信頼と実績で選ばれる、Keysight最新DAQ DAQ970A / DAQ973A データ収集システム

DAQ970A/DAQ973A データロガー／データ収集システム 主な特長 • 3スロット装備、6½桁DMM内蔵メインフレーム • 基本DC電圧確度 0.003 % • 9種類のスイッチ、RFおよび制御プラグインモジュール（新製品4チャネル同時サンプリングデジタイザ を含む） • スキャンレート 最大 450チャネル／秒 • チャネル 最大120（1線式）、最大60（2線式） • スキャンメモリ 最大100万ポイント • 14種類の入力信号の測定と変換： 熱電対/RTD/サーミスターによる温度、DC/AC電圧、2線式/4線式抵抗、周波数と周期、DC/AC電流、 ダイオードとキャパシタンス、歪み（直接およびブリッジ） • 4.3インチの大型カラーディスプレイによる容易なセットアップとデータ表示 • USB/LAN搭載（DAQ973Aは追加でGPIB搭載） • 34970A/34972Aとのコード互換性 • フロントパネルに搭載したUSBポートを使い、USBメモリへのデータロギングとデータミラーリングが 可能 • 付属のBenchVue DAQソフトウェアにより、プログラミングなしでのテスト自動化が可能（優れた タイムドメイン／周波数ドメイン測定機能あり） 信頼できる測定 高性能のベンチトップDMMに使用されている測定エンジンを、3スロットのメインフレーム内部に 組み込みました。低価格の小型データ収集パッケージにも、その高い測定パフォーマンス、信号コ ンディショニング機能内蔵のユニバーサル入力、柔軟なモジュール方式といった特長が生かされて います。DAQ970A/DAQ973Aは、6½桁（22ビット）の分解能と0.003 %の基本DC電圧確度を備え、 読み取りノイズはきわめて小さくなっています。スキャン速度も最大450チャネル／秒と速いため、 正確な測定に必要な速度と確度が得られます。 www.keysight.co.jp 1

内蔵シグナルコンディショニングによる作業の高速化 DAQ970A/DAQ973Aを使用すれば、温度、AC/DC電圧、抵抗、周波数、電流をすべて測定できます。内蔵オートレン ジDMMによって12種類のファンクションを直接測定できるため、高価な外部シグナルコンディショニングは不要で す。また、チャネルごとの設定が行えるキーサイト・テクノロジー独自の設計は、DAQ970A/DAQ973Aの柔軟性を高 め、迅速で簡単なセットアップを可能にします。各チャネルに独立した高性能DMMを備えているのと機能的には同じ です。 4.3インチの大型カラーディスプレイによる容易なセットアップ、設定、データ表示 DAQ970A/DAQ973Aの4.3インチのグラフィカル・カラー・ディスプレイとソフトキーは、わかりやすくデザインされ ており、設定やさまざまなフォーマットでの測定表示を容易に行うことができます。測定値は、数値、棒グラフ、ト レンドチャート、ヒストグラムで表示できるので、測定の概要をすぐに把握できます。 標準でPCとの容易な接続 DAQ970AはギガビットLANとUSB 2.0インタフェースを装備しています。標準のLANインタフェースにより、グラ フィカル・ウェブ・インタフェースを通じて、一般的なウェブブラウザーから測定器の設定や結果の表示を簡単に行 うことができます。LANとUSBに加えて、DAQ973Aには内蔵GPIBインタフェースが付属しています。 USBフラッシュメモリによる便利なデータ保存 また、DAQ970A/DAQ973AはUSBメモリポートを内蔵しているので、PCに接続していなくても、USBフラッシュメ モリにデータを収集することができます。DAQ970A/DAQ973AのデータをUSBフラッシュメモリに直接記録できま す。また、内部メモリのデータをコピーして別の場所のコンピューターに移動することもできます。 Webインタフェースによるバーチャルなフロントパネル制御 内蔵の グラフィカル Web インタフェース により、Chromeや Internet ExplorerなどのWebブラウザを使用して、容易 に測定器にアクセスして制御することができます。このインタフェースを使用すると、ネットワーク上のどこからで も、測定の設定、スキャンリストの定義と実行、測定結果のモニターを行うことができます。測定器のホスト名また はIPアドレスをブラウザのURLフィールドに入力するだけで測定器のフロントパネル機能にアクセスできます。 • チャネルごとの測定構成の指定 • スイッチスキャンの定義と実行 • 測定値のモニタ • データの表示と保存 • エラーキューの表示 • モジュール構成、リレーカウント、ファームウェアリビジョンなどの測定器情報の表示 また、ウェブインタフェースは測定器に内蔵されているので、特別なソフトウェアをインストールしなくても、ウェ ブブラウザーをサポートする任意のオペレーティングシステムからアクセスできます。アクセスを制限するためのパ スワード保護とLANロックアウト機能も備えています。グラフィカル・ウェブ・インタフェースにより、測定器の設 定、スキャンのセットアップと実行、デザインのトラブルシューティングをネットワーク上のどこからでも容易に行 えます。 ニーズに合わせて変更可能なカスタム構成 3つのモジュールスロットと9つのスイッチ／コントロールモジュールを使えば、それぞれの条件に合わせて DAQ970A/DAQ973Aをカスタマイズできます。モジュールは、最初に必要なものだけを購入し、アプリケーションの 拡張に合わせて追加できます。 www.keysight.co.jp 2

フロントパネルの説明 ラベル 概要 1 USBポート 2 LEDインジケーター付き オン／スタンバイスイッチ 3 ディスプレイ 4 ソフトキー 5 測定操作メニュー（測定の実行用） 6 測定構成メニュー（測定パラメータの設定用） 7 ノブ 8 方向/選択キー www.keysight.co.jp 3

