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レーザー顕微鏡 OPTELICS HYBRID+(新製品)

製品カタログ

真の使いやすさを実現する新機能が追加に

高機能と多機能性を両立させて誕生したOPTELICS HYBRIDシリーズに、長寿命LED光源と高分解能Zスケールを採用。さらに、使いやすさを追求する3つの機能を持つ「計測アシスト機能」を新たに開発しました。

第一の機能として、最適な測定手法をアドバイスする「LMカルテ」、第二の機能がノイズ処理等をはじめとする前処理プロセスのパラメータを装置がアシストする「フィルターアシスト機能」、そして第三の機能が測定情報からOK品とNG品を識別するための管理項目をアドバイスする「LMアドバイザー」です。従来、測定者の経験とスキルに依存していた設定を装置が最適化することで、作業効率が大幅に向上します。

また自動検査ソフトに機械学習やディープラーニングを組み込んだ「AI検査」を新規に開発し、ノンパターンの基板欠陥検査から、パターン付きデバイス等の欠陥検査へ拡張できるだけでなく、取得した欠陥を分類する事が出来、検査フィールドでの活躍の場が飛躍的に拡大します。その他、ウェハ自動搬送をはじめ、測定精度を向上させる新開発の高NA対物レンズ、Xθステージ等のハードウェアオプションと、豊富なソフトウェアオプションにより、多様なニーズをきめ細かく対応することが可能です。

自動搬送および自動測定・自動検査にも対応可能です。ぜひお問い合わせください。

このカタログについて

ドキュメント名 レーザー顕微鏡 OPTELICS HYBRID+(新製品)
ドキュメント種別 製品カタログ
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取り扱い企業 レーザーテック株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧)

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このカタログの内容

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■ 外観 ■ レイアウト図 1570 mm ハイブリッドレーザーマイクロスコープ ■ 顕微鏡本体 ■ コントロールユニット 431 mm 450 mm 382 mm 511 mm ■ LED光源ユニット ■ ランプハウス 142 mm 18 mm 200 mm 61 mm 142 mm 311 mm 36 mm 真の使いやすさを追求、 この+が実現しました。 レーザ放射 ビームをのぞき込まないこと 最大出力 パルス持続時間 波長 0.8(mW) 連続波 405(nm) クラス2レーザ製品 JIS C6802:2011 ISO9001を2002年4月に本社にて取得しました 開発・製造元 販売元 本社 共焦点システムソリューション部 〒222-8552 横浜市港北区新横浜2丁目10-1 TEL.045-478-7330 FAX.045-478-7333 公式サイト www.lasertec.co.jp E-mail sales@lasertec.co.jp ISO9001を2002年4月に本社にて取得しました。 01-2008 211 mm 689 mm 80 mm 232 mm 106 mm 710 mm
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様々な場面で プラス あなたの仕事に+を 真の使いやすさを実現する新機能を加え 機能 多様なニーズに応える 6 つの機能で P5 HYBRID+へ進化 ハードウェア 業界最高スペックで より正確に P13 高さ検出器精度0.05 nmのスケール  LED光源ユニット  専用低倍・高NAレンズ ソフトウェア 誰でも使えるソフトで より使いやすく P19 LMカルテ  フィルターアシスト機能  Officeレポート機能 オプション/カスタム 自動化への対応で より効率的に P27 Wシリーズ  LMBrain  スケール付き電動ステージ
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多機能と高性能を実現したOPTELICS HYBRID+ 白色コンフォーカルとレーザーコンフォーカルの融合 業界最高スペックとonly one機能 白色光とレーザー光の2つのコンフォーカル光学系を搭載し、それぞれのメリットを生かせます。 レーザー顕微鏡に要求される様々な観察・測定機能において、業界最高水準を実現します。 業界 only 白色 最高 one コンフォーカル 広視野 業界 only 自動検査 最高 one レーザー 高速測定 業界 only 最高 one 自動測定 高精度測定 波長選択 コンフォーカル 6つの機能を1台に搭載 幅広い測定ニーズに対応 2つのコンフォーカル光学系をベースに、微分干渉観察、垂直式白色干渉測定、位相シフト干渉測定、 ナノレベルからミリレベルの広い測定ニーズに1台で対応します。 