ミツトヨの技術を結晶化 世界が認める精密測定テクノロジー LEGEXシリーズ
進化する技術
徹底的な誤差要因の分析と排除
●本体ベース設計
・高剛性、高減衰性
本体ベースは、球状黒鉛鋳鉄（ダクタイル鋳鉄）による密閉化構造を採用することで、高剛性、高減衰性を実現しています。
・Y軸ガイドレールとベースの一体化構造
剛性および熱的安定性の更なる向上を図るため、Y軸ガイドレールと本体ベースが一体化構造です。
・各軸スライド部分にセラミックス–プラズマ溶射
Y軸ガイドレール、X軸ビーム、Z軸スピンドルのスライド部分はセラミックス–プラズマ溶射処理され、エアベアリング摺動に最適な表面が形成されています。また耐錆性・耐食性にも優れています。
・高減衰性 超高精度倣い測定の実現
本体構造は、移動時の残留振動を素早く減衰させ、振動によるバラツキ幅を大幅に軽減します。
また外部振動に対して除振装置の効果をより有効的に働きかけ、除振性能を向上させます。
これらにより、倣い測定時の振動を抑え、超高精度倣い測定を実現します。
●門固定・テーブル移動構造
・ピッチング・ヨーイング誤差の排除
「門移動によって誤差が発生するなら、門を動かさなければいい」という逆転の発想で、アッベ誤差を極力抑えるために門固定・テーブル移動構造を採用しています。
●高い運動精度
・X軸運動とY軸運動の独立
LEGEXは特にX軸とY軸が完全に独立した構造になっており、X軸の移動がY軸ガイドに与える影響は全くありません。
よって、それぞれの軸の精度追求が行ないやすく、高精度を長期にわたって維持することができます。
・完全重心駆動
各軸の駆動系は、各移動部の重心に配置されており、駆動軸回りの慣性モーメントが抑えられ加減速時の構造体変形がほとんどありません。
また、例えばX軸案内にはX軸ビーム全面にミツトヨ独自の高剛性エアベアリングを配置したオリジナル構造を採用し、高速・高加減速駆動を可能にしています。
●振動対策
・外部振動対策
専用の高機能オートレベリング空気圧式除振装置を標準装備しています。
測定テーブルの移動や測定物による荷重変動をセンサでキャッチし、すばやく本体を水平復帰させることが可能です。
・内部振動対策
駆動は、ボールスクリュ＋DCサーボモータによって行なわれます。
ボールスクリュ軸回りのコニカル運動や軸に垂直な面における振れを吸収するため、ナット部にフローティング機構を有する特殊ボールスクリュを採用しています。
これによって、ボールスクリュの振れが運動精度に影響することなく、高速駆動が可能です。
●超高精度測長ユニット
ほとんど熱膨張しない超高精度結晶化ガラススケールと、同じく新開発の最小分解能1/100 μmの高性能反射形リニヤエンコーダの組合せによる、超高精度測長ユニットが搭載されています。
●温度補正機能
FEM構造解析によって熱的対称構造を実現し、その結果、温度変化による測定空間のひずみを抑え、サブミクロンの測定精度でありながら20±2 ℃という幅広い温度環境下での測定を可能にしています。
また、測定物の温度をリアルタイムに測定し、20℃時の寸法に換算した結果を出力することができます。
●最新の制御技術の採用
自社開発の制御装置を一新。
新アルゴリズムの適用による高度な制御技術を採用しています。
そして新開発の高分解能リニアエンコーダを搭載し、さらなる高精度化を実現しています。
このカタログについて
| ドキュメント名 | 超高精度CNC三次元測定機 LEGEXシリーズ |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 2.1Mb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 株式会社ミツトヨ (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
Page1
座
標
測
定
機
Catalog No.16012(8)
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ミツトヨの技術を結晶化。
世界が認める精密測定テクノロジー。
LEGEX 574
世界最高峰の高精度 E0,MPE=0.28+L/1000 を達成
LEGEX 776
LEGEX 9106
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進化する技術
