 取付用T溝寸法 200 2-6.6キリø11ザグリ深12 125 ステージアダプタB： 176-310 ax） 用途： ワーク固定装置をステージ上に固定 ポジタイプの する際に使用。 目盛 ø2 （m 5 min） 41 ø（4外観寸法（1枚）： 50（W）×340（D）※×15（H）mm 29 282 29 340 ※Bタイプの場合 280（D）mm 220 質量： ステージアダプタ ： 1.5 kg 質量：1.5kg ネガタイプの ステージアダプタB： 1.2 kg N=2 3.5 3 目盛 90 T溝詳細図 コードNo.： 375-056 コードNo.： 176-309支持可能ワーク詳細図 コードNo.： 176-308 176-304ステージアダプタ スケール目盛： 1 mm 用途： 顕微鏡本体用設置台 用途： 顕微鏡の振動低減用防振台 用途： 対物レンズの倍率誤差確認用スケール 最大積載質量： 300 kg 支持方式： スプリングパッド ステージサイズ 最小目盛： 0.01 mm 外観寸法： 1200（W）×900（D）×65（0 H）mm 最大積載質量： 200 kg 2-6.6キリø11ザグリ 2017 スケール精度（ 12 20℃）： 1+L(µm)：任意の2線間の長さmm 質量： 約50 kg 外観寸法： 750（W）×550（D）×36（H）mm 1010 2010 3017 外観寸法： 76（W）×26（D）mm 適用機種： MF/MF-U 質量： 36 kg 4020 12 256 （12） 質量： 16 g ※画像ユニットを使用される場合は、外観寸法 適用機種： MF/MF-U A 176-304 ステージアダプタ ̶ × ○ 280 ※検査成績書は添付されておりません。 1800（W）×900（D）×740（H）mmの大型設置台 176-310 ステージアダプタB ̶ ○ × 　検査成績書 /ミツトヨロゴ校正証明書または、 No.02ATE760を推奨します。 JCSS校正証明書（JCSS校正結果付き）は、別途有償 ※1010モデルには不要です。 3.5 3 質量：1.2kg となります。 64 （152） 64 A部詳細図 　詳細につきましては、最寄りの営業所へご相談 ください。 176-310ステージアダプタ 17 18 1199 1133 88 228800 2233..77 1122 225566 1133 1100..55((00..22)) 222200 ø182 (載物ガラス有効 ø 径50 ） 2222..55 (103.945) ø184 ((テテーーブブルル内内径径）） 1199 1133 88 2 ø245 (載物ガラス 4 外5° 径） 15 25 50 （13） 1513 13 25 ((9966..336611)) （7） 7 7 50 228822 334422 9 3 2 9 3 2 1.5 1.5 35 35 52.5 15 52.5 15 42.8 45 45 55.5 10 42.8 55.5 10 43 43 33.6 33.6 37.9 37.9 48.5 48.5 117 117 5 5 8 8 11 20 11 20 87 42 12 87 42 12 ø12 ø12 45 66 45 66 16 31 16 31 74 74 93 93 ø28 75 ø2875 (テー ブル 内径 ） 241ø 45° 24˚

S YSTEM DIAGRAM 構成図 画像ユニット10DSet ImageX PRO 7000 ・画像ユニット MFシリーズ 社外カメラシステム 176-385 ・データ処理装置 ・メインソフトウェア Z軸モータドライブ必須オプション 画像AFケーブル（12AAN358） 選択オプション 校正用チャート（02ATN695） Cマウント 0.5× TVアダプタ フォーカスパイロットFP-05 970441 375-054 緑（375-057-10）/赤（375-058-10） フットスイッチ（12AAJ088） 外部コントロールケーブル 外部コントロールケーブル （12AAD128） （12AAG888） レチクル P. 10 フィルタ ・GIFフィルタ（12AAG806） 接眼レンズ 接眼レンズ カメラ・画像関連 ・LB80フィルタ（12AAG807） 10× 20× 2個組 2個組 P. 9, 13～16 378-866 378-858 1個 1個 378-866-5 378-858-5 ツインファイバ LEDリング LEDリング（スライド式専用） （176-387） （176-367-2） （176-371） デジタル角度 角度接眼レンズ 単眼装置 双眼装置 スライド式ノーズピース 