反射分光膜厚測定の6つの機能を搭載しました。複数の装置を揃えないと実現できなかった観察・ 測定が、1台で可能になりました。 1 mm ●高 精細24 bitフルカラー観察 ●高 倍率 ● 広視野観察・測定 ●高 分解能 デジタルマイクロスコープ ●サ ンプルに最適な波長を選択 ●高 コントラスト 白色 レーザー コンフォーカル コンフォーカル 高1 µm さ 分 電子顕微鏡 解 能 反射分光 微分干渉 ● 平坦面上のナノレベルの 一般的な ● ナノレベルの透明膜厚測定 膜厚測定 観察 傷や異物の可視化 レーザー顕微鏡 光干渉 顕微鏡 原子間力顕微鏡 位相シフト 垂直式 1 nm 干渉測定 白色干渉測定 1 nm 1 µm 1 mm ● オングストロームレベルの形状測定 ● ミリレベルの広視野でナノレベルの形状測定 水平分解能 1985 1987 1999 2001 2003 2007 2013 1985年、世界初の工業用 2020 世界初が拓いた カラーレーザー顕微鏡を リリース。以来、常に最先端 開発35年の歴史 の顕微鏡の開発に取り組 2LM11 1LM21 VL2000D HD100D S130/C130 H1200WIDE OPTELICS HYBRID んできました。 世界初の工業用レーザー顕微鏡 赤色レーザー 紫色レーザー 白色コンフォーカル 白色カラーコンフォーカル 多機能白色コンフォーカル 多機能白色・ RGB3色レーザー レーザーコンフォーカル 3 4
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機能 多様なニーズに応える 6つの機能で ●広視野を高精度に測定したい 白色コンフォーカル P7 ●高精細なカラー観察をしたい ●高倍率、高分解能で観察・測定したい レーザーコンフォーカル P9 ●ナノレベルの凹凸を観察したい 微分干渉観察 P10 ●ナノレベルの形状を測定したい 垂直式白色干渉測定 P11 ●オングストロームレベルの形状を測定したい 位相シフト干渉測定 P11 ●ナノレベルの透明膜厚を測定したい 反射分光膜厚測定 P12 5 6
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機能 多様なニーズに応える 6つの機能で 白色コンフォーカル ▎ 広視野観察で効率向上 ▎ サンプルに合わせた波長選択 一般的なレーザー顕微鏡に比べて約1.6倍の視野面積で観察・測定が可能です。 HYBRID+は光源波長と受光波長を切り替えることで、サンプルに合わせた最適な波長帯での観察・測定が可能です。単色光で は測定できないサンプルの観察・測定にも対応しています。 一般的なレーザー顕微鏡の視野 HYBRID+の視野 (20×対物レンズ) (20×対物レンズ) 光源側:波長選択機能 検出器側:受光チャンネル切り替え機能 光源波長を6つの波長に切り替えが可能です。 RGB各波長帯域のチャンネル切り替えが可能です。 視野面積 白色 約1.6倍 赤 青 633 nm 436 nm 黄 青緑 接点端子 578 nm 486 nm 黄緑 緑 546 nm 514 nm ▎ 低倍率でも高い測定精度 波長選択による多層観察イメージ図 検出器イメージ図 専用低倍・高NAレンズを使うことで、一般的なレーザー顕微鏡では難しい低倍率レンズでの高精度な測定が可能です。 波長選択が必要なサンプル事例 一般的な10×対物レンズ(NA:0.3)による3D画像 専用10×対物レンズ(NA:0.5)による3D画像 ■ 吸光特性の影響を受けるサンプル PIフィルムはBlueの波長を透過しないため、Blueチャンネルで最表面情報のみを取得。膜下のパターンを観察 したい場合にはRedチャンネルに切り替えることでPIフィルムを透過し観察可能です。 全焦点画像(白色) 上層部(Blue) 下層部(Red) ノイズ 粗さ標準片 ▎ 高精細フルカラーコンフォーカル観察 PIコートされた通信デバイス ■ 特定波長で影響を受けるサンプル 太陽光のスペクトルに近い白色光源を採用し、焦点深度の深い高精細なフルカラー画像を取得できます。 レジスト膜やUV硬化樹脂、有機膜など特定波長でダメージを受けるサンプルに対し、最適な波長を選択して観 察・測定が可能です。 一般的なレーザー顕微鏡 HYBRID+ 405nm波長による感光ダメージ 最適な波長で非破壊観察 パウダーファンデーション 充電中のリチウムイオン電池電極断面 ガラス越しに黒鉛負極の色変化をOperando観察 (LIBTEC様ご提供) 有機膜 7 8
