熱式微小液体流量計　形 F7M

CP-PC-1593 形番構成表 本体 商品区分 流量レンジ 表示 流路 配管接校正流 信号 コネク 付加 付加 付加 機能 材質 続方式体種類 種類 タ種類 機能1 機能2 機能3 付番 内容 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 F 7 M 9 0 1 0 計測流量レンジ　0.1～10mL/min 9 0 3 0 計測流量レンジ　0.3～30mL/min 9 0 5 0 計測流量レンジ　0.5～50mL/min A 表示機能なし（状態表示 LEDランプ付き） 熱式 微小液体流量計 Q 石英ガラス、PFA、PTFE 1 フッ素樹脂チューブ用継手 日本ピラー工業 スーパー300 タイプ Pシリーズ 外径φ3mm × 内径φ2mm 形 F7M 2 フッ素樹脂チューブ用継手 日本ピラー工業 スーパー300 タイプ Pシリーズ 外径φ1/8inch × 内径φ0.086inch 0 水（H2O） 0 アナログ出力、デジタル入力、デジタル出力 1 防水コネクタ、ヒロセ電機製　HR30-6R-6P (71) 高い計測性能、 0 なし 0 なし 0 なし 使いやすさを実現した 同梱部品 D 検査成績書付き Y 検査成績書 + トレーサビリティ証明書付き 以下の部品が製品に同梱されています。 0 製品バージョン 熱式微小液体流量計 取付けブラケット １個 ユニオンナット ２個 スリーブ ２個（サイズ規格は本体形番によります。） 別売部品 名称 部品番号 備考 ケーブル（PVC被覆ケーブル、2m） F9Y7HP1 防水コネクタ、ヒロセ電機製 HR30-6P-6S（31） ケーブル（フッ素樹脂被覆ケーブル、2m） F9Y7HF1 継手セット（ミリ規格品）、2set F9Y7F1 スリーブ、ユニオンナット（外径φ3mm、内径φ2mm）、同梱部品と同一です 継手セット（インチ規格品）、2set F9Y7F2 スリーブ、ユニオンナット（外径φ1/8inch, 内径φ0.086inch）、同梱部品と同一です 取付けブラケット F9Y7B1 同梱部品と同一です フッ素樹脂チューブ組立（ミリ規格品）、2set F9Y7T1 スリーブを圧入加工したチューブ組立（外径φ3mm, 内径φ2mm、長さ500mm） フッ素樹脂チューブ組立（インチ規格品）、2set F9Y7T2 スリーブを圧入加工したチューブ組立（外径φ1/8inch, 内径φ0.086inch、長さ500mm） 金属配管用フッ素樹脂チューブ組立（めねじ）、2set F9Y7T3 金属配管用変換アダプタとフッ素樹脂チューブとのセット 変換アダプタ：Rc1/8（接液部材質：SUS316）、チューブ：外径 φ1/8inch、チューブ長：200mm 金属配管用フッ素樹脂チューブ組立（おねじ）、2set F9Y7T5 金属配管用変換アダプタとフッ素樹脂チューブとのセット 変換アダプタ：R1/8（接液部材質：SUS316）、チューブ：外径 φ1/8inch、チューブ長：200mm ワンタッチチューブ継手用 ワンタッチチューブ継手とフッ素樹脂チューブとのセット フッ素樹脂チューブ組立（φ4チューブ)、2Set F9Y7T6 ワンタッチチューブ継手：φ4チューブ用（接液部材質：SUS316）、チューブ：外径φ1/8inch、チューブ長：200mm PCローダを使用し、F7Mの設定およびモニタを行う際に使用するケーブルアダプタです。 ローダ通信用ケーブルアダプタ F9Y7A1 * PCローダソフトは、当社の下記サイト（COMPO CLUB）からダウンロードしてご使用ください。 http://www.compoclub.com USBローダケーブル 81441177-001 Rev.05以上のUSBケーブルが必要です。 