徹底的な誤差要因の分析と排除 その 1
本体ベース設計 ベースと一体化した
Y軸ガイドレール
高剛性、高減衰性 Y軸ガイドレールとベースの一体化構造
LEGEXの本体ベースは、球状黒鉛鋳鉄（ダクタイル鋳鉄）*に 剛性および熱的安定性の更なる向上を図るため、Y軸ガイド
よる密閉化構造を採用することで、高剛性、高減衰性を実現 レールと本体ベースが一体化構造です。
しています。
さらに、FEM構造解析シミュレーションを駆使した徹底的 各軸スライド部分にセラミックス–プラズマ溶射
な応力分析により、荷重変動などによる変形を最小限に抑
え、優れた幾何学的な運動精度を確保しています。 Y軸ガイドレール、X軸ビーム、Z軸スピンドルのスライド部分
はセラミックス–プラズマ溶射処理され、エアベアリング摺動
に最適な表面が形成されています。
FEM 構造解析シミュレーション また耐錆性・耐食性にも優れています。
0.6
0.08s ζ=0.028 高減衰性 超高精度倣い測定の実現
0.4 LEGEXの本体構造は、移動時の残留振動を素早く減衰さ
0.2 せ、振動によるバラツキ幅を大幅に軽減します。また外
*球状黒鉛鋳鉄（ダクタイル鋳鉄）
-0 部振動に対して除振装置の効果をより有効的に働きか
鋳鉄は、炭素・ケイ素・マンガン・リン・硫黄などを含 け、除振性能を向上させます。
む鉄合金で、特に炭素が黒鉛として析出していることによ -0.2 これらにより、倣い測定時の振動を抑え、超高精度倣い
り、特徴的な性質を示します。 -0.4 測定を実現します。
ダクタイル鋳鉄は、溶湯にマグネシ
ウム合金を添加させることで、析出 -0.6
0.5 0.6 0.7 0.8 0.9
させる黒鉛を球状化させたもので、 Time (s)
普通鋳鉄に比べて、高い引張強さと
比較的大きな靱性を示し、かつよい
切削性と良好な耐摩耗性を有してい
るため、自動車部品など様々な機械
部品に利用されています。
LEGEXでは、ダクタイル鋳鉄FCD600が
採用されており、また0.1ｍｍ以上の
巣やピンホール（欠陥）のない製法で
作られた鋳鉄を使用しています。
3 4
m/s2
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進化する技術
徹底的な誤差要因の分析と排除 その 2 振動対策
外部振動対策
設置場所の床振動は、測定値にバラツキとなって影響しま
す。LEGEXは、専用の高機能オートレベリング空気圧式除振
装置を標準装備しています。測定テーブルの移動や測定物
門固定・テーブル移動構造 による荷重変動をセンサでキャッチし、すばやく本体を水平
復帰させることが可能です。
門移動構造
ブリッジ
門固定・テーブル移動構造
門移動形三次元測定機における
X軸移動による荷重変動例 ピッチング・ヨーイング誤差の排除
門移動構造のCNC三次元測定機の多くは片側下部に配置さ
れた駆動系によってのみ門移動（Y軸移動）を行なうため、
移動時にピッチング誤差・ヨーイング誤差が生じてしまい
ます。駆動系を門中央重心付近に配置する方式もあります
が、X軸が左右に動く時に当然重心も移動するため、それら
の誤差は排除できません。 除振台配置
LEGEXは、「門移動によって誤差が発生するなら、門を動かさ
高い運動精度 なければいい」という逆転の発想で、アッベ誤差を極力抑える
ために門固定・テーブル移動構造を採用しています。 内部振動対策
X軸運動とY軸運動の独立 駆動は、ボールスクリュ＋D Cサーボモータによって行なわ
門移動構造の場合、例えば X軸が移動するとY軸ガイド（エア れます。ボールスクリュ軸回りのコニカル運動や軸に垂直な
ベアリング）に荷重変動が起こり、測定空間に幾何学的変形 面における振れを吸収するため、ナット部にフローティング
が発生してしまいます。 機構を有する特殊ボールスクリュを採用しています。
LEGEXは特にX軸とY軸が完全に独立した構造になっており、 Z軸スピンドル 駆動軸 これによって、ボールスクリュの振れが運動精度に影響する
X軸の移動がY軸ガイドに与える影響は全くありません。 ことなく、高速駆動が可能です。
エアベアリング
よって、それぞれの軸の精度追求が行ないやすく、高精度を また、従来比の5分の1に振動を抑えたミツトヨ独自の高剛
長期にわたって維持することができます。 性低振動エアベアリングや、各軸案内レールに特殊な振動 オートレベリング空気圧式除振台
駆動軸 減衰機構を装備するなど、様々な内部振動対策が施されて
