表面粗さ・輪郭形状・表面性状測定機 CNC形状測定機シリーズ

表面粗さ・輪郭形状・表面性状測定機 CNC形状測定機シリーズ 形 状 測 サーフテスト エクストリーム 定 機 フォームトレーサ エクストリーム Catalog No.15021(3)

CNC表面粗さ測定機 クランクシャフト プリンタロール Surftest Extreme 測定時間 測定時間 手動 CNC 手動 CNC CNC表面粗さ・輪郭形状測定機 90分 20分 50分 15分 （推定時間は10本分） CNC表面性状測定機 測定箇所数 ：約40箇所 測定箇所数 ：約3箇所 / 1ワーク Formtracer Extreme 測 測定位置 ：ピン / ジャーナル / スラスト面 測 測定位置 ：円筒母線上 定 測定方向 ：円筒部軸方向 / スラスト部サイド面 定 測定方向 ：母線軸方向 段取り ：ワーク移動 / ワーク姿勢変更 / 通り出し 段取り ：ワーク交換 / 通り出し 条 解析内容 ：表面粗さ / 真直度 条 解析内容 ：表面粗さ / 真直度 件 ★ 測定方向の通り出しやシャフトを立てる作業は工数が 件 ★ 1本当たり単純な測定だけど、1日の測定本数が多く、 測定のトータルスループットの向上で、生産性向上に大きく貢献 掛かり、2人作業になりがち！ その度に必要な通り出しの工数は合計すると多大！ 新時代の自動測定を提案するCNC形状測定機シリーズ。 パートプログラムを切換えることで、測定物にあった専用測定機に変身 シリンダヘッド 非球面レンズ 測定時間 測定時間 測定の効率化を目指して 手動 CNC 手動 CNC ■従来の測定プロセス 90分 30分 40分 5分 ワ ワ 測 測 （ ー ー 定 PC解 印 測定箇所数 ：約60箇所 測定箇所数 ：約2箇所 測 測定位置 ：6面の表面と穴内径 測 測定位置 ：光軸断面直行位置 定 ／ ク ク 開 記析 刷 定 測定方向 ：上面・下面・側面・斜め穴等多数方向 定 測定方向 ：スタライス引き方向 着 レ 段取り ：ワーク移動 / ワーク姿勢変更 / 通り出し等 段取り ：ワーク回転 / ワークレベル出し / 光軸位置出し 録 条 解析内容 ：表面粗さ / 輪郭形状 条 解析内容 ：輪郭形状 / 設計値照合 / 表面粗さ 脱 ベ 始 リ 位 図 件 ★ 測定位置へ移動させる姿勢変更が10回以上必要なため、 件 ★ 光軸位置の断面形状を測定することが重要であり、 測定効率は非常に悪い！ そのセッティングは多大な工数が発生！ ン 置 形 グ 決 読 他 め 取 長時間 ） オペレータを ミッションギヤ モータ用ロータ/スピンドル 拘束 測定時間 測定時間 ワーク数分繰り返す 手動 CNC 手動 CNC 20分 5分 40分 20分 ■CNC測定 （推定時間は4歯分） （推定時間は20個分） 測定箇所数 ：約4箇所 測定箇所数 ：約2箇所 / 1ワーク 測ワ 測 測定位置 ：ギヤ頂角 測 測定位置 ：円筒母線上 定ー 定 測定方向 ：接線方向 定 測定方向 ：母線軸方向 開ク 段取り ：ワーク回転移動 / ワーク位置決め 段取り ：ワーク交換 / 通り出し 条 解析内容 ：表面粗さ / 真直度 始パ 解析内容 ：輪郭形状 条 件 ★ 90°毎の回転位置決めが単純作業になるが、作業者による 件 レ ★ 1個の測定は単純だけど、多数個を測定するので、 ッ 熟練度で工数、精度に差が発生！ 1個のセッティングは工数多大！ ト 着 CNC測定機が無人運転（測定実行） バルブボディ 脱 オペレータは他の業務へ 測定時間 手動 CNC 40分 15分 測定箇所数 ：約20箇所 測 測定位置 ：シート面と穴 定 測定方向 ：上 穴3方向の内径 段取り ：ワーク移動 / ワーク姿勢変更 / 通り出し等 条 解析内容 ：表面粗さ 件 ★ シート面は、簡単にワークを移動させて測定できるけれど、 穴内径粗さは測定位置が見えないので位置決めが不安！ 1 2

測定効率を向上させるさまざまな機能 CNC制御による新測定機能で測定効率アップ パートプログラムによる複数箇所・複数ワークの 高速位置決めによる高スループット測定 手元で測定機を操作できる、使いやすいリモート ・追従測定機能 連続自動測定 ・世界最高速の最大200mm/sの高駆動速度と多軸同時制御により、 ボックス Z2軸※制御により、検出器の測定範囲よりも広い範囲の形状（輪郭） ・Y軸テーブルを使用することにより、多数個の連続自動測定を実現。 測定箇所への高速位置決めを実現 ・アイコンを使用した分かり易い操作ボタンを装備 の倣い測定が可能。 （※CS-5000CNCは最大40mm/s） ・自動実行中も自由に速度変更可能な速度オーバーライドつまみも 従来機では複数回に分けて Z 装備 2 測定していた箇所を、一回で 速度をリアルタイム 測定可能。 に変更可能な速度オ ※検出部の上下運動 Y軸 ーバーライドつまみ ・上下面連続測定機能（輪郭形状測定のみ） 両側円すいスタイラスとの組合せにより、上下面の連続測定連続 Y軸テーブル付 測定が可能です。 アイコン使用した分かり易い操作ボタン 従来、測定することが困難だった、ねじの有効径等を上下面連続 ・α軸（駆動部傾斜）付のモデルでは、途中で段取り替えすること無く データを用いて簡単に解析できます。 傾斜面を含む複数箇所の表面を連続測定可能。 下向き（下面）測定 上向き（上面）測定 ・α軸またはオプションのオートレベリングテーブルを使用した、自動 水平出し機能搭載。 オペレータや測定機・ワークを保護する衝突安全機能も装備 →安全装置により、衝突発生時に測定機が自動停止 輪郭形状検出器 測定方向 ・斜め測定機能（表面粗さ） α軸付 安全装置作動衝突方向 X軸とY軸の同期制御を行うことにより、斜め移動測定を実現測定 表面粗さ検出器 方向を駆動部に平行になるようにワークの再セッティングすること なく連続測定が可能。 X軸駆動 ・検出器、駆動部のケーブルをすべて本体内配線にすることにより、 測定誤差要因のひとつになる配線の擦れが無くなり、高速駆動を 実現します。 3 4

測定のトータルスループット向上が生産性向上に大きく貢献します。 新時代の自動測定を提案するCNC形状測定機シリーズ CNC測定を強力にサポートする表面粗さ輪郭形状解析 ソフトウェアFORMTRACEPAK ・ワーク同定（座標系設定） パートプログラム作成時の位置とワークがずれていても、ワーク 座標系を設定し同じ位置を測定可能 エッジ測定により座標系を同定 サーフテスト エクストリーム サーフテスト エクストリーム SV-3000CNC SV-M3000CNC （駆動部傾斜機構付仕様） （Y軸コラム移動形表面粗さ測定機） （写真は特殊仕様です） ・複数部品測定対応 1個分のパートプログラムをループ機能により繰返し実行して、 同一形状の多数個を一括測定可能 ループ機能による繰返し測定 1個分のパートプログラム ・自動化にも対応 外部制御機能を追加するオプションソフトウェアFORMEioにより、 PLC（プログラマブル・ロジック・コントロール）から測定機の状態監視 フォームトレーサ エクストリーム フォームトレーサ エクストリーム と、測定機の制御を行なうことができます。 SV-C4500CNC HYBRID SV-C4500CNC （非接触検出器装着例） （輪郭形状測定用検出器装着例） （駆動部傾斜機構＋Y軸テーブル付仕様） フォームトレーサ エクストリーム CS-5000CNC/CS-H5000CNC （写真はCS-H5000CNC、3Dオートレべリングテーブル付小型θ1軸、Y軸テーブル付仕様） 5 6

