2成分混合ガス濃度計

Stanford Research Systems 2成分混合ガス濃度計 BGA244 シリーズ ・2成分混合ガスの濃度測定、 2 成分混合ガス濃度計 BGA244 シリーズは混合ガスの濃度 単一ガスの純度管理に最適 を素早く連続的に測定でき、また単一ガスの純度確認がで きます。 ・高精度：±0.1 ％（ガス種による） ガス混合器、ガス発生装置、ヘリウム回収、キャリアガス ・メンテナンスフリー 中のドーパント濃度、オゾン濃度管理など多くのアプリ ケーションに利用できます。 ・タッチパネルディスプレイおよび データ収集ソフトで簡単操作 熱伝導式センサーや電気化学式センサーと異なり、リファ レンスガスでの校正は必要ありません。 ・豊富な出力を装備 実質的にメンテナンスフリーで簡単に扱うことができます。

BGA244 ◆動作原理 ガス中に伝わる音速は温度、比熱、分子量に依存します。 混合ガス中の音速と温度を正確に測定することで高い精度で濃度を求めることができます。 ◆動作モード ３つの測定モードを切り替えることで、用途に応じた使い分けができます。 2 成分ガス分析モード ガス濃度 ガス純度分析モード 単一ガスの純度 物理的測定モード ガス中に伝わる音速、ガス温度および圧力 ガスの種類は本体タッチパネルまたは PCに接続して選択できます。 濃度（純度）の上下限値を設定すれば、画面上に許容範囲と指示値がグラフ表示されます。 音速、温度、圧力についても全てのモードで上下限設定ができ、アラームリレーの出力選択も可能です。 2成分ガス分析モード ガス純度分析モード 物理的測定モード ◆精度 ガス 誤差範囲 2 成分の音速差が小さいほど誤差が生じます。 ガスの組み合わせによって精度が変わります（右表参照）。 水素 / ヘリウム 0.04％～ 0.14％ ヘリウム 3 / ヘリウム４ 0.11％～ 0.14％ 相対値測定 (REL) を実行することで、より高精度な測定 ヘリウム / 重水素 0.13％～ 0.29％ が期待できます（ガス種によりますが 10ppmも可能）。 水素 / アルゴン 0.002％～ 0.049％ 詳細についてはご使用になられる混合ガスをご連絡くだ ヘリウム / 空気 0.005％～ 0.035％ さい。 水素 / 酸素 0.002％～ 0.035％ 酸素 / オゾン 0.053％～ 0.11％ 酸素 / 窒素 0.24％～ 0.26％ ◆使用圧力 窒素 / 二酸化炭素 0.051％～ 0.12％ 精度は使用圧力にも依存します。 ジボラン / 水素 0.003％～ 0.086％ 圧力値は本体タッチパネルまたは PCに接続して設定でき、 また外部の圧力センサーから取り込むことができます。 六フッ化硫黄 / 空気 0.007％～ 0.155％ BG244 シリーズは 0.9MPa まで対応しています。 TMI / 水素 0.001％～ 0.002％ TMI / 窒素 0.006％～ 0.008％

◆データベース 500 種類以上のガスが本体に登録されていますので、測定できるガスの組み合わせは数万通りに及びます。 またご使用の混合ガスをデータテーブルに追加することができます。 ◆I/O、リレー、ヒータ、電源 アナログ I/O が複数ある他、任意に設定できるイベントリレーが 2つありますので、プロセス制御およびアラーム出力 が簡単にできます。 BGA244 には温度調整・結露防止用ヒータが内蔵されており、ヒーター機能をご使用される場合は専用の電源ユニット BGA-24 をご用意しています（オプション）。 ◆通信 濃度計とデバイスを RS-232、RS-422、USB で接続することで各種の設定がリモートでおこなえます。 専用ソフト「BGAMon」は濃度、温度および圧力の時間トレンドを表示するだけでなく、複数台への設定コピー、 ガス情報の追加ができます。 ◆ラインナップ 標準機「BGA244」の配管接続は 1/8”-27NPT めねじです。 上位機種である「BGA244HP」は高純度ガスまたは 腐食性ガス用に設計されました。 配管接続は 1/4”VCR オスで、ヘリウムリークチェック を実施してから出荷します。 「BGA244E」は BGA244 を IP66/NEMA-4X 相当のポ リカーボネート筐体に組み込んだモデルです。透明 のパネルで筐体は密閉され BGA244 をダスト、風雨 から保護します。 ◆特注仕様　「BGA244OEM」 特注仕様も承っております。お気軽にお問合せください。 BGA244E BGA244OEM