接眼レンズ 176-313-10 375-043 176-392 176-394 ・176-370-1 ・176-370-2 MF 各種対物レンズ 対物レンズ P. 7 外部照明 P. 12 接眼レンズ・鏡筒関連 P. 9 内部照明 P. 11 LED照明装置 176-445 フィルタ ・GIFフィルタ その他 P. 17, 18 （ 12AAA645） 透過 落射 コントロールユニット ハロゲン照明装置 176-447 フィルタ 1010サイズ 2010サイズ 2017/3017/4020サイズ ・GIFフィルタ ・ND2フィルタ （ 12AAA645） （ 12AAA643） ・LB80フィルタ ・ND8フィルタ 微動付き回転 微動付き回転 （ 12AAA646） （ 12AAA644） テーブル（A）176-305 ステージアダプタB ステージアダプタ テーブル（B）176-306 電源コード 透過 落射 コントロールユニット 176-310 176-304 02ZAA000 （必須オプション） 演算処理 P. 16 Vブロック台 傾斜センタ クランプ装置 外部プリンタケーブル 外部プリンタ 172-378 172-604 176-107 （12AAA804） RS-232Cケーブル（12AAA807） フットスイッチ （12AAJ088） QM-Data200（264-160-10） 19 20

S YSTEM DIAGRAM 構成図 画像ユニット10DSet ImageX PRO 7000 ・画像ユニット MF-Uシリーズ 社外カメラシステム 176-385 ・データ処理装置 ・メインソフトウェア Z軸モータドライブ必須オプション 画像AFケーブル（12AAN358） 選択オプション 校正用チャート（02ATN695） Cマウント 0.5× TVアダプタ フォーカスパイロットFP-05 970441 375-054 緑（375-067-10）/赤（375-068-10） フットスイッチ（12AAJ088） 外部コントロールケーブル （12AAD128） レチクル P. 10 接眼レンズ 接眼レンズ 10× 20× カメラ・画像関連 フィルタ（外部照明用） 2個組 2個組 ・ GIFフィルタ（12AAG806） 378-866 378-858 P. 9, 13～16 ・ LB80フィルタ（12AAG807） 明視野（UA/UB/UJ） 明暗視野（UC/UD/UK） 落射 ツインファイバ 150 Wファイバ 調心・同焦付き手動 調心付き電動 電動レボルバ4穴 手動レボルバ4穴 接眼レンズ・鏡筒関連 （176-387） （176-316） レボルバ4穴 378-018 レボルバ5穴 378-216 176-212 176-211 P. 9 MF-U 外部照明 P. 12 外部コントロール ケーブル RS-232Cケーブル （12AAG888） （12AAA807） 明視野専用対物レンズ 画像ユニットへ接続 明暗視野専用対物レンズ 対物レンズ P. 8 微分干渉ユニット 偏光装置 P. 11 378-092 内部照明 5X,10X（378-080） ポラライザ 20X（378-079） 50X,SL20X（378-078） アナライザ LED照明装置 176-446 フィルタ（透過/落射用） 100X,SL80X,SL50X（378-076） ・GIFフィルタ その他 P. 17, 18 （ 12AAA645） 透過 落射 コントロールユニット ハロゲン照明装置 176-448 フィルタ（透過用） 1010サイズ 2010サイズ 2017/3017/4020サイズ ・GIFフィルタ ・ND2フィルタ （ 12AAA645） （ 12AAA643） ・LB80フィルタ ・ND8フィルタ 微動付き回転 微動付き回転 コントロールユニット 透過 （ 12AAA646） （ 12AAA644） テーブル（A）176-305 ステージアダプタB ステージアダプタ テーブル（B）176-306 電源コード 176-310 176-304 02ZAA000 （必須オプション） 演算処理 P. 16 Vブロック台 傾斜センタ クランプ装置 外部プリンタケーブル 外部プリンタ 172-378 172-604 176-107 （12AAA804） RS-232Cケーブル（12AAA807） フットスイッチ （12AAJ088） QM-Data200（264-160-10） 21 22