リアパネルの説明 ラベル 概要 1 スロット識別子（100、200、300） 2 GPIBインタフェース（DAQ973Aのみ） 3 ACメイン入力 4 LANインタフェース 5 外部トリガ入力、アラーム出力、チャネルアドバンス入力、チャネルクローズ出力 6 USBインタフェース 7 シャーシグランドねじ www.keysight.co.jp 4

データ収集アプリケーションのあらゆる用途に使用可能な Keysight DAQ970A/DAQ973A これまでは、操作が簡単で低価格のデータロガーか、適応範囲の広い高性能のモジュール式データ収集システムかの 選択が必要でしたが、Keysight DAQ970A/DAQ973A データロガー／データ収集システムはその両方の特長を備えて おり、シンプルなユーザーインタフェースと低いチャネルあたりのコスト、モジュール方式の柔軟性、規格に準拠し たインタフェース、優れた測定性能を提供します。最新のデザインの特性評価を行う研究開発エンジニアにとっても、 テストシステムの構築やプロセスのトラブルシューティングを行う製造エンジニアにとっても、DAQ970A/DAQ973A データロガー／データ収集システムの価格と測定性能の組み合わせは最適です。 データロガーとして使用する場合 DAQ970A/DAQ973Aは、20チャネルのリレー式マルチプレクサと組み合わせることで、パワフルで低価格のデータロ ガーとして簡単な特性評価に使用できます。また、DAQ970A/DAQ973Aは、LAN、USB、またはGPIBインタフェース を内蔵しているので、リモートでのデータ・ロギング・アプリケーションのセットアップと制御にも最適です。 データ収集のフロントエンドとして使用する場合 DAQ970A/DAQ973Aは、優れた測定性能を備えた自動テストシステムであり、測定に必要な確度、分解能、速度を備 えています。 モニタリングや特性評価用の使いやすいデータロガー データロガーは、不規則性を識別するために、長期にわたって複数信号（温度、電圧など）のモニターに使用されま す。アプリケーションの例としては、環境チャンバーのモニタリング、コンポーネントの検査、ベンチトップテスト、 プロセスのトラブルシューティング、温度プロファイリングなどが挙げられます。Keysight DAQ970A/DAQ973Aは、 スタンドアロンでもコンピューターとの組み合わせでも、さまざまなデータロギングおよびモニタリングアプリケー ションに容易に使用できます。柔軟なモジュールデザインにより、チャネル数を4～120の範囲で変更でき、アクチュ エータ、デジタルI/O、アナログ出力チャネルを追加して簡単な制御を行うこともできます。DAQ970A/DAQ973Aは小 型で耐久性があり、USBメモリポートも備えているので、携帯にも最適です。USB、LAN、またはGPIBインタフェー スを使用してPCと簡単に接続し、リモートアプリケーションを実現できます。DAQ970A/DAQ973Aは、リモートサイ トに配置してネットワーク上のウェブインタフェースからアクセスでき、USBポートを通じて測定器の設定や測定 データをUSBフラッシュメモリにコピーすることもできます。 手間を省いて測定結果を改善 データロガーやプラグインデータ収集ボードを使用する場合、測定性能の不足に悩まされることが少なくありません。 DAQ970A/DAQ973Aなら、6½桁の分解能と0.003 %の基本1年間DC電圧確度を備えています。 www.keysight.co.jp 5

さらに、DAQ970A/DAQ973Aは、以下の14種類の入力信号の測定と変換が可能です。 • 熱電対、RTD、サーミスターによる温度 • DC/AC電圧 • 2線式/4線式抵抗 • 周波数／周期 • キャパシタンス／ダイオード • 歪み さらに、各チャネルは個別に設定できます。すなわち、同じモジュール上でチャネル1をDC電圧用に、チャネル2を K型熱電対用に、チャネル3とチャネル13を4線式RTD用に設定し、1回のスキャンですべてを測定することができま す。カスタムリニア変換では、任意のチャネルでMx＋Bスケーリング機能を使用できます。測定単位を識別するため に、RPMやPSIなど3文字のカスタム工学ラベルを表示することも可能です。 汎用アラーム 同様に、アラームもチャネルごとに使用できます。上限値、下限値、または両方を設定することができます。 DAQ970A/DAQ973Aは各読み値をリミットと比較し、レンジ外にある測定値を知らせます。4つのTTLアラーム出力の どれかを任意の入力チャネルに割り当て、アラームライトを点灯したり、警告音を鳴らしたり、制御システムにTTL パルスを送信することができます。PCに接続する必要はありません。 スキャンが簡単 DAQ970A/DAQ973Aは、（キーサイトのマルチファンクション・モジュールからのデジタル入力も含め）構成された すべての入力のスキャンリストを、チャネル番号の昇順で自動的に作成します。スキャン速度を指定するには、 DAQ970A/DAQ973A内部のタイマーにより一定間隔で自動スキャンを行うようにリアルタイムクロックを設定する か、手動でフロントパネルのボタンを押すか、ソフトウェアコマンドまたは外部TTLトリガパルスを送信します。 任意の入力の監視 特別な表示モードを使用すれば、選択した入力チャネルを継続的にモニターして、スキャン中でも新しい読み値によっ て表示を継続的に更新できます。また、DAQ970A/DAQ973Aの内蔵LANインタフェースを使用すれば、グラフィカル・ ウェブ・インタフェースを通じて、ネットワーク経由でチャネルをモニターすることもできます。このように重要な 入力を常に監視することができ、テスト前のシステムのトラブルシューティングにも有用です。 不揮発性メモリおよびUSBフラッシュメモリによる利便性と携帯性 すべての読み値は自動的にタイムスタンプを付加され、100万読み値の容量を持つ不揮発性メモリに保存されます。 これは、（5分ごとに20チャネルをスキャンした場合）1週間分以上のデータを保持するのに十分なメモリです。不揮 発性メモリのデータは電源をオフにしても保持されるため、DAQ970A/DAQ973Aを使って遠隔地でデータを収集し、 後でPCにアップロードすることができます。もっと多くのメモリが必要な場合には、DAQ970A/DAQ973AのUSBポー トを使用することで、コンピューターに接続していなくても、USBフラッシュメモリに直接データを記録したり、読 み値メモリからデータをコピーしたりすることができます。 自動テスト用のパワフルで柔軟なデータ収集システム DAQ970A/DAQ973Aは、キーサイトのデータロガー／データ収集システムにふさわしい分解能、確度、再現性、速度 を備えています。さまざまなアプリケーションに合わせて変更や拡張の可能なモジュール方式のシステムには、優れ た測定機能の他に信号ルーティング機能と制御機能が組み込まれています。 www.keysight.co.jp 6