CNC表面粗さ測定機 仕 様 Surftest Extreme SV-3000CNC ■特長 ■SV-3000CNC ・X1・Y・Z2軸の最大駆動速度は、最大200mm/sで高速位置 コラムタイプ 標準コラム ハイコラム 決めでき、複数断面測定や複数ワーク測定の高スループット X1軸 測定範囲 200mm 化が可能です。 分解能 0.05µm 測長ユニット 反射型リニアエンコーダ ・X・Y軸方向の2軸同時制御による斜め測定が可能です。 駆動速度 CNCモード 最大200mm/s ・α軸付のタイプでは、X1軸を電動傾斜により水平面、斜面の ジョイスティックモード 0～50mm/s 連続測定が可能です。 測定速度 0.02～2mm/s ・Y方向に測定領域が拡大するため、複数ワークの一括測定も 測定方向 引き方向 実現できます。 真直精度 0.5µm/200mm Y軸テーブル部 測定範囲 200mm ・Z1軸検出器は、測定力0.75mNタイプを標準搭載しており 分解能 0.05µm ます。 測長ユニット 反射型リニアエンコーダ 駆動速度 CNCモード 最大200mm/s ジョイスティックモード 0～50mm/s 最大積載質量 20kg（重心位置はテーブル中心からø100mm以内） 真直精度 0.5µm/200mm 指示精度（20°C、輪郭モード） ±(2+2L/100)µm　L： 任意2点間寸法（mm） テーブルサイズ 200×200mm 外観寸法（幅×奥行×高さ） 320×646×105mm 質量 35kg Z2軸（コラム） 移動範囲 300mm 500mm 分解能 0.05µm 測長ユニット 反射型リニアエンコーダ 駆動速度 CNCモード 最大200mm/s ジョイスティックモード 0～50mm/s 指示精度（20℃） α軸無機種 ±(1.5+|10H| /1000)µm　H： Z2軸測定高さ（mm） α軸付機種 － ベースサイズ（幅×奥行） 750×600mm ベース素材 斑れい岩 測定解析仕様 22ページのFORMTRACEPAK 表面粗さ測定・解析仕様をご参照ください。 外観寸法（幅×奥行×高さ） 800×620×1000mm 質量（Y軸テーブル部及び防振台は含まない） 240kg 使用温度、湿度範囲　 15～25°C、20～80%RH（ただし、結露しないこと） 保存温度、湿度範囲 -10～50°C、5～90%RH（ただし、結露しないこと） ※ 測定機本体構成品の一部に自然石を使用しているため、石表面に模様のある場合があります。 ■α軸部（搭載機種のみ共通） ■防振台（必須オプション） 傾斜角度 - 45（°反時計回り） 除振機構 ダイヤフラム型空気ばね +10（°時計回り） 固有振動数 2.5～3.5Hz 傾斜回転速度 1rpm 減衰機構 オリフィス 傾斜角度分解能 0.000225° 水平維持機構 メカニカルバルブによる自動制御 質量 9kg 供給空気圧 0.4MPa 搭載許容質量 350kg SV-3000CNC （駆動部傾斜機構＋Y軸テーブル付仕様） 外観寸法 1000×895×715mm （幅×奥行×高さ） 質量 280kg 7 8

CNC表面粗さ測定機 仕 様 Surftest Extreme SV-M3000CNC ■SV-M3000CNC X1軸 測定範囲 200mm ■特長 分解能 0.05µm ・エンジンブロック、クランクシャフト等の大型・重量ワークに 測長ユニット 反射型リニアエンコーダ 対応したCNC表面粗さ測定機です。 駆動速度 CNCモード 最大200mm/s ジョイスティックモード 0～50mm/s ・X1・Y・Z2軸の最大駆動速度は、最大200mm/sで高速位置決め 測定速度 0.02～2mm/s でき、複数断面測定や複数ワーク測定の高スループット化が 真直精度 標準型検出器ホルダ使用時 0.5µm/200mm 可能です。 ロング型検出器ホルダ使用時 ①標準型検出器ホルダ 0.7µm/200mm ・コラム（Z2軸）移動構造を採用した評価型表面粗さ測定機です。 回転型検出器 上下方向 0.5µm/200mm ホルダ使用時 前後方向 0.7µm/200mm 小型表面粗さ測定機（ハンディータイプ）を用いて、製造現場で システム 標準型検出器ホルダ使用時 Rz<0.1µm しか評価できなかった大型・重量ワークの表面粗さ測定を ノイズ Rz※ ロング型検出器ホルダ使用時 Rz<0.2µm することも可能です。 回転型検出器ホルダ使用時 上下方向：Rz<0.2µm　前後方向：Rz<0.4µm ・検出器ホルダはご用途に合わせて下記3種類から選択頂け Z2軸（コラム） 移動範囲 500mm ②ロング型検出器ホルダ 測定例）ロング型検出器ホルダ 分解能 ます。 0.05µm 測長ユニット 反射型リニアエンコーダ ①標準型（検出器：下向き） 測定力 CNCモード 最大200mm/s ②ロング型（検出器：下向き＋深穴等への対応可） ジョイスティックモード 0～50mm/s ③ 回転型（検出器：下向き、上向き、前向き、後ろ向きの4段階 Y軸 測定範囲 800mm 切替え） 分解能 0.05µm 測長ユニット 反射型リニアエンコーダ ・耐荷重100kgの大型回転テーブル（オプション）にも特注対応 ③回転型検出器ホルダ（検出器：下向き） 駆動速度 CNCモード 最大200mm/s 可能です。 ジョイスティックモード 0～50mm/s ・Z1軸検出器は、測定力4mNタイプと0.75mNタイプの2種類より 測定速度 0.02～2mm/s 選択可能です。 真直精度 標準型検出器ホルダ使用時 狭範囲 0.5µm/50mm 広範囲 2µm/800mm ロング型検出器ホルダ使用時 狭範囲 0.7µm/50mm ③回転型検出器ホルダ（検出器：上向き） 測定例）回転型検出器ホルダ 広範囲 3µm/800mm 　　 （検出器：後ろ向き） 回転型検出器ホルダ使用時 狭範囲 0.7µm/50mm （上下方向） 広範囲 3µm/800mm システム 標準型検出器ホルダ使用時 Rz<0.2µm ノイズ Rz※ ロング型検出器ホルダ使用時 Rz<0.3µm 回転型検出器ホルダ使用時 Rz<0.3µm 測定・解析仕様 22ページのFORMTRACEPAK 表面粗さ測定・解析仕様をご参照ください。 ベース部 ベースサイズ（幅×奥行） 600×1500mm ベース材質 スチール 大形θテーブル（オプション） 許容積載質量 300kg 防振ユニット 供給空気圧 0.4MPa 除振機構 ダイヤフラム型空気ばね 固有振動数 4.0～5.0Hz 減衰機構 オリフィス&オイルダンパ 水平維持機構 メカニカルバルブによる自動制御 外観寸法（幅×奥行×高さ） 1085×1695×1922mm 質量 1600kg（防振ユニット含む） 使用温度、湿度範囲　 15～25°C、20～80%RH（ただし、結露しないこと） 保存温度、湿度範囲 -10～50°C、5～90%RH（ただし、結露しないこと） ※システムノイズ Rzはガラス製オプチカルフラットを以下の条件で測定 ①X1軸水平状態 ②測定速度： 0.5mm/sec ③λc： 0.8 ④区間数： 5（ISO 4287 1997） ■α軸部（搭載機種のみ共通） 傾斜角度 - 45（°反時計回り） +10（°時計回り） 傾斜回転速度 1rpm SV-M3000CNC （Y軸コラム移動形表面粗さ測定機） 傾斜角度分解能 0.000225° （写真は特殊仕様です） 質量 9kg 9 10