S PECIFICATIONS 仕様 MFシリーズ MF-Uシリーズ マニュアルタイプ マニュアルタイプ マニュアル マニュアル 本体 本体 1010 2010 2017 3017 4020 1010 2010 2017 3017 4020 MF-A1010D MF-A2010D MF-A2017D MF-A3017D MF-A4020D 2軸（X・Y） 明視野仕様 3軸（X・Y・Z） MF-UB1010D MF-UB2010D MF-UB2017D MF-UB3017D MF-UB4020D 176-961-10 176-962-10 176-963-10 176-964-10 176-965-10 176-976-10 176-977-10 176-978-10 176-979-10 176-980-10 MF-B1010D MF-B2010D MF-B2017D MF-B3017D MF-B4020D 3軸（X・Y・Z） 明暗視野仕様 3軸（X・Y・Z） MF-UD1010D MF-UD2010D MF-UD2017D MF-UD3017D MF-UD4020D 176-966-10 176-967-10 176-968-10 176-969-10 176-970-10 176-986-10 176-987-10 176-988-10 176-989-10 176-990-10 測定精度（20℃ 無負荷時）※2 （2.2+0.02L）µm　L：測定長（mm） 測定精度（20℃ 無負荷時）※2 （2.2+0.02L）µm　L：測定長（mm） 最小表示量 高精度デジタルスケール搭載 最小表示量 高精度デジタルスケール搭載 1、0.5、0.1 µm切り換え 1、0.5、0.1 µm切り換え 標準付属：ティルティング鏡筒 単眼装置、双眼装置※1 鏡筒 標準付属：カメラポート（観察：カメラ = 50:50　固定） ※4 鏡筒 標準付属：カメラポート（観察：カメラ=50:50　固定）※4 標準付属：レチクル（鎖線十字線 線幅5 µm） 標準付属：レチクル（鎖線十字線 線幅5 µm） 　オプション：各種レチクル 観察部 　オプション：各種レチクル 観察部 傾斜角度 　附視角0-30° 傾斜角度 　附視角25° 観察像 正立像 観察像 正立像 観察方法※1 明視野、暗視野（明暗視野仕様のみ） 観察方法 明視野観察 　オプション：簡易偏光、微分干渉観察 接眼レンズ 標準付属：10×（視野数：24） 接眼レンズ 標準付属：10×（視野数：24） 　オプション： 　オプション： 15×、20×、角度接眼10×、デジタル角度接眼10× 15×、20× レボルバ※1 手動、電動 のどちらかを選択 対物レンズ 標準付属：3×（作動距離：77 mm） 　オプション：1×、5×、10×、20×、50×、100×、スライド式ノーズピース（2本取付）※5 対物レンズ※1 明視野仕様 M Plan Apo、G Plan Apoシリーズ 明暗視野仕様 測定範囲 BD Plan Apoシリーズ 100×100 mm 200×100 mm 200×170 mm 300×170 mm 400×200 mm 測定範囲 100×100 mm 200×100 mm 200×170 mm 300×170 mm 400×200 mm 最大積載量 10 kg 20 kg 15 kg ステージ 最大積載量 送り機構 手動　クイックリリース機構（ゼロセットスイッチ内蔵） ステージ 10 kg 20 kg 15 kg 送り機構 手動 クイックリリース機構（ゼロセットスイッチ内蔵） スイベル量 － 　±5° 　±3° スイベル量 ー 　±5° 　±3° 内部照明※1 LED照明装置 白色LED（透過・垂直落射）、無段階調光 LED照明装置 白色LE（D透過・垂直落射）、無段階調光 ハロゲン照明装置 12 V、50 Wハロゲン（透過・垂直落射）、無段階調光 内部照明※1 外部照明 オプション：LEDリング照明、リングファイバー照明、ツインファイバー照明 ハロゲン照明装置 12 V、50 Wハロゲン（透過）、無段階調光 15 V、150 W（垂直落射）、無段階調光 送り機構 手動左右両ハンドル（粗動：30 mm/回転、微動：0.2 mm/回転） 外部照明 オプション：ツインファイバー照明 Z軸 最大被検物高さ 150 mm 220 mm 送り機構 手動左右両ハンドル（粗動：30 mm/回転、微動： Z軸 0.2 mm/回転） 本体 562×730×667 mm 624×745×667 mm 642×892×782 mm 692×892×782 mm 756×892×782 mm 最大被検物高さ 150 mm 220 mm 寸法 コントロールユニット － 出力 RS-232C出力、画像ユニット用USB出力 （W×D×H） 照明装置用 本体 562×730×667 mm 624×745×667 mm 642×892×782 mm 692×892×782 