超高精度三次元測定機【UA3P】

超高精度三次元測定機 総合カタログ

測 れ な い モ ノ 1980 年代、 世界で初めてガラスモールド非球面レンズを実用化したパナソニック。 は UA3Pは、その取り組みの中で誕生しました。 「測れないモノは作れない」 作 これはパナソニックが直面した困難な取り組みの中で生まれた言葉です。 UA3Pは誕生以来、世界のお客様にお使いいただき、今では光学業界の原器としての信頼を得ています。 れ レンズは、例えば加工機で金型をつくり、成形機でレンズを成形して生産します。 刻々と変わる生産条件をコントロールするには、 その変化をとらえることのできる精度を持った測定機が不可です。 な 私たちは高精度の測定機があって初めて高品質のモノづくりが成り立つと考えます。 世界最高水準の三次元測定機「UA3P」 い そのナノレベルの再現性は、これからも光学業界のみならず、 幅広いお客様の夢の実現に、「測定」というかたちで貢献していきます。 UA3Pを進化させること、それが私たちの社会に対する使命です。 超高精度な測定 UA3Pの特長 シングルナノ再現性を実現 接触測定による絶対形状評価 ・回転対称非球面（バンケーキ、ガルウィング、他） 複雑形状に対応する柔軟なNCパス ・自由曲面（ポリノミナル、バイユニック、アナモルフィック、他） 測定データから様々な解析を実現 面間・外径偏心評価も可能 最適半径（Best FitR) 算出 非球面／自由曲面／ウェハレンズ、他 Zernike解析／周波数解析、他 設計式がなくても測定評価可能 複雑形状でも表面粗さ測定可能 形状フィッティング機能など CAD データでの評価 CADを点群に変換して評価 自動測定による作業平準化・省人化 (PARASOLID 、STEP、IGES)

超高精度測定を実現するテクノロジ一 光学業界の原器として、光学部品の進化を支える UA3P He-Ne レーザ測長技術によりナノ精度の絶対座標を実現 座標測定技術 測定機の座標系は、ステージと独立した 3 枚の参照平面（ミラー）で構成 Z 軸基準ミラー 周波数安定化He-Ne レーザ され、周波数安定化He-Ne レーザを光源としたレーザ干渉法により XYZ各軸を分解能0.3nmで測定します。これによりステージの直角度・ Y軸基準ミラー 真直度による影響を抑え、高精度測定を実現します。 X軸ステージ X軸基準ミラー Y軸ステージ 0.05μm以内（～ 100mm) Z 石定磐 座標軸による測定誤差 　0.3μm以内 (～ 500mm) Y プローブ X 測定プローブ 上面測定プローブ／ AFP 側面測定プローブ／ S-AFP 超低測定力で測定物の高精度スキャニング測定が 高精度に検出されたプロープミラーの傾き 可能です。 をXY ステージにフィードバックし、低接触力 スタイラスはマイクロエアスライダーで保持され、 ( 0.30mN ) のスキャン測定が可能です。 フォーカス用レーザによりスタイラスの動きを検出 レンズ鏡筒（バレル）などの樹脂製品を変形 し、測定力が一定になるようにAFPの位置を測定物 させることなく測定が可能です。 の形状に合わせて追従します。 ・測定力: 0.15～0.30mN (15～30mgf) ・測定力: 0.30mN (30mgf) ・測定精度: ±0.15μm ( 90 傾゚斜測定時 ） ※UA3P-3100/4000は0.05～0.30mN 、UA3P-5000Hは0.10～0.30mN ・測定最大角度: 水平方向測定時 45°～90（゚ 水平面に対する角度） ・スタイラス: 先端角30°、r=2μmダイヤスタイラス使用可能 　　　　　　　垂直方向測定時 80°～90（゚水平面に対する角度） UA3Pの評価手順 簡単な操作で高精度な測定を実現。あらゆる設計情報に対応でき、測定物の設置誤差を3 次元的に補正して正確な形状測定が可能です。 1.フォーカスオン（測定物への接触） 3. 測定 4. アライメント 5. 結果出力 軸上測定 （測定データの座標変換） 2 次元評価結果 面上測定 円周測定 2. センタリング（頂点への移動） 3 次元評価結果 らせん測定 ピザカット 測定 測定中心を自動で見つけ、測定物上を走査 測定データと設計式の差を数値化

