3D-X線ステレオ方式 X線検査装置 FX-400t RX

密閉型X線装置でありながら、 簡単操作でCT機能のフル活用！！ 高解像度2μｍを達成！ X線ステレオCT機能®で10層のプリント基板の内層を検査（オプション） 1～5層 6～10層 概要 ■高解像度2μｍ、幾何学倍率500倍によって、鮮明なX線画像 P-CT（ななめCT）、V-CT（垂直CT）で3D検査 　の取得が可能です。 ■従来であれば、高価な開放型X線管を用いるような試料に対 　して、同等な画像品質を得られます。 ■ICワイヤーボンディングの接続部、銅ワイヤーについても検 　査可能です。 また、プリント基板の内部のスルーホールなども 　検査可能です。 ■高出力110kV、200μAによって、3ｍｍ厚の銅板などの透 　過も可能になりました。 特徴 ヒートサイクル試験結果 ① 110kV、200μAの高出力X線源により銅板 QFPのはんだクラックをCT観察 多層配線基板の内部CT画像 　（3mm）なども透過 ② 高解像度2μmの画像分解能により微細な部 仕様一覧 　 分の画像取得 型　式 FX-400tRX X線管種類 マイクロフォーカス密閉源（密閉型） ③ 幾何学倍率500倍によって高倍率撮影 X線ターゲット位置 透過型ターゲット（開放管と同じ方式） ④ X線ステレオ方式 によって実装基板の表面、裏 X線管電圧、管電流 40 - 110kV、 200μA 　 面の分離（約4秒） X線画像解像度（JIMAチャート確認） 2μm 検査トレイサイズ 330×250mm ⑤ X線ステレオCT方式 によって実装基板の水平 検査領域（ステレオ方式、ステレオCT方式の領域も同じ） 330×250mm 　 断面500層を取得 Z1軸ストローク Z1（X線カメラ上下）：60～500mm Z2軸ストローク Z2（X線管上下）：0～80mm ⑥ CT機能を用いた自動検査（OK/NG判定） Q軸ストローク Q軸（X線カメラ傾斜）：0～60° ⑦ 2次元コードを用いてのトレーサビリティ対応 幾何学倍率：500倍 低倍率でIC１個（35×35mm）を観察可能 幾何学倍率 FOD：X線源-サンプル距離（最小）=1.0mm FID：X線現-受光部距離（最大）＝500mm、 500/1.0=500倍 モニター表示倍率 モニター表示倍率：3000倍　X線受光部センサ寸法=50×50mm ※他社密閉管の表示倍率と 24インチモニター表示エリア寸法=300×300mm　画像表示寸法/X線受光部=300/50=6倍 　同等に記述した場合 幾何学倍率×表示拡大率=500×6=3000倍 X線画像分解能 130万画素 X線フラットパネル、 1180×1100pixel、 14bi（t 16,384階調） CCDカメラ部種類 カラーCCDカメラ（ワーク撮影用） 表示ディスプレイ 24インチLCD エアー供給 － 電源 単相AC200～230V、 1.5kVA 装置寸法 1,300（W）×1,100（D）×1,480（H）ｍm 装置重量 1,200kg オプション ステレオCT、V-CT（垂直方向）、P-CT（ななめ方向）、マニプレータ、ターンテーブル、 自動検査、リペアステーション（QRトレサビリティ対応）、700万画素カメラ プリント基板のスルーホールのクラック 視野サイズ：約35×35mmのワイヤーボンディング部拡大写真 X線漏洩線量 1μSv/h以下、 X線取扱資格は不要（国外では設置国の法令に従ってください） X線ステレオ方式、X線ステレオCT方式、裏面キャンセルは、（株）アイビットの登録商標です。 14 15 ※ Copyright © I-bit co.,Ltd. 2000-2026 All rights reserved. ※ Copyright © I-bit co.,Ltd. 2000-2026 All rights reserved. 　 本カタログの著作権は株式会社アイビットに帰属します。 カタログ内の資料全部および一部の複写、複製による配布、回覧はご遠慮ください。 　 本カタログの著作権は株式会社アイビットに帰属します。 カタログ内の資料全部および一部の複写、複製による配布、回覧はご遠慮ください。