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高速・高精度を両立したCNC三次元測定機の自信作 STRATO-Apex SERIES
●ロングスタイラスでのISO精度保証
深穴の測定が必要な測定物も高精度に測定ができます。
●本体の剛性向上とスキャニング測定技術
高速・高精度を実現するために、構造やガイド機構の見直しによる高剛性化を図って
います。くわえて新開発の補正技術搭載により、高速で高精度なスキャニング測定を実
現しています。
●高性能コントローラを搭載
位置・速度・電流の全ての制御ループをデジタル信号で処理する、デジタルサーボ方式を採用しています。
デジタルサーボ方式には以下のメリットがあります。
・ドリフトや経時変化が少ない
・ダイナミックレンジが広い
・各種の制御アルゴリズム搭載が容易
●超高精度ユニットの採用
STRATO-Apex の各軸スケールには、超高精度結晶化ガラススケールと、最小分解能2/100 μm の高性能反射型リニアエンコーダの組合せによる、超高精度測長ユニットが搭載されています。
ガラススケールは独自の固定方式によって、取付け面との線膨張係数の違いによって
生じるヒステリシス誤差を最小限に抑えています。また、ガラススケールは錆や腐食に強く、長期精度保証が可能です。
●除振台を標準搭載
設置場所の床振動は測定値のばらつきとなって影響します。
STRATO-Apex シリーズではオートレベリング空気ばね式除振台を標準搭載しており、
これは床振動を本体に伝えないだけでなく、各軸の移動や測定物の搭載による荷
重変動をセンサでキャッチし、素早く本体を水平復帰させる機能も持っています。
この除振台の搭載により、床振動による測定値のばらつきがなくなります。
このカタログについて
| ドキュメント名 | 高精度CNC三次元測定機 STRATO-Apexシリーズ |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 2.2Mb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 株式会社ミツトヨ (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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高精度CNC三次元測定機
座
STRATO-Apexシリーズ 標
測
定
機
Catalog No.16001(15)
Page2
本体の剛性向上とスキャニング測定技術
STRATO-Apex 高速・高精度を実現するために、構造やガイド機構の見直しによる高剛性化を図って
います。くわえて新開発の補正技術搭載により、高速で高精度なスキャニング測定を実
現しています。
SERIES 球面スキャニング形状誤差P Form.Sph.Scan:PP: Tact.MPE= 1.3 µm (574シリーズ )
スキャニング検査時間τSph.Scan: PP: Tact.MPL= 40 sec. (574シリ-ズ )
当社従来製品の FALCIO シリーズの場合 MPETHP = 2.2 µm
MPT HP = 110 sec.
高速・高精度を両立したCNC三次元測定機の自信作 *使用プローブ : MPP-002/SP25M
初項1 µm以下の高精度に加えて、高速・高加速駆動による高速スキャニングを達成
高性能コントローラを搭載
位置・速度・電流の全ての制御ループをデジタル信号で処理する、デジタルサーボ方式を採用しています。
デジタルサーボ方式には以下のメリットがあります。
・ドリフトや経時変化が少ない
・ダイナミックレンジが広い
・各種の制御アルゴリズム搭載が容易
超高精度ユニットの採用
STRATO-Apexの各軸スケールには、線膨張係数 0.01x10-6/℃という
ほとんど熱膨張しない超高精度結晶化ガラススケールと、最小分解能
2/100 µmの高性能反射型リニアエンコーダの組合せによる、超高精
度測長ユニットが搭載されています。
ガラススケールは独自の固定方式によって、取付け面との線膨張係数
の違いによって生じるヒステリシス誤差を最小限に抑えています。また、
ガラススケールは錆や腐食に強く、長期精度保証が可能です。
除振台を標準搭載
設置場所の床振動は測定値のばらつきとなって影響しま
ロングスタイラスでのISO精度保証 す。STRATO-Apexシリーズではオートレベリング空気ばね
新たに自社開発した追尾式レーザー干渉計による補正技術により、E 式除振台を標準搭載しており、これは床振動を本体に伝
250,MPEでの精度保証を実現。
深穴の測定が必要な測定物も高精度に測定ができます。 えないだけでなく、各軸の移動や測定物の搭載による荷
