X線ステレオ方式 3次元X線検査装置 FX-300tRX2 with CT

コンパクトな密閉管型X線装置で、幾何学倍率1,000倍を達成！ ステレオCT機能（オプション設定） X線ステレオCT方式®で、実装基板の上面から下面までを500層にスライス。（従来の100層断面から、500層断面に解像度が5倍に上がりました） CT方式でなくラミノグラフィ方式でもない第3の検査方式「X線ステレオ方式®」により、 X線ステレオCT機能で500層のスライス画像を取得 LGAモジュール LGAモジュール基板 メイン基板 検査費用のコストダウンが計れます。 接続部の観察 500層の 裏面部品 スライス断面 取得 2D透過画像 ステレオCT画像 基板とボールの界面付近 基板とボールの界面1/2付近 ボール中央 モジュール基板＋メイン基板の重なり画像 モジュール部品のはんだ付け部のみ抽出 従来のX線を用いた検査では、裏面のチップ部品がノイズ成分となり、 ななめCT機能、垂直CT機能（オプション設定） チップカウンター機能（標準搭載） 正しい検査が困難でした。 アイビットが開発した「X線ステレオ方式®」を ●対象ワークをターンテーブルで360°回転させ、画像を取得します。 ●リールに巻かれたエンボステープ内の電子部品「角チップ、IC、LED、 用いることで、BGA、LGA、QFN等の裏面に実装されたチップ部品を ●ボリュームレンダリングソフトウエアによる、３Ｄ出力、断層アニメー 　その他電子部品等」の数量を、X線透過画像でカウントします。 キャンセルすることが可能となりました。 また、便利なチップカウンター 　ション出力も可能です。 ●テープリールのままの状態で装置内にセットし、カウントボタンを押 機能（リール状態で個数カウント可能）が標準で搭載されました。 ●3次元画像データの再構成には、専用のグラフィックス・プロセッシ 　すと、約30秒ほどで「リール内の部品」の数量をカウントします。 　ング・ユニット（GPU）を使用することで、従来比1/30の高速化を実 ●カウントした数量は、バーコードとリンクしてCSVファイルに出力さ 特徴 　現しました。 　れます。 ※チップ以外のLED、IC等も計測可能です。 幾何学倍率 ① X線ステレオ方式®採用 1,000倍を達成！ 　（アイビット独自技術）　 ② 幾何学倍率：1,000倍を達成 画像処理で １個1個を ③ チップカウンター機能を搭載 認識します ④ X線広角照射で高倍率斜め撮影が可能　 多層配線基板の内部CT画像 銅ワイヤー部品のCT３D画像 ⑤ BGA自動検査機能（オプション） ⑥ 各種CTオプション クラック発生部 仕様一覧 ●実装基板のBGA等のはんだ部の検査 　　　 型　式 FX-300tRX2 with CT 用途 ●LEDのフリップチップ実装のはんだ部の検査 X線管種類 マイクロフォーカス密閉型X線源 ●パワーデバイス（IGBT）の2層はんだ部のボイド検査 X線ターゲット位置 透過型ターゲット（開放型X線管と同じ方式） X線管電圧 30 - 90kV 「X線ステレオ方式®」の原理 ※FX-300tRX2-LL with CTの機体は、上記写真とは異なり大きくなります。 X線管電流 0 - 60μA X線画像解像度（JIMAチャート確認） 5μm ターゲット回転機構 500ｈ毎にターゲット回転 画期的方式：実装基板の裏面キャンセル機能 「X線ステレオ方式®」による 検査トレイサイズ 330×250mm X線カメラ X線カメラ X線カメラ BGA実装基板裏面情報のキャンセル 検査領域（ステレオ方式、ステレオCT方式の領域も同じ） 330×250mm Before After X線カメラ 上下軸ストローク Z1軸：500mm X線管 上下軸ストローク Z2軸：140mm 斜視2 　　　 斜視1 カメラ傾斜軸ストローク Q軸（X線カメラ傾斜）：0～60°、 1°単位でプログラミング動作可能 幾何学倍率 幾何学倍率：1,000倍 FOD：X線源-サンプル距離（最小）=0.5mm、 FID：X線源-受光部距離（最大）＝500mm、 500/0.5=1,000倍 基板表面 モニター表示倍率：6,000倍　X線受光部センサ寸法＝50×50mm モニター表示倍率 24インチモニタ表示エリア寸法=300×300mm、 画像表示寸法/X線受光部=300/50＝6倍 基板 幾何学倍率×表示拡大率=1,000×6=6,000倍 X線受像部 130万画素X線フラットパネルディテクター 基板裏面 QFNの「X線ステレオ方式®」画像 X線画像分解能 1,180×1,100pixel、 14bi（t 16,384階調） Before After CCDカメラ部種類 カラーCCDカメラ（ワーク撮影用） X線源 X線源 X線源 表示ディスプレイ 24インチLCD（1,920×1,200pixel） 裏面 エアー供給 － 傾斜1 通常視野 傾斜2 除去 電源 単相AC200～230V、 1.5kVA 装置寸法 1,300（W）×1,150（D）×1,480（H）ｍｍ 装置重量 1,200kg セラミックコンデンサーがキャンセルされ、ＱＦＮのはんだ部の検査が可能 オプション ステレオCT、V-CT（垂直方向）、P-CT（ななめ方向）、マニプレータ、ターンテーブル、 斜め透過のX線画像 垂直透過のX線画像 斜め透過のX線画像 自動検査、リペアステーション（QRトレサビリティ対応）、700万画素X線フラットパネル X線漏洩線量 1μSv/h以下、 X線取扱資格は不要（国外では設置国の法令に従ってください） X線ステレオ方式、X線ステレオCT方式、裏面キャンセルは、（株）アイビットの登録商標です。 12 13 ※ Copyright © I-bit co.,Ltd. 2000-2026 All rights reserved. ※ Copyright © I-bit co.,Ltd. 2000-2026 All rights reserved. 　 本カタログの著作権は株式会社アイビットに帰属します。 カタログ内の資料全部および一部の複写、複製による配布、回覧はご遠慮ください。 　 本カタログの著作権は株式会社アイビットに帰属します。 カタログ内の資料全部および一部の複写、複製による配布、回覧はご遠慮ください。