完全重心駆動 います。
各軸の駆動系は、各移動部の重心に配置されており、駆動軸 ボールスクリュ パルスジェネレータ
回りの慣性モーメントが抑えられ加減速時の構造体変形が サーボモータ
ほとんどありません。 X軸ビーム
また、例えばX軸案内にはX軸ビーム全面にミツトヨ独自の
フローティング機構
ガイドブロック
高剛性エアベアリングを配置したオリジナル構造を採用し、 ナット
高速・高加減速駆動を可能にしています。 フローティング機構付ボールスクリュー構造図
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進化する技術 プローブ
徹底的な誤差要因の分析と排除 その 3
PH10MQ
超高精度測長ユニット 温度補正機能
線膨張係数 “≒ゼロ” の高精度 18～22 ℃の温度範囲で精度を保証
ガラススケール 従来の超高精度三次元測定機では、レベルの高い恒温室ク SurfaceMeasure201FS
LEGEX には、新開発の線膨張係数 0.01×10－6/ ℃というほと ラスの設置環境が必要でしたが、LEGEXは、FEM構造解析 TP7M SurfaceMeasure1110 非接触レーザプローブ
高精度 非接触ライン
MPP-310Q タッチトリガープローブ レーザプローブ
によって熱的対称構造を実現し、その結果、温度変化による SP80
んど熱膨張しない超高精度結晶化ガラススケールと、同じ 高精度・低測定力 ロングスタイライス対応 QVP
スキャニングプローブ 高精度 MPP-002 SP25M クイックビジョン
く新開発の最小分解能 1/100 µmの高性能反射形リニヤエン 測定空間のひずみを抑え、サブミクロンの測定精度でありな スキャニングプローブ 小型・高精度 小型・高精度 プローブ
コーダの組合せによる、超高精度測長ユニットが搭載されて がら20±2 ℃という幅広い温度環境下での測定を可能にし
スキャニングプローブ スキャニングプローブ
います。 ています。また、測定物の温度をリアルタイムに測定し、20
また、このスケールは独自の固定方式によって、取付面と ℃時の寸法に換算した結果を出力することができます。
の熱膨張率の違いによって生じるヒステリシス誤差を最小
限に抑えています。
最新の制御技術の採用
自社開発の制御装置を一新。新アルゴリズムの適用による高度
な制御技術を採用しています。そして新開発の高分解能リニア MPP-310Q SP80 スキャニングプローブ QVP
エンコーダを搭載し、さらなる高精度化を実現しています。
超高精度結晶化
ガラススケール MRT240（ロータリーテーブル） Status Monitor（ステータスモニタ）
回転体系の測定物（歯車、円筒カム、インペラ等）を効率的に 測定機の稼働状況を遠隔地で監視可能
測定します。
倣いプローブによる回転同期倣い測定にも対応しています。
20∞C
25∞C
0 15∞C
20∞C
サーバ
● 稼働状況のデータ収集と見える化を実現
＜ゼロガラス・特殊固定＞ ● MT Connect通信に対応
0 50 100 150 200 250 300 350 400 450 500
位置 (mm) MeasurLink（メジャーリンク）
15∞C
20∞C-1
0 20∞C-2 仕様 「品質の見える化」で不良品発生を抑制
20∞C-3 最小表示
25∞C 0.00005°(0.18”)
30∞C 割出精度 ±0.00025°(0.9”）
精度 回転軸の半径方向振れ 1 µm
回転軸の軸方向振れ 0.5 µm
測定物最大質量 40 kg
テーブル 直径
＜汎用スケール・通常固定＞ ø240 mm
高さ 105 mm
0 100 200 300 400 500 600 700 800 900 1000
位置 (mm)
従来スケールと結晶化ガラススケールのヒステリシス比較
7 8
誤差 (mm) 誤差 (mm)
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仕 様 測定テーブル表面
符号
項目 LEGEX 574 LEGEX 774 LEGEX 776 LEGEX 9106
X 軸 500 mm 700 mm 900 mm
測定範囲 Y 軸 700 mm 1000 mm
Z 軸 450 mm 600 mm
測長方式 リニアエンコーダ
最大駆動速度 200 mm/s
最大駆動加速度 980 mm/s2