自社開発の空間補正システム 全方位を高密度に測定
STRATO-Apex 700/900シリーズ 重変動をセンサでキャッチし、素早く本体を水平復帰させ
最大許容長さ測定誤差 E る機能も持っています。この除振台の搭載により、床振動
200, MPE = 0.7+2.5L/1000 µm CMM測定空間
最大許容長さ測定誤差 E による測定値のばらつきがなくなります。
250, MPE = 0.9+2.5L/1000 µm
追尾式
レーザ干渉計
自社開発の追尾式レーザ干渉計での測定イメージ 広角野角リフレクタ採用により
(全方位を高密度に測定) 測定範囲全方位をカバー
▲オートレベリング空気ばね式除振台 ▲除振台配置図
1 2
Page3
■外観寸法図 単位(mm)
STRATO-Apex 574
最大許容長さ測定誤差
E 0, MPE =0.7+2.5 L/1000(µm)を実現
測定範囲
測定範囲
88 140 160 175 Y:700
760 570 X=500
STRATO-Apex 574
本体仕様 405 635 470 800
符号 STRATO-Apex 574
X軸 500 mm 1270 1700
測定範囲 Y軸 700 mm
Z軸 400 mm
案内方式 各軸ともエアベアリング
CNC MODE Moving Speed 各軸最大300 mm/(s 最大合成速度 519 mm/s)
(測定速度)Measuring Speed 1~3 mm/s
駆動速度 (移動速度)Moving Speed 0~80 mm/s
J/S MODE (測定速度)Measuring Speed 0~3 mm/s
(微動速度)Fine Speed 0~0.05 mm/s
駆動加速度 各軸1333 mm/s(2 最大合成加速度2309 mm/s2)
測長方式 リニアエンコーダ
最小表示量 0.00002 mm ■テーブルのねじブッシュ配列 単位(mm)
材質 はんれい岩
測定テーブル 大きさ(載物面) 676×1420 mm
測定物固定方法 M8×1.25
ワーク 最大高さ 560 mm
最大質量 180 kg
機械の質量 20 ※676 140
(除振台、コントローラ含む/ワーク含まず) 1620 kg ※※120
電源仕様 電源電圧AC100-120/200-240 V±10 % 電源容量700 W
空気使用条件 使用空気圧 0.4 MPa
空気消費量 (標準状態において) 60 L/min(空気源としては120 L/min以上)
環境温度 18~22 °C
精度保証温度環境 温度変化 1時間あたり 1.0 °C
24時間あたり 2.0 °C 13-M8×1.25
温度勾配 水平/垂直 1.0 °C/m
※ 測定機本体構成品の一部に自然石を使用しているため、石表面に模様のある場合があります。 700
※設置台仕様も選択できます。
525
精度仕様 単位(µm)
350
名称 記号 MTP-002 TP200 MPP-310Q※ MPP-002-1 SP25M
175
E 0,MPE 1.4+2.5 L /1000 0.7+2.5 L/1000 0.7+2.5 L/1000
最大許容長さ測定誤差 0
E 150,MPE 1.9+2.5 L/1000 0.7+2.5 L/1000 0.7+2.5 L/1000
175.5
繰返し範囲の最大許容限界 R 0,MPL 1.2 0.7 0.7
最大許容球面スキャニング形状誤差 P Form.Sph.Scan: PP: Tact,MPE - 1.3 1.3
836
最大許容スキャニング検査時間 τ Sph.Scan: PP: Tact,MPL - 70 s 40 s
最大許容シングルスタイラス形状誤差 P Form.Sph.1×25:SS: Tact,MPE 1.8 0.7 0.7
精度仕様はすべて標準スタイラス使用時のものです。
標準スタイラス…MTP-002_TP200:ø4×10、MPP-310Q:ø4×18、MPP-002_SP25M:ø4×50
E 0,MPE, E 150,MPE, R 0,MPL の試験および評価方法は、ISO 10360-2:2009(JIS B 7440-2:2013)に準拠します。 ※ :ワーク積載範囲
P Form.Sph.Scan: PP: Tact,MPE, τSph.Scan: PP: Tact,MPL およびP Form.Sph.1×25:SS: Tact,MPE の試験および評価方法は、ISO 10360-5:2020(JIS B 7440-5:2022)に準拠します。 ※※: Y軸案内面
※本体特注にて対応いたします。
お願い:本カタログに掲載されているCNC三次元測定機には、想定外の振動が加えられた場合や、移動が行われた場合に