CNC表面粗さ・輪郭形状測定機 仕 様 Formtracer Extreme SV-C4500CNC HYBRID ■特長 ● ■ SV-C4000CNC （従来品） ●SV-C4500CNC SV-C4500CNC HYBRID ・輪郭形状測定と表面粗さ測定を検出器交換することで、1台で X1軸（ 駆動部） 測定範囲 200mm 50 分解能 0.05µm 行える複合機種です。 mm 60 mm 測長ユニット 反射型リニヤエンコーダ ・接触式の表面粗さと輪郭形状検出器に加え、非接触式検出器を 10 19 駆動速度 CNCモード 最大200mm/s 搭載した mm HYBRIDタイプのCNC表面粗さ・輪郭形状測定機です。 mm ジョイスティックモード 0～50mm/s ① Z1軸測定範囲が10mmアップ 【輪郭形状測定】 （片角スタイラスSPH-71を取り付けた場合） 測定速度 0.02～2mm/s ・パワーアップした新検出器（輪郭形状測定専用）を搭載しています。 ●SV-C4000CNC（従来形） ●SV-C4500CNC 輪郭形状 測定方向 押し、引き両方向 真直精度 2µm/200mm ①測定範囲が10mm拡大（従来比）しています。 指示精度（20℃） ±(0.8＋4L /200)µm L： 測定長さ（mm） ② アーム取付け部にマグネットジョイントを採用しアーム交換が アームはねじ固定 表面粗さ 測定方向 引き方向 スピーディーに行えます。 アーム側着脱部 真直精度 0.5µm/200mm ③ 両側円すいスタイラスとの組合わせにより上下面連続測定が ② マグネット着脱 非接触 真直精度 0.5µm/200mm 可能です。 指示精度 ±(0.8＋4L /200)µm L： 測定長さ（mm） Y軸 測定範囲 200mm ④ 測定力をデータ処理装置部（FORMTRACEPAK）から指定（5段階） 分解能 0.05µm できます。 最大積載質量 20kg 【表面粗さ測定】 検出器側着脱部 Z1軸（ 検出部） 輪郭形状 測定範囲 60mm（水平状態より±30mm） ・JI（S 2001/1994/1982）, ISO, DINなど各国の規格に対応したパラメータ 下向き（下面）測定 上向き（上面）測定 分解能 0.02µm 解析が可能です。 測定方向 上下両方向（FORMTRACEPAKにより方向切替） スタイラス上下動 円弧運動 ・Z1軸検出器は、測定力0.75mNタイプが標準設定されています。 上下の測定方向は 測長ユニット 円弧スケール 【共通仕様】 ソフトウェアに て切替 指示精度（20℃） ±(0.8＋| 2H| /100)µm　H： 水平位置からの測定高さ（mm） ・X1・（Y）・Z2軸の最大駆動速度は、最大200mm/sで高速位置決めで 測定力 10, 20, 30, 40, 50mN（ソフトウェアによる切替） き、複数断面測定や複数ワーク測定の高スループット化が可能です。 追従角度 登り70° 下り70（°面性状による）有効径解析 穴径解析 スタイラス先端形状 円すい30°超硬合金・Y軸方向の2軸同時制御による斜め測定が可能です。　 表面粗さ 測定範囲 800µm/80µm/8µm ・Y方向に測定領域が拡大するため、複数ワークの一括測定も実現 分解能 0.01µm/0.001µm/0.0001µm できます。 測定力 0.75mN ・非接触検出器CPS2525とCPS0517選択搭載となります。 ③上下面連続測定機能 非接触検出器 測定範囲 1.2mm CPS2525※1 分解能 25nm 非接触検出器 測定範囲 0.1mm CPS0517※1 分解能 5nm Z2軸（コラム） 移動範囲 500 mm 分解能 0.05µm 測長ユニット 反射型リニヤエンコーダ 駆動速度 CNCモード 最大200mm/s 検出器スタンド ジョイスティックモード 0～50mm/s 指示精度（20℃） ±(3.5+15H/1000)µm　H： Z2軸測定高さ（mm） ベースサイズ（W×D） 750×600 mm ベース材質 斑れい岩 測定・解析仕様 22ページをご参照ください。 ※1：CPS2525とCPS0517は選択搭載となります。 ※ 測定機本体構成品の一部に自然石を使用しているため、石表面に模様のある場合があります。 SV-C4500CNC HYBRID（輪郭形状測定用検出器装着） SV-C4500CNC HYBRID（表面粗さ測定用検出器装着） 11 12

CNC表面粗さ・輪郭形状測定機 仕 様 Formtracer Extreme SV-C4500CNC ■特長 ●SV-C4000CNC （従来品） ●SV-C4500CNC ■SV-C4500CNC ・輪郭形状測定と表面粗さ測定を検出器交換することで、1台で コラムタイプ 標準コラム ハイコラム 行える複合機種です。 50 mm 60 X1軸（ 駆動部） 測定範囲 200mm mm 【輪郭形状測定】 分解能 0.05µm 10 ・パワーアップした新検出器（輪郭形状測定専用）を搭載しています。 19 mm mm 測長ユニット 反射型リニヤエンコーダ ①測定範囲が10mm拡大（従来比）しています。 ① Z1軸測定範囲が10mmアップ 駆動速度 CNCモード 最大200mm/s （片角スタイラスSPH-71を取り付けた場合） ジョイスティックモード 0～50mm/s ② アーム取付け部にマグネットジョイントを採用しアーム交換が ●SV-C4000CNC（従来形） ●SV-C4500CNC 測定速度 0.02～2mm/s スピーディーに行えます。 輪郭形状 測定方向 押し、引き両方向 ③ 両側円すいスタイラスとの組合わせにより上下面連続測定が 真直精度 2µm/200mm 可能です。 アームはねじ固定 指示精度（20℃） ±(0.8＋4L /200)µm L： 測定長さ（mm） ④ 測定力をデータ処理装置部（FORMTRACEPAK）から指定（5段階） アーム側着脱部 表面粗さ 測定方向 引き方向 できます。 ② マグネット着脱 真直精度 0.5µm/200mm 【表面粗さ測定】 Z1軸（ 検出部） 輪郭形状 測定範囲 60mm（水平状態より±30mm） ・JI（S 2001/1994/1982）, ISO, DINなど各国の規格に対応したパラメータ 分解能 0.02µm 解析が可能です。 測定方向 上下両方向（FORMTRACEPAKにより方向切替） ・Z スタイラス上下動 円弧運動 1軸検出器は、測定力0.75mNタイプが標準設定されています。 検出器側着脱部 測長ユニット 円弧スケール 【共通仕様】 下向き（下面）測定 上向き（上面）測定 指示精度（20℃） ±(0.8＋| 2H| /100)µm　H： 水平位置からの測定高さ（mm） ・X1・（Y）・Z2軸の最大駆動速度は、最大200mm/sで高速位置決めで 測定力 10, 20, 30, 40, 50mN（ソフトウェアによる切替） き、複数断面測定や複数ワーク測定の高スループット化が可能です。 追従角度 登り70° 下り70（°面性状による） ・Y軸付のタイプでは、X・Y軸方向の2軸同時制御による斜め測定が 上下の測定方向は ソフトウェアに スタイラス先端形状 円すい30°超硬合金 可能です。　 て切替 表面粗さ 測定範囲 800µm/80µm/8µm ・α軸付のタイプでは、X1軸を電動傾斜により水平面、斜面の連続 分解能 0.01µm/0.001µm/0.0001µm 測定が可能です。 有効径解析 穴径解析 測定力 0.75mN ・Y軸テーブル付のタイプでは、Y方向に測定領域が拡大するため、 Z2軸（コラム） 測定範囲 300 mm 500 mm 複数ワークの一括測定も実現できます。 分解能 0.05µm ・α軸付タイプ、Y軸付タイプ、α及びY軸付タイプ、α及びY軸無し 測長ユニット 反射型リニヤエンコーダ タイプにそれぞれ標準コラム及びハイコラムの計8機種をライン 駆動速度 CNCモード 最大200mm/s ③上下面連続測定機能 アップ。 ジョイスティックモード 0～50mm/s 指示精度（20℃） α軸無機種 ±(1.5+10H/1000)µm　H： Z2軸測定高さ（mm） α軸付機種 － ベースサイズ（W×D） 750×600 mm ベース材質 斑れい岩 測定・解析仕様 22ページをご参照ください。 ※ 測定機本体構成品の一部に自然石を使用しているため、石表面に模様のある場合があります。 検出器スタンド ■α軸部（搭載機種のみ共通） ■Y軸テーブル部（搭載機種のみ共通） 傾斜角度 - 45（°反時計回り） 測定範囲 200mm +10（°時計回り） 最小表示量 0.05µm 傾斜回転速度 1rpm 測長ユニット 反射型リニアエンコーダ 傾斜角度分解能 0.000225° 駆動速度 CNCモード 最大200mm/s 質量 9kg ジョイスティックモード 0～50mm/s 最大積載質量 20kg（重心位置はテーブル中心からø100以内） 真直精度 表面粗さモード 0.5µm/200mm 輪郭モード 2µm/200mm 指示精度（20°C、輪郭モード） ±(2+2L/100)µm L： 任意2点間寸法（mm） テーブルサイズ 200×200mm 外観寸法（幅×奥行×高さ） 320×646×105mm 質量 35kg SV-C4500CNC（輪郭形状測定用検出器装着） SV-C4500CNC（表面粗さ測定用検出器装着） 13 14