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機能 多様なニーズに応える 6つの機能で レーザーコンフォーカル 微分干渉観察 ▎ 高倍率・高分解能観察 ▎ ナノレベルの凹凸観察 波長405 nmのバイオレット半導体レーザーを搭載し、前処理することなく電子顕微鏡に匹敵する高い解像度で、ナノレベルの超 コンフォーカルと微分干渉(DIC)との組み合わせでサンプルの微細な凹凸形状を鮮明に可視化します。焦点深度が極めて浅い 微細構造を鮮明に捉えます。 ため、透明体のサンプルに対しても裏面の影響を受けることなく表面観察が可能です。 コンフォーカル画像 コンフォーカルDIC画像 微細な凹凸は可視化できない 微細な凹凸まではっきり可視化できる ニオブ酸ナトリウム Siウェハ裏面 SiCウェハ上のエピ欠陥 (視野25 µm、モニター上倍率11,100倍) (視野75 µm、モニター上倍率3,700倍) (視野1,500 µm) ポリマーブレンド球晶 半導体パターン 人工水晶の結晶表面形状 (視野150 µm、モニター上倍率1,850倍) (視野75 µm、モニター上倍率3,700倍) (視野1,500 µm) GaNエピ欠陥 (視野1,500 µm) 9 10
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機能 多様なニーズに応える 6つの機能で 垂直式白色干渉測定 反射分光膜厚測定 ▎ ミリレベルの広視野でナノレベルの形状測定 ▎ ナノレベルの透明膜厚測定 白色光と二光束干渉レンズにより生じる干渉波形を光軸方向に走査しながら、干渉縞強度が最大になるZスケール値を取得し、 波長選択機能を用いて6波長の絶対反射率を測定し、光学モデルを用いたフィッティングで膜厚を算出します。数nm~1 µm程 高さ分布を求めます。原理上、どの倍率でも高さ分解能が変わらず、低倍で広視野の形状測定に適しています。 度の単層/多層膜厚測定が可能です。測定領域はコンフォーカル観察像から指定する為、サブミクロンの微小領域~視野全体の 数mm領域の平均膜厚が算出できます。さらに各ピクセル毎の膜厚を計測出来る為、膜厚分布測定が可能です。 全面クロムコーティングされたナノ段差を測定。1.5 mm 数µmの高低差の中にある数10 nm~数100 nmのへき の視野で44 nmの測定が可能。 開ステップの測定が可能。 微小領域の膜厚測定事例 HYBRID+の測定エリア(1 µm□) 約44 nm 試験片 カルサイト結晶のへき開面 一般的な膜厚測定器の測定エリアは1mmφ程度 Si基板上のSiO2膜厚:114 nm 位相シフト干渉測定 膜厚分布測定事例 ▎ オングストロームレベルの形状測定 単色光と二光束干渉レンズにより生じる干渉縞は、試料からの反射光の光路差分布に対応しており、光軸方向に精密にステップ 移動した4つの干渉画像を位相解析することで、高さ分布を高分解能で求めます(高さ測定範囲は測定波長の半波長以内)。研磨 面などのナノオーダーの表面粗さ測定に適しています。 全面クロムコーティングされた8 nm段差のパターンを らせん転位を起点とする1 nm~10 nmの成長ステップ 測定。白色干渉法式よりも高分解能。 形状の測定が可能。 56 nm 52 nm 16 nm 48 nm 44 nm 40 nm 12 nm 36 nm 8 nm 32 nm 4 nm 28 nm 24 nm 20 nm Si基板上の(2分子膜: 視野 4 nmの積層)LB膜 1500 µm (山形大学 松井研究室 松井淳教授ご提供) 8 nm 試験片 SiC結晶の成長面 (名古屋大学 未来材料・システム研究所 宇治原徹教授ご提供) 11 12
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ハードウェア 業界最高スペックで より正確に ハードウェア 正確な測定を支える光源 業界最高スペックで より正確に ▎ 光源 レーザー光源 レーザー光源には可視光領域で最も波長の短い405 nmのバイオレット半導体レーザーを採用しました。バイオレットレーザー は波長が短く、単色光でエネルギー密度が高いため、高倍率かつ高コントラストの撮像が可能です。 白色光源 広視野・高速コンフォーカル光学系 LED光源とキセノンランプ光源のいずれかを選択できるようになりました。 LED光源 長寿命かつ安定した光源であり、計測の繰り返し性に優れています。 キセノンランプ光源 太陽光に近いスペクトルを持ち様々なオプション計測に対応いたします。 1 白色光、バイオレット半導体レーザーの 2種類の光源を搭載 検出器 ワンクリックで光学系を切り替え可能 2 RGBを同時・独立に受光する検出器を搭載 LED光源ユニット ランプハウス(キセノンランプ光源) レーザー光源 サンプルに合わせた最適チャンネルを選択 波長帯域 3 白色光はブロードバンド光であるため単色光では観察・測定の難しいサンプルも測定可能です。また、フィルターにより6種類の波長を高さ検出器精度0.05 nmのスケール 選択できるためサンプルに合わせて最適な条件で測定可能です。 白色光源 業界最高精度を実現 紫 青 青緑 緑 黄緑 黄 赤 405 nm 436 nm 486 nm 514 nm 546 nm 578 nm 633 nm 380 nm 750 nm 4 安定性を高める高剛性・低重心設計 振動・騒音による外乱を低減 単色光とブロードバンド光の違い 単色光の光源の場合、薄膜がついたサンプルでは干渉縞が発生するため正しく表面形状が測れません。白色光源はブロードバンド光の ため、干渉縞が発生しにくく、正確な表面形状が測れます。 反射画像 反射画像 低重心設計 単色光 ブロードバンド光 重心を低くすることで耐震性を 向上させました。 干渉縞が発生しやすい 干渉縞が発生しにくい 除振機構 安定した測定環境を実現する ために底面にゲル状の除振機 構を内蔵しています。 3D画像[ 基板上のレジスト(3 µm)] 3D画像 13 14