本機の操作を禁止する本体起動システム(移設検知システム)が組込まれています。
ご購入後、本機を移動される場合は、お手数ですが必ず本機を移2動0される前に、弊社営1業0所6ま2でご連絡をお1願い0致します。
3 4
712
2410
88.5
0
125
250
375
500
47 Z:400
750 573
1420
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STRATO-Apex 700/900 精度仕様 単位(µm)
シリーズ MPP-002 SP25M
名称 記号 MTP-002 TP200 MPP-310Q※ SP25M SP25M SP25M
MPP-002-1 MPP-002-2 +SM25-1 +SM25-2 +SM25-3 SP80※
+SH25-1 +SH25-2 +SH25-3
ロングスタイラスでのISO精度保証 1.4+2.5 L/1000
当社ラインアップの門移動型として最高の速度・精度を実現 E (700シリーズ)
0,MPE 1.5+2.5 L/1000 0.7+2.5 L/1000 0.7+2.5 L/1000 0.7+2.5 L/1000 0.7+2.5 L/1000 0.7+2.5 L/1000 - 0.7+2.5L/1000
(900シリーズ)
1.9+2.5 L/1000
最大許容長さ測定誤差 E (700シリーズ)
150,MPE 2.0+2.5 L/1000 0.7+2.5 L/1000 0.7+2.5 L/1000 - 0.7+2.5 L/1000 - - 0.7+2.5L/1000
(900シリーズ)
E 200,MPE - - - - - 0.7+2.5 L/1000 - -
E 250,MPE - - - 0.9+2.5 L/1000 - - 0.9+2.5 L/1000 -
繰返し範囲の最大許容限界 R 0,MPL 1.2 0.7 0.7 0.7 0.7
最大許容球面スキャニング P Form.Sph.
形状誤差 - 1.6 1.8 1.8 1.8
Scan: PP: Tact,MPE
最大許容スキャニング τ Sph.Scan: PP:
検査時間 - 70 s 45 s 45 s 45 s
Tact,MPL
最大許容シングルスタイラス P Form.Sph.1×
形状誤差 1.8 0.9 0.9 0.9 0.9
25:SS: Tact,MPE
精度仕様はすべて標準スタイラス使用時のものです。
標準スタイラス…MTP-002_TP200:ø4×10、MPP-310Q:ø4×18、MPP-002-1_SP25M:ø4×50、MPP-002-2:φ4×50+EXT100、SP80:ø4×50
E 0,MPE, E 150,MPE, E 200,MPE, E 250,MPE, R 0,MPL の試験および評価方法は、ISO 10360-2:2009(JIS B 7440-2:2013)に準拠します。
P Form.Sph.Scan: PP: Tact,MPE, τSph.Scan: PP: Tact,MPL およびP Form.Sph.1×25:SS: Tact,MPE の試験および評価方法は、ISO 10360-5:2020(JIS B 7440-5:2022)に準拠します。
※本体特注にて対応いたします。
■外観寸法図 単位(mm)
STRATO-Apex 9106
測定範囲 測定範囲
230 175 Y STRATO-Apex STRATO-Apex STRATO-Apex STRATO-Apex
88 X 112 項目 776 7106 9106 9166
STRATO-Apex 776 A 740 940
B 700 1000 1410
C 590 682.5
A C B D 1910 2210 2810
W D W 1460 1660
本体仕様
符号 STRATO-Apex 776 STRATO-Apex 7106 STRATO-Apex 9106 STRATO-Apex 9166
X軸 700 mm 900 mm
測定範囲 Y軸 700 mm 1000 mm 1600 mm ■テーブルのねじブッシュ配列 単位(mm)
Z軸 600 mm
案内方式 各軸ともエアベアリング
20 ※1062 140
※※
CNC MODE Moving Speed 各軸最大300 mm/s( 最大合成速度 519 mm/s) 120
(測定速度)Measuring Speed 1~3 mm/s 20 ※1062 140
駆動速度 (移動速度)Moving Speed 0~80 mm/s 20 ※862 140 ※※120
J/S MODE (測定速度)Measuring Speed 0~3 mm/s ※※120 18-M8X1.25