BGA244 仕様 　 ◆計測 ◆その他 使用温度 　‒20℃～ +70℃ USB 電源 +5 V, 350mA 温度分解能 　0.001℃ (+24V を使用しない場合 ) 温度精度 　±0.1℃ +24V 電源 0.1 A ～ 2.5A 測定音速範囲 　100 ～ 1,500 m/s ( ヒータ電力による ) 音速分解能 　0.001 m/s 接ガス材料 音速精度 　±0.05％（ 1atm Ar at 200 sccm) -BGA244, BGA244E- 濃度精度 　±0.1％（ガス種による ) 　EP-SUS304、OFHC 銅ガスケット、ニッケルめっき / 測定間隔 　4.4 Hz 　無電解金めっきを施した銅配線カプトンフィルム、 アベレージング 　オフ または 2～ 100 ピリオド 　SUS316 ビス、SUS316NPT 継手、ガラス、ニッケル 　メッキを施したジュメット線 ◆キャビティ 　Loctite565 ねじシーラントは、NPT 継手をシールする 容積 　 　130 cc 　ために使用されます。 流量範囲 　0～ 5,000 sccm -BGA244HP- 最低使用圧力 　35 kPa( ガス種による ) ～ 0.9MPa 　EP-SUS304、金めっき処理OFHC 銅ガスケット、ニッ キャビティ耐圧 　17 MPa 　ケルめっき /無電解金めっきを施した銅配線カプトン 内部リーク 　1×10-8 std-cc/s (BGA244HP のみ ) 　フィルム、SUS316 ビス、SUS316VCR 継手、ガラス、 　ニッケルメッキを施したジュメット線 ◆キャビティヒータ 配管接続 設定温度範囲 　0℃～ +70℃ 　・BGA244 1/8"-27NPT めねじ 設定電力範囲 　ヒータオフ または 0.5W～ 60W 　・BGA244HP 1/4"VCR オス 　・BGA244E 1/8"-27NPT めねじ ◆アナログ I/O サイズ ポート 　 　出力ポート×3 　・BGA244/BGA244HP 　 　入力ポート×2 W140×D 83×H115 mm レンジ 　 　0 ～ 5 V, 0 ～ 10 V, 4 ～ 20 mA 　・BGA244E W255×D140×H280 mm 精度 　 　電圧：±0.1％もしくは 1 mV 重量 　 　電流：±0.1％もしくは 10 μA 　・BGA244/BGA244HP　　3.2 kg 　・BGA244E 　　4.5 kg ◆シリアル通信 保証 1 年間 USB Hi-Speed USB2.0 RS-232 2,400 ～ 115,200 baud RS-422 2,400 ～ 115,200 baud -- 安全上の重要な注意事項 -- BGA244 シリーズは ATEX 指令に対応しておりません。 通常の動作では分析中のガスに点火することはありませんが、 可燃性または爆発性の混合ガスを使用する場合は、ガスポート 両端に火炎防止装置を設置することをお勧めします。 本機の耐圧は 17MPa です。 ガスと反応する恐れがある場合、事前に耐食テストを実施して 検証することを推奨します。 -- お断り -- 型式・名称・仕様・材質・価格等の記載内容について予告無く 変更する事があります。あらかじめご了承ください。 BGA244 底面 製造元 販売代理店 Stanford Research Systems 東横化学株式会社 〒211-8502 神奈川県川崎市中原区市ノ坪 370 TEL：044-435-5878（直） FAX：044-433-5332 https://www.toyokokagaku.co.jp/