mm 756×892×782 mm コントロールユニット 114×360×96 mm 寸法 コントロールユニット ー （W×D×H） 出力 RS-232C出力、画像ユニット用USB出力 照明装置用 コントロールユニット 114×360×96 mm 質量 約70 kg 約75 kg 約150 kg 約160 kg 約165 kg 質量 約70 kg 約75 kg 約150 kg 約160 kg 約165 kg 最大消費電力※3 LED仕様：45 W、ハロゲン仕様：160 W AC電源入力コネクタ：100-240 V 最大消費電力※3 LED仕様：55 W、ハロゲン仕様：240 W（垂直落射15 V、150 W） AC電源入力コネクタ：100-240 V 電源 電源コード：02ZAA000（必須オプション） 電源 電源コード：02ZAA000（必須オプション） Z軸モータドライブ Z軸モータドライブ Z軸モータドライブ Z軸モータドライブ 本体 本体 1010 2010 2017 3017 4020 1010 2010 2017 3017 4020 MF-J2017D MF-J3017D MF-J4020D 3軸（X・Y・Z） 明視野仕様 3軸（X・Y・Z） MF-UJ2017D MF-UJ3017D MF-UJ4020D 176-891-10 176-892-10 176-893-10 176-894-10 176-895-10 176-896-10 送り機構 電動（送り速度最大：20 mm/s）、下限リミット設定（ワークとの衝突防止） Z軸 明暗視野仕様 3軸（X・Y・Z） MF-UK2017D MF-UK3017D MF-UK4020D 最大被検物高さ 220 mm 176-897-10 176-898-10 176-899-10 本体 642×892×782 mm 692×892×782 mm 756×892×782 mm 送り機構 電動（送り速度最大：20 mm/s）、下限リミット設定（ワークとの衝突防止） Z軸 寸法 コントロールユニット 355×364×106.5 mm 最大被検物高さ 220 mm （W×D×H） 照明装置用 本体 642×892×782 mm 692×892×782 mm 756×892×782 mm コントロールユニット 114×360×96 mm 寸法 コントロールユニット 355×364×106.5 mm 出力 RS-232C出力、画像ユニット用USB出力 （W×D×H） 照明装置用 質量 約160 kg 約170 kg 約175 kg コントロールユニット 114×360×96 mm 出力 RS-232C出力、画像ユニット用USB出力 最大消費電力※3 LED仕様：275 W、ハロゲン仕様：390 W AC電源入力コネクタ：100-240 V 質量 約160 kg 約170 kg 約175 kg LED仕様：285 W、 その他仕様はマニュアルタイプに順ずる。 最大消費電力※3 ハロゲン仕様：470 W（垂直落射15 V、150 W） AC電源入力コネクタ：100-240 V ※1：必須選択オプション ※2：検査方法　JIS B 7153準拠 その他仕様はマニュアルタイプに順ずる。 ※3：顕微鏡本体と必須オプション照明装置のみを組み合せた場合（Z軸モータドライブ機の場合はコントロールユニットも含む） ※1：必須選択オプション ※4：Cマウントは別途必要 ※2：検査方法　JIS B 7153準拠 ※5：スライドノーズピース（2本取付）は、工場出荷オプション ※3：顕微鏡本体と必須オプション照明装置のみを組み合せた場合（Z軸モータドライブ機の場合はコントロールユニットも含む） ※4：Cマウントは別途必要 23 24

D IMENSIONS 外観寸法図 MFシリーズ マニュアル ※MF-A, Bタイプ共通 単位：mm Z軸モータドライブ 単位：mm MF-B1010D MF-B2010D MF-J2017D MF-J3017D 259 96 259 96 244～330 96 244～330 96 327 327 249 78 249 78 249 249 86 36 168 168 210 215 16 168 168 210 215 16 114 360 551 121 114 360 551 121 114 360 215 234+50 300+50 727+50 269+100 355+100 742+50 114 360 215 100 205 351 100 85 147 621 120.3 150 255 401 150 85 147 621 120.3 MF-B2017D MF-B3017D MF-J4020D 259 96 