(微動速度)Fine Speed 0~0.05 mm/s 20 ※862 140 1600
※※120 13-M8X1.25
駆動加速度 各軸1500 mm/s(2 最大合成加速度2598 mm/s2) 13-M8X1.25 1334
測長方式 リニアエンコーダ 1000
1000 1067
最小表示量 13-M8×1.25
0.00002 mm 750
材質 はんれい岩 700 750 800
500
測定テーブル 大きさ(載物面) 862×1420 mm 862×1720 mm 1062×1720 mm 1062×2320 mm 467 500 533
350
測定物固定方法 M8×1.25 233 250 250 266
0 0 0
ワーク 最大高さ 770 mm 168 168 168 168
最大質量 500 kg 800 kg 1200 kg
機械の質量(除振台、コントローラ含む/ワーク含まず) 1895 kg 2180 kg 2410 kg 3085 kg
電源仕様 電源電圧AC100-120/200-240 V±10% 電源容量700 W 1022 1022 1222 1222
空気使用条件 使用空気圧 0.4 MPa STRATO-Apex 776
空気消費量 (標準状態において) STRATO-Apex 7106 STRATO-Apex 9106 STRATO-Apex 9166
60 L/min( 空気源としては120 L/min以上)
環境温度 19~21 °C ※ :ワーク積載範囲
※※
精度保証温度環境 温度変化 1時間あたり 1.0 °C : Y軸案内面
24時間あたり 2.0 °C
温度勾配 水平/垂直 1.0 °C/m
※ 測定機本体構成品の一部に自然石を使用しているため、石表面に模様のある場合があります。 お願い:本カタログに掲載されているCNC三次元測定機には、想定外の振動が加えられた場合や、移動が行われた場合に
本機の操作を禁止する本体起動システム(移設検知システム)が組込まれています。
ご購入後、本機を移動される場合は、お手数ですが必ず本機を移動される前に、弊社営業所までご連絡をお願い致します。
5 6
2830
88.5
0
175
350
525 43 Z
700
1420
700 780
88.5
0
175
350
525
700
1720
88.5
0
225
450
675
900
1720
88.5
0
225
450
675
900
2320
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STRATO-Apex 1600 STRATO-Apex 162016/163016 単位(µm)
シリーズ 名称 記号 MTP-002 TP200 MPP-002 SP25M SP80※MPP-002-1 MPP-002-2
E 0,MPE 4.0+4.0 L/1000 3.0+4.0 L/1000 3.1+4.0 L/1000 3.0+4.0 L/1000 3.0+4.0 L/1000
広い測定範囲・高精度の両立を実現 最大許容長さ測定誤差 E 150,MPE 4.0+4.0 L/1000 3.0+4.0 L/1000 - 3.0+4.0 L/1000 3.0+4.0 L/1000
大形部品の高精度測定に最適 E 250,MPE - - 3.2+4.0 L/1000 - -
繰返し範囲の最大許容限界 R 0,MPL 4.0 2.5 2.6 2.5 2.5
最大許容球面スキャニング
形状誤差 P Form.Sph.Scan: PP: Tact,MPE - 3.0 3.1 3.0 3.0
最大許容スキャニング
検査時間 τ Sph.Scan: PP: Tact,MPL - 60 s 60 s 60 s 60 s
最大許容シングルスタイラス
形状誤差 P Form.Sph.1×25:SS: Tact,MPE 4.0 2.8 2.9 2.8 2.8
精度仕様はすべて標準スタイラス使用時のものです。
標準スタイラス…MTP-002_TP200:ø4×10、MPP-002-1_SP25M:ø4×50、MPP-002-2:φ4×50+50EXT、SP80:ø4×50
E 0,MPE, E 150,MPE, E 250,MPE, R 0,MPL の試験および評価方法は、ISO 10360-2:2009(JIS B 7440-2:2013)に準拠します。
P Form.Sph.Scan: PP: Tact,MPE, τSph.Scan: PP: Tact,MPL およびP Form.Sph.1×25: SS: Tact,MPE の試験および評価方法は、ISO 10360-5:2020(JIS B 7440-5:2022)に準拠します。
STRATO-Apex 1600シリーズ ※本体特注にて対応いたします。
