測定対象に最適解を。 多様なインピーダンス測定に対応するKeysightアクセサリ総合カタログ

Keysight Technologies インピーダンス測定用 アクセサリカタログ Catalog

i | Keysight | インピーダンス測定用アクセサリカタログ - Catalog 目次 はじめに ......................................................................................................01 1. キーサイト・テクノロジーのアクセサリ ..........................................01 2. アクセサリのタイプ ........................................................................01 3. キーサイトのアクセサリの利点 ........................................................02 4. ISO 9000による品質管理 .................................................................02 アクセサリを選択するためのヒント ........................................................03 1. 測定アプリケーションによる選択 ....................................................03 2. 測定器との互換性.............................................................................03 3. 周波数、DCバイアス、使用可能温度範囲／湿度 ..............................04 4. DUT（被試験デバイス）の寸法 ...........................................................04 5. オープン／ショートの再現性と比例誤差 ..........................................04 6. 付属品 ..............................................................................................04 7. ターミナルアダプター ......................................................................05 アクセサリカタログ ...................................................................................06 使用可能周波数レンジ ..........................................................................06 アクセサリ構成 ....................................................................................07 120 MHzまで（4端子対） ............................................................................08 リードコンポーネント ......................................................................09 16047A テストフィクスチャ ............................................................09 16047E テストフィクスチャ ............................................................10 SMD ....................................................................................................11 16034E テストフィクスチャ ............................................................11 16034G テストフィクスチャ ...........................................................12 16034H テストフィクスチャ ...........................................................13 16334A ピンセット型テストフィクスチャ .......................................14 その他のコンポーネント ..................................................................15 16089A 大型ケルビン・クリップ・リード .......................................15 16089B 中型ケルビン・クリップ・リード .......................................15 16089C ケルビンICクリップリード .................................................16 ポート／ケーブル延長 ......................................................................17 16048A テストリード ......................................................................17 16048D テストリード ......................................................................17 16048E テストリード ......................................................................18 16048G テストリード ......................................................................19 16048H テストリード ......................................................................19 プローブ .............................................................................................20 42941A インピーダンス・プローブ・キット ...................................20 DCバイアスアクセサリ ....................................................................21 16065A 200 Vdc外部電圧バイアスフィクスチャ .............................21 16065C 40 Vdc外部電圧バイアスアダプター ..................................21 材料 .....................................................................................................22 16451B 誘電体テストフィクスチャ .................................................22 16452A 液体誘電体テストフィクスチャ ..........................................26

ii | Keysight | インピーダンス測定用アクセサリカタログ - Catalog 目次（続き） 3 GHzまで(7 mm) ......................................................................................28 リードコンポーネント ......................................................................29 16092A スプリング・クリップ・フィクスチャ ................................29 SMD ....................................................................................................30 16192A 平行電極SMDテストフィクスチャ ......................................30 16194A 高温コンポーネント用テストフィクスチャ .........................32 16196A 平行電極SMDテストフィクスチャ ......................................34 16196B 平行電極SMDテストフィクスチャ ......................................37 16196C 平行電極SMDテストフィクスチャ .....................................39 16196D 平行電極SMDテストフィクスチャ .....................................41 16197A 底面電極SMDテストフィクスチャ ......................................43 16198A 底面電極SMDテストフィクスチャ ......................................46 DCバイアスアクセサリ ....................................................................48 16200B 外部DCバイアスアダプター................................................48 材料 .....................................................................................................49 16453A 誘電材料テストフィクスチャ ..............................................49 16454A 磁性材料テストフィクスチャ ..............................................50 その他のアクセサリ ...................................................................................52 16190B 性能試験キット ......................................................................52 16380A 標準キャパシタセット ............................................................53 16380C 標準キャパシタセット ............................................................54 42030A 4端子対標準抵抗セット ..........................................................55 42090A オープン終端 ..........................................................................56 42091A ショート終端 ..........................................................................56 索引 ..............................................................................................................57 キーサイトのウェブリソース ....................................................................60