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ハードウェア 業界最高スペックで より正確に コンフォーカル顕微鏡の原理 ▎コ ンフォーカル光学系 ▎ フォーカススキャン/全焦点画像取得/高さ測定原理 サンプル表面からの反射光をピンホールを通して検出器で 合焦時 非合焦時 フォーカススキャン オプティカル セクショニング 全焦点画像 受光する光学系です。点光源からの照明光がサンプル表面 検出器 検出器 サンプルをZ方向に移動しながら連続的に画像を取り込むこ に焦点を結ぶ時、その反射光が検出器側にも焦点が合うよ ピンホール ピンホール とで、位置の異なる複数のオプティカルセクショニング画像 うに設計されていることから、共焦点(コンフォーカル)光学 ビーム ビーム を取得します。各画素で焦点が合った際のピーク輝度および 系と呼ばれます。サンプル表面に焦点が合っている場合、反 スプリッター スプリッター ピーク位置を取得します。 点光源 点光源 射光はピンホールを通過して検出器に届きます。焦点が合っ ていない場合、反射光は検出器側で収束しないため大部分 全焦点画像 がピンホールに遮られ、検出されません。コンフォーカル光 ピンホール ピンホール対物レンズ 対物レンズ 各画素のピーク輝度を1つの画像にすることで、視野内すべ 学系は合焦点面からの反射光だけを検出する光学系であり、 ての位置に焦点が合った高解像度かつ焦点深度の深い画像 焦点位置 サンプル HYBRID+や一般的なレーザー顕微鏡で採用されています。 サンプル 焦点位置 が得られます。 高さ測定 3D画像 各画素のピーク位置情報から高さデータが得られます。高さ データを解析することで、各種の三次元測定が可能です。 ▎コ ンフォーカル光学系のメリット 解像力とコントラストの向上 ノンコンフォーカル画像 コンフォーカル画像 ノンコンフォーカル光学系と比較して、周辺からの不要な散 乱光を除外することで解像力とコントラストが向上します。 Z方向に高い解像力を持つ 焦点位置の反射光のみを受光することによってZ方向に高 い解像力を持ちます(IZカーブ)。これにより焦点深度のきわ ▎ピ ーク位置の検出アルゴリズム めて浅い断層画像を得ることができます(オプティカルセク TFT ショニング効果)。 フォーカススキャンで得られたIZカーブに独自のアルゴリ IZカーブ IZカーブ ズムを適用し、真の高さ情報を算出します。 コンフォーカル光学系 (Z サーチピーク/ファイン Z ピーク方式は、高精度な ノンコンフォーカル光学系 位 測定結果を短い測定時間 Z 置 ( ) で得ることができます。 Z 位 置  ) (I 輝度) 従来方式 サーチピーク/ファインピーク (I 輝度) 検出された焦点位置 検出された焦点位置 真の焦点位置が検出できない 真の焦点位置が検出できる 15 16
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ハードウェア 業界最高スペックで より正確に 測定精度を高める新規コンポーネント ▎ 業界最高レベルの測定速度 ▎ 豊富なレンズラインアップ HYBRID+は、業界最高レベルの測定速度を 160 HYBRID+は専用低倍・高NAレンズを始め、様々なレンズをラインアップ、用途に応じて選択することが可能です。 140 処理時間は一般的な 一般的な 実現しました(15 Hz~120 Hzのフレーム レーザー顕微鏡 120 レーザー顕微鏡の1/4 測 レート)。一般的なレーザー顕微鏡と比較して 定100 時 処理時間 ■専用低倍・高NAレンズ ■対物レンズ 間 80およそ1/4の計測時間で、画像連結、高速自 ( 秒 60 1/4 低倍の広視野でも高倍率レベルの精度で測定が可能な、専用高 HYBRID+専用対物レンズ 動計測や高速動画観察で威力を発揮します。 ) 40 NAレンズを開発。 