小型プラスチックレンズ 測定対象物 高精度な小型レンズを連続で自動測定。 車載撮像カメラ 標準作業の平準化や省人化を実現、 オペレーターの負担を低減します。 スマホカメラ 医療用カメラ 測定事例 形状測定 偏心測定 高精度面形状測定 レンズ傾き偏心測定用治具 10nmレベルの形状誤差を検出し、金型加工補正や成形品の品質管理に貢献 治具上の 3 球を基準として、レンズの両面のデータを合成し、0.1μm レベルでの 面間の光軸ずれや傾きを測定・評価 樹脂レンズ・金型 レンズ形状評価 偏心測定治具 多数個自動測定 自動測定機能 複数レンズ傾き偏心測定用治具 測定手順の自動プログラムを作成し、実行することで自動測定・評価 治具上にレンズを複数枚設置して、 一度に偏心を評価 仕　様 タイプ スタンダード機 大型機 機種名 UA3P-310 UA3P-400 UA3P-500H UA3P-550H 外観 外形寸法（ W × D × H ）mm 700 × 800 × 1540 1010 × 1110 × 1450 1260 × 1510 × 1580 2100 × 1830 × 2110 本体質量 700 kg（その他：150 kg） 1200 kg（その他：150 kg） 2400 kg（その他：300 kg） 8500 kg （ その他：300 kg） 測定範囲（ X, Y, Z軸 ）mm 50×50×20 100 × 100 × 35 200 × 200 × 45 200 × 200 × 45、260 × 90 × 45 400 × 400 × 120 + Φ 500 × 120 測定物設置エリア（ X, Y, Z軸 ）mm 100×100×120 220 × 220 × 177.5 300 × 270 × 252.5 600 × 600 × 330 分解能 0.3 nm 0.3 nm 上面測定最大傾斜角度 75° 75° 側面測定角度 － － 上面プローブによる測定精度 30°以下：±0.05 μｍ（ 往復） 30°以下：±0.05 μｍ（ 往復） 30°以下：±0.05 μｍ（ 往復） 注）上面ルビースタイラス、あるいは 45°以下：±0.07 μｍ（ 往復） 45°以下：±0.08 μｍ（ 往復） 45°以下：±0.08 μｍ（ 往復） 　　上面セラミックスタイラス使用時 *2 60°以下：±0.10 μｍ（ 往復） 60°以下：±0.15 μｍ（ 往復） 60°以下：±0.10 μｍ（ 往復） 70°以下：±0.15 μｍ（ 往復） 70°以下：±0.15 μｍ（ 下り） 70°以下：±0.15 μｍ（ 下り） 繰り返し再現性（60°以下） *3 5 nm/3 σ 5 nm/3 σ 座標軸による測定精度（XY軸測定精度） ※再現精度 0.05 μm 以内 50 mm 以下：0.05 μm以内 100 mm以下：0.05 μm 100 mm以下： 0.05 μｍ/200 mm以下：0.1 μｍ 測定速度 0.005～5 mm/sec 0.01～10 mm/sec 0.02～20 mm/sec 使用環境　温度/湿度/振動 *4 20～23℃（変動±1℃以下）/20～60 % / 許容値 2.0 cm/s2（=2.0 gal） 　推奨値 0.5 cm/s2 20～23 ℃（変動±1 ℃以下）/20～60 % / 許容値 2.0 cm/s2 （ =2.0 gal） 　推奨値 0.5 cm/s2 所用電源 AC100 V±5 %/14 A AC100 V±5 %/14 A 空気圧 : 圧力 0.5 MPa～1.0 MPa 　 流量 100 L /min(ANR) 150 L /min(ANR) 250 L /min(ANR) 標準付属品 上面セラミックスタイラスR500 μｍ、上面ダイヤスタイラスR2D60、 プローブ、校正用基準球 上面セラミックスタイラスR500 μｍ、上面ダイヤスタイラス R2D60、 プローブ、校正用基準球 上面測定機に対応 側面測定機に対応 *1：・本製品は「外国為替及び外国貿易法」で定められた規制貨物に該当の製品（又は技術）です。 ・ 該当製品（または技術）を輸出する場合又は国外に持ち出す場合は、事前に日本国政府の輸出許可が必要ですので、必ずご連絡ください。 *2：基準球の形状誤差を含む *3：当社測定規定による

