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最先端産業に貢献する最新テクノロジーを製品化し、お客様の製造ラインを支えています。
■掲載製品
エバラの真空・排ガス処理技術
ドライ真空ポンプ
ターボ分子ポンプ（磁気軸受タイプ、玉軸受タイプ）
真空機器集中監視システム
排ガス処理装置
Airgard社製湿式排ガス処理装置
ドライ真空ポンプ＋排ガス処理装置一体型システム
ノンパーティクルぽんぷ
ピュアウォータジェットプンプ
超高濃度クリーンオゾナイザ
オゾン水製造装置
CMP装置
実装めっき装置
ベベル研磨装置
このカタログについて
| ドキュメント名 | ドライ真空ポンプ+排ガス処理装置 超クリーン機器シリーズ総合カタログ |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 5Mb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 株式会社荏原製作所 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
