送り機構に「ボールネジ＋クサビ式減速機構」を搭載。また、直動ガイドに「クロスローラガイド」を搭載することで高追従・高精度・高剛性を実現した超精密なステージです。
【特徴】
高追従性
・50nm送りの追従性
高剛性
・１/４のクサビ構造により横荷重に対しても従来品
・(NAF3Cシリーズ)と比べ、剛性が1.5～2倍
高位置決め精度
・クサビ式減速機構の採用により高分解能を実現
・クサビ機構によりボールねじのよろめきを減少
・クロスローラガイドを採用、摺動抵抗を抑え優れた直進性
【用途例】
・半導体
・ＦＰＤ検査装置
・レーザ光学系アライメント
・干渉系機器
・分析機器
・ナノメータポジショニング 等
◆測定データや仕様についてはダウンロードしてご確認ください
このカタログについて
| ドキュメント名 | 超精密！高精度・高剛性・高追従を実現した理想形ステージHWシリーズ【NAFHW1D-100/NAFHW3C-16】 |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 5.9Mb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | ヒーハイスト株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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