X線検査装置 FX-300tR2

コンパクトでありながら、幾何学倍率900倍を達成した BGA検査では、斜め方向からの検査が必要になります。 コストパフォーマンスが高いX線検査装置 X線管とサンプルが電着した状態で FX-300tR2 カメラのみ傾斜して検査できる X線カメラ 0～60°傾斜 FID=450mm 広角照射 X線カメラ FOD：X線ターゲット→試料0.5mm X線照射角度 FID：X線ターゲット→X線カメラ450m FOD=0.5mm カメラ照射角60° 450/0.5＝900倍 フィラメント 未接続部分 傾斜しても倍率は下がらない 傾斜検査について X線管を傾斜させて撮影（従来機） X線管、カメラを傾斜させるのは ■幾何学倍率：900倍 X線カメラ X線の照射角が狭いので 倍率が低いので ■モニター倍率：5,400倍　■X線出力：90kV X線も傾斜させる X線 はんだが分離 ■X線画像解像度（JIMAチャート確認）：5μm している接合部の 解像度が不足 FID （X線ターゲットから受像部までの距離） FOD （X線ターゲットから部品までの距離） X線管を傾けることで、X線と対象物の距離が離れて倍率が下がる 旧型機で撮影 X線カメラを60°傾斜 基板を傾斜させるのは 基板を傾斜させて撮影（従来機） X線カメラ X線 FID（X線ターゲットから受像部までの距離） さらに倍率が 低くなる FOD（X線ターゲットから部品までの距離） JIMAチャートX線画像 基本機能はそのままに 基板の実装位置によっては Lサイズ基板対応 e（電子） 極端に倍率が下がる ターゲット 600×600mm 不良箇所が見えない エックス線台 基板を傾けることで、X線と対象物の距離が離れて倍率が下がる はんだボールの接合部が見えない 仕様一覧 型　式 FX-300tR2 FX-300tRL2 Ｘ線管種類 マイクロフォーカス、 密閉型、 透過式ターゲット Ｘ線管電圧 20 - 90kＶ Ｘ線管電流 0 - 60μA Ｘ線画像解像度（JIMAチャート確認） 5μm 幾何学倍率 幾何学倍率：900倍 FOD：X線源-サンプル距離（最小）=0.5mm、 FID：X線源-受光部距離（最大）=450mm、 450/0.5=900倍 モニター表示倍率：5,400倍 モニター表示倍率 X線受光部センサ寸法：50×50mm 24インチモニター表示部寸法：300×300mm 充填率29.10％ 充填率100％ モニターによる拡大率：300/50=6倍、 幾何学倍率×表示拡大率=900×6=5,400倍 Ｘ線受像部 130万画素フラットパネル、 14bi（t 16,384階調） 検査トレイサイズ 400×350ｍｍ 600×600ｍｍ 検査領域 330×250ｍｍ 330×330ｍｍ Ｘ線カメラ軸ストローク（Ｚ1） 450ｍｍ Ｘ線管ストローク（Ｚ2） 140ｍｍ Ｘ線カメラ軸傾斜角度（Q） 0（°垂直） ～ ６０°傾斜（1°単位で制御可能） モニター 24インチLCD（1,920×1,200画素） 供給電源 単相ＡＣ200～230Ｖ、 1.5kＶＡ 装置寸法 1,000（Ｗ）×880（Ｄ）×1,350（Ｈ）mm 1,320（Ｗ）×1,255（Ｄ）×1,280（Ｈ）mm クラック発生箇所 装置重量 600kg 800kg オプション マニプレータ、 回転テーブル、 パソコンデスク、 垂直CT機能 高倍率で検査したBGAはんだクラック スルーホールはんだ充填率測定 X線漏洩線量 1μSv/h以下、 X線取扱資格は不要（国外では設置国の法令に従ってください） 6 7 ※ Copyright © I-bit co.,Ltd. 2000-2026 All rights reserved. ※ Copyright © I-bit co.,Ltd. 2000-2026 All rights reserved. 　 本カタログの著作権は株式会社アイビットに帰属します。 カタログ内の資料全部および一部の複写、複製による配布、回覧はご遠慮ください。 　 本カタログの著作権は株式会社アイビットに帰属します。 カタログ内の資料全部および一部の複写、複製による配布、回覧はご遠慮ください。 ＝ e（電 子） エッ クス 線台 ター ゲッ ト