はじめに 被試験デバイス(DUT)を測定する場合、測定器をDUTに接続するためにテストフィクスチャが必要です。テストフィク スチャは、測定器とDUTの接点を接続するために設計されたインタフェースです。 1. キーサイト・テクノロジーのアクセサリ キーサイト・テクノロジーでは多くのアプリケーションに適したさまざまなアクセサリを提供しています。これらのア クセサリを使用すれば、簡単に信頼性の高い測定を行えます。例えば、SMDコンポーネントのインピーダンスを測定す るには機械的／電気的に精度の高いテストフィクスチャが必要です。この測定のために、キーサイトはインピーダンス 測定器用の専用SMDフィクスチャを用意していますので、測定誤差を最小にすることが可能です。さらに、その他のア プリケーション（DCバイアステストや誘電体材料テストなど）向けの専用フィクスチャも揃えています。キーサイトのア クセサリは、正確で再現性のある測定によりタイムトゥマーケットの短縮と信頼性の向上を実現します。 2. アクセサリのタイプ キーサイトのアクセサリは以下の5つのカテゴリーに分けられます。 テストフィクスチャ テストフィクスチャは電子部品や材料を（物理的および電気的に）測定用に固定するために使用されます。キーサイト では、さまざまな種類の4端子対テストフィクスチャと7 mmテストフィクスチャをとり揃えています。テストフィクス チャには、測定器に直接接続するものと、アダプターを介して接続するものがあります。 テストリード テストリードは測定ポートを測定器のUNKNOWN端子からDUTまで延長する役割を果たします。柔軟なテストリードを 使用すれば、テストフィクスチャに固定できないDUTでも、サイズや形状にかかわらず測定できます。テストリードは、 テストサンプルと測定器が離れている場合に延長ケーブルとしても使用できます。 プローブ プローブは測定するコンポーネントがすでにプリント基板に接続されていたり、1つの端子がグランドに接続されていた りする場合に便利です。 アダプター アダプターは測定器とテストフィクスチャの間に変換回路が必要な場合に用いられます。42942Aは端子変換アダプ ターで、4端子対構成を7 mm構成に変換することができます。16065Cは外部DCバイアスアダプターで、外部DCバイ アス電源からDUTにDCバイアスを印加するために使用できます。 その他 DCバイアスアクセサリや高性能テスト機器も用意しています。

02 | Keysight | インピーダンス測定用アクセサリカタログ - Catalog はじめに（続き） 3. キーサイトのアクセサリの利点 すべてのアクセサリは、測定機器の確度を低下させずに、高確度の測定を行えるように設計されています。 – 残留誤差が小さく、測定器の精度を維持できます。 – 明確に定義された誤差補正により、誤差補正の計算が容易です。 – テスト周波数や信号レベルなどの厳格な測定仕様により、安全で正確な測定を実現できます。 このセレクションガイドでは、以下の測定器に適したキーサイトのアクセサリを紹介します。 LCRメータ – E4980A プレシジョンLCRメータ、20 Hz～ 2 MHz – E4980AL プレシジョンLCRメータ、20 Hz～ 300 kHz/500 kHz/1 MHz – E4982A LCRメータ、1 MHz～ 300 MHz/500 MHz/1 GHz/3 GHz キャパシタンスメータ – E4981A キャパシタンスメータ インピーダンス・アナライザ – E4990A インピーダンス・アナライザ、20 Hz～ 10/20/30/50/120 MHz – E4991B インピーダンス・アナライザ、1 MHz～ 500 MHz/1 GHz/3 GHz ネットワーク・アナライザ – E5061B-3L3/3L4/3L5 LF-RFネットワーク・アナライザ、5 Hz～ 500 M/1.5 G/3 GHz 4. ISO 9000による品質管理 ISO 9000は、品質管理および品質保証に関する国際規格群です。これらの規格は、企業内で効果的な品質システムを 文書化して実装することを目的として開発されました。ISO規格は、キーサイトの品質システムと一致しています。 実際に、キーサイト・テクノロジーのQuality Maturity System(QMS)の規格ではISO 9000の要求を超えています。