F9Y7HP1 F9Y7T1 F9Y7T3 F9Y7T6 F9Y7A1（USBケーブルは付属しません） ご注文・ご使用に際しては、下記URLより「ご注文・ご使用に際してのご承諾事項」を 必ずお読みください。 https://www.azbil.com/jp/product/factory/order.html ［ご注意］ この資料の記載内容は、予告なく変更する場合もありますのでご了承ください。 ●本文中に記載している製品名、機種名、社名は、各社の商標または登録商標です。 本資料からの無断転記、複製はご遠慮ください。 ご用命は下記または弊社事業所までお願いします。 本社　〒100-6419　東京都千代田区丸の内2-7-3 東京ビル 北海道支店 (011)211-1136 中 部 支 社 (052)265-6247 数mL/minの微小流量 小型・軽量、 設置場所、 ストレート流路 東 北 支 店 (022)290-1400 関 西 支 社 (06)6881-3383～4 北関東支店 (048)621-5070 中 国 支 店 (082)554-0750 東 京 支 社 (03)6432-5142 九 州 支 社 (093)285-3530 を計測可能 取り付け簡単 流体を選ばない 初版発行：2017年10月-SO <アズビル株式会社> https://www.azbil.com/jp/ 印　　刷：2021年2月（第8版）-SO （33） <COMPO CLUB> https://www.compoclub.com/ CP-PC-1593

熱式 微小液体流量計 形 気体流量計にて実績が豊富な熱式MEMSセンサと耐食性の高い石英ガラス製流路を組み合わせ、従来の計測 F7M 方式では再現性の高い計測が難しかった数mL/minの微小液体流量の瞬間・積算流量の計測を実現しました。 従来の計測方式と比較すると流体状態の変化（気泡、脈動、流体温度 等）の影響を受け難く（設定変更を必要 特長とメリット とする場合もあります）、平易に微小流量を計測できます。流量を計測することにより、ポンプ回転数の管理、 重量測定、流体供給時間管理等の代替手段から置換えて、より信憑性の高いデータ管理が可能となります。 F e a t u r e s & M e r i t o f M o d e l F 7 M また流量計に標準搭載されているイベント機能を用いて、送液システムの健全性を監視することも可能です。 数mL/minの微小流量計測が可能 LEDランプ ■製品概要 ： 正常動作中 ［計測流量レンジ］ 0.1～10mL/min、0.3～30mL/min、0.5～50mL/min MEMSセンシング技術を活用した熱式計測原理を採用し、 ： ワーニング発生 ［計測対象流体］ 水（H O）※水以外の流体は熱伝導率に応じた出力のシフトが生じます、ゼロ点調整、および補正係数の設定 2 従来は測定困難であった「数mL/min」の微小液体流量計測を ： アラーム発生 　にて水と同様の再現性の高い計測が可能となります。（精度保証は水のみが対象となります） 可能としました。（最小計測値：0.1mL/min、10mL/minレンジ） ： エラー発生 ［配管接続方式］ フッ素樹脂チューブ（ 外径φ3mm×内径φ2mm、外径φ1/8inch×内径0.086inch） ■推奨アプリケーション 操作スイッチ 水以外の液体を使用する際に、 充 填 ［例］ 電解液 など 混合・希釈 ［例］ 洗浄液、試薬 など ゼロ点調整や流量補正係数の 自動設定を行います。 〈原寸大〉 長さ：122 mm 幅　： 充填材料 26 mm 高さ： 63 mm 塗 布（1） ［例］ レジスト液、コーティング剤 など 塗 布（2） ［例］ 潤滑油、インク、シール剤 など ストレート流路 ストレート流路であるため圧力損失が小さく、 また液溜りが無く洗浄性に優れています。 設置場所、 抽出・分注 ［例］ 試薬、希釈液、洗浄液 など 噴 霧 ［例］ 滅菌液、離型剤、フラックス など 小型・軽量、 流体を選ばない 取付け簡単 ● IP65保護構造に準拠しています。 ● 製品外面に一切の金属材料を使用していませんので、 ● 従来製品よりも著しく小型・軽量になりました。 　 液体飛沫を受ける環境でも使用できる等、 ● 付属の取付けブラケットを使用して 　 腐食性流体への耐性が向上しました。 　 上面（水平配管時）から平易に取付けられます。 ● 接液部を石英ガラス（流路）・フッ素樹脂（継手）にて構成し、 ● 垂直配管への取付けも可能です。 　 センサは接液しませんので、多様な流体（石英ガラス・ ● 別置きの変換器（アンプ）も不要。 　 フッ素樹脂を腐食させない流体）に使用できます。 ※上図はアプリケーションのイメージを表しています。本製品を設置する際には、7ページの取付姿勢をご覧ください。 02 03

計測原理 便利な機能 Measurement pr incip le Useful funct ion 気体流量計にて実績が豊富な熱式MEMSセンサと耐食性の高い石英ガラス製流路を組み合わせ、流体状態の変化 の影響を受けにくく、より安定性の高い微小流量計測を実現しました。 function 1 さまざまな液体の流量補正を簡単に行いたい 流量補正係数（CCF）自動設定機能 石英ガラス管 流量補正係数自動設定機能を使用すれば、計測対象の液体にあわせて流量計がゼロ点調整と流量補正係数を 自動で設定することができます。 ヒータセンサ Rh 1 操作スイッチから操作 Push! 水 5 液体A（補正後） 液温センサ Rr or 継手（フッ素樹脂） 2 上位機器からデジタル信号で操作 DI On! □ ヒータ表面温度を、流体温度よりもわずかに高くなるように一定温度に制御します。 ゼロ点調整値・ □ ヒータの放熱量は流量に応じて変化します。 流量補正係数にて補正 □ 流量が大きくなると、流体に奪われる熱量が増えるため消費電力が増加します。 or 液体A（補正前） □ ヒータの消費電力を計測することにより、流量値に換算することができます。 3 PCローダーから操作 （ヒータの放熱量は僅少であり、流体を加熱することはありません） 1 0 流量 30 (mL/min) 補正前と補正後の出力特性 ※本機能は、流量補正係数（CCF）設定後の流量精度を保証する機能ではありません。流量補正係数（CCF）を設定する際の目安として使用してください。特に熱伝導率が0.138W/mK（イソプ 計測レンジは流体の熱伝導率の影響を受けて変化しますが、補正機能を用いて出力特性を合わせ込むことが可能です。 ロピルアルコール100%濃度相当）を下回る液体では大きな誤差が生じる可能性があります。 （イメージ図） 補正前の出力特性 補正後の出力特性 function （ゼロ点調整+補正係数設定） 2 2種類の液体を1台の流量計で流量計測したい 5 5 液種選択 4 4 上位機器からのデジタル信号で、流量計が使用する補正値組を切り替えます。 3 補正 3 1台の流量計で2液種の流量計測が可能です。 2 2 液種A DI 液種A 補正値１（CCF1） ゼロ点調整値1 1 1 0 5 10 15 20 25 30 0 5 10 15 20 25 30 デジタル入力で切り替え 実際の流量 (mL/min) 実際の流量 (mL /min) 液種B 液種B 補正値2（CCF2） ゼロ点調整値2 水 液体A 液体B 04 05 出力電圧 (Vdc) 出力電圧 ( Vdc) 流量出力( V )