中型・大型非球面レンズ・ミラー 測定対象物 一眼カメラ 多様な測定パスと解析手法に対応し、 撮影レンズや高精度ミラーの測定から補正加工まで 様々な工程に対応できます。 業務用カメラ 望遠鏡ミラー 測定事例 測定パス 多様な測定パスで様々な形状の測定物に対応 タイプ 軸上測定 ピザカット測定 らせん測定 面上測定 Y 測定パス X X イメージ 金型加工 短時間全面測定 高速＆高密度 自由なパスを 用 途 回転対称非球面 自由曲面 輪線抽出 輪線評価 Slope 評価 生成 解析手法 多様な評価手法で、形状誤差の評価や補正加工をサポート フィッティング フィルター処理 グリッド化された データを出力可能 形状誤差フィッティング 形状誤差 輪線成分抽出 (Zernike 解析） Twinプローブ（上面・側面測定機） 高精度機 UA3P-650H UA3P-700H UA3P-400T *1 UA3P-3100 UA3P-4000 UA3P-5000H 2100 × 1830 × 2110 2100 × 1830 × 2200 1070 × 1230 × 1530 760 × 860 × 1580 1060 × 1200 × 1610 1300 × 1560 × 1900 8500 kg （ その他：300 kg） 9000 kg（その他：300 kg） 750 kg 900 kg（ その他：200 kg) 1500 kg（その他：300 kg） 3200 kg（その他：300 kg） 400 × 400 × 120 + Φ 500 × 120 500 × 500 × 120 100 × 100 × 50 3100-A30：30 × 30 × 20 4000-A100：100 × 100 × 35 3100-A50：50 × 50 × 20 4000-A120：120 × 120 × 35 200 × 200 × 50 600 × 600 × 330 600 × 600 × 330 200 × 200 × 140 130 × 130 × 120 210 × 210 × 127.5 300 × 300 × 255 0.3 nm 0.3 nm 75° 75° 水平：45～90°/ 垂直：80～90° － 30°以下：±0.05 μｍ（ 往復） 30°以下：±0.04 μｍ（ 往復） 30°以下：±0.05 μｍ（ 往復） 45°以下：±0.08 μｍ（ 往復） 45°以下：±0.05 μｍ（ 往復） 45°以下：±0.06 μｍ（ 往復） 60°以下：±0.15 μｍ（ 往復） 60°以下：±0.06 μｍ（ 往復） 60°以下：±0.07 μｍ（ 往復） 70°以下：±0.15 μｍ（ 下り） 70°以下：±0.08 μｍ（ 往復） 70°以下：±0.10 μｍ（ 往復） ※Z位置：±17.5 mm範囲内 （参考）法線方向表示（Nd）の場合 0～70° : ±0.05 μｍ 5 nm/3 σ（上面測定のみ） 3 nm/3 σ 100 mm以下：0.05 μm / 200 mm 以下： 0.1 μm/ 400 mm 以下： 0.2 μm/ 500 mm 以下： 0.3 μm 100 mm以下：0.05 μｍ 50 mm以下：0.05 μｍ 120 mm以下：0.05 μｍ 100 mm以下：0.05 μm/ 200 mm 以下：0.1 μm 0.032～32 mm/sec 上面0.01～10 mm/sec,側面0.01～5 mm/sec 0.005～5 mm/sec 0.01～10 mm/sec 0.02～20 mm/sec 20～23 ℃（変動±1 ℃以下）/20～60 % / 許容値 2.0 cm/s2 （ =2.0 gal） 　推奨値 0.5 cm/s2 20～25℃（変動±1℃）/20～60 % 20～23 ℃ (変動±0.5 ℃）/ 20～60 % /許容値2.0 cm/s（2 =2.0 gal）推奨値0.5 cm/s2 / 許容値1.0 cm/s2（=1.0 gal）推奨値0.5 cm/s2 AC100 V±5 %/14 A AC100 V±5 %/14 A 420 L /min（ANR） 100 L /min(ANR) 150 L /min(ANR) 200 L /min(ANR) 350 L /min(ANR) 上面セラミックスタイラスR500 μｍ 上面セラミックスタイラスR500 μｍ 上面セラミックスタイラスR500 μｍ、上面ダイヤスタイラス R2D60、 プローブ、校正用基準球 上面ダイヤスタイラスR2D60 側面ルビースタイラス Φ2 mm 上面ダイヤスタイラスR2D60 プローブ、校正用基準球 プローブ、校正用基準球 *1：・本製品は「外国為替及び外国貿易法」で定められた規制貨物に該当の製品（又は技術）です。 ・ 該当製品（または技術）を輸出する場合又は国外に持ち出す場合は、事前に日本国政府の輸出許可が必要ですので、必ずご連絡ください。 *4：空調の風が直接本体に当たらないこと