対物レンズ WD( mm) NA(開口数) 20 ※測定精度0.1 µmとして換算 専用対物レンズ 5× LT 10.50 0.250 10 20 30 40 50 (高NA) Z測定レンジ( µm) 10× LT 1.60 0.50 専用対物レンズ 20× LT 0.80 0.75 計測範囲 スキャン分解能 フレームレート (高NA) 新20× LT 1.65 0.80 ÷ ÷ = 計測時間 同焦60 mmタイプ 対物レンズ WD( mm) NA(開口数) 高さ方向の計測範囲 高さ方向の刻み量 視野面スキャン時間 1× 3.80 0.03 例) × 10 µm ÷ 0.1 µm ÷ 15 Hz = 6.67 sec 2.5 6.50 0.075 高NA対物レンズラインアップ 5× 23.50 0.15 10× 17.50 0.30 ▎ 業界最高の精度 20× 4.50 0.45 対物レンズ 50× 1.00 0.80 測定精度は「正確さ」と「繰り返し性」で表さ 50× Apo 2.00 0.90 正確さ 繰り返し性 正確さと繰り返し性 れます。「正確さ」は真の値にどれだけ近いか、 1.65 mm 100× 1.00 0.90 100× Apo 2.00 0.90 「繰り返し性」は複数回の測定でいかにバラ 150× Apo 1.50 0.90 ツキが少ないかを表すものです。HYBRID+ + = 20× ELWD 19.00 0.40 は水平方向測定、高さ測定ともに「正確さ」と 対物レンズ (長作動距離) 50× ELWD 11.00 0.60新低倍・高NAレンズ 「繰り返し性」で最高水準を実現しました。 NA:0.8、WD:1.65 mm 100× ELWD 4.50 0.80 正確さ ±[0.02×(100/対物レンズ倍率)+L/1000] µm 10× SLWD 37.00 0.20 幅方向測定 繰り返し性 σ 20× SLWD 30.00 0.30 (3 ) 0.01 µm 開口数( ) 対物レンズNA (超長作動距離) 50× SLWD 22.00 0.40 正確さ ±(0.11+L/100) µm 高さ方向測定 対物レンズの明るさを示し、分解能、焦点深度を決定する重要な 100× SLWD 10.00 0.60 繰り返し性(σ) 0.01 µm 数字。物体の1点から出た光が対物レンズの最も外側に入る角 度の半分をθ(開口角)とすると開口数は以下のように表す。 20× CR 10.00 0.45 対物レンズ NA=n・sinθ (ガラス厚補正機構) 50× CR 3.00 0.70 θ:開口角度 n:試料と対物レンズ間の媒質の屈折率。(空気は1) 100× CR 0.85/0.95 0.85 ▎ト レーサビリティ体系 作動距離(WD) 同焦45 mmタイプ 焦点を合わせた時、レンズの先端から試料までの距離のこと。 対物レンズ WD( mm) NA(開口数) HYBRID+は国家計量標準にトレーサブルな NIST 対物レンズ 50× Apo 0.35 0.95 校正を行っています。出荷時およびお客さま 米国国立標準技術研究所 同焦点距離(PFD) (高NA) 焦点を合わせたとき、対物レンズの胴付き面から試料表面までの 100 × Apo 0.32 0.95 の運用環境での校正に対応いたします。校正 距離。レンズの種類、倍率に関係なく一定で工業系では45 mm TI 2.5× 10.30 0.075 作業に伴って検査成績書・校正証明書を発行 幅基準サンプル 段差基準サンプル と60 mmの2種類があります。 TI 5× 9.30 0.13 VLSI Height Standard しております。 対物レンズ DI 10× 7.40 0.30アポクロマート(Apo) (二光束干渉レンズ) DI 20× 4.70 0.40 可視光全域にわたって色収差が補正された色消しレンズ。開口数 微小寸法測定 表面形状測定 (NA)が大きく、視野周辺部まで諸収差が補正されており、カラー DI 50× 3.40 0.55 観察に最適な対物レンズ。 DI 100× 2.00 0.70 17 18
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ソフトウェア 誰でも使えるソフトで より使いやすく ソフトウェア 使いやすさを追求した新機能 より使いやすく ▎ LMカルテ 誰でも使えるソフトで 問診票に沿ってサンプル情報や要求精度などを選択するだけで、測定条件を最適化します。登録した内容はカルテとして保存で きます。 測定に合わせたソフトウェア 標準ソフトウェアで計測から解析をカバー さらにオプションソフトで自動化に対応 画像表示・3D表示 ステージコントロール 顕微鏡用標準ソフト 画像処理・ノイズ除去 レンズ切り替え LMeye8 各種測定・画像解析 撮像条件設定 データ出力 画像データ取得 レポート作成 顕微鏡 データ 操作 解析 カルテ設定画面 カルテ選択画面 欠陥位置情報 撮像画像 オペレーターモード オペレーターモード オートアライメント 測定レシピ作成 ▎ フィルターアシスト機能 検査レシピ作成 位置移動補正 全面検査 測定位置検出 取得画像データからノイズ部分を可視化し、最適なフィルター処理をアシストします。信頼性の高い有効なデータはそのままに、 欠陥位置マップ表示 画像内多点同時測定 不要なノイズ成分のみを除去することで、高精度な計測を実現します。 欠陥分類 自動欠陥検査ソフト 自動測定ソフト 良否判定 LMInspect LIBRA 欠陥位置情報 オプション/カスタム オプション/カスタム P31 P30 ノイズ判別画面 フィルター処理画面  19 20