製品仕様表 本体構成材料 接液部構成材料 製品形番 F7M9010 F7M9030 F7M9050 ③ 計測流量レンジ（流体がH2Oの場合） 10mL/min 30mL/min 50mL/min ⑥ 流路を詰まらせない、ガラス管を傷つけない、接液部材料を侵さない流体。流路内壁に流体成分が付着した場合には計測誤 ④ 計測可能流体 差が生じます。また流体に気泡、脈動が含まれる場合には、それらの程度に応じた出力のふらつきやシフトが生じることがあり ます。 電気コネクタ接続口 精度保証対象流体 H2O（水） ① 計測精度※1 ±5%RD（ 2mL/min 以上） ±5%RD（ 6mL/min 以上） ±5%RD（ 10mL/min 以上） ⑤ （基準条件におけるTyp値）※2 ±1%FS（ 2mL/min 未満） ±1%FS（ 6mL/min 未満） ±1%FS（ 10mL/min 未満） 配管接続口入口側 計測可能流量範囲（流体がH2Oの場合） 0.1 ～ 11.5mL/min（ 1～115%FS） 0.3 ～ 34.5mL/min（ 1～115%FS） 0.5 ～ 57.5mL/min（ 1～115%FS） 精度保証流量範囲（流体がH2Oの場合） 0.2 ～ 10mL/min※4 ※5 0.6 ～ 30mL/min※4 ※5 1.0 ～ 50mL/min※4 ※5 繰り返し性※3 ±1%RD（ ≧ 20%FS） ② 配管接続口出口側 B （基準条件におけるTyp値）※2 ±0.2%FS（＜ 20%FS） ⑦ A 応答性 1.0s typ. (63.2% 応答) 温度特性 ±0.5%RD/℃ 流体温度・周囲温度が共に10～35℃の範囲内、かつ両者が同一の条件にて、流体温度が23℃時の出力値と比較 No. 名称 材料 備考 No. 名称 材料 備考 した時の値です。 1 ケース ガラス入りPPS樹脂 ケースとカバーの接合部に A センサチューブ 溶融石英ガラス ̶ 2 カバー ガラス入りPPS樹脂 エポキシ樹脂接着剤使用 同梱のスリーブの材料は 使用流体圧力範囲 0 to 500 kPa (gauge) B 継手 PFA、PTFE 3 化粧シート PET樹脂フィルム ̶ PFAです 耐圧 700 kPa (gauge) 4 ラベル PET樹脂フィルム ̶ 取付け姿勢 水平取付け、または垂直取付け（流れの方向は下→上） 5 継手ユニオンナット PFA ̶ 垂直取付けの場合、水平取付け時と比較して測定値に±1%RD程度の出力シフトが生じます。 PPS樹脂、PBT樹脂、 ヒロセ電機製 配管接続方法（適用チューブ） PFA製チューブ継手 日本ピラー工業株式会社製 スーパー300シリーズ Pタイプ 6 防水コネクタ ポリアセタール樹脂、 HR30-6R-6P (71) 適用チューブ：ミリ規格品（外径φ3mm × 内径φ2mm）、インチ規格品（外径φ1/8inch × 内径φ0.086 inch） クロロプレンゴム 取付姿勢 7 取付ブラケット PC樹脂 ̶ 本器の設置向きは、下図の方向にしてください。操作面の向きには制限はありません。 使用流体温度 5～50℃ 使用周囲温度 5～50℃ 動作条件 周囲湿度 10～90 %RH 使用振動条件 振動なきこと 外形寸法図 使用衝撃条件 衝撃なきこと 周囲温度 5～60℃ 周囲湿度 10～90 %RH 輸送保管条件 耐振動性 4.9m/s2 流れ方向表示 耐衝撃性 490m/s2 （梱包状態にて） 60 必要直管長（流体がH2Oの場合） 本器の上流側に50mmの直管が必要 継手部引張り強度 30N 流れ方向表示 流れ方向：水平 流れ方向：下から上 流れ方向：上から下 電源 定格：DC 24V、許容電源電圧範囲：DC21.6～26.4V（リップル2.5%以下）、消費電力：0.7W 以下 出力信号 DC1～5V 最大出力電圧 5.6V (115%)（計測可能流量範囲上限時） アナログ出力 外部負荷抵抗 250kΩ 以上 スマートローダーパッケージ（形 SLP-F7M） 出力更新周期 10ms 取付けブラケット パソコンにて、各種設定やモニタを行うことができます。 