03 | Keysight | インピーダンス測定用アクセサリカタログ - Catalog アクセサリを選択するためのヒント 使用する測定器に合わせて適切なアクセサリを選択するためのヒントと注意点を示します。 1. 測定アプリケーションによる選択 キーサイトのアクセサリはさまざまな測定アプリケーションで使用できます。アプリケーションの 範囲は基本的な測定（ディスクリートデバイスのインピーダンス測定など）から高度な測定（抵抗率 や誘電率の測定など）までです。 2. 測定器との互換性 テストフィクスチャ／テストリードと測定器の互換性は、端子構成のタイプと使用可能な測定周波 数レンジが一致するかどうかで決まります。このガイドに記載された測定器は周波数に基づいて 以下の3つのカテゴリーに分けられます。 周波数 ～ 120 MHzまで ～ 3 GHzまで レンジ （端子構成：4端子対） （端子構成：7 mm） 測定器 E4980A/AL、E4981A、E4990A E4982A、E4990A＋42942A*、E4991B、 E5061B-3L3/3L4/3L5（オプション005付き）＋16201A * オプションE4990A-120が必要です。

04 | Keysight | インピーダンス測定用アクセサリカタログ - Catalog アクセサリを選択するためのヒント（続き） 3. 周波数、DCバイアス、使用可能温度範囲／湿度 キーサイトのアクセサリにはそれぞれ固有の使用可能範囲があります。この範囲外で測定を行った 場合、残留誤差が増加したり問題が生じたりする可能性があります。アクセサリ固有の動作範囲が 測定環境にあっていることを確認してください。湿度に関しては、キーサイトのアクセサリは 40 ℃で相対湿度95 %以下で動作します（この要件はほとんどのLCRメータおよびインピーダンス・ アナライザと同じです）。周囲温度が40 ℃以外の場合は、表面に結露がない状態でアクセサリを 使用してください。 4. DUT（被試験デバイス）の寸法 DUTにはチップコンポーネント、アキシャル／ラジアルリード、ICから一般的な電気材料まで、 さまざまな種類があります。コンポーネントや材料の形状とサイズに合わせて適切なテストフィク スチャ／テストリードを選択します。 5. オープン／ショートの再現性と比例誤差 測定の際にはテストフィクスチャの追加誤差が加わるため、全測定誤差は測定器の測定確度とフィ クスチャの追加誤差の和となります。一般的に、テストフィクスチャの追加誤差は、オープン再現 性、ショート再現性、比例誤差の3つの項から構成されます。オープン／ショート再現性はオープ ン／ショートの残留インピーダンスの誤差成分を表し、非常に高い／低いインピーダンスの測定に それぞれ影響します。比例誤差は測定するインピーダンスの値に比例する誤差成分を表します。 詳細については付録を参照してください。 6. 付属品 テストフィクスチャにはマニュアルと測定に必要なアクセサリが付属しています。例えば、 42941A インピーダンス・プローブ・キットにはピンプローブ、アダプター (BNC-SMA)、スペア ピン3個、キャリングケース、操作／サービスマニュアルが付属しています。

05 | Keysight | インピーダンス測定用アクセサリカタログ - Catalog アクセサリを選択するためのヒント（続き） 7. ターミナルアダプター ターミナルアダプターは測定器の端子構成を7 mm端子構成に変換しますので、7 mm端子コネクタがな い測定器でも7 mm端子コネクタのテストフィクスチャを使用できます。42942Aは4端子対構成を7 mm 端子コネクタに変換するもので、E4990Aでのみ使用できます *。 42942A ターミナルアダプター 使用可能測定器：E4990A * 使用周波数：20 Hz～ 120 MHz 最大電圧：最大±42 Vpeak（AC＋DC） 使用可能温度範囲：0 ℃～ 40 ℃ 付属アクセサリ： 概要 パーツ番号 数量 キャリングケース 42942-60011 1 操作／サービスマニュアル 42942-90020 1 * オプションE4990A-120が必要です 寸法（約）： オプション： 190（幅）×55（高さ）×140（奥行き）[mm] 42942A-700：7 mmオープン／ショート／ロードセット追加 質量（約）：800 g 概要 パーツ番号 数量 オープン終端 04191-85302 1 ショート終端 04191-85300 1 負荷終端 04291-60043 1