■外観寸法図 単位(mm)
本体仕様 2805 D
符号 STRATO-Apex 162012 STRATO-Apex 162016 STRATO-Apex 163012 STRATO-Apex 163016 項目 STRATO-Apex STRATO-Apex
X軸 1600 mm 162012 162016
測定範囲 Y軸 2000 mm 3000 mm A 650
Z軸 1200 mm 1600 mm 1200 mm 1600 mm B 1415 1815
案内方式 各軸エアベアリング 測定範囲 C 1000
(移動速度)各軸最大350 mm/s D 3740
測定範囲
CNC MODE ( 最大合成速度 606 mm/s) H 4340 5140
駆動速度 (測定速度)1~3 mm/s
(移動速度)0~80 mm/s 項目 STRATO-Apex STRATO-Apex
J/S MODE (測定速度)0~3 mm/s 163012 163016
(微動速度) 250 386.5 Y (893.5)
0~0.05 mm/s 760 570 135 X:1600 160 A 700
駆動加速度 各軸780 mm/s2( 最大合成加速度1350 mm/s2) B 1415 1815
最小表示量 0.00005 mm C 1350
測長方式 リニアエンコーダ D 4740
材質 はんれい岩 H 4390 5190
測定テーブル 大きさ(載物面) 702 1760 C C
1850×3280 mm 1850×4280 mm
測定物固定方法 M8×1.25
測定物 最大高さ 1350 mm 1750 mm 1350 mm 1750 mm ■テーブルのねじブッシュ配列 単位(mm)最大質量 3500 kg 4000 kg
機械の質量( 除振台、コントローラ含む/ワーク含まず) 11150 kg 11200 kg 15300 kg 15350 kg 20 1850※ 190
170※※
電源仕様 電源電圧AC100-120/200-240 V±10 % 電源容量1500 W 20 1850※ 190
170※※
空気使用条件 使用空気圧 0.4 MPa 45 M8X1 25
3000
空気消費量 100 L/min( 標準状態において) 空気源としては250 L/min以上 30 M8X1 25 2700
2000 2400
環境温度 18~22 °C 1600 2000
精度保証温度環境 温度変化 1時間あたり 1.0 ℃ 1200 1600
24時間あたり 2.0 ℃ 1200
800
800
温度勾配 水平/垂直 1.0 ℃/m 400
400
0
※ 測定機本体構成品の一部に自然石を使用しているため、石表面に模様のある場合があります。 0
STRATO-Apex STRATO-Apex ※ :ワーク積載範囲
135 135
162012/162016 163012/163016 ※※: Y軸案内面
精度仕様 2060 2060
STRATO-Apex 162012/163012 単位(µm)
名称 記号 MTP-002 TP200 MPP-002 SP25M SP80※MPP-002-1 MPP-002-2 高精度大型 CNC三次元測定機 大型・重量物の高精度測定に適した構造 CNC三次元測定機
E 0,MPE 3.5+4.0 L/1000 2.5+4.0 L/1000 2.6+4.0 L/1000 2.5+4.0 L/1000 2.5+4.0 L/1000
最大許容長さ測定誤差 E 150,MPE 3.5+4.0 L/1000 2.5+4.0 L/1000 - 2.5+4.0 L/1000 2.5+4.0 L/1000 STRATO-Apex 1200シリーズ STRATO-Apex G
E 250,MPE - - 2.7+4.0 L/1000 - -
X軸 1200 mmの広い測定範囲において 耐環境に優れた「ABSスケール」と基
繰返し範囲の最大許容限界 R 0,MPL 3.5 2.5 2.6 2.5 2.5 “高精度” と “高速” を両立 礎変形による精度劣化を修復させる
最大許容球面スキャニング
形状誤差 P 「MOVAC」を搭載
Form.Sph.Scan: PP: Tact,MPE - 2.5 2.6 2.5 2.5
最大許容スキャニング
検査時間 τ Sph.Scan: PP: Tact,MPL - 60 s 60 s 60 s 60 s
最大許容シングルスタイラス
形状誤差 P Form.Sph.1×25:SS: Tact,MPE 3.5 2.3 2.4 2.3 2.3
精度仕様はすべて標準スタイラス使用時のものです。
標準スタイラス…MTP-002_TP200:ø4×10、MPP-002-1_SP25M:ø4×50、MPP-002-2:φ4×50+50EXT、SP80:ø4×50 ※ 本商品は特注品対応となります。