22 出力分解能 0.01%以内 26 96 出力点数 1点 122 機能種類 1）ヒステリシス設定機能付き流量上限・下限イベント、2）流量上限・下限イベント、3）積算パルス出力、 4）異常発生時出力（機能割付けはPCローダにて設定変更可能） デジタル出力 出力定格 DC30V、30mA 以下（NPNオープンコレクタ非絶縁出力、電源オフ時：接点開） 積算パルス パルスウエイト：0.01、0.1、1、10mL/P（パルス幅：5ms typ、最大100Hz） （PCローダにて設定変更可能） 82 取付けブラケット 固定穴 φ5.6 入力点数 1点、ゼロ点調整のみに使用可能 86 デジタル入力 相手側回路形式 無電圧接点、またはオープンコレクタ ※1. 取付けねじは付属しません（。ねじ仕様：ねじ頭部高さ5mm以下） 保護構造 IP65 重量 85g 適合規格 EN61326-1、EN61326-2-3 ※1. 弊社液体流量標準設備を基準とした体積流量（瞬時流量）に対する器差 ※2. 基準条件は以下の①～⑨の測定条件となります。 ※3. 繰り返し性は以下の①～⑨の測定条件において、本器を配管から取り外さない状態にて流量を一定にした時の出力信号のばらつきを示します。 　　 ① 流体：水（H2O）　② 流体温度：23℃　③ 流体に気泡や脈動が含まれないこと 　　 ④ 周囲温度：23℃　⑤ 流体圧力：250kPa　⑥ 振動：0m/s2 　　 ⑦ 測定状態安定化時間：23℃の温度環境に2時間以上放置、かつ電源投入後に30分以上放置、かつ流量を安定後10分以上放置してから測定 　　 ⑧ 取付け姿勢：配管が水平 かつ トップパネルが上向きとなる姿勢 PCローダを使用する場合 　　 ⑨ 出力信号：瞬時流量（アナログ出力：1～5V） ※4. 本器は逆方向の流量測定はできません。 ケーブルA Windowsパソコン 　　 流体が逆方向に流れた場合、エラー表示すること無く出力をしますが、正方向と同等の流量出力にはなりません。 NOI T CNUF S UT AT S l iM7bF ③ケーブル（F9Y7H□1） z a （SLP-F7Mインストール） ※5. 最小計測流量範囲未満の場合、出力信号は0%（=1V）に固定されます。 ケーブルB Adap te r f o F r l o 9 ad Y e r 7 co A f o 1 r F m 7 m M un i ca t i on cab l e 選定時の注意事項 a ← z DC24 V b M i l A D C E o r IN p o J r A a P t A i N o n 2018-02-31 （1） 仕様に記載された使用条件の範囲をこえる圧力をかけたり、範囲外の温度で本器を使用しないでください。また、本器を落としたり使用条件を超える振動、衝撃を与えないよう、十分に 注意してご使用ください。本器内部の流路に使用している石英ガラス管の破損、ならびに流路のシール部の劣化が生じ、本器の内部および外部に漏れが発生したり、本器の故障や外部機器の ①ローダ通信用ケーブル 火災、故障の恐れがあります。 アダプタ本体（F9Y7A1） （2） 振動のない場所に設置してください。本器を振動のある場所に設置した場合、正しく計測できず、誤動作および故障の原因となります。 USBポート （3） 異物などが流体に混入しないようにしてください。配管内のさび、油分、ゴミなどが本器に流入し付着すると、計測誤差が発生し、本器の破損につながるおそれがあります。異物が混入す るおそれがある場合には、本器の上流側にフィルタなどを設けてください。また、フィルタの点検、交換などは定期的に行ってください。 ※①②③は別売です ②USBローダケーブル（81441177-001） （4） 本器に異常が生じたときに損害が想定される場合は、適切な冗長設計を行ってください。 ※①にケーブルＡ、Ｂは付属します ※上記以外の「使用前の注意事項」、「取付け時の注意事項」等は取扱説明書（詳細編）（資料番号：CP-SP-1421）に記載しています。こちらもご参照の上、ご選定ください。 06 07 63 48 18 5 3 60