最小表示量 0.00001 mm
案内方式 エアベアリング
測定テーブル 材質 鋳鉄
大きさ 550×750 mm 750×750 mm 950×1050 mm
測定物 最大高さ 700 mm 850 mm
最大積載質量 250 kg 500 kg 800 kg
機械の質量（除振台、コントローラ含む/ワーク含まず） 3500 kg 5000 kg 5100 kg 6500 kg
空気使用条件 使用空気圧 0.5 MPa
空気消費量 （標準状態において） 120 L/min（ 空気源としては160 L/min以上）
●LEGEXシリーズ 本体精度 ●LEGEXシリーズ 設置温度環境 標準仕様：セラミックコーティング 特注仕様：きさげ加工
温度環境1 温度環境
使用プローブ 最大許容長さ測定誤差 2
E 0,MPE
温度範囲 19～21 ℃ 18～22 ℃
MPP310Q（ø4×18） （0.28+L/1000）µm（温度環境1） 温度変化 0.5 ℃/h
（0.30+L/1000）µm（温度環境2） 温度分布 1.0 ℃/m
MPP-002-1（ø4×50） SP25M（ø4×50） （0.38＋L/1000）µm（温度環境1） LEGEX12128のご紹介
（0.40＋L/1000）µm（温度環境2）
※L＝任意測定長（単位：mm）
※温度環境1および2については右の表をご参照ください。
外観寸法図 主な仕様
単位：mm 符号
項目 LEGEX12128
X 軸 1200 mm
測定範囲 Y 軸 1200 mm
Z 軸 800 mm
最小表示量 0.00001 mm
案内方式 エアベアリング
長さ測定誤差 E 0,MP（E 温度環境2）
使用プローブ：MPP-310Q（ø4×18） （0.6+1.5L/1000）µm
※L＝任意測定長（単位: mm）
※本商品は特注品対応となります。
※温度環境2は、P9のLEGEXシリーズ 設置温度環境を参照ください。
X Y
測定範囲 測定範囲
A A B
W D
符号 LEGEX574 LEGEX774 LEGEX776 LEGEX9106
W 1470 1670 1870
H 2630 2930 3050
D 2430 3030
A 445 550 660
B 1390 1410 1795 お願い：本カタログに掲載されているCNC三次元測定機には、想定外の振動が加えられた場合や、移動が行われた場合に本機の操作を禁止する本体起動システム（移設検知システム）が組み込まれています。
C 745 895 ご購入後、本機を移動される場合は、お手数ですが必ず本機を移動される前に、弊社営業所までご連絡をお願いいたします。
E 600 720
F 1311 1461
9 10
H
E F
251 Z
C
Page7
座標測定機 画像測定機 形状測定機 光学機器
精密センサ 試験・計測機器 スケールユニット 測定工具、測定基準器、計測システム
海外拠点 国内営業 ･サービス拠点
営業所・事務所
営業所・事務所・M3 Solution Center
拠点 代理店ネットワーク
32か国・地域 60か国以上
こちらからすべての拠点をご確認いただけます。
https://www.mitutoyo.co.jp/corporate/network/
お求めは当店で̶
最寄りの営業所をご確認いただけます。
https://www.mitutoyo.co.jp/corporate/network/japan/#sale
当社商品は外国為替および外国貿易法に基づき、日本政府の輸出許可の取得を必要とする場合が
あります。商品の輸出や技術情報を非居住者に提供する場合は最寄りの営業所へご相談ください。
●当社商品は製造現場での使用を前提とした、工業用商品として設計、製造、販売されています。
●本カタログで使用される当社商品名、サービス名およびロゴマークは、日本およびその他の国における株式会
社ミツトヨの登録商標または商標です。また、その他の会社名および商品名等は、各社の登録商標または商標で
ある場合があります。
〒213-8533 川崎市高津区坂戸1-20 -1 ●仕様、価格、デザイン（外観）ならびにサービス内容などは、予告なく変更することがあります。ご了承ください。
https://www.mitutoyo.co.jp ●本カタログに掲載されている仕様は2026年4月現在のものです。
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