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ソフトウェア 誰でも使えるソフトで より使いやすく 基本機能 ▎ マクロ機能 ▎ パッチワーク機能 操作手順および測定パラメータを記録する機能です。熟練者の実施した手順を記録し実行することで、初めての方でも適切な測定 パッチワーク機能で容易に画像連結が可能であり、広視野画像をスムーズに作成します。一般的なレーザー顕微鏡に比べ作成時 が可能です。 間はおよそ1/6です。 マクロ機能 熟練 熟練 一般的なレーザー顕微鏡のパッチワーク HYBRID+のパッチワーク オペレーターの オペレーターの 手順を記憶 手順を実行 顕微鏡操作 画像処理 計測 再生ボタンを ワンクリックするだけ! 熟練オペレーター オペレーター 測定手順や解析プロセスを 保存されたコマンドをワン マクロモードで保存。実行 クリックするだけで、熟練オ したコマンドを記憶。 ペレーターと同じ手順で測 コイン(直径22mm) 3D画像 定・解析が可能。 ■マクロ機能フロー 自動追従機能 Z軸方向の画像取得範囲 位置移動 撮像 画像処理 データ解析 レポート パッチワークの際に各視野内の高 自動追従 低差を自動認識することで高さ測 機能なし 定レンジを最適化します。 ▎ 撮像設定機能 自動追従機能あり 画像連結範囲の断面図 オート設定 画角設定 錠剤 オートフォーカスはもち Y方向の画角を変更する ろん輝度設定や高さ計 ことで必要な領域のみ 測範囲をワンクリックで のデータをより高速に取 自動設定できます。 得できます。 ▎ XY座標計測機能 電動ステージを使用し、画面中心のXY座標を登録(始点)し、視野外の任意の画面中心XY座標を登録(終点)登録することで パッチワークせずに視野外の2点間距離を簡単に計測できます。 LS標準片 マルチゲイン HDRモード ノーマルモード 始点 終点 Z方向の計測範囲を最大 画面内に反射率の大き で6段階に分割し、個別 く異なるエリアが存在す に検出器のゲインを設 る場合、複数の受光感度 定できます。高さによっ を設定することでデータ て反射率が異なるサン の欠落を防止します。 プルに対して効果的です。 HDRモード 高アスペクトのトレンチ プリント基板 21 22
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ソフトウェア 誰でも使えるソフトで より使いやすく 各種計測・画像解析 ▎ プロファイル計測 ▎ 形状特徴解析 任意に測定ラインを設定し断面形状を取得します。断面から各種パラメータを算出します。 輝度または高さに閾値を設定し画像を二値 二値化画像 測定パラメータ 化します。二値化して検出した対象の面積、体 高さ、平面距離、空間距離、角度、 積、表面積など20項目以上のパラメータを算 断面積、近似Rなど 出可能です。視野内に類似の構造が多数存在 するサンプルに有効です。 ナノインプリントによる樹脂成型 3D形状プロファイル ステップ段差:45 nm バンプ 解析結果 ▎ 比較計測 ▎ 表面粗さ測定 複数の断面形状を比較する機能です。1画像内もしくは別の画像と比較が可能です。同一サンプルの同一箇所の変化の定量化な JISに準拠した線粗さおよびISOに準拠した面粗さ測定が可能です。非接触のため触針式では測定できない柔らかいサンプルも どに効果的です。 簡単に測定できます。触針式の針先では読み取ることのできない微細な凹凸情報を読み取ることでより精密な測定が可能です。 加工前 加工後 線粗さ測定(JIS B0601に準拠) コンフォーカル画像 面全体の粗さ情報を取得したのち、画面で確認 人工骨 しながら測定線を設定できるので狙った場所を 正確に測定できます。 面粗さ測定 (JIS B068[1 ISO 25178]に準拠) 触針式だけでなく、非接触(光プローブ)にも対 応した国際規格。走査ラインの方向によるバラ ツキがなく正確な測定が可能です。 ダイヤモンド砥石 3D画像 ▎ 幅・ピッチ計測 画像上の任意ラインで輝度プロファイルを 測定ライン(点線)上の実断面曲線 取得し、スライスレベルを設けて幅を算出し ます。半導体パターンなど高低差の小さなサ ▎ 粗さサジェスト ンプルに適します。 2つのグループの複数のサンプルを自動比較 基準パターン し、違いの出るパラメータを上位順に表示し ます。良否判定の際、どのパラメータが最適 かの判断が容易になります。 輝度プロファイル 23 24