06 | Keysight | インピーダンス測定用アクセサリカタログ - Catalog アクセサリカタログ 使用可能周波数レンジ 周波数レンジ DC 1 k 1 M 10 M 100 M 1 G [Hz] 2 G [Hz] 3 G [Hz] 16047A 13 M 16047E 120 M 16034E 40 M 16034G/H 120 M 16334A 5 15 M 16089A/B/C 5 100 k 16048A/D 30 M 16048E 2 M 16048G/H 120 M 42941A 40 120 M 16065A 50 2 M 16065C 100 1 M 16451B 30 M 16452A 20 30 M 16092A 500 M 16192A 2 G 16194A 2 G 16196A/B/C/D 3 G 16197A 3 G 16198A 3 G 16200B 1 M 1G 16453A 1 M 1G 16454A 1 k 1G : 42942Aを使用の場合。

07 | Keysight | インピーダンス測定用アクセサリカタログ - Catalog アクセサリカタログ アクセサリ構成 本書は測定アプリケーションに合わせて適切なテストフィクスチャを簡単に選択できるように、 測定周波数とDUTに基づいて構成されています。以下の表に各グループ内のカテゴリーの一覧を 示します。 120 MHzまで（端子構成：4端子対） リードコンポーネント 16047A/E SMDコンポーネント 16034E/G/H、16334A その他のコンポーネント 16089A/B/C ポート／ケーブル延長 16048A/D/E/G/H DCバイアスアクセサリ 16065A/C 材料 16451B、16452A 3 GHzまで（端子構成：7 mmコネクタ） リードコンポーネント 16092A、16194A SMDコンポーネント 16092A、16192A、16194A、16196A/B/C/D、16197A、16198A DCバイアスアクセサリ 16200B 材料 16453A、16454A その他のアクセサリ その他 16190B、16380A/C、42030A、42090/1A

08 | Keysight | インピーダンス測定用アクセサリカタログ - Catalog 120 MHzまで（4端子対） 120 MHzまでのインピーダンス測定用テストフィクスチャ（4端子対） 周波数レンジ DC 1 k 1 M 10 M 100 M 16047A 13 M 16047E 120 M 16034E 40 M 16034G/H 120 M 16334A 5 15 M 16089A/B/C 5 100 k 16048A/D 30 M 16048E 2 M 16048G/H 120 M 42941A 40 120 M 16065A 50 2 M 16065C 100 1 M 16451B 30 M 16452A 20 30 M 使用可能測定器 周波数 ～ 120 MHzまで ～ 3 GHzまで レンジ （端子構成：4端子対） （端子構成：7 mm） 測定器 E4980A/AL、E4981A、E4990A E4982A、E4990A＋42942A*、E4991B、 E5061B-3L3/3L4/3L5（オプション005付き）＋16201A *オプションE4990A-120が必要です

09 | Keysight | インピーダンス測定用アクセサリカタログ - Catalog 120 MHzまで（4端子対）：リードコンポーネント 16047A テストフィクスチャ 概要：16047Aは、アキシャル／ラジアルリード型デバイスのインピーダンス評価に使用します。 ケルビン接点の採用により広いインピーダンス測定レンジを実現しています。接点チップはデバ イスの形状に応じて交換できます。 使用可能測定器：E4980A/AL、E4981A、E4990A 使用周波数：DC～ 13 MHz 最大電圧：最大±42 Vpeak（AC＋DC） 使用可能温度範囲：0 ℃～ 55 ℃ 測定可能DUTサイズ：モジュールサイズの図を参照。 端子コネクタ：4端子対、BNC ラジアル・リード Shor ラジアル・リード DUTの接続：4端子 寸法（約）： 124（幅）×31（高さ）×62（奥行き）mm 質量（約）：205 g 軸リード 追加誤差： 誤差のタイプ インピーダンス 比例誤差 ±5×（f/10）2 f：[MHz] （単位：mm） 16047Aのモジュールサイズ 付属アクセサリ： 概要 パーツ番号 数量 アキシャルリード用モジュール 16061-70022 2 フィクスチャへのラジアル・リード・マウント用 16061-70021 2 モジュール 短いラジアルリード用モジュール 16047-65001 2 操作マニュアル 16047-90011 1 16047Aの各モジュールのサイズは上のモジュールサイズの図を参照。 オプション： 16047A-701：ショートプレート追加 パーツ番号16047-00640 補正と測定：DUTの形状に合わせていずれかのモジュールを選択します。測定の前にオープンお よびショート補正を推奨します。ショート補正は、テストフィクスチャの接点をショートプレー トで短絡し、実行します。オープンおよびショート補正の実行後、DUTをテストフィクスチャに 接続します。 パーツ番号16047-00640 材料： 黄銅（ニッケルめっき） 厚さ： 1.0 mm 残留インピーダンス： 20 nH、1 mΩ ショートプレート