パワフルな測定機能 DAQ970A/DAQ973Aの内蔵6½桁DMMは、トップクラスのスタンドアロンDMMと同じパワーと性能を備えていなが ら、コストと占有面積ははるかに小さくなっています。1年で0.003 %の基本DC電圧確度、1年で0.05 %の基本AC電 圧確度、1年で0.004 %の基本抵抗確度は、最高のベンチDMMと比べても性能面で遜色がありません。キーサイト・テ クノロジーの特許技術であるA-Dテクノロジーによって、驚異的なリニアリティ（読み値の2ppm＋レンジの1ppm） と、22ビットの実分解能を実現しています。また、積分型A/Dのため、ノイズの多いサンプリングA/Dと比べ、ノイズ の除去にも優れています。もはや、実データを見るためのデータ・アベレージングは必要ありません。また、高速ス キャンが必要な場合、DAQ970A/DAQ973Aは、最大450チャネル／秒の速度で、変換済み測定値を出力できます。DMM の入力セクションは、DAQ970A/DAQ973Aのグランド基準回路やコンピューターインタフェースから光学的に分離さ れ、シールドされており、最大300 Vの入力アイソレーションを実現しています。これは、長いケーブル配線やフロー ティング測定信号源に関連するグランドループおよびコモンモード電圧誤差を減少させるためには重要です。 柔軟な機能 DMMはスロットでなくシャーシ内に取り付けられているので、3つのメインフレームスロットがすべて、スイッチモ ジュールやコントロールモジュールに使用できます。9種類のモジュールから現在必要な機能を選択できるだけでな く、将来の拡張にも柔軟に対応できます。 内蔵DMMによって、14種類の入力の測定を簡単に低価格で実行できます。内蔵シグナルコンディショニングと変換 ルーチンが、生の入力値を真の情報に直接変換します。各測定チャネルは個別に設定が可能で、隣接するチャネルで も測定ファンクション、スケールファクタ、アラームリミットを別々に設定することができます。オフセット補正、 可変積分時間、ディレイなどの高度な測定機能も、チャネルごとに選択できます。 ソフトウェアドライバー テストシステムのソフトウェア開発に費やされた時間が無駄になりません。DAQ970A/DAQ973AのLAN、USB、GPIB とSCPIプログラミング言語に対応したソフトウェアドライバー（C、C#、Visual Basic、Visual Studio）により、統合 がさらに容易になります。 必要な機能 DAQ970A/DAQ973A用のモジュールの定義とデザインは、スイッチングや信号ルーティングに関するさまざまな要件 に、できるだけ少ない数のモジュールで対応できるよう、慎重に考慮されています。その結果、注文や構成は非常に シンプルになっています。また、設計にあたっては、パフォーマンスと密度の改善も実現されています。 DAQ970A/DAQ973Aのモジュールは、マイクロボルトから300ボルトまで、DCから2 GHzまでの切り替えが可能で、 密度は最大で1フレームあたり120シングルエンドチャネルまたは96マトリクスクロスポイントとなっています。さら に、アナログ出力、オープン・コレクタ・デジタル出力、アイソレートされたCフォームリレーなど、ハイパワーデバ イスを制御するための簡単なコントロール機能を使用できます。 簡単なスキャン DAQ970A/DAQ973Aでは、外部測定器を使って簡単にスキャンが行えます。DAQ970A/DAQ973Aは、すべての有効な 低周波マルチプレクサ入力を含むスキャンリストを作成します。スキャンの制御は、外部の「チャネルアドバンス」 入力、またはフロントパネルのStepキーで行なえます。 www.keysight.co.jp 7

企業ネットワークへの接続 DAQ970A/DAQ973Aは、LANインタフェースを備え、企業ネットワークに容易に接続して測定データをセントラル データベースに集めたり、リモートから測定器のセットアップにアクセスしたり、測定データをネットワーク上の任 意の場所からモニターすることができます。 保証について ハードウェアの故障や予定外の保守によって測定器を停止させることはできません。そのため、キーサイトは DAQ970A/DAQ973Aの設計にあたって信頼性の向上に努めています。その例として、耐久性のある筐体、最新表面実 装技術の全面的な使用、部品数の削減、厳しい徹底的な製品検査があげられます。 推測によるリレー保守から脱却 DAQ970A/DAQ973Aは、キーサイト独自のリレー保守システムを使ってリレーの寿命を予測し、製造ラインの操業停 止による損害の発生を防いでいます。このシステムは、すべてのスイッチの閉じる回数を自動的にカウントし、それ を各モジュールの不揮発性メモリに保存します。個々のチャネルの総サイクル数を確かめることによって、保守のス ケジュールをたてたり、予測の難しい寿命による故障を避けることができます。 www.keysight.co.jp 8