CNC表面形状測定機 仕 様 Formtracer Extreme CS-5000CNC/CS-H5000CNC ■特長 ■CS-5000CNC/CS-H5000CNC ・表面粗さと輪郭形状を一括測定可能な、高精度触針式CNC ・CS-5000CNCは、X1軸を電動傾斜により水平面、斜面の連続 符号 CS-5000CNC CS-H5000CNC 表面性状測定機です。 測定が可能です。 コラムタイプ 標準コラム ハイコラム 標準コラム ハイコラム X1軸 測定範囲 200mm ・X1軸の最大駆動速度は最大40mm/s、(Y)、Z2軸の最大駆動 ・Y軸テーブル付では複数ワークの測定などY方向位置決めに 分解能 0.005µm 速度は最大200mm/sで高速位置決めでき、複数断面測定や より測定領域が拡大します。 測長ユニット 透過型リニヤエンコーダ 複数ワーク測定の高スループット化が可能です。 ・本機は、高精度が要求される非球面レンズの測定にも実績 駆動速度 CNCモード 最大40mm/s ・X1軸、Z1軸には透過型リニアエンコーダを搭載し、X1軸：5nm、 があります。 ジョイスティックモード 0～40mm/s Z 測定速度 粗さ測定時：0.02～0.2mm/s、輪郭測定時：0.02～2mm/s 1軸：0.8nm/1.6nmの高分解能を実現し、輸郭形状・表面粗さ 高精度な本体もさることながら、測定精度に大きな影響を 測定方向 引き、押し両方向 の一括測定に対応しています。 及ぼすワークセッティング（傾き及びピーク点、ボトム点検出） 真直精度 標準長さスタライス使用時 (0.1+0.0015L)µm　L：駆動長さ(mm) (0.05+0.0003L)µm L：駆動長さ(mm) ・Z1軸検出器にはアクティブ制御方式を採用し動的測定力の を簡単かつ自動で行えるオプション（Y軸テーブル、3Dオート 2倍長さスタライス使用時 (0.2+0.0015L)µm　L：駆動長さ(mm) (0.1+0.0015L)µm　L：駆動長さ(mm) 変動を押さえたワイドレンジ測定が可能です。 レベリングテーブル）、及び測定手順作成、解析が簡単に行える 指示精度（20℃） ±(0.3+0.002L)µm L：駆動長さ(mm) ±(0.16+0.001L)µm L：駆動長さ(mm) ・X・Y軸方向2軸同時制御による斜め測定が可能です。 専用ソフトウェア（ASLPAK: 23ページ参照ください）がご好評 α軸 傾斜角度 - 45（°反時計回り）、+10（°時計回り） － ・Z いただいています。 1軸検出器には衝突安全装置が内蔵されていますので、万 Z1軸（検出部） 測定範囲 標準長さスタライス使用時 12mm 2倍長さスタライス使用時 24mm 一検出器本体がワークや治具に干渉した場合でも自動停止 分解能 標準長さスタライス使用時 0.0008µm します。 2倍長さスタライス使用時 0.0016µm スタライス上下運動 円弧運動 測長ユニット 透過型リニヤエンコーダ 指示精度（20℃） ±(0.3+|0.02H| )µm H：測定高さ(mm) ±(0.07+|0.02H| )µm H：測定高さ(mm) 測定力 標準長さスタライス使用時 4mN 一定 2倍長さスタライス使用時 0.75mN 一定 追従角度 登り60°、下り60°（面性状による） スタライス 標準長さスタライス 先端半径5µm、先端角度40°、ダイヤモンド 先端 標準長さボールスタライス 先端ボール半径0.25mm、サファイヤ 2倍長さスタライス 先端半径5µm、先端角度40°、ダイヤモンド 2倍長さスタライス － 先端半径2µm、先端角度60°、ダイヤモンド 2倍長さポールスタライス 先端ボール半径0.25mm、サファイヤ 測定面方向 下向き アクティブ制御方式を採用したワイド レンジ検出器 Z2軸（コラム） 移動範囲 300mm 500mm 300mm 500mm 分解能 0.05µm 測長ユニット 反射型リニアエンコーダ 駆動速度 CNCモード 最大200mm/s ジョイスティックモード 0～50mm/s ベースサイズ（幅×奥行） 750×600mm ベース材質 斑れい岩 測定・解析仕様 22ページをご参照ください。 ※ 測定機本体構成品の一部に自然石を使用しているため、石表面に模様のある場合があります。 ■Y軸テーブル部（搭載機種のみ共通） 測定範囲 200mm 最小表示量 0.05µm 測長ユニット 反射型リニアエンコーダ 駆動速度 CNCモード 最大200mm/s ジョイスティックモード 0～50mm/s CS-H5000CNC 最大積載質量 20kg（重心位置はテーブル中心からø100以内） （Y軸テーブル、3Dオートレべリングテーブル付きθ1軸付仕様） 真直精度 0.5µm/200mm 指示精度（20°C、輪郭モード） ±(2+2L/100)µm L： 任意2点間寸法（mm） テーブルサイズ 200×200mm 外観寸法（幅×奥行×高さ） 320×646×105mm 質量 35kg 15 16

表面粗さ・輪郭解析プログラム FORMTRACEPAK 測定機のコントロールから表面粗さ解析、輪郭形状解析、 輪郭照合、及び検査成績書作成までを標準機能として トータルサポート！ 直接変更可能な測定手順ウィンドウ 測定制御 測定手順ウインドウに表示されている項目を直接変更することが 1回のみの測定にはシングルモード、パートプログラムを作成し、 可能です。 同一ワークを複数個測定するにはティーチングモードなど、用途に 例：評価条件変更、粗さ規格変更による再計算等々 合わせたモードを備えております。 また、測定から報告書印刷までの一連の流れをパートプログラムに 組込む事ができ、効率よく測定→解析→報告書出力が行えます。 さらに、任意のタイミングで 写真入のコメントを表示する 機能もあり、ワークのセッティ ングなどの注意点を指示する 測定手順書の役割を組込む こともできます。 操作手順の呼び出しは、プルダウンメニューから簡単に選択でき、 すぐに測定を行なえます。 操作メッセージウィンドウ 次の手順を説明する操作メッセージウィンドウ搭載。 多彩な表示に対応した表示ウィンドウ オンラインヘルプ機能※ ボタン編集機能 ●タブ選択式図形ウィンドウ いつでも閲覧できるオンラインヘルプを搭載。目次別やキーワード 使用頻度の低いボタンは、隠すことができます。よく使うボタンだけ タブを選択することにより、輪郭や粗さ、照合結果 検索に加え、クリックするだけでメニューやウィンドウのヘルプを を表示し、その分図形ウィンドウを大きく表示するなど、お客様の など見たいデータを確認できます 表示する状況保存ヘルプボタンを搭載しています。 使い勝手に合わせた画面のカスタマイズが可能です。 ●画面の2分割、4分割表示 画面の2分割、4分割表示が可能ですので、測定 データ（輪郭、粗さ）、解析結果、輪郭照合など、複数 の解析データを自由に配置して表示できます。 ※対応言語につきましては、P22の仕様一覧をご参照ください。 ●図形ウィンドウへの結果表示 図形ウィンドウには測定図形だけでなく測定値 （合否判定含む）、解析グラフなどの貼付けが可能 マルチ言語対応（17カ国語） 簡易統計コマンド です。図形ウィンドウのみで図形と測定結果が一目 測定、解析、レイアウト画面は、言語切替※が可能です。測定を行った Excel等別プログラムを利用することなく、粗さパラメータや輪郭 で確認できます。 後に、他言語に変換して報告書作成が可能です。ワールドワイドに 解析結果の統計計算が可能です。 ご利用いただけます。 ※対応言語につきましては、P22の仕様一覧をご参照ください。 17 18