10 | Keysight | インピーダンス測定用アクセサリカタログ - Catalog 120 MHzまで（4端子対）：リードコンポーネント（続き） 16047E テストフィクスチャ 概要：16047Eは最高120 MHzのリード型デバイスのインピーダンス評価に使用します。3端子 デバイス用のガード端子を装備し、ショートプレートはフィクスチャに取り付けられています。 使用可能測定器：E4980A/AL、E4981A、E4990A、E5061B-3L3/3L4/3L5（オプション005付き） 使用周波数：DC～ 120 MHz 最大電圧：最大±42 Vpeak（AC＋DC） 使用可能温度範囲：－20 ℃～ 75 ℃ 測定可能DUTサイズ：下の16047Eの電極サイズの図を参照。 ガード端子 端子コネクタ：4端子対、BNC DUTの接続：2端子 寸法（約）： 14 mm 135（幅）×40（高さ）×65（奥行き）[mm] 9.3 mm 質量（約）：200 g 追加誤差： ±42 V Peak max output 2 mm 上面図 側面図 誤差のタイプ インピーダンス ショート・プレート 比例誤差 1.6 mm 0.2×（f/10）2[%] 62 mm f≦15 MHz 比例誤差 4×（f/100）[%] f＞15 MHz 付属アクセサリ： オープン再現性 2 n＋10 μ×（f/100）[S] 概要 パーツ番号 数量 ショート再現性 2 m＋600 m×（f/100）[Ω] アングル（右側） 16047-01221 1 f：[MHz] アングル（左側） 16047-01222 1 ネジ 0515-1229 4 ショートプレート 16047-00621 1 操作／サービスマニュアル 16047-90040 1 補正と測定：測定の前にオープンおよびショート補正を推奨します。ショート補正は、テストフィ クスチャの接点をショートプレートで短絡し、実行します。オープンおよびショート補正の 実行後、DUTをテストフィクスチャに接続します。下図に補正と測定の実行方法を示します。 4. 短絡板 短絡板 ガード端子 ガード端子 ±42 V ピーク最大出力 ±42 V ピーク最大出力 ±42 V ピーク最大出力 1. 電極 3. 測定治具固定用ネジ 3. 測定治具固定用ネジ 2. 電極固定用ネジ DUT テストフィクスチャの概要 ショートプレートの接続 3端子デバイスの測定 10 mm 5.3 mm

11 | Keysight | インピーダンス測定用アクセサリカタログ - Catalog 120 MHzまで（4端子対）：SMD 16034E テストフィクスチャ 概要：16334AはSMDのインピーダンス評価に使用します。このフィクスチャで評価できる最小 のSMDサイズは1.6（長さ）×0.8（幅）[mm]です。 使用可能測定器：E4980A/AL、E4981A、E4990A、E5061B-3L3/3L4/3L5（オプション005付き） 使用周波数：DC～ 40 MHz 最大電圧：最大±42 Vpeak（AC＋DC） 使用可能温度範囲：0 ℃～ 55 ℃ 測定可能DUTサイズ：下図を参照 長さ:0.1~8.0 mm 幅:0.5~10 mm 長さ:0.1~8.0 mm 端子コネクタ：4端子対、BNC DUTの接続：2端子 直径:0.5~3 mm 高さ:0.5~10 mm 寸法（約）： 電極 128（幅）×60（高さ）×71（奥行き）[mm] 質量（約）：270 g 付属アクセサリ： 追加誤差： 概要 パーツ番号 数量 操作マニュアル 16034-90041 1 誤差のタイプ インピーダンス 比例誤差 ±1.5×(f/10)2 補正と測定：測定の前にオープンおよびショート補正を推奨します。オープン補正はHIGH側と LOW側の測定電極を離して実行します。離す距離はDUTの幅と同じになるようにします。ショー f：[MHz] ト補正はHIGH側とLOW側の測定電極を接触させて実行します。オープンおよびショート補正の 実行後、DUTをテストフィクスチャに挿入します。下図に補正と測定の実行方法を示します。 - DUTの幅と 低電極の端に触れる位置に ショート 同等 DUTを設置。 開口部 1. ノブを緩める。 2. 高電極の先端をDUTに 1. ノブを緩める。 触れるまで押し込む。 2. 低電極の先端を 3. ノブを締める。 DUTに触れるまで 4. 低電極のレバーを引き、DUTを 押し込む。 取り外す。 3. ノブを締める。 高接点電極と低接点電極の距離は DUTの幅と同等であること。 オープン補正 ショート補正 機器ホルダー 測定電極 （上面図） （側面図） 1. レバーを解除しDUTを 挿入する。 単位 [mm] DUTの挿入 測定電極の寸法