プラグインモジュールでKeysight DAQ970A/DAQ973Aのカスタマイズが可能に 各種プラグインモジュールから必要なものを選択すれば、高品質の測定機能、スイッチング機能、およびコントロー ル機能が得られます。モジュールの種類としては、低周波とRFのマルチプレクサ、マトリクススイッチ、汎用スイッ チ、マルチファンクション・モジュール、およびデジタル入出力、アナログ出力、トータライザー機能を備えたデジ タイザモジュールがあります。これらのモジュールを組み合わせて現在必要な機能を実現しながら、将来アプリケー ションの成長に合わせてチャネルの変更や追加が可能です。DAQ970A/DAQ973A用のモジュールは、テストを容易に、 高速に、高い信頼性で行えるように設計されています。以下に、その内容を説明します。 より高いスループット キーサイト独自のアーキテクチャーでは、各モジュールに高性能マイクロプロセッサを組み込むことで、メインフレー ムのプロセッサの負荷を軽減し、バックプレーンの通信を最小化することで高スループットを実現しています。 より狭いスペースにより多くのチャネルを搭載 表面実装と高度集積設計によって、リレードライブやインタフェースの回路に必要なスペースを最小化しています。 高密度オンモジュールコネクタは、通常ターミナルブロックに必要なボードとコネクタのスペースを減少させます。 最新技術によって残りのボードスペースを縮小し、多くのデータ収集システムのターミナルブロックとほぼ同じス ペースに、最大40個のシングルエンドチャネルを搭載しています。 便利な接続 オンモジュールネジ式端子コネクタによって、配線が楽に行えます。内蔵緩衝ケーブルルーティングとケーブル接続 ポイントによって、配線の安全性が確保され、誤って引っ張っても配線への影響がありません。内部アナログバスが、 低周波マルチプレクサからの信号を内蔵DMMに直接送信するので、外部接続は不要です。 www.keysight.co.jp 9

データ収集と解析を簡素化するKeysight BenchVue DAQソフトウェア （DAQ970A/DAQ973Aにライセンス標準付属） PCベースのデータロギング機能は欲しいけれども、プログラミングに時間を費やしたくないとお考えなら、BenchVue DAQソフトウェアをお勧めします。このWindows®ベースのアプリケーションは、PCを使った測定値の収集と解析を 可能にします。テストのセットアップ、測定データの収集とアーカイブ、入力データのリアルタイムの表示と解析が 可能です。 使い慣れたスプレッドシート環境を使用して、テストの設定と制御を容易に行うことができます。また、さまざまな 色のグラフィックをデータの解析や表示に使用することができ、しかもすべての操作がポイントアンドクリックで行 えます。ストリップチャート、ヒストグラム、X-Y散布図、アラームライトなどを使って、複数のグラフィックをセッ トアップできます。BenchVue DAQを使って他のアプリケーションにデータを移動してさらに解析したり、プレゼン テーションやレポートに使用したりすることもできます。 DAQM909Aデジタイザと組み合わせることで、次のような高度な測定機能を利用できます。 • 周波数ドメイン測定：FFT、THD、THD+N、SINAD • 周波数ドメインチャートのサンプルサイズは最大1 Mサンプル • オシロスコープ相当のタイムドメイン測定 • タイムドメインチャートのサンプルサイズは最大50 Mサンプル www.keysight.co.jp 11

データログ機能のチェックリスト • 1～120チャネルのアナログ入力 • 測定の種類：DC電圧、AC電圧、熱電対／サーミスター/RTD温度測定、2線式/4線式抵抗、DC電流、AC電流、周 波数／周期、キャパシタンス • 分解能6½桁（22ビット） • 50,000回／秒の測定速度 • 100万読み値の不揮発性メモリ（タイムスタンプ付き） • チャネル単位でスケーリングとアラームが使用可能 • フル機能のフロントパネルによるスタンドアロンでの設定、トラブルシューティング、データ表示 • 5通りの全機器ステートを不揮発性メモリに記憶 • 内蔵のLAN/USBインタフェースにより、リモートのデータロギングアプリケーションに対応 • 設定とデータ解析のためのBenchVue DAQソフトウェアが付属 ATE機能チェックリスト • 3スロットのカードケージ、6½桁（22ビット）の内蔵DMM、0.003 %の基本1年間DC電圧確度、0.05 %のAC電圧 確度 • 高さ3.5インチのハーフラック測定器で最大120のシングルエンド測定または96のマトリクスクロスポイントを 実現 • 9種類のスイッチおよびコントロールモジュール：低周波/RFマルチプレクサ、4チャネルデジタイザ、マトリク ス／アクチュエーションスイッチ、デジタル入力／出力、アナログ出力、イベント記録 • 最大450チャネル／秒のスキャンレート • BenchVueソフトウェアとグラフィカル・ウェブ・インタフェースによるテスト開発の高速化とテストのリモート 監視 • システム保守のためのリレー保守機能 内蔵シグナルコンディショニングで正確な測定を実現 DC電圧以外のファンクションの処理を外部またはプラグインのシグナル・コンディショニング・モジュールに頼って いる他のデータ収集システムと比べて、DAQ970A/DAQ973Aのアーキテクチャーには以下の長所があります。 • 外部配線を最小化することで、ノイズや誤差のシステムへの混入を防止 • 不要なケーブル、ブレークアウトボックス、シグナル・コンディショニング・エレメントを不要にすることで、 隠れたコストやシステム全体のコストを削減 • 接続とコンポーネントの数を減らし、構成を簡素化することで、セットアップの時間と手間を削減 • 推測に基づく誤差解析が不要。 • 測定確度仕様はすべてのシステム関連誤差を考慮 • 故障の原因となる相互接続や部品数が少ないため、信頼性が向上します。 www.keysight.co.jp 12