FORMTRACEPAK FORMTRACEPAK 輪郭形状解析 表面粗さ解析 ●輪郭解析機能 ●粗さ解析機能 解析の基本要素となるコマンドは、点（10種類）、線（6種類）、円（6種類） FORMTRACEPAKは、ISO、JIS、ANSI、VDAなどの規格に対応した表面粗さ と多種にわたり、要素を組み合わせた角度、ピッチ、距離など豊富な の解析が行なえます。 計算コマンドや輪郭照合機能、設計値生成機能も標準装備していま 測定値と許容限界値との比較ルールとして16%ルール、最大値ルール す。普段ご使用にならないようなコマンドは、隠すなど計算コマンド をご利用いただけます。また、パラメータ計算だけではなく、豊富な ボタンのカスタマイズ機能と合わせ、使用環境に合わせた画面の グラフ解析機能を備えていますので、日常の品質管理から、R&D部門 カスタマイズが可能です。 でも幅広く活用できます。傾斜やR面などの形状除去（補正）機能、 データ削除機能なども充実しています。 ●微細輪郭解析機能 ●輪郭照合機能を標準装備 特許登録済：日本 表面粗さのデータから段差や面積だけでなく輪郭解析と同様に点、 設計データと測定データとを最適な位置に座標移動させるベスト 線、円と多種にわたり、要素を組み合わせた角度、ピッチ、距離など フィット機能が標準装備されています。 豊富な計算コマンドを標準装備しています。 照合結果は、ビジュアルな図形表示だけでなく、各座標における 誤差量や誤差量展開を表示させたり、テキストファイル形式で出力 ●測定点列のベストフィット機能 が可能ですので、加工機へのフィードバックデータなどにご利用いた 測定点を予め登録しておいた参照データと同一の座標系に一致させ だけます。 ます。この機能により、自動解析時のワークのセッティングのズレに ●基準長さダイアログボックス よる影響を排除することができます。 測定条件の基準長さ設定 において、規格準拠を選択 することにより、ISO/JIS規格 ●図面指示記号による簡単入力 で定義されている標準値 図示の例 ISO/JIS粗さ規格の図面指示記号に合わ を表示させることが可能 　 研削 せて入力するだけで、煩わしい測定条件 　 Ra 1.5 です。 設定が簡単入力できます。 ⊥ － 2.5/Rzmax 6.7 入力指示の例 U”X”0.08—0.8/Rz8max 3.3 輪郭照合結果例 ●データ重ね合わせコマンド ● プレビュー付き解析条件変更 特徴点を検出して2つのデータの重ね合わせができます。 規格や曲線種、フィルタなど各種解析条件を簡単に変更することが ●計算コマンドの繰返し設定 特許登録済：日本 マウスでのドラック操作で測定点列を自由に動かし重ねることが 可能です。また、傾斜やR面、放物線などの形状除去（補正）において 同一形状が定ピッチで有る場合、一箇所解析を入れてピッチを指定 できます。 はプレビュー機能搭載なのでその場での確認ができます。 することにより一括で解析することができます。 補正前 ● 複数箇所測定機能 移動量を入力するだけで簡単に複数箇所測定用のパートプログラム 補正後 を作成することができます。 ●データ合成機能 測定物の外観形状の問題で、複数箇所に分割して測定したデータを ● R面自動測定機能一つの図形として合成し、解析することが可能です。 予備測定の結果から自動でR面のピーク又はボトムを基準に測定 データ1 データ2 長さを割り振って測定することができます。 ●円・線自動決定機能 データ合成 ●複数箇所測定による解析機能 円・線自動あてはめコマンドを用いれば、コマンドボタンを何度も 規格で定められている評価長さを測定できないワークに対して、複数 ピーク ピーク 押す必要なく、データ内に含まれるすべての円、線を自動算出する 箇所を測ったデータから、粗さパラメータの演算や16％ルールなど こともできます。 の許容限界値との比較ルールを行うことができます。 19 20

FORMTRACEPAK レイアウトプログラム 「輪郭形状」、「表面粗さ」、「真円度」を一枚に！！ 表面粗さ、輪郭形状、真円度※の測定結果や測定図形などを一枚の紙面にレイアウトすることが FORMTRACEPAK 輪郭形状測定・解析仕様 簡単操作で行えます。 点 点、ピーク点、ボトム点、接点、垂線の足、交点、中点、変曲点（距離）、変曲点（角度）、変曲点（角度変化）、点の呼び出し 線 線、接線、垂線、平行線、中線、線（点、角度）、線の呼び出し また、保存されたファイルを指定しての貼り付けが可能となりましたので、複数ファイルからの 円 円、円（中心ー半径）、円（2点）、接円、接円（測定点）、円（半径/中心固定）、円の呼び出し、楕円（※2次曲線コマンドにて計算） 結果の貼り付けが容易です。 座標 座標差（×軸座標差、Z軸座標差、角度差、動径差）、位置判定 ※別途、真円度・円筒形状解析プログラムROUNDPAK（対応バージョンは別途お問合せください）が必要になります。 距離・角度 距離、段差（平均、最大、最小）、溝寸法、ピッチ（ピッチ、ピッチ［心間］）、角度、道のり 計算座標 座標系の原点設定、座標系回転 演算処理 演算集計 演算（足算、引算、掛算、割算、絶対値、平方根）、統計（平均値、最大値、最小値、標準偏差、偏差標準偏差、総和）、データ登録、 データクリア 測定点編集 削除、平行移動、回転、反転、位置合わせ、分割、オフセット、理想化、フェアリング、フィルタ、測定点のスケール処理（極座標 展開）、結合 拡張機能 面積、2次曲線（楕円、双曲線、方物線）、円・線自動決定コマンド（指定した範囲に含まれる複数の円・線要素を自動的に算出） 輪郭照合 輪郭照合、ベストフィット、設計値生成、設計値読込み、任意位置の結果吹き出し表示 その他機能 公差照合、寸法表示、簡易表示 計算サポート機能 計算コマンドヘルプの自動表示（ON/OFF） 測定補助機能 ビークボトム検出（手動）、ボール測定、ワーク同定機能、水平だし、直角だし、通りだし、R面自動測定機能（粗さ測定時 （輪郭・粗さ共通） のみ） CNC測定機能 測定パートプログラム、複数部品 統計処理 簡易統計機能 データファイル入出力 出力：テキスト、設計値、IGES, DXF 入力：テキスト、設計値（IGES, DXFは設計値生成ユーティリティにて読込み）、SJシリーズからのデータインポート 座標コントロール 原点設定、座標系回転、ワーク同定による座標系の設定、各軸のゼロセット、リセット スタイラス校正 一括校正キットによる自動校正、GB, 基準半球, ビンゲージによる手動校正 校正履歴　スタイラスに保存され件数の制限なし 真直度補正機能 真直度補正機能搭載 測定ピッチ 0.1～2000µm（測定機に依存） データ点数 最大100,000点（測定機に依存） 倍率表示　縦 任意値（0.001単位）、自動および0.001～10,000,000倍 倍率表示　横 任意値（0.001単位）、自動および0.001～10,000,000倍 FORMTRACEPAK 表面粗さ測定・解析仕様 粗さ規格対応 JIS1982, JIS1994, JIS2001, ISO1997, ANSI, VDA, OLDMIX Ra, Rq, Sk, Ku, Rp, Rv, Ry, RyDIN, RzDIN, Rt, Rc, Rz, R3z, R3t, S, Δa, Δq, λa, λq, Lo, Ir, Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2, パラメータ A1, A2, Sm, Pc, HSC, mr, mrd, δc, Vo, Rx, AR, R, NR, NCRX, CPM, SR, SAR, Wx, AW, W, Wte, NW, SW, SAW （面積、高さ関係のパラメータは、輪郭解析コマンドにて解析可能） パラメータの 合否判定方法 平均値、最大値ルール、16%ルール 評価曲線 断面曲線、粗さ曲線、ろ波うねり曲線、うねり曲線、転がり円うねり断面曲線、転がり円うねり曲線、エンベロープ残差曲線、 DF曲線（DIN4776/ISO13565-1）、粗さモチーフ（包絡うねり曲線は、モチーフ評価時に表示） グラフ解析表示 負荷曲線、振幅分布曲線、パワースペクトル、自己相関、Walshパワースペクトル、Walsh自己相関、山高さ分布、傾斜角分布、 ●報告書作成機能 ●要素挿入バー パラメータ分布（摩耗量、重ね合わせは、輪郭解析で、面積等の解析可能） 測定結果/条件/図形、そしてコメント/円/線/矢印なども自由にレイ 要素挿入バーに表示されている解析内容をマウスでドラック＆ 形状除去機能 最小二乗直線、R面補正、楕円補正、放物線補正、双曲線補正、コーニック補正、多項式補正（自動または任意2次～7次） アウトでき「測定結果報告書」として印刷することが可能です。一度 ドロップすることで、レイアウト上に貼り付けできます。 フィルタ種別 ガウシアンフィルタ, 2CRPC75, 2CRPC50, 2CR75, 2CR50, ロバストスプラインフィルタ フィルタ カットオフ波長（λc）：0.025, 0.08, 0.25, 0.8, 2.5, 8, 25, 80mm任意　 作成したレイアウトを保存し同様の測定時に再利用することが可能 カットオフ波長（λs）：0.8, 2.5, 8, 25, 80, 250, 800µm任意 です。 ●PDF・htmlファイル保存 微細輪郭解析 FORMTRACEPAK輪郭形状測定・解析仕様の演算処理をご参照下さい。 測定結果報告書をPDFファイルやhtmlファイルとして出力が可能 統計処理 簡易統計機能 ●システムレイアウト印刷 ですので、レイアウト編集プログラムがインストールされていない 測定補助機能 （輪郭・粗さ共通） ピークボトム検出（手動）、ボール測定、ワーク同定機能、水平だし、直角だし、通りだし、R面自動測定機能（粗さ測定時のみ） 演算結果、測定条件、測定図形など印刷したい項目を選択するだけ PCでも結果確認ができます。 測定補助機能 図面指示記号による簡単入力、基準長さ設定ダイアログボックス、 N箇所測定機能 の簡単操作で検査成績書を自動レイアウトし、印刷します。 スタイラス校正 粗さ標準片、段差標準片　※校正履歴　スタイラスに保存され件数の制限なし 測定図形サイズ、測定結果、フォントなどの詳細設定も可能です。 データ点数 最大100,000点 簡単に印刷したいという用途にご利用ください。 倍率表示　縦 任意値（0.001単位）、自動および0.001～10,000,000倍 倍率表示　横 任意値（0.001単位）、自動および0.001～10,000,000倍 対応言語 日本語、英語、ドイツ語、フランス語、イタリア語、スペイン語、ポーランド語、ハンガリー語、スウェーデン語、チェコ語、 中国語（簡体字）、中国語（繁体字）、韓国、トルコ語、ポルトガル語、ロシア語、オランダ語 ※オンラインヘルプは日本語と英語のみ対応 21 22