12 | Keysight | インピーダンス測定用アクセサリカタログ - Catalog 120 MHzまで（4端子対）：SMD（続き） 16034G テストフィクスチャ 概要：16334AはSMDのインピーダンス評価に使用します。このフィクスチャで評価できる最小 のSMDサイズは0.6（長さ）×0.3（幅）[mm]です。 使用可能測定器：E4980A/AL、E4981A、E4990A、E5061B-3L3/3L4/3L5（オプション005付き） 使用周波数：DC～ 120 MHz 最大電圧：最大±42 Vpeak（AC＋DC） 使用可能温度範囲：0 ℃～ 55 ℃ 測定可能DUTサイズ：下図を参照 長さ:0.1~5.0 mm 長さ:0.1~5.0 mm 端子コネクタ：4端子対、BNC 幅:0.3~1.6 mm DUTの接続：2端子 直径:0.4~1.6 mm 高さ:0.3~1.6 mm 寸法（約）： 電極 120（幅）×50（高さ）×70（奥行き）[mm] 質量（約）：200 g 付属アクセサリ： 追加誤差： 概要 パーツ番号 数量 誤差のタイプ インピーダンス 100 Ω SMD抵抗用ケース 1540-0692 1 比例誤差 0.5×（f/10）2[%] 100 Ωチップ抵抗 0699-2488 10 オープン再現性 5＋500×（f/10）[nS] 操作マニュアル 16034-90011 1 ショート再現性 10＋13×（f/10）[mΩ] 補正と測定：測定の前にオープンおよびショート補正を推奨します。3 MHzより上の測定ではロー f：[MHz] ド補正も推奨します。オープン補正はHIGH側とLOW側の測定電極を離して実行します。離す 距離はDUTの幅と同じになるようにします。ショート補正は、HIGH側とLOW側の測定電極を接 触させて実行します。ロード補正は付属の100 Ω SMDチップ抵抗を使用して実行します。オー プン／ショート／ロード補正の実行後、DUTをテストフィクスチャに挿入します。下図に補正と 測定の実行方法を示します。 E4980Aと16034G ノブ ノブ コンタクトピンロック用ネジ コンタクトピンロック用ネジ レバー DUTの幅 オープン補正 ショート補正 機器ホルダー 測定電極 ノブ （上面図） （側面図） コンタクトピンロック用ネジ レバー 単位 [mm] DUT測定 寸法