仕様に関するガイド 以降のページには、Keysight DAQ970A/DAQ973A データロガー／データ収集システムとそのモジュールの仕様が記 載されています。これらの仕様は、以下の説明と例を参照してご覧ください。 • 測定確度は、読み値のパーセントとレンジのパーセントの和で表されます。読み値とは実際の測定値です。レン ジとはスケールの名称（1 V、10 Vなど）であり、フルスケール値（1.2 V、12 Vなど）ではありません。 • DMM測定確度には、すべてのスイッチング誤差が含まれます。スイッチング誤差は、モジュール仕様にも記載さ れています。温度測定の確度には、ITS-90の変換誤差が含まれます。熱電対の確度には、基準接点の誤差も含ま れます。 • 確度は、24時間、90日、または1年の仕様を示します。これは、最後に計測器を校正してからの期間を指します。 お客様各自の校正サイクルに適合する仕様をお使いください。短期の相対パフォーマンスを判定するには、24時 間仕様が便利です。 例1: 基本DC電圧確度 確度を計算する測定は、9 V DC入力、10 V DCレンジ、1年間確度仕様、通常の動作温度（18～28 ℃）です。 次のページより、1年間確度は読み値の0.003 %＋レンジの0.0004 %です。 すなわち、次のようになります：（0.003/100×9 V）＋（0.0004/100×10 V）＝310 µV 総合確度は次のとおりです：310 μV/9 V＝0.0034 % 例2: 範囲外の動作温度 DAQ970A/DAQ973Aを18～28 ℃の温度範囲外で使用する場合は、追加的な温度ドリフトによる誤差を考慮する必要 があります。例1と同じ条件で、動作温度が35 ℃の場合を考えます。 基本確度はこの場合も例1．と同じです：読み値の0.003 %＋レンジの0.0004 %＝310 µV 次に、DC電圧仕様表の10 Vの温度係数に、動作温度範囲外の度数を乗じて、追加誤差を求めます（ACAL不使用時）： （読み値の0.0005 %＋レンジの0.0001 %）/℃×（35－28 ℃） ＝（読み値の0.0005 %＋レンジの0.0001 %）/℃×7 ℃ ＝読み値の0.0035 %＋レンジの0.0007 %＝385 µV 総合誤差は次のとおりです：310 µV＋385 µV＝695 µVまたは0.0077 % www.keysight.co.jp 13

例3：熱電対測定確度 DAQ970A/DAQ973Aでは、熱電対の総合読み取り誤差の計算は簡単です。リストに示した測定確度をトランスデュー サーの確度に加算するだけです。スイッチング、変換、基準接点の誤差は、測定仕様にすでに含まれています。 この例では、J型熱電対入力の読み値が150 ℃であると仮定します。 温度特性表より、総合誤差は次のとおりです：熱電対プローブ確度＋1.0 ℃ プローブベンダーの仕様によれば、確度は1.1 ℃または0.4 %のうち大きい方です。 総合誤差は次のとおりです：1.0 ℃＋1.1 ℃＝合計2.1 ℃、または1.4 % 例4: AC電圧確度 AC電圧ファンクションは、波形の形状にかかわらず、入力波形の真の実効値を測定します。リストに示した確度は、 正弦波入力を仮定しています。非正弦波に対して確度を調整するには、リストされているクレストファクター加算値 を使用します。 この例では、±1 Vの方形波入力、50 %のデューティーサイクル、1 kHzの周波数を仮定とします。 1 V、1 kHzの正弦波に対する確度は次のとおりです：読み値の0.05 %＋レンジの0.02 %＝0.7 mVまたは0.07 % www.keysight.co.jp 14

