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超精密!高精度・高剛性・高追従を実現した理想形ステージHWシリーズ【NAFHW1D-100/NAFHW3C-16】

製品カタログ

送り機構に「ボールネジ+クサビ式減速機構」を搭載。また、直動ガイドに「クロスローラガイド」を搭載することで高追従・高精度・高剛性を実現した超精密なステージです。

【特徴】

高追従性
・50nm送りの追従性

高剛性
・1/4のクサビ構造により横荷重に対しても従来品
・(NAF3Cシリーズ)と比べ、剛性が1.5~2倍

高位置決め精度
・クサビ式減速機構の採用により高分解能を実現
・クサビ機構によりボールねじのよろめきを減少
・クロスローラガイドを採用、摺動抵抗を抑え優れた直進性

【用途例】

・半導体
・FPD検査装置
・レーザ光学系アライメント
・干渉系機器
・分析機器
・ナノメータポジショニング  等

◆測定データや仕様についてはダウンロードしてご確認ください

このカタログについて

ドキュメント名 超精密!高精度・高剛性・高追従を実現した理想形ステージHWシリーズ【NAFHW1D-100/NAFHW3C-16】
ドキュメント種別 製品カタログ
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