13 | Keysight | インピーダンス測定用アクセサリカタログ - Catalog 120 MHzまで（4端子対）：SMD（続き） 16034H テストフィクスチャ 概要：16034Hはアレイ型SMDのインピーダンス評価に使用します。このフィクスチャで評価で きる最小のSMDサイズは1.6（長さ）×0.8（幅）[mm]です。測定電極の先端が非常に細く、デバイ スホルダーがきわめて平坦なので、デバイスをずらすことによりアレイ型コンポーネントの各素 子に測定電極を接触させることができます。 使用可能測定器：E4980A/AL、E4981A、E4990A、E5061B-3L3/3L4/3L5（オプション005付き） 使用周波数：DC～ 120 MHz 最大電圧：最大±42 Vpeak（AC＋DC） 使用可能温度範囲：0 ℃～ 55 ℃ 測定可能DUTサイズ：下図を参照 端子コネクタ：4端子対、BNC DUTの接続：2端子 長さ: ≤10 mm 幅: ≤15.0 mm 寸法（約）： 120（幅）×50（高さ）×70（奥行き）[mm] 高さ:0.6~3.0 mm 質量（約）：200 g 追加誤差： 付属アクセサリ： 誤差のタイプ インピーダンス 概要 パーツ番号 数量 比例誤差 0.5×（f/10）2[%] 100 Ω SMD抵抗用ケース 1540-0692 1 オープン再現性 5＋500×（f/10）[nS] 100 Ωチップ抵抗 0699-2488 10 ショート再現性 10＋13×（f/10）[mΩ] 操作マニュアル 16034-90012 1 f：[MHz] 補正と測定：測定の前にオープンおよびショート補正を推奨します。3 MHzより上の測定ではロー ド補正も推奨します。オープン補正はHIGH側とLOW側の測定電極を離して実行します。離す 距離はDUTの幅と同じになるようにします。ショート補正は、HIGH側とLOW側の測定電極を 接触させて実行します。ロード補正は付属の100 Ω SMDチップ抵抗を使用して実行します。オー プン／ショート／ロード補正の実行後、DUTをテストフィクスチャに挿入します。補正と測定の 実行方法については16034Gの図を参照してください。 機器ホルダー 測定電極 （上面図） （側面図） 単位 [mm] 測定電極の寸法

14 | Keysight | インピーダンス測定用アクセサリカタログ - Catalog 120 MHzまで（4端子対）：SMD（続き） 16334A ピンセット型テスト フィクスチャ 概要：16334AはSMDのインピーダンス評価に使用します。このフィクスチャで評価できる最小 のSMDサイズは1.6（長さ）×0.8（幅）[mm]です。このフィクスチャの接点はピンセット型なので DUTを容易に保持できます。 使用可能測定器：E4980A/AL、E4981A、E4990A 使用周波数：5 Hz～ 15 MHz 最大電圧：最大±42 Vpeak（AC＋DC） 使用可能温度範囲：0 ℃～ 55 ℃ 測定可能DUTサイズ：≦10 mm（幅） 下図を参照 端子コネクタ：4端子対、BNC 長さ: ≤10 mm DUTの接続：2端子 ケーブル長（約）：1 m（BNCコネクタからピン セット上端まで） 質量（約）：290 g 追加誤差： 電極 電極 誤差のタイプ インピーダンス 付属アクセサリ： 比例誤差 ±2×（f/10）2 概要 パーツ番号 数量 補正ブロック 16334-60001 1 f：[MHz] 操作マニュアル 16334-90000 1 補正と測定：測定の前にオープンおよびショート補正を推奨します。オープンおよびショート 補正は付属の補正ブロックを使用して実行します。オープンおよびショート補正の実行後、DUT をピンセット型の測定端子ではさんで測定します。

15 | Keysight | インピーダンス測定用アクセサリカタログ - Catalog 120 MHzまで（4端子対）：その他のコンポーネント 16089A 大型ケルビン・クリップ・ リード 概要：16089Bは通常のフィクスチャで測定できない特殊な形状のコンポーネントの測定に使用 します。このフィクスチャは2個の絶縁ケルビンクリップを備えています。 使用可能測定器：E4980A/AL、E4981A、E4990A 使用周波数：5 Hz～ 100 kHz 最大電圧：最大±42 Vpeak（AC＋DC） 使用可能温度範囲：0 ℃～ 55 ℃ 測定可能DUTサイズ： 下図を参照 端子コネクタ： 4端子対、BNC 約 65 mm DUTの接続：4端子 ケーブル長（約）： 0.94 m（コネクタからクリップ先端まで） 質量（約）：300 g 付属アクセサリ： 追加誤差：追加誤差は測定器の確度に比べて 無視できます。 概要 パーツ番号 数量 操作／サービスマニュアル 16089-90020 1 補正と測定：測定の前にオープンおよびショート補正を推奨します。オープン補正はケルビンク リップに何も接続しない状態で実行します。ショート補正はショートプレートをケルビンクリッ プで保持して実行します。オープンおよびショート補正の実行後、DUTをケルビンクリップで 保持して測定します。 16089B 中型ケルビン・クリップ・ リード 概要：16089Bは通常のフィクスチャで測定できない特殊な形状のコンポーネントの測定に使用し ます。このフィクスチャは2個の絶縁ケルビンクリップを備えています。 使用可能測定器：E4980A/AL、E4981A、E4990A 使用周波数：5 Hz～ 100 kHz 最大電圧：最大±42 Vpeak（AC＋DC） 使用可能温度範囲：0 ℃～ 55 ℃ 測定可能DUTサイズ：下図を参照 端子コネクタ：4端子対、 約 41 mm BNC DUTの接続：4端子 ケーブル長（約）： 0.94 m（コネクタからクリップ先端まで） 質量（約）：300 g 追加誤差：追加誤差は測定器の確度に比べて 無視できます。 付属アクセサリ： 概要 パーツ番号 数量 操作／サービスマニュアル 16089-90020 1 補正と測定：測定の前にオープンおよびショート補正を推奨します。オープン補正はケルビンクリッ プに何も接続しない状態で実行します。ショート補正はケルビンクリップ同士を接続して実行し ます。オープンおよびショート補正の実行後、DUTをケルビンクリップで保持して測定 します。