DAQ970A/DAQ973Aの確度仕様±（読み値の%＋レンジの%） DC電圧と抵抗 自動校正(ACAL)対応 24時間 4 90日間 1年間 2年間 レンジ 3 ACAL不使用時 ACAL使用時 Tcal±1 ℃ Tcal±5 ℃ Tcal±5 ℃ Tcal±5 ℃ 温度係数/℃ 5 温度係数/℃ 6 確度±（読み値の%＋レンジの%）1 DC電圧 2 100 mV 0.0030 + 0.0050 0.0040 + 0.0060 0.0050 + 0.0060 0.0065 + 0.0060 0.0005 + 0.0005 0.0002 + 0.0005 1 V 0.0015 + 0.0006 0.0025 + 0.0006 0.0035 + 0.0006 0.0050 + 0.0006 0.0005 + 0.0001 0.0002 + 0.0001 10 V 0.0010 + 0.0003 0.0021 + 0.0004 0.0030 + 0.0004 0.0045 + 0.0004 0.0005 + 0.0001 0.0002 + 0.0001 100 V 0.0020 + 0.0006 0.0035 + 0.0006 0.0040 + 0.0006 0.0055 + 0.0006 0.0005 + 0.0001 0.0002 + 0.0001 300 V 0.0020 + 0.0020 0.0035 + 0.0020 0.0040 + 0.0020 0.0055 + 0.0020 0.0005 + 0.0001 0.0002 + 0.0001 抵抗 2、7 100 Ω 0.0030 + 0.0050 0.0050 + 0.0060 0.0060 + 0.0060 0.0070＋0.0060 0.0006 + 0.0005 0.0002 + 0.0005 1 kΩ 0.0020 + 0.0007 0.0030 + 0.0007 0.0040 + 0.0007 0.0050 + 0.0007 0.0006 + 0.0001 0.0002 + 0.0001 10 kΩ 0.0020 + 0.0005 0.0030 + 0.0005 0.0040 + 0.0005 0.0050 + 0.0005 0.0006 + 0.0001 0.0002 + 0.0001 100 kΩ 0.0020 + 0.0005 0.0030 + 0.0005 0.0040 + 0.0005 0.0050 + 0.0005 0.0006 + 0.0001 0.0002 + 0.0001 1 MΩ 0.0020 + 0.0005 0.0060 + 0.0005 0.0070 + 0.0005 0.0080 + 0.0005 0.0010 + 0.0002 0.0002 + 0.0002 10 MΩ 0.010 + 0.001 0.020 + 0.001 0.025 + 0.001 0.030 + 0.001 0.0030 + 0.0004 0.0030 + 0.0004 100 MΩ 0.100 + 0.001 0.250 + 0.001 0.350 + 0.001 0.400 + 0.001 0.1000 + 0.0001 0.0100 + 0.0001 1000 MΩ 2.000 + 0.001 2.500 + 0.001 3.500 + 0.001 4.000 + 0.001 1.0000 + 0.0001 0.1000 + 0.0001 1. 仕様は、60分間のウォームアップ、積分設定10または100 NPLC、オートゼロ オン、AC遅延フィルター使用時の値。過去2日間以内にACAL実行、901モジュール インタフェース。 2. これらの仕様には901モジュールとバックプレーンによるオフセット特性が含まれる（DCV＋2 μV、4線式抵抗測定＋2 mΩを加算） 3. すべてのレンジは20 %オーバーレンジ（300 VDC、300 VAC、1 ADC、1 AAC、ダイオードテストを除く=0 %）。 4. 校正基準の相対値。24時間仕様は、仕様の検証に使われたのと同じDAQM901モジュールで校正した場合のみ適用。 5. 前回のACAL±5 ℃の範囲外の1 ℃ごとにこの値を加算。 6. 前回の外部標準校正±5 ℃の範囲外の1 ℃ごとにこの値を加算。 7. 仕様は、4線式抵抗測定またはオフセットに演算nullを使用した2線式抵抗測定の値。演算nullがない場合、2線式抵抗測定ファンクションに2 Ωの誤差を追加。100Mと 1G Ωレンジは2線式抵抗のみ。ローパワーΩ仕様と測定電流については、マニュアルを参照してください。 www.keysight.co.jp 15