自由曲面／異形状 測定対象物 CAD 設計式を有した部品形状の測定にも対応。 ヘッドライト レンズ 車載部品や複雑形状部品に対しても、 ナノ精度でこれからのモノづくりをサポートします。 •LiDAR レンズ AR / VR レンズ •HUD •プロジェクター 他 測定事例 CAD / CAMソフトを利用したCADデータ連携 評価部 複数形状ワーク 3DCAD データ CAD データを用いてUA3P の CADデータと測定データを用いた (STEP/IGES等） 設計式と測定パスを生成 高精度な差分・位置合わせ評価 ※ UA3P用の設計式の作成にあたり、 　キステム社Opt-1 を使用 回折レンズ測定 ウェハレンズ測定 回折レンズの測定評価が可能 ウェハレンズの測定 · 評価が可能 認識カメラを使用してアライメントマーク基準で測定 仕　様 ソフトオプション 内　容 1 円周走査測定ソフト 中心に穴が開いた測定物に対応した円周方向走査NCパスを追加 2 Top Flat センタリング機能 中心がフラットに近い形状の測定物でもセンタリングすることができる機能 3 ユーザ定義式ソフト ユーザ側で定義した数式設計式をUA3P の設計式として登録する機能 4 回転対称フィッティングソフト 測定物の形状データから、回転対称形状の非球面係数をフィッティングして算出する機能 5 ダイヤスタイラス補正ソフト 基準球データから、スタイラス先端形状誤差を補正して測定する機能 6 点群データ設計式作成ソフト CADデータから変換された点群からスプライン曲面を作成する機能 7 測定点数 100 万点、取り込み点数 2000 点 / 秒 測定点数を拡張し、取り込み点数を増やす機能 8 V溝測定ソフト（オフライン） 測定データから、形状の寸法を評価する機能 9 傾き偏心評価ソフト（オフライン） 治具を使って評価したデータから、レンズの表と裏の傾きと偏心を評価する機能 10 自動測定ソフト 測定手順をプログラム化し、自動で実行する機能 11 ウェハレンズ測定ソフト メカオプション [2] と組み合わせてウェハレンズ測定 · 評価を行う機能 メカオプション 内　容 1 オートティルトステージ（2軸、3軸） 測定物の形状データや基準面のデータから傾きを自動で補正する機能 2 ウェハチャック＆ステージ ウェハレンズ測定用のエアーチャックステージと認識カメラを追加 3 傾き偏心測定治具（各種） 傾き偏心測定に使う治具（ソフトオプション［9］と組み合わせて使用）

上側面測定 レンズや鏡筒の垂直側面を 50nm の精度で スキャニング計測を実現しました。 光学面のデータと組み合わせて 100nm オーダーの 位置ずれを計測できます。 2つのプローブを 切り替えて測定 上面測定 上面＋側面測定 金型測定 レンズ外径基準測定 凹面形状金型 形状誤差評価 上面測定 側面測定 側面測定 球測定 ピンゲージ測定 MAX 2mm/sec プラス誤差 マイナス誤差 ※ UA3P-400T は大量破壊兵器関連該当品となります。 スタイラス 上面測定用スタイラス 上面ダイヤスタイラスR2D60 上面セラミックスタイラス 上面ダイヤスタイラスR2D60 上面ダイヤスタイラスR2D45(EM) 上面ダイヤスタイラスR2D30 上面ダイヤスタイラスR5D45 P ED -16100112 R 500μm (L=12mm)PED -16100116 PED -1610M106 PED-1610M052 PED-1610M077 PED-1610M079 側面測定用スタイラス 側面ルビースタイラスφ2mm 側面ルビースタイラスφ1mm 側面ルビースタイラスφ300μm 側面セラミックスタイラスφ1mm 側面超硬スタイラスφ80μm 側面超硬スタイラスφ30μm PED-1630M020 PED-1630M021 PED-1630M022 (L=30mm) PED-1630M035 PED-1630M024 PED-1630M025

安全に関するご注意 ●ご使用の際は、取扱説明書をよく ●カタログの記載商品を安全に使用して頂くために、取扱いについては稼働時、停止時に拘らず、設備付属の 　お読みの上、正しくお使いください。 　取扱説明書および設備の警告を十分確認した上で正しい作業を実施されますようお願い致します。 パナソニックグループは環境に配慮した製品づくりに取り組んでいます 詳しくは こちら 詳しくはホームページで https://www.panasonic.com/jp/company/ppe/ua3p.html お問い合わせは… パナソニック プロダクションエンジニアリング株式会社 〒571-8502 大阪府門真市松葉町2-7 このカタログの記載内容は 2026年7月20日現在のものです。 Ver.2026.7.20 Panasonic Production Engineering Co., Ltd.2026 ●製品の色は印刷物ですので実際の色と若干異なる場合があります。●製品の定格およびデザインは改善等のため予約無く変更する場合があります。 ●本製品は日本国内向けの仕様です。海外でのご使用の際は、販売店にご相談ください。●ご使用の際は、取扱説明書をよくお読みの上正しくお使いください。 ▲