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異物検出システム ContamiAnalyzer

製品カタログ

自動スクリーニング検査システム 専用機を構築。

ContamiAnalyzerは顕微鏡やデジタルマイクロスコープでなければ識別できない微小な粒子を画像処理を利用して検出し、自動的に粒子サイズごとの分析や合否判定を行うことができるシステムです。 メンブレンフィルタやウェハといった工業製品から、食品に関係する粉末中の金属片などの異物購入検査など様々な対象物に対応することができ、ルーチンの品質管理を高精度に容易にお客様へご提供することができます。 自動車業界向けのコンタミ検査の規格であるISO16232に沿った出力も行うことができます。

このカタログについて

ドキュメント名 異物検出システム ContamiAnalyzer
ドキュメント種別 製品カタログ
ファイルサイズ 1.4Mb
登録カテゴリ
取り扱い企業 三谷商事株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧)

このカタログの内容

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異物、傷、穴。 お持ちの顕微鏡を使って “ラクラク”自動検査! 電動ステージ連動 自動スクリーニング検出システム ContamiAnalyzer ご紹介カタログ
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スライド番号 1

異物検出システム Contamination Inspection System 自動スクリーニング 検査システム 専用機を構築。 Contami Analyzer 高品質な“モノづくり”をめざして 画像処理を利用した自動外観検査システムを構築いたします。例えば、メンブレ ンフィルタにおける異物検出・粒度分布測定などを目的とした、自動スクリーニン グによるクラス分類・検査結果レビューが行える専用システムになります。シリコン ウェハにおけるパターン幅測定・表面形状解析・合否判定などにも応用できます。 ユーザ様の導入背景 • フィルタやウェハ表面の異物や欠陥、パターン検査で検査精度を重視している • 人為的要因による誤差を軽減し、一定基準による客観的なデータを保管したい • 目視検査中に観察箇所を見失うなど、業務効率が問題となっている • 長時間、顕微鏡を覗くなど固定された姿勢が強いられ、作業負担が大きい • 検出結果から特定の粒子の位置にステージ移動して、目視で再確認したい • 現在使っている顕微鏡を有効活用して自動システム化したい • 1000万円以下の格安検査システムを探している (※. レーザ顕微鏡仕様は含まれません)
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スライド番号 2

運用フロー Ⅰ.検査対象物セット Ⅱ.スクリーニング・解析 Ⅲ.検査結果の確認・出力 メンブレンフィルタ の異物検査 メンブレンフィルタ シリコンウェハ の異物検査 シリコンウェハ 特注ソフト カメラ 顕微鏡ベースの 顕微鏡 PC システム構成図 ContamiAnalyzer PCモニタ 電動XYステージ ステージコントローラ キーボード マウス 主な特長  利用される主な業界  高精度な自動検査 自動車部品洗浄後のメンブレンフィルタ検査、 半導体分野のウェハ・チップ上の異物検査、 化学薬品濾過フィルタ上の残渣検査など、幅 広い業界でのご利用をサポートしています。  任意の撮影方法・構成をご提案 ベストセラー画像解析ソフトWinROOFの画像処 光学顕微鏡、デジタルマイクロスコープ、実体 理モジュールを活用して、検出粒子の基準を 顕微鏡、マクロレンズ等に対応し、粒子の観察 任意に設定することで高精度な検査を実現し 処理に適した撮影方法を選択可能です。 ます。粒子の色合いや形状などの条件から判 また、海外OSに変更することで、海外の現地 断して、金属/非金属/繊維を判定できます。 設備としてご利用になれます。  既存設備にジョイント可能 既にお持ちである顕微鏡やマイク ロスコープなどを活用させていただ き、それを組み込むシステムを構 また、偏光フィルター等を利用して撮影した 築することもできますので、より投 画像の重ね合わせ処理機能を使用するこ 資を抑えたご提案ができます。 とで、金属判定の精度向上が期待できます。 Contamination Inspection System
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スライド番号 3

