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国家プロジェクトで使われた最先端加工技術をみなさまに！
EUV露光装置のミラー制度は0.1nmRMSの平滑度が求められ、イオンビームフィギュアリングにより実現しています。
このカタログについて
| ドキュメント名 | イオンビームフィギュアリング加工機 OMS-0530IBF |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 284.3Kb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 株式会社オメガトロン (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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