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ソフトウェア 誰でも使えるソフトで より使いやすく データ出力 ▎ 平面計測 ▎ Officeレポート機能 二次元的な距離や角度、円形度を算出します。簡易な測長に使用できます。 Microsoft Officeと連携し、ワンクリックで測定結果をExcel/Power Pointに出力し、レポート作成を容易にします。レポートの テンプレート化や複数データを並べての比較も可能で、効率的な作業を支援します。 測定パラメータ 距離、角度、円半径、円中心間距離、個数カウント プリント基板銅線 ▎ 高度差計測 Excel レポート Power Point レポート 指定した複数エリア内の平均・最大・最低高さを用いて高低差を測定します。 データ比較 TFT基板 3D画像 ▎ 膜厚計測(XZ断面計測) ▎ その他のデータ出力 透明サンプルを膜表面と界面との光学距離を測定することで、膜厚を算出します。1 µm以上の厚さの透明サンプルの膜厚測定に LMWSファイル スプレッドシート機能 レイアウトレポート機能 データ出力 有効です。 専用ファイルでは測定条件・ 複数の計測したデータを1つの 画像や計測値の表を組み合わ 画像ファイル・CSVファイル XZ断面図 IZカーブ 計測結果等を1つのファイル 表にまとめて管理が可能です。 せてレポートを作成します。 他CADデータ(STEPファイ Z( で管理します。 ル)としての出力も可能です。 Z 位 置 ) NNNNNNNNN 測定データ スキャン情報 レンズ情報 計測条件 計測結果 LMWS 3DCAD プリンター PI膜付き配線パターン 膜厚26.460 µm (I 輝度) 25 26
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オプション/カスタム 自動化への対応で より効率的に オプション/カスタム Wシリーズ より効率的に ▎ 2~8インチウェハオートローダー対応 自動化への対応で 搬送の自動化と自動計測・検査ソフトの連携運用で、お客さまのニーズに合わせた量産システム機を提供します。 ウェハオートローダ-を搭載した量 産システム機を新しくWシリーズと してラインアップしました。自動測定・ 検査ソフトの連携運用で自動機とし て量産ラインでご利用いただけます。 ニーズに応える顕微鏡カスタム 標準機からプロセス機まで様々な場面に合わせた 装置・オプションをラインアップ 標準機 R&D 特殊ステージ仕様 HYBRID+ Wシリーズ 外観 量産試作 R&Dから量産まで プロセス機 量産ライン R&D用途から抜き取り検査といった量産試作、 さらに全数検査の用途にいたる各プロセスで、 測定ニーズに合わせたカスタム対応が可能です。 ウェハオートローダー部 27 28
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オプション/カスタム 自動化への対応で より効率的に 各種ステージ 自動測定ソフト(LIBRA) ▎ マニュアルステージ ▎ 電動ステージ ▎ 基本機能 ベーシックモデル向け 画像連結や複数箇所 電動ステージと組み合わせ、 の手動XYステージで の連続測定に有効です。 予め作成した測定レシピに基 す。 作業性が大幅アップし づき自動測定を行います。測 ます。 定レシピにはサンプルサイズ、 アライメント設定、測定場所、 AF設定、パターンマッチング、 計測方法などの情報が記録さ れており、レシピファイルとし XYストローク 150 mm×150 mm XYストローク 160 mm×160 mm て保存できます。閾値を設定 することで、良否判定も可能 ▎ スケール付き電動ステージ ▎ 電動X-θステージ です。 新たに測長スケール 電動モータで筒状のサ バンプの自動測定 付き電動ステージを採 ンプルなどの軸回転が 用し、位置決め精度と 可能です。 測定フロー 再現性が向上しました。 レシピ読込み 測定開始 測定完了 データリスト表示 信頼性の高い画像連結 を実現します。 ■測定事例 300 mmウェハ内約40万点のマイクロバンプを画像認識し、自動で検出、測定が可能です。 XYストローク 160 mm×160 mm θ回転ステージ ▎ 大型・特殊ステージ ステージサイズ、ストローク、自動搬送など、様々なニーズに対応可能です。 マイクロバンプの自動測定 XYストローク 300 mm×300 mm XYストローク 800 mm×1,000 mm 門柱型顕微鏡 ガントリー門柱型顕微鏡 29 30
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オプション/カスタム 自動化への対応で より効率的に 自動欠陥検査ソフト(LMInspect) ▎ 基本機能 ▎ オプション(LMBrain ) ウェハやガラスなどの基板上 繰り返しパターン、ランダムパターンなどの難易度の高いサンプルの欠陥検査を実現します。欠陥分類は「Deep に存在する微小欠陥や異物 Learning」の採用により、高精度な欠陥分類が可能になりました。 などを自動で全面検査します。 欠陥Mapから任意ポイントの パターン比較による欠陥検査 欠陥レビュー、欠陥分類(サイ 欠陥の無い良品画像を登録することで、パターン付サンプルや同一構造体が並ぶサンプルなどの検査が可能になりま ズ、白、黒、凹凸)も可能です。 した。 比較検査 ウェハ上0.5 µmPSLの全面検査 測定フロー 測定開始 検査結果レビュー 欠陥分類表示 良品パターン 不良パターン Deep Learningによる欠陥分類 ■検査事例 検出した欠陥の中から、デバイスに影響を及ぼすキラー欠陥をAIで抽出。通常の分類では難しい欠陥も高精度に分類し ます。 SiCウェハの欠陥検査事例です。コンフォーカルと微分干渉の組み合わせで散乱光強度の低い欠陥も検出でき、高解像 度の画像を取得しながら検査をすることで、レビューや後からの欠陥トレースが可能です。オプションのHazeMap機能 では表面ラフネスを定量化することができます。 欠陥抽出Map 検出対象欠陥 SiCウェハの欠陥検査 31 32