機能と性能  検査の時間短縮  最適化されたレビュー機能 スクリーニングした検査結果をマッピングし、 撮影処理と画像処理をマルチスレッド(並列) マップ表示、撮影画像表示、粒子計測データ、 で実行することで、検査の更なる高速化を実現 粒子サムネイルなどをレビューできます。注目 します。倍率100x程度で、Φ 47 mmの円形 した粒子の検出位置へステージ移動して、改 フィルタを約1分でスキャンすることが可能です。 めてライブで目視確認できることも特徴です。  照明ムラの自動補正  測定後の検出粒子確認 照明ムラ補正前 照明ムラ補正後 撮影環境によって照明やレンズ収差などを原因 として発生する明るさのムラを除去し、正確な検 査を実現します。また、外光などにより視野ごと レビュー時に、一部粒子に誤判定があった場 の明るさに少々の変化が生じても、輝度の自動 合、データ修正・削除・追加、分類判定の変更 補正機能により安定した検査が可能です。 など、容易に手動の編集が行えます。  ワンボタンExcel®レポート出力  各種規格対応 検査結果はExcel®に出力することができます。 ISO16232及びVDA19の清浄度検査規格に 粒子データ、統計情報、サンプル全体像など 準拠したレポート出力が可能です。また、粒子 をアウトプットし、簡単にデータ管理を行えます。 サイズのヒストグラムを自動作成できます。 Contami Analyzer, by MITANI CORPORATION
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スライド番号 4

システム構成と仕様の図例  システム仕様例マイクロスコープ観察を利用 デジタルマイクロスコープ 撮像素子 1/1.8型CCD 有効画素 1628×1236 光源 メタルハライドランプ 同軸落射 / リング照明 照明 (オプション:透過照明) シャッタ,ホワイトバランス, 調整機能 ゲイン 電動XYステージ 最小検出能力 移動量 X・Y軸: ±50 mm ① 低倍率ズームレンズ使用時 20 ~ 160 倍 65 ~ 8.5 μm 移動分解能 X・Y軸: ±2 μm ② 中倍率ズームレンズ使用時 50 ~ 400 倍 26 ~ 3.3 μm 繰返し位置決め精度 X・Y軸: ±1 μm ③ 高倍率ズームレンズ使用時 140 ~ 1400 倍 10.3 ~ 1.0 μm 専用コンピュータ 〔注〕 撮影倍率によりオプションのオートフォーカスユニット(下記)が必要と OS: Windows7~10,メモリ: 4 GB,HDD: 1 TB以上, なる場合があります。 19インチモニタ  顕微鏡+オートフォーカスを利用 システム仕様例 オートフォーカス(下記数値は使用状況により異なります) 方式 カメラ映像信号の画像処理 合焦速度 0.3 秒 程度 合焦精度 焦点深度の約1/3が可能 電動XYステージ 移動量 X・Y軸: ±50 mm 移動分解能 X・Y軸: 2 μm 繰返し位置決め精度 X・Y軸: ±1 μm 専用コンピュータ デジタルCCDカメラ OS: Windows7~10,メモリ: 4 GB,HDD: 1 TB以上,23インチモニタ 210万画素,3CCDカラー,AF対応  お客様仕様へのカスタマイズを承っております 上記はあくまで参考仕様になります。独立系のソフトウェアベンダーとして様々なメーカーの製品に対応 できます。多様なご用途やご要望へお応えするため、お客様専用のカスタマイズをご提案いたします。 カスタマイズ例 オプション追加例 システム外形寸法の調整, 検査項目の拡張, オートフォーカス(ラインセンサ方式,レーザー方式,画像方式等), 画像センサ組込みによるタクト短縮・高解像度処理, 簡易クリーンブース(HEPAフィルタ付), 電動ステージの特注(特大ステージ,専用治具付き等) 等々 非常停止装置付き安全ブース, ID機能対応 等々 MITANI CORPORATION お問い合わせ 三谷商事株式会社 ビジュアルシステム部 東京 〒171-0033 東京都豊島区高田3-28-2(FORECAST高田馬場1F) TEL:03-5949-6220 大阪 〒532-0003 大阪市淀川区宮原3-5-24(新大阪第一生命ビル12F) TEL:06-6399-3755 名古屋 〒460-0002 名古屋市中区丸の内2-12-13(丸の内プラザビル6F) TEL:052-220-0525 福岡 〒812-0011 福岡県福岡市博多区博多駅前2-6-10(FKビル8F) TEL:092-473-8611 開発 〒910-8510 福井県福井市豊島1-3-1(第3三谷ビル2F) TEL:0776-20-3570 http://mitani-visual.jp Contami Analyzer, by MITANI CORPORATION