DC電流とその他のDCファンクション 24時間 3 90日間 1年間 2年間 レンジ 2 温度係数／℃ 5 Tcal±1 ℃ Tcal±5 ℃ Tcal±5 ℃ Tcal±5 ℃ 確度±（読み値の%＋レンジの%）1 特性 - 代表値：DC電流 1 µA 0.017 + 0.005 0.040 + 0.005 0.050 + 0.005 0.060 + 0.005 0.0020 + 0.0010 10 µA 0.015 + 0.002 0.040 + 0.002 0.050 + 0.002 0.060 + 0.002 0.0015 + 0.0006 100 µA 0.012 + 0.001 0.040 + 0.001 0.050 + 0.001 0.060 + 0.001 0.0015 + 0.0004 仕様: DC電流 1 mA 0.007 + 0.003 0.030 + 0.005 0.050 + 0.005 0.060 + 0.005 0.0015 + 0.0005 10 mA 0.007 + 0.020 0.030 + 0.020 0.050 + 0.020 0.060 + 0.020 0.0020 + 0.0020 100 mA 0.010 + 0.004 0.030 + 0.005 0.050 + 0.005 0.060 + 0.005 0.0020 + 0.0005 1 A 0.050 + 0.006 0.070 + 0.010 0.080 + 0.010 0.100 + 0.010 0.0050 + 0.0010 特性 - 代表値:ダイオードテスト 4 5 V 0.002 + 0.010 0.008 + 0.010 0.010 + 0.010 0.012 + 0.020 0.0010 + 0.0010 仕様: AC電圧 真の実効値のAC電圧 6、7 100 mV、1 V、10 V、100 Vのレンジ 3 Hz – 5 Hz 0.50 + 0.02 0.50 + 0.02 0.50 + 0.02 0.50 + 0.02 0.010 + 0.003 5 Hz – 10 Hz 0.10 + 0.02 0.10 + 0.02 0.10 + 0.02 0.11 + 0.02 0.008 + 0.003 10 Hz – 20 kHz 0.02 + 0.02 0.04 + 0.02 0.05 + 0.02 0.06 + 0.02 0.007 + 0.003 20 kHz – 50 kHz 0.05 + 0.03 0.06 + 0.03 0.07 + 0.03 0.08＋0.03 0.010 + 0.005 50 kHz – 100 kHz 0.15 + 0.05 0.15 + 0.05 0.15 + 0.05 0.15 + 0.05 0.060 + 0.008 100 kHz – 300 kHz 1.00 + 0.1 1.00 + 0.1 1.00 + 0.1 1.00 + 0.1 0.200 + 0.020 300 Vレンジ 3 Hz – 5 Hz 0.50 + 0.05 0.50 + 0.06 0.50 + 0.06 0.50 + 0.06 0.010 + 0.008 5 Hz – 10 Hz 0.10 + 0.05 0.10 + 0.06 0.10 + 0.06 0.11 + 0.06 0.010 + 0.008 10 Hz – 20 kHz 0.02 + 0.05 0.04 + 0.06 0.05 + 0.06 0.06 + 0.06 0.010 + 0.008 20 kHz – 50 kHz 0.05 + 0.09 0.06 + 0.09 0.07 + 0.09 0.08＋0.09 0.010 + 0.0012 50 kHz – 100 kHz 0.15 + 0.15 0.15 + 0.15 0.15 + 0.15 0.15 + 0.15 0.060 + 0.020 100 kHz – 300 kHz 1.00 + 0.3 1.00 + 0.3 1.00 + 0.3 1.00 + 0.3 0.200 + 0.050 仕様：真の実効値のAC電流 7、8 100 μA、1 mA、10 mA、100 mA、1 Aレンジ 3 Hz – 5 kHz 0.07 + 0.04 0.09＋0.04 0.10 + 0.04 0.10 + 0.04 0.015 + 0.006 5 kHz – 10 kHz（代表値） 0.10 + 0.04 0.10 + 0.04 0.10 + 0.04 0.10 + 0.04 0.030 + 0.006 1. 仕様は、60分間のウォームアップ、積分設定10または100 NPLC、オートゼロ オン、AC遅延フィルター使用時の値。過去2日間以内にACAL実行、901モジュール インタフェース。 2. すべてのレンジは20 %オーバーレンジ（ただし例外として、300 VDC、300 VAC、1 ADC、1 AAC、ダイオードテストは0 %）。 3. 校正基準を基準とする。24時間仕様は、仕様の検証に使われたのと同じDAQM901モジュールで校正した場合のみ適用。 4. 仕様は入力端子で測定された電圧に対する値。1 mAテストの電流は代表値。電流ソースの変動はダイオード接合部に電圧降下の変動を生じる。 5. Tcal±5 ℃の範囲外の1 ℃ごとにこの値を加算。 6. 仕様は、レンジの＞0.3 %、＞1 mVrmsの正弦波入力に対する値。300 Vrmsレンジ入力ではレンジの>1 %。VACレンジはすべて8 x 10^7 Volt–Hzに制限。 7. 低周波数性能：3 Hz、20 Hz、200 Hzの3種類のフィルター設定が使用可能。このフィルター設定より大きい周波数の仕様は追加誤差なし。 8. 仕様は、レンジの＞1 %、＞10 μA ACの正弦波入力に対する値。 www.keysight.co.jp 16

特性：キャパシタンス（代表値） キャパシタンス 1 1.0000 nF 0.50 + 0.50 0.50 + 0.50 0.50 + 0.50 0.50 + 0.50 0.05 + 0.05 10.000 nF 0.40 + 0.10 0.40 + 0.10 0.40 + 0.10 0.40 + 0.10 0.05 + 0.01 100.00 nF 0.40 + 0.10 0.40 + 0.10 0.40 + 0.10 0.40 + 0.10 0.05 + 0.01 1.0000 µF 0.40 + 0.10 0.40 + 0.10 0.40 + 0.10 0.40 + 0.10 0.05 + 0.01 10.000 µF 0.40 + 0.10 0.40 + 0.10 0.40 + 0.10 0.40 + 0.10 0.05 + 0.01 100.00 µF 0.40 + 0.10 0.40 + 0.10 0.40 + 0.10 0.40 + 0.10 0.05 + 0.01 仕様: 周波数 周波数 2、3 100 mV、1 V、10 V、100 V、300 Vレンジ 3 3 Hz – 10 Hz 0.070 0.070 0.070 0.070 0.0002 10 Hz – 100 Hz 0.030 0.030 0.030 0.030 0.0002 100 Hz – 1 kHz 0.003 0.006 0.007 0.010 0.0002 1 kHz – 300 kHz 0.002 0.005 0.007 0.009 0.0002 方形波 0.001 0.004 0.006 0.008 0.0002 追加の周波数誤差（読み値の%）2 開口部（分解能／レンジ） 1秒 0.1秒 0.01秒 0.001秒 3 Hz – 40 Hz 0 0.100 0.160 0.160 40 Hz – 100 Hz 0 0.030 0.160 0.160 100 Hz – 1 kHz 0 0.020 0.200 0.200 1 kHz – 300 kHz 0 0.004 0.030 0.240 方形波 4 0 0.000 0.000 0.003 1. 仕様は演算nullゼロ調整を使用したもの。損失係数が大きいキャパシタの場合、単一周波数測定とは結果が異なる場合がある。薄膜キャパシタは通常、他の誘電体より も損失係数が小さい。 2. 仕様は別途記載のない限り正弦波入力のもの。 3. 入力 > 100 mV。10 mV～100 mVの入力の場合、読み値誤差をx10で乗算する。300 ACVレンジの30 %–100 %を除き、振幅レンジは10 %～120 %。仕様は1秒ゲート 時間（7桁）。 4. 方形波入力の仕様は、10 Hz～300 kHz、アパーチャ1秒の値。アパーチャがこれより短い場合、最小周波数は2サイクルより大きいことが必要。 www.keysight.co.jp 17