259 96 244～330 96 327 327 249 78 249 78 249 EXT. EXT. LOAD LOAD REVOLVER REVOLVER FOOT FOOT SW SW USB USB SERIAL SERIAL 360 360 621 121 360 621 121 114 114 200 114 215 305 451 200 100 147 621 120.3 205+100 351+100 889+85 255+150 401+150 889+85 291 291 コントロールユニット MF-B4020D 259 96 327 249 78 355 364 EXT. LOAD REVOLVER FOOT SW USB SERIAL 114 360 621 121 305+200 451+200 889+100 25 26 247 200 247 667 782 782 417 464 464 79 79 79 360 360 360 205 667 247 782 422 464 79 79 360 360 106.5 247 782 464～684 247 782 464～684 360 360 247 782 464～684 360

D IMENSIONS 外観寸法図 MF-Uシリーズ マニュアル ※MF-UA, UB, UC, UDタイプ共通 単位：mm Z軸モータドライブ ※MF-UJ, UKタイプ共通 単位：mm MF-UB1010D MF-UB2010D MF-UJ2017D MF-UJ3017D 259 244～330 356 96 259 356 96 96 244～330 96 231 125 231 125 231 231 86 36 168 168 210 215 16 168 168 210 215 16 114 360 551 121 114 360 551 121 234+50 300+50 727+50 269+100 355+100 742+50 114 360 215 114 360 215 100 205 351 100 85 147 621 120.3 150 255 401 150 85 147 621 120.3 MF-UB2017D MF-UB3017D MF-UJ4020D 259 96 259 96 244～330 96 356 356 231 231 125 231 125 EXT. EXT. LOAD LOAD REVOLVER REVOLVER FOOT FOOT SW SW USB USB SERIAL SERIAL 114 360 215 360 114 621 121 205+100 351+100 121 360 114 621 255+150 401+150 200 305 451 200 100 147 621 120.3 291 889+85 291 889+85 コントロールユニット MF-UB4020D 259 96 356 231 125 355 364 EXT. LOAD REVOLVER FOOT SW USB SERIAL 114 360 621 121 305+200 451+200 889+100 27 28 247 200 247 667 782 782 565 612 171 612 171 171 360 360 360 205 667 247 782 570 612 171 171 360 360 106.5 247 782 612~832 247 782 105 612～832 105 360 360 247 782 612～832 105 360

D IMENSIONS 外観寸法図 抜群の信頼性 国家標準にトレーサブル 国家 国立研究開発法人 産業技術総合研究所 計量標準総合センター 【 NMIJ, AIST 】 特定 産業技術総合研究所 計量標準総合センター ミツトヨでは日本の国家標準に直接つながった長さ標準器を保有 （NMIJ/AIST） 標準 協定世界時に同期した原子時計 標準器 協定世界時に同期した原子時計及び光周波数コム装置 し、測定機器の校正に使用する標準器の校正を行うことにより、お ステージ上面図 ※全タイプ共通 単位：mm 客様がご使用になる各種測定機器のトレーサビリティ確立と維持を 二次 ミツトヨ 標準管理課 ミツトヨ 宇都宮計量標準 行っています。更に高精度な長さ測定に必要不可欠な温度の校正 【 JCSS認定事業者 No.0067】 特定二次 キャリブレーションセンタ 20-M6深さ14 20-M6深さ14 標準 基準周波数発振器 標準器 （JCSS認定事業者 No.0031） ø11.5皿モミ90° ø11.5皿モミ90° 十字穴付皿小ネジ付属 事業も実施しております。 （光周波数コム装置の基準器として使用） 長さ用633nmよう素分子吸収線波長安定化He-Neレーザ装置 十字穴付皿小ネジ付属 1010サイズ 2010サイズ ミツトヨ 標準管理課 ミツトヨ 宇都宮計量標準 100×100 mm 200×100 mm 【JCSS認定事業者 No.0067】 常用参照 キャリブレーションセンタ 長さ用633 nm よう素分子吸収線波長安定化He-Neレーザ装置 標準 （JCSS認定事業者 No.0031） 180 250 長さ用633nm実用波長安定化He-Neレーザ装置 及び光波干渉測長機（標準尺用） ミツトヨ 宇都宮キャリブレーションセンタ 【JCSS認定事業者 No.0031】 長さ用633 nm 実用波長安定化 He-Neレーザ装置 検査・校正機器 標準尺・基準スケール 25 70 25 25 70 25 実用 測定顕微鏡 220 220 基準スケール 280 290 標準 350 測定顕微鏡 ※上図は測定顕微鏡のトレーサビリティの概略を示したものです。 2017サイズ 3017サイズ 200×170 mm 300×170 mm 安心のサポート体制 270 370 世界トップクラスのグローバルネットワーク 20-M6深さ14 20-M6深さ14 ø11.5皿モミ90º ø11.5皿モミ90º 十字穴付皿小ネジ付属 196（3 昭和38）年、販売会社MTI社（米国）設立以来、全世界にそのマーケットを拡大しているミツトヨ。 十字穴付皿小ネジ付属 現在、30カ国・地域に研究開発・製造・販売・技術サービス拠点と60カ国以上の代理店網を構築しており 25 70 25 25 70 25 ます。各地域社会に合わせたサービスで、 世界のトップメーカーとしての地位を不動のものとしております。 220 220 350 450 292 342 410 510 本社 270 370 20-M6深さ14 20-M6深さ14 ø11.5皿モミ90° 4020サイズ ø11.5皿モミ90° 十字穴付皿小ネジ付属 十字穴付皿小ネジ付属 400×200 mm 440 販売 25 70 25 25 70 25 研究開発 20-M6深さ14 220 282 220 ø11.5皿モミ90º 350 450 十字穴付皿小ネジ付属 410 332 510 25 70 25 220 520 392 610 440 20-M6深さ14 ø11.5皿モミ90° 十字穴付皿小ネジ付属 25 70 25 220 520 382 29 610 30 20.5 20.5 20.2 180 240 25 70 25 220 240 256 30 240 25 70 25 280 282 300 25 70 25 342 282 300 25 70 25 342 282 300 342 240 25 70 25 282 300 342 20.5 20.2 150 240 25 70 25 220 256 280 25 70 25 240 282 300 342 25 70 25 282 300 342

座標測定機 画像測定機 形状測定機 光学機器 精密センサ 試験・計測機器 スケールユニット 測定工具、測定基準器、計測システム 海外拠点 国内営業 ･サービス拠点 営業所・事務所 営業所・事務所・M3 Solution Center 拠点 代理店ネットワーク 30ヵ国・地域 60ヵ国以上 こちらからすべての拠点をご確認いただけます。 https://www.mitutoyo.co.jp/corporate/network/ お求めは当店で̶ 最寄りの営業所をご確認いただけます。 https://www.mitutoyo.co.jp/corporate/network/japan/#sale 当社商品は外国為替および外国貿易法に基づき、日本政府の輸出許可の取得を必要とする場合が あります。商品の輸出や技術情報を非居住者に提供する場合は最寄りの営業所へご相談ください。 ●当社商品は製造現場での使用を前提とした、工業用商品として設計、製造、販売されています。 ●本カタログで使用される当社商品名、サービス名およびロゴマークは、日本およびその他の国における株式会 　社ミツトヨの登録商標または商標です。また、その他の会社名および商品名等は、各社の登録商標または商標で 　ある場合があります。 〒213-8533 川崎市高津区坂戸1-20 -1 ●仕様、価格、デザイン（外観）ならびにサービス内容などは、予告なく変更することがあります。ご了承ください。 https://www.mitutoyo.co.jp ●本カタログに掲載されている仕様は2025年3月現在のものです。 148