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オプション/カスタム 自動化への対応で より効率的に ▎ 主な仕様 カスタム装備 モデル ベーシックモデルC3 スタンダードモデルL3 ハイエンドモデルL7 白色コンフォーカル 白色コンフォーカル 白色コンフォーカル ▎ レーザーコンフォーカル レーザーコンフォーカル ホルダー対応 機能 微分干渉観察 垂直式白色干渉測定 反射分光膜厚測定 ウェハホルダー 白色光源 ○光源 レーザー光源 - 405nm 真空吸着機構によってウェハの反りを矯正します。 光源 対物レンズ モニター上倍率(24インチ) 視野 (H×V) 1× 18.5× 15,000 × 15,000 µm 2.5× 46.2× 6,000 × 6,000 µm 5× 92.5× 3,000 × 3,000 µm 10× 185× 1,500 × 1,500 µm 白色 20× 370× 750 × 750 µm 視野/倍率 50× 925× 300 × 300 µm 100× 1,850× 150 × 150 µm 150× 2,775× 100 × 100 µm 50× 1,850× - 150 × 150 µm レーザー 100× 3,700× - 75 × 75 µm 2~4インチウェハホルダー 6インチウェハホルダー 8~12インチウェハホルダー 150× 5,550× - 50 × 50 µm ズーム機能 1×~8× 静電吸着ホルダー チルトホルダー 輝度 1,024×1,024×12 bit / 高精細モード2,048×2,048×12 bit画像情報 高さ 1,024×1,024×16 bit / 高精細モード2,048×2,048×16 bit 静電気力でサンプルを吸着します。紙やフィルム、金属箔な 水平2軸傾斜補正機能を持ったホルダーです。 フレームレート 15 Hz~120 Hz どの薄く変形しやすいサンプルに有効です。 最小測定単位 0.001 µm 幅測定 正確さ ±[0.02×(100/対物レンズ倍率)+L /1000] µm 繰り返し性(3σ)※1 10 nm スケール分解能 0.05 nm 正確さ ±(0.11+L/100) µm 高さ測定 繰り返し性(σ)※2 10 nm 測定範囲※3 7 mm Zストローク 100 mm 80 mm レボルバー 5穴電動レボルバー(レンズ位置自動認識機能付き) マニュアル ○ - XYステージ 電動 オプション ○ 微分干渉観察機能 オプション ○ 垂直式白色干渉測定機能 オプション ○ 位相シフト干渉測定機能 オプション 反射分光膜厚測定機能 オプション ○ 画像取得 HDRモード、パッチワーク、マルチゲイン、等 ▎コ ンソール 画像処理 表面補正(傾き、球面)、ノイズ除去、フィルター、カラー抽出、二値化、等 ソフトウェア 形状解析 プロファイル計測、比較計測、表面粗さ測定、幅・ピッチ計測、膜厚計測 データ出力 専用拡張子、汎用画像ファイル、CSVファイル、STEPファイル 人間工学に基づき、測定の効率化を追求したコントローラー 効率化ツール LMカルテ、フィルターアシスト、マクロ機能、粗さサジェスト、Officeレポート です。使用頻度の高い条件設定を手許で行うことができます。 ユーティリティ AC:100 V 50/60 Hz 約800 VA 顕微鏡本体 382(W) × 5 1(1 D) × 689(H) mm 約40 kg コントロールユニット 430(W) × 450(D) × 100(H) mm 約7 kg LED光源ユニット 142(W) × 279(D) × 210(H) mm 約3.8 kg サイズ・重量 ランプハウス 142(W) × 31(1 D) × 227(H) mm 約6.7 kg 制御用パソコン 175(W) × 440(D) × 360(H) mm 約9 kg モニター 556(W) × 180(D) × 513(H) mm 約4 kg トレーサビリティ対応 ○ ※1 振動のない環境で基準パターンを対物レンズ100×(NA0.95)を使用して測定した時の値です。 ※2 振動のない環境でVLSIスタンダード社の標準段差を対物レンズ100×(NA0.95)を使用した時の値です。 ※3 使用する対物レンズの作動距離以内となります。 33 34