特性：温度（代表値） 熱電対 DAQ970A/DAQ973Aの プローブ 1 基準接点および 温度範囲 DMM確度 E －150 ℃～1000 ℃ 1.0 ℃ J －150 ℃～1200 ℃ 1.0 ℃ K －100 ℃～1200 ℃ 0.9 ℃ N －100 ℃～1300 ℃ 1.0 ℃ R 300 ℃～1760 ℃ 0.5 ℃ T －100 ℃～400 ℃ 0.9 ℃ 熱電対 DAQ970A/DAQ973A プローブ 1 基準接点 拡張 およびDMM確度 温度範囲 E －200 ℃～－150 ℃ 1.4 ℃ J －210 ℃～－150 ℃ 1.6 ℃ K －200 ℃～－100 ℃ 1.7 ℃ N －200 ℃～－100 ℃ 2 ℃ R －50 ℃～300 ℃ 2.9 ℃ T －200 ℃～－100 ℃ 1.7 ℃ RTD プローブ DMM 2 PT100 (DIN/IEC 751) [ 3 ] 0.05 ℃ サーミスター 2.2 K、5 K、10 K [ 3 ] 0.1 ℃ その他の測定機能 歪み 直接の歪み - 2線式または4線式抵抗として測定（お客様によるゲージパラメータの入力が必要） ブリッジの歪み - 電圧の測定（1/4、1/2、フルブリッジ、曲げ歪とポアソン比の構成、外部電源とブリッジの完成が必要） 1. 熱電対プローブの確度は熱電対メーカーから入手し、求められる温度範囲を基に選択する。 2. DMM確度はDAQM901Aによる測定を仮定。モジュールによる抵抗測定については該当するスイッチモジュールを参照。 3. 確度の仕様は測定器の製造仕様に依存。 www.keysight.co.jp 18

I/Oまたは内部メモリへの単一チャネル測定速度（公称値） DAQ970A DAQ970A DAQ973A DAQ973A LAN、USB 内部メモリ(1 M) LAN、USB、GPIB （オプション） 内部メモリ(1 M) 単一チャネルASCII測定 - DCV、Ω 50,000/s 50,000/s 50,000/s 50,000/s 単一チャネルASCII測定 - ACV、ACI 250/s 250/s 250/s 250/s 単一チャネルASCII測定 - 周波数、周期 800/s 800/s 800/s 800/s 単一チャネル（スケール変更） 100/s 100/s 100/s 100/s 単一チャネル（ファンクション変更） 50/s 50/s 50/s 50/s I/Oまたは内部メモリへのスキャン測定速度（公称値） DAQ970A DAQ970A LAN、USB DAQ973A DAQ973A 内部メモリ(1 M) 内部メモリ(1 M) LAN、USB、GPIB （オプション） DCVまたはΩチャネルのスキャン DAQM900A（INIT、MEAS、FETch） 450 450 500 500 DAQM901A 80 80 80 80 DAQM902A 250 250 250 250 DAQM902A（INIT、FETch） 240 240 240 240 DAQM902A(MEAS) 240 240 240 240 DAQM902A（スケール、アラーム） 220 220 220 220 DAQM902A（交互チャネル） 80 80 80 80 DAQM908A 80 80 80 80 ACVチャネルのスキャン DAQM900A 90 90 90 90 DAQM901A 50 50 50 50 DAQM902A 90 90 90 90 DAQM908A 50 50 50 50 温度のスキャン - サーミスターまたはTCチャネル DAQM900A 150 150 150 150 DAQM901A 50 50 50 50 DAQM902A 150 150 150 150 トータライザーチャネルのデジタルスキャン DAQM907A（デジタルIN） 275 275 275 275 DAQM907A（トータライザー） 240 240 240 240 www.keysight.co.jp 19

メモリからのデータ読み出し（50K個の読み値のFETch）（公称値） 単一チャネル DAQ970A/DAQ973A DAQ970A/DAQ973A DAQ973A （USB経由） （LAN経由） （GPIB経由） 測定 55,000/s 120,000/s 2,500/s 測定（タイムスタンプ付き） 35,000/s 60,000/s 1,500/s 測定（フォーマットオプションON） 25,000/s 50,000/s 1,000/s DC電圧、DC電流、抵抗の雑音特性（実測値） 積分時間 桁数 1 RMSノイズ加算値（レンジの%＋固定ベース）2 DC電圧 Ω DC電流 3 100 PLC/1.67 s(2 s) 6.5 0 0 0 10 PLC/167 ms(200 ms) 6.5 0 0 0 1 PLC/16.7 ms(20 ms) 6.5 0.0001＋0.5 μV 0.0001 + 0.5 mΩ 0.0006＋0.02 nA 0.2 PLC/3 ms (3 ms) 6.5 0.0005＋3 μV 0.0010＋10 mΩ 0.0050 + 5 nA 0.06 PLC/1 ms (1 ms) 6 0.0020＋3 μV 0.0020 + 10 mΩ 0.0070 + 10 nA 0.02 PLC/400 µs（300 µs） 6 0.0020＋3 μV 0.0020 + 10 mΩ 0.0070 + 10 nA 1. DC電圧、10 Vレンジ、0 V入力、オートゼロ オン。 2. RMSノイズ加算値は0 V入力、オートゼロ オンで測定。 3. 次のDCIレンジには追加の乗数が必要：10 mAは5倍、100 mAは2倍。 フルスケールでのDC/AC電流の負担電圧（実測値） DC電流レンジ 負担電圧 1 µA < 0.0011 V 10 µA < 0.011 V 100 µA < 0.11 V 1 mA < 0.11 V 10 mA < 0.027 V 100 mA ＜0.27 1 A ＜0.7 A/Dリニアリティー（実測値） 読み値の0.0001 %＋レンジの0.0001 % www.keysight.co.jp 20