16 | Keysight | インピーダンス測定用アクセサリカタログ - Catalog 120 MHzまで（4端子対）：その他のコンポーネント（続き） 16089C ケルビンICクリップリード 概要：16089Cは通常のフィクスチャで測定できない特殊な形状のコンポーネントの測定に使用し ます。このフィクスチャは2個の絶縁ケルビンクリップを備えています。 使用可能測定器：E4980A/AL、E4981A、E4990A 使用周波数：5 Hz～ 100 kHz 最大電圧：最大±42 Vpeak（AC＋DC） 使用可能温度範囲：0 ℃～ 55 ℃ 測定可能DUTサイズ： 下図を参照 端子コネクタ：4端子対、BNC DUTの接続：4端子 ケーブル長（約）： 1.3 m（コネクタからクリップ先端まで） 質量（約）：300 g 追加誤差：追加誤差は測定器の確度に比べて 無視できます。 付属アクセサリ： 概要 パーツ番号 数量 操作／サービスマニュアル 16089-90020 1 補正と測定：測定の前にオープンおよびショート補正を推奨します。オープン補正はケルビンク リップに何も接続しない状態で実行します。ショート補正はケルビンクリップ同士を接続して 実行します。オープンおよびショート補正の実行後、DUTをケルビンクリップで保持して測定し ます。

17 | Keysight | インピーダンス測定用アクセサリカタログ - Catalog 120 MHzまで（4端子対）：ポート／ケーブル延長 16048A テストリード 概要：16048Aは4端子対構成の測定ポートを延長します。BNC（メス）コネクタボードが付属し、 ユーザーが作成したテストフィクスチャを接続できます。 使用可能測定器：E4980A/AL、E4981A 使用周波数：DC～ 30 MHz 最大電圧：最大±42 Vpeak（AC＋DC） 使用可能温度範囲：0 ℃～ 55 ℃ 付属アクセサリ： 概要 パーツ番号 数量 ターミナルボード（BNC（メス）×4） 16032-60071 1 端子コネクタ：4端子対、 操作マニュアル 16089-90001 1 BNC ケーブル長（約）： 0.94 m（コネクタからケーブル端まで） 補正と測定：測定の前にケーブル長補正を推奨します。測定器のケーブル長補正機能を1 mに ケーブル端：BNC（オス） 設定します。 質量（約）：315 g 追加誤差：詳細については測定器の仕様を 参照してください。 16048D テストリード 概要：16048Hは4端子対構成の測定ポートを延長します。BNC（メス）コネクタボードが付属し、 ユーザーが作成したテストフィクスチャを接続できます。 使用可能測定器：E4980A/AL、E4981A 使用周波数：DC～ 30 MHz 最大電圧：最大±42 Vpeak（AC＋DC） 使用可能温度範囲：0 ℃～ 55 ℃ 付属アクセサリ： 概要 パーツ番号 数量 ターミナルボード（BNC（メス）×4） 16032-60071 1 操作マニュアル 16048-90031 1 端子コネクタ：4端子対、BNC ケーブル長（約）： 1.89 m（コネクタからケーブル端まで） 補正と測定：測定の前にケーブル長補正を推奨します。測定器のケーブル長補正機能を2 mに ケーブル端：BNC（オス） 設定します。 質量（約）：460 g 追加誤差：詳細については測定器の仕様を 参照してください。