FORMTRACEPAK ソフトウェア 三次元データ解析プログラム FORMTRACEPAK-PRO（オプション） 3次元表面性状解析プログラム MCubeMap（オプション） Y軸テーブルを用いた三次元表面粗さ測定データを解析するソフトウェアです。 CNC表面粗さ測定機、CNC表面性状測定機向けの3D表面性状解析ソフトウェアです。 シューディング（陰影）表示、網掛け表示、等高線表示など様々なビジュアル表現 測定データをカラー・等高線・3Dビュー・3Dビュー＋メッシュ・写真などの豊富な表示機能により、 方法を備えています。 表面の特徴が容易に、かつ鮮明に認識できます。解析結果は自由なレイアウトでグラフィカルなレポート作成が可能です。 3D粗さパラメータ計算、切断面（面積、体積）解析のほか、負荷曲線BAC、振幅 （最新のISO 25178-2 3Dの表面性状パラメータ規格に対応しております。） 分布図ADC、パワースペクトル解析など、表面性状をあらゆる角度から分析する ことが可能です。 非球面レンズ解析プログラム ASLPAK 外部通信プログラム FORMEio（オプション） 非球面一般式の諸元とレンズ有効径を入力するだけで非球面レンズの評価パートプログラム作成が可能なソフトウェアです。 CNC形状測定機の外部制御機能を追加するオプションソフトウェアです。 デザインRやベストフィットR解析はもちろん、それらの結果から非球面疑似粗さパラメータや非球面精度評価量の算出が容易に可能です。 PLC（プログラマブル・ロジック・コントロール）からRS-232C通信により、測定機の状態監視と、測定機の制御を行なうことができます。 ワーク搬送装置 CNC形状測定機 データ処理装置 PC RS-232C 操作盤 解析ソフト 外部通信ソフト PLC * FORMTACEPAK FORMEio シグナルタワー 各種信号 近接SW,リミットSW * Programmable Logic Controller 非球面簡易プログラム作成画面 非球面疑似粗さパラメータ解析 非球面精度評価量F’,A’,S’ 解析] 23 24

検出器・スタイラス（表面粗さ測定用※） スタイラス（表面粗さ測定用※） ※CS-5000CNC/CS-H5000CNCは除きます。 ※CS-5000CNC/CS-H5000CNCは除きます。 検出器 継足ロッド スタイラス 11.5 10 60 14 ●12AAG202 継足ロッド50 継足し量50mm 深溝用（10mm） 44.7 12AAC735（2µm）※1 深溝用※（2 20mm） 12AAE893（2µm）※1 3.1 0.9 37.7 95.2 A 12AAB409（5µm） 12AAE909（5µm） 12AAB421（10µm） 87.7 （　）：先端半径 φ7 識別色※3 （　）：先端半径 4 スキッドレス ノーズピーズ 検出器 φ2.4 （12AAB355） ●12AAG203 継足ロッド100 継足し量100mm φ1.2 A部詳細 90° φ1.2 コードNo. 測定力 178-396-2 0.75mN ’97 ISO、 ’01 JIS 準拠の検出器 深溝用※（2 20mm） 45.2 44.7 12AAC736（2µm）※1 深溝用※（2 40mm） 12AAE895（2µm）※1 178-397-2 4mN 従来規格や一般的に使用されていた検出器 ※継足ロッドは2本以上接続できません。 37.7 深溝用237倍.7（20mm） 深溝用（10mm） 12AAB408（5µm） 12AAE911（5µm） 12AAB420（10µm） （　）：先端半径 （　）：先端半径 スタイラス A φ2.4 標準スタイラス 44.7 12AAE882（1µm）※1 深穴2倍用※2 識別色※3 φ1.2 12AAE898（2µm）※1 90° 0.9 37.7 12AAE924（1µm） 94.7 12AAE914（5µm） A部詳細 φ1.2 A 12AAC731（2µm）※1 0.9 87.7 （　）：先端半径 12AAB403（5µm） 深溝用※（2 30mm） 識別色※3 12AAB415（10µm） 12AAC737（2µm）※1 深溝用（30mm）・ 12AAE883（250µm）※4 12AAB407（5µm） 深穴2倍※2 12AAE894（2µm）※1 93.8 φ1.2 87深.7 溝用（40mm） 12AAE910（5µm） A部詳細 φ2.4 37.7 12AAB419（10µm） 90° （　）：先端半径 （　）：先端半径 45.2 （　）：先端0.半9 径 小穴用 標準スタイラス 12AAC732（2µm）※1 小穴用・深穴2倍※2 12AAE892（2µm）※1 識別色※3 A 37.7 0.6 44.4 深穴2倍用 44.7 0.6 37.7 12AAB404（5µm） 0.6 94.4 12AAE908（5µm） A部詳細 φ1.2 A 15 12AAB416（10µm） 0.6 87.7 （　）：先端半径 φ0.6 φ0.6 30 90° 識別色 φ1.2 φ1.2 （　）：先端半径 A部詳細 90° 90° A部詳細 歯面用 93.8 12AAB339（2µm）※1 歯面用・ A部 識別色※3 12AAB410（5µm）※1 深穴2倍※2 12AAE896（2µm）※1 詳細 87.7 A A 深溝4用3. （S＝5/1） （8識別色※3 37.7 30mm） 12AAE912（5µm）※1 12AAB深42溝2（1用0（µm2）0※m1 m） 深溝用（30mm） （　）：先端半径 極小穴用 （　）：先端半径 小穴用 12AAC733（2µm）※1 細穴形状用※2 ※4 深穴2倍 0.4 44.2 9小3.8穴用・深穴2倍 12AAE884（φ1.6mm） A 37.7 12AAB405（5µm） 12AAB417（10µm） 87.7 8.9 A部詳細 6 φ 0° 1.2 41 φ0.3 （　）：先端半径 φ1.2 90° A部 細 A 識別色※3 詳 φ1.6超硬球 転がり円 歯面用 うねり用※4 12AAB338（φ1.588） 転がり円うねり・深穴2倍※2 ※4 44.7 12AAE886（250µm） （S＝5/1） 0.9 37.7 94.7 超小穴用 12AAC734（2µm）※1 極細穴形状用※4 0.9 87.7 0.4 4極4.2細穴用 12AAJ662（φ0.5mm） 12AAB406（5µm） Ball φ1.588 歯面用 37.7 φ0.5超硬球 細穴形状用 φ1.2 φ1.2 深穴2倍 8.9 12AAB418（10µm） 8.5 φ0.3 （　）：先端半径 A部詳細 90° ナイフエッジ用 A A部詳細 A 識別色※3 37.7 転がり円 穴測定コーナー用・深穴2倍※2 12AAC738（2µm）※1 12AAM601（2µm）※1 44.7 43.8 12AAB411（5µm） 93.8 12AAM603（5µm）※1 （S＝5/1） 0.9 う37ね.7り用 識別色※3 A 12AAB423（10µm） 転がり円う8ね7.7り・深穴2倍 （　）：先端半径 深穴用※2 細長穴用※2 （　）：先端半径 94.7 12AAE938（2µm）※144.7 1 φ1.2 0.9 87.7 超小穴用 0.9 137.7 12AAE940（5µm） 識別色※3 A 識別色※3 A 43.8 90° φ1 94.4 . A部詳細 2 0.6 0.6 7 37.7 60° 87.7 7 φ1.2 φ1.2 45 心違い用※2 ナイ45.フ2A部詳細 エッジ用 12AAC739（2µm）※1 穴底円すいスタイラス A部詳細 φ0.5超硬球 10 1.4 37.7 穴測定コー44ナ.3ー用・深穴2倍 12AAE899（2µm）※1 90° 90° φ 12AAB412（5µm） 12AAE915（5µm） 0.6 A 2倍 3倍 12AAB424（10µm） 0.5 37.7 （　）：先端半径 12AAC740（2µm）※1 12AAC741（2µm）※1 A部詳細 A A部詳細 A φ1.2 識別色※3 （　）：先端半径 12AAB413（5µm） 12AAB414（5µm深）穴用 90° 12AAB425（10µm） 12AAB426（10µm） A部詳細 （　）：先端半径 （　）：先端半径 極細穴形状用 細長穴用 ※1： 先端角度60° ※3： ※3： 穴底用 先端半径 1µm 2µm 5µm 10µm 250µm ※1： 先端角度60° 先端半径 2µm 5µm 10µm ※2： 下向き測定のみ可（検出器の測定力は保証外となります） ※2： 下向き測定のみ可（検出器の測定力は保証外となります） 識別色 白 黒 色無し 黄 切欠き、色 共に無し ※ご注文により特殊測定子を製作いたします。対応可能な仕様等に 識別色 黒 色無し 黄 ※4：校正用として、段差標準片（No.178-611、オプション）が別途必要 　つきましては、弊社最寄りの営業所へお問い合わせください。 ※4：校正用として、段差標準片（No.178-611、オプション）が別途必要45.2 10 0.9 37.7 A φ1.2 識別色 90° 25 26 A部詳細 心違い用 1.6 0.8 1.2 0.4 7.6 φ 5.2 1 1.3 4 3.6 3.4 7.6 0.8 1.2 1.6 5.2 φ2.4 φ0.6 φ0.6 2.5 φ1.2 2.5 φ2.4 2.4 φ2.4 φ2.4 φ2.4 7.6 φ14 5.2 φ8 φ2.4 1.6 0.4 3.4 3 1.6 1.8 0.6 φ0.3 φ1.2 φ2.43.1 φ1.2 φ1.2 φ0.3 φ2.4 2.4 φ2.4 φ2.4 φ2.4 φ2.4 φ2.4 7.6 7.6 33 14.2 7.6 7.6 5.2 6.4 31.8 24.2 13 23 5.2 φ2.4 φ2.4 φ2.4 φ2.4 φ2.4 φ2.4 φ2.4 φ2.4 7.6 24.2 23 φ2.4 φ2.4 36.5 23 7.6 36.5 35 21.8 35 7.4 7.6 6.4 5.2 43.8 5.2 5.2 6.2 6.4 6.77 42.6 5.2 5 φ3 φ2.4 φ φ2.4 2.4 φ3 φ2.4 60° 60° φ1 60°