E 0,MPE, E 150,MPE, E 250,MPE, R 0,MPL の試験および評価方法は、ISO 10360-2:2009(JIS B 7440-2:2013)に準拠します。
P Form.Sph.Scan: PP: Tact,MPE, τSph.Scan: PP: Tact,MPL およびP Form.Sph.1×25:SS: Tact,MPE の試験および評価方法は、ISO 10360-5:2020(JIS B 7440-5:2022)に準拠します。
※本体特注にて対応いたします。
お願い:本カタログに掲載されているCNC三次元測定機には、想定外の振動が加えられた場合や、移動が行われた場合に
本機の操作を禁止する本体起動システム(移設検知システム)が組込まれています。
ご購入後、本機を移動される場合は、お手数ですが必ず本機を移動される前に、弊社営業所までご連絡をお願い致します。
7 8
H
712
0
400
800 45 Z
1200
1600
386 5 A B
3280
0
400
800
200
600
386 5
4280
Page6
SOFTWARE OPTION
機能と操作性を両立したアプリケーションソフトウェア 様々な測定への対応を可能にするオプション群
MCOSMOS エムコスモス MiCAT Planner マイキャットプランナー 小型・高精度スキャニングプローブ MPP-002/SP25M 非接触レーザプローブ SurfaceMeasure
〈三次元測定機用データ処理装置〉 〈三次元測定機用自動測定プログラム生成ソフトウェア〉 スキャニング測定や高精度ポイント測定、求心ポイント測定にも対応していま SurfaceMeasureは、レーザを測定
Windows 上で動作する、三次元測定機用の新しい処理プログラムファミリー 3D CADモデルに公差情報を付加することで、ソフトウェアが公差情報を読 す。プローブチェンジシステムを活用し、さまざまな形状部品測定の全自動 物に照射しながら移動し、測定物
です。オプションソフトウェアのラインナップが豊富で、さまざまなプローブに み取り、測定箇所を判断し、測定プログラムを自動生成。従来(ティーチング) 化も可能です。 表面の座標値を収集するプローブ
対応しており、あらゆるワークの全自動測定が可能です。 よりも効率的な測定プログラム作成が可能になります。 です。大量の表面 3Dデータを高速
に取得することができます。
粗さ測定用プローブ SURFTEST-R
表面粗さ測定が可能な三次元測定
機用プローブです。
各種プローブと併用することで、寸法
測定から粗さまで全自動測定が可
能です。
より詳しい説明は
こちらの動画で。
ロータリーテーブル MRT240 MRT320 QS600/800
三次元測定機の動きとロータリーテーブル
の回転の動きを同期させることで、従来複
数のプローブ姿勢で測定していた物でも、
少ない姿勢で短時間且つ高精度で測定す
ることができます。回転体形状のワーク(歯
車、ローター、シャフト、インペラー、ブリスク、
円筒カム)の測定に最適です。
GEARPAK Express ギアパックエクスプレス MSURF エムサーフ
(CNC三次元測定機用 歯車計測・評価用ソフトウェア) 〈非接触レーザ測定・評価プログラム〉
入力した歯車諸元から 3Dモデルが作成されるため、想定した通りに測定さ スキャニング用の MSURF-Sとインスペクション用の MSURF-I からなるパッケー
れるかを視覚的にわかりやすく確認できます。また、自動プログラム生成と ジプログラムで、測定した点群データ (MSURF-S)からマスタモデルデータと
測定ガイダンス表示により、座標系設定がすばやく、簡単にできます。 の比較照合や寸法測定等(MSURF-I)を行います。
稼働状況
日常点検 PLUSは、ISOで要求される日常点検の実施および点検履歴の一
元管理を可能にし、日常点検の実施状況を確実に記録、過去の履歴も容
易に追跡できます。 稼働率
さらに、遠隔から設備の「動作中」「停止中」といった稼働状況の確認や、
異常検知の監視も可能となります。
※ 本サービスは単独のご利用、もしくは Premium/Standard契約のオプションとしてもご利用い
ただけます。
プローブ
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座標測定機 画像測定機 形状測定機 光学機器
精密センサ 試験・計測機器 スケールユニット 測定工具、測定基準器、計測システム
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