アーム・スタイラス（SV-C4500CNC輪郭形状測定用） スタイラス（CS-5000CNC/CS-H5000CNC用） アーム スタイラス ●アーム適合表 ●スレートアーム AB-31 ●心違いアーム AB-37 ●小穴アーム AB-33 標準長さスタイラス 12AAD543 ※1 標準長さ細穴スタイラス 12AAD651 20 20 スタイラス名 符 号 パーツ No. 適用スタイラス 20 触針長さ：12.5mm 12AAJ037 ※2 触針長さ： 57.5 57.5 0.4mm ※1 ストレートアーム AB-31 12AAM101 SPH-5＊, 6＊, 7＊, 8＊, 9＊ φ8 φ8 57.5 φ8 先端材質：ダイヤモンド 先端材質：ダイヤモンド SPHW※2-56, 66, 76 先端形状：円すい40° 107 先端形状：円すい40° 106.6 ※3 ※4 心違いアーム AB-37 12AAQ762 SPH-5＊, 6＊, 7＊, 8＊, 9＊ 先端半径：5µm 1 74.5 (31.5) 0.6 74.5 (31.5) 218※5 SPHW※2-56, 66, 76 218※5 218 先端半径：5µm 15 ※3 ※4 小穴アーム AB-33 12AAM103 SPH-41, 42, 43 0.6 ø1.2 40 6 (36) (36) 40° 40° (66) A A (66) スタイラス 標準長さボールスタライス 12AAD544 ※1,※2 標準長さ極細穴スタイラス 12AAD652 ●スタイラス適合表 ●両側円すいスタイラス ●円すいスタイラス ●小穴スタイラス SPH-41 触針長さ：12.75mm 触針長さ：0.6mm φ3 φ3 先端材質：サファイヤ 先端材質：ダイヤモンド スタイラス名 符 号 パーツ No. 適用アームNo. H（mm） φ4.8 SPHW-56 12AAM095 ※6 AB-31, AB-37 20 先端ボール半径：0.25mm 107 先端形状：円すい40° 106.4 両側円すい※2 H 1 74.5 (31.5) 0.4 74.5 (31.5) SPHW-66 12AAM096 ※4 AB-31, AB-37 32 φ1.6 先端半径：5µm スタイラス 10 SPHW-76 12AAM097 ※4 AB-31, AB-37 48 H 55 先端形状：片角 0.4 SPH-51 354882 ※3※4 AB-31, AB-37 6 先端角度：30° 先端角度：30°（SPH-79のみ50°） 先端角度：20° 先端半径：25μm 先端半径：25μm H 13 SPH-61 354883 AB-31, AB-37 12 材質：超硬合金 0.4 先端半径：25μm ø1.2 先端材質：サファイヤ・超硬合金 6 片角スタイラス SPH-71 354884 ※1 AB-31, AB-37 20 先端材質：超硬合金 　（SPH-79のみダイヤモンド） (36) (36) SPH-81 354885 AB-31, AB-37 30 ø0.5mmボール (66) 40° ●片角スタイラス ●円すいスタイラス ●小穴スタイラス SPH-42 A A (66) SPH-91 354886 AB-31, AB-37 42 φ3 φ3 SPH-52 354887 AB-31, AB-37 6 φ5 SPH-62 354888 AB-31, AB-37 12 H H φ3 2倍長さスタイラス 12AAJ041 ※2 標準長さ心違いスタイラス 12AAD653 両角スタイラス SPH-72 354889 ※3※4 AB-31, AB-37 20 触針長さ：25mm 触針長さ：12.5mm SPH-82 354890 AB-31, AB-37 30 先端角度：12° 先端角度：20° 55 先端形状：片角 先端半径：25μm 先端半径：25μm 先端材質：ダイヤモンド 先端材質：ダイヤモンド SPH-92 354891 AB-31, AB-37 42 20 先端角度：20° 材質：超硬合金 材質：超硬合金 H 1 先端形状：円すい SPH-53 354892 AB-31, AB-37 6 先端半径：25μm 60° 先端形状：円すい40° ●両角スタイラス ●ナイフエッジスタイラス 先端材質：超硬合金 円すいスタイラス SPH-63 354893 AB-31, AB-37 12 先端半径：2µm 先端半径：5µm 先端角度 187 109 30° SPH-73 354894 AB-31, AB-37 20 φ3 φ3 ●小穴スタイラス SPH-43 1 材質：サファイヤ SPH-83 354895 AB-31, AB-37 30 154.5 (31.5) 3 74.5 (31.5) SPH-93 354896 AB-31, AB-37 42 H φ H 4 SPH-56 12AAA566 AB-31, AB-37 6 先端角度：20° 先端角度：20° 円すいスタイラス SPH-66 12AAA567 AB-31, AB-37 12 先端半径：25μm 先端幅：3mm ø1.2 ø1.2 先端角度 30° SPH-76 12AAA568※3※4 AB-31, AB-37 20 材質：超硬合金 先端半径：25μm 40 55 先端形状：片角 材質：超硬合金 先端角度：20° 40° 材質：超硬合金 SPH-86 12AAA569 AB-31, AB-37 30 H 先端半径：25μm (36) (116) 16 SPH-96 12AAA570 AB-31, AB-37 42 ●ボールスタイラス 2.5 先端材質：超硬合金 60° (146) (66) SPH-57 12AAE865 AB-31, AB-37 6 φ3 円すいスタイラス SPH-67 12AAE866 AB-31, AB-37 12 先端角度 20° SPH-77 12AAE867 AB-31, AB-37 20 H 2倍長さスタイラス 12AAD545 ※1 材質：超硬合金 SPH-87 12AAE868 AB-31, AB-37 30 触針長さ： 単位： 25mm mm 先端ボール径：1mm 12AAJ039 ※2 SPH-97 12AAE869 AB-31, AB-37 42 先端材質：超硬合金 先端材質：ダイヤモンド 円すいスタイラス 先端形状：円すい40° 先端角度 50° SPH-79 355129 AB-31, AB-37 20 ●アームスタイラス（アームとスタイラス一体形） 材質：ダイヤモンド 先端半径：5µm アームスタイラス名 符 号 パーツ No. H（mm） 187 SPH-54 354897 AB-31, AB-37 6 SPHW-21 12AAT469 2.4 1 154.5 (31.5) SPH-64 354898 AB-31, AB-37 12 ナイフエッジ SPHW-31 12AAM108 2.4 SPH-74 354899 AB-31, AB-37 20 両側小穴アームスタイラス※8 スタイラス SPHW-22 12AAT470 5 SPH-84 354900 AB-31, AB-37 30 SPHW-32 12AAM109※4 5 SPH-94 354901 AB-31, AB-37 42 SPHW-33 12AAM110 9 ø1.2 SPH-55 354902 AB-31, AB-37 6 ノーズピース 検出器 SPH-65 354903 AB-31, AB-37 12 ●両側小穴アームスタイラスSPHW-21/31 ●両側小穴アームスタイラス SPHW-22/32 ボール (116) SPH-75 354904 AB-31, AB-37 20 スタイラス 20 20 40° (146) SPH-85 354905 AB-31, AB-37 30 φ8 φ8 SPH-95 354906 AB-31, AB-37 42 H H 2倍長さボールスタイラス SPH-41 12AAM104※3※4 AB-33 2 12AAD546 ※1,※2 先端拡大図 275 先端拡大図 275 小穴スタイラス※7 SPH-42 12AAM105 AB-33 4 触針長さ：25.25mm φ4.8 先端形状：円すい φ5 先端形状：円すい SPH-43 12AAM106※3※4 AB-33 6.5 φ1.6 先端角度：20°（SPHW-21） φ3 先端角度：20°（SPHW-22） 先端材質：サファイヤ ※1：標準付属品です。 30°（SPHW-31） 30°（SPHW-32） 27 12.7 先端半径：25μm 20 先端ボール半径：0.25mm ※2：SV-C4500シリーズ用スタイラスです。 19.5 先端半径：25μm 先端材質：超硬合金 先端材質：超硬合金 187 ※3：アームスタイラス標準セット（オプション品 No.12AAN461）構成品です。 ※4：アームスタイラス上下測定セット（オプション品 No.12AAN462）構成品です。 ●両側小穴アームスタイラス SPHW-33 1 154.5 (31.5) ※5：片角スタイラスSPH-71（標準付属品）取付時。 ※6：SV-C4500シリーズの標準付属品です。 20 ※7：SV-C3100/4100シリーズ用のスタイラスSPH-21、22、23は使用できません。 φ8 ※8：SV-C4500シリーズ用アームスタイラスです。 H ø1.2 先端拡大図 275 φ4 先端形状：円すい (116) 先端角度：30° ø0.5mm (146) ボール 先端半径：25μm 39.5 先端材質：超硬合金 ※1：CS-5000CNC標準付属品 ※2：CS-H5000CNC標準付属品 27 28 25.25 25 25 ø6 ø6 ø6 (19.3) (19) (19) 12.75 12.5 ø6 ø6 (6.8) (6.5) ø4 ø4 ø4 ø4 ø4 ø0.6 ø1.2 0.6 0.4 ø6 12.5 1.2 1.6 (6.5) ø6 (1.1) (1.1) ø6 ø6 ø4 ø4 ø4

応用範囲を拡げる多彩な機能 オプション群の最適な組合せ例の紹介 ◎：必須機能　○：推奨機能 機 能 Y軸 θ1 θ2 2Dオート 3Dオート 駆動部傾斜 テーブル テーブル テーブル レベリング レベリング （装着機種のみ） （装着機種のみ） （オプション） （オプション） テーブル テーブル （オプション） （オプション） 項 目 自動レベリング ̶ ̶ ̶ ◎ ◎ ◎ X軸方向の斜面測定 自動通り出し 自動通り出し ◎ ◎ ̶ ̶ ̶ ○ 多数ワーク一括測定 ○ ̶ ̶ ̶ ̶ ̶ Y軸方向測定 ◎ ̶ ̶ ̶ ̶ ̶ XY面斜め測定*1 ◎ ̶ ̶ ̶ ̶ ̶ 表面の3D表面粗さ 測定/評価*1 ◎ ̶ ̶ ̶ ̶ ○ Y方向の複数本測定 (Y方向の位置決め ◎ ̶ ̶ ̶ ̶ ̶ ) X軸方向の斜め穴測定 XY面斜め測定 半径方向の複数本測定 (XY面回転方向位置決め ○ ◎ ̶ ̶ ̶ ̶ ) X軸方向の斜面測定 ○ ̶ ̶ ̶ ̶ ◎ X軸方向の斜め穴測定 ○ ̶ ̶ ̶ ̶ ◎ 円筒母線の多数本測定 ○ ̶ ◎ ̶ ̶ ̶ 裏表測定 ○ ̶ ◎ ̶ ̶ ̶ *1：表面粗さ測定のみ対応 多数ワーク一括測定 円筒母線の多数本測定 半径方向の複数本測定 ●精密バイス ●3軸調整テーブル ●心出しチャック（ローレットリング固定） 十字動付載物台などに装着します。 3軸調整テーブルを使用すると、FORMTRACE 小物部品の測定で、操作性が良くローレット 固定方式 両締方式 PAKのガイダンスに従って操作するだけで リングで容易に固定できます。 締付部の開き量 51mm 通り出しと水平出し調整が簡単に行えるよう 内爪での外径φ1～φ36mm 締付部の幅 44mm になります。経験と勘は不要です。 保持範囲 内爪での内径φ16～φ69mm 締付部の深さ 16mm 外爪での外径φ25～φ79mm 総高さ 37mm 外観寸法（D×H） φ118×41mm 質量 1.2kg 裏表測定 178-019 178-047 211-032 29 30

座標測定機 画像測定機 形状測定機 光学機器 精密センサ 試験・計測機器 スケールユニット 測定工具、測定基準器、計測システム 海外拠点 国内営業 ･サービス拠点 営業所・事務所 営業所・事務所・M3 Solution Center 拠点 代理店ネットワーク 30ヵ国・地域 60ヵ国以上 こちらからすべての拠点をご確認いただけます。 https://www.mitutoyo.co.jp/corporate/network/ お求めは当店で̶ 最寄りの営業所をご確認いただけます。 https://www.mitutoyo.co.jp/corporate/network/japan/#sale 当社商品は外国為替および外国貿易法に基づき、日本政府の輸出許可の取得を必要とする場合が あります。商品の輸出や技術情報を非居住者に提供する場合は最寄りの営業所へご相談ください。 ●当社商品は製造現場での使用を前提とした、工業用商品として設計、製造、販売されています。 ●本カタログで使用される当社商品名、サービス名およびロゴマークは、日本およびその他の国における株式会 　社ミツトヨの登録商標または商標です。また、その他の会社名および商品名等は、各社の登録商標または商標で 　ある場合があります。 〒213-8533 川崎市高津区坂戸1-20 -1 ●仕様、価格、デザイン（外観）ならびにサービス内容などは、予告なく変更することがあります。ご了承ください。 https://www.mitutoyo.co.jp ●本カタログに掲載されている仕様は2025年3月現在のものです。 ●掲載しております標準価格には消費税は含まれておりません。 148