小型干渉計

AccuFiz-E仕様 概要 備考・補足 4DTechnology干渉計 AccuFizシリーズ 概要 小型Fizeau型干渉計 計測毎に測定モード選択可 測定原理 ピエゾ式時間位相シフト(TPS)方式Fizeau干渉法、 ←Temporalモード、除震台必要 Spatial-Career Fizeau干渉法(Tilted-Beam、FFT解析) ←Dynamicモード、振動不感 光源 非安定化He-Ne、633nm 安定化モデル(Sモデル)あり 振動不感モード搭載小型Fizeau干渉計 AccuFiz 測定口径 4inモデル、6inモデル 他の条件、口径は応相談 測定許容反射率 1-100% カメラ仕様 12-bit、1.44MPix可視カメラ 廉価版600x600モデル(Bモデル)あり ズーム 電動ズーム6倍 Continuous Zoom PC要件 Windows 7 Pro以降 (32ビット機)、 (PCは通常、購入時に付属) CPU：Dual Core 2GHz以上、メモリ4GB以上 ソフトウェア概要 測定・制御用ソフトウェア『4Sight』 ・読込／書出し可能ファイル：opd, map, Zernike/Seidel/Slope/Geometric/Fourier解析ｵﾌﾟｼｮﾝ dat, hdf, int, csv, txt その他 差分、平均化、Burst測定、マスキング、2D/3D表示 ・アップグレード：保証期間内無償 各種光学設計・干渉計ソフトデータのI/Oが可能 画像取得フレームレート ＞ 30fps 最小露光時間 ＜ 30usec RMS再現性 ＜ 0.0002λ (λ/5000) ※標準精度モード 精度向上モード時 λ/12500以下 RMS測定精度 ＜ 0.05λ (λ/20) 未較正状態 本体寸法 L5 0cm x W24cm x H20cm 脚、その他付属品を除く 本体重量 約14kg以下 脚、その他付属品を除く 小型・軽量※なのに、 使用環境 20 +/-5℃(15～25℃)、結露なきこと 保管環境：0～36℃、結露なきこと 振動に強いFizeau干渉計！ ※寸法：長50x幅25x高20cm(脚除く) 重さ：14kg以下 . いずれも付属機器・参照光学系は除く その他の4DTechnology社製品 特徴 ● 従来の一般的な参照面を駆動させるFizeau干渉計測 小型で軽量な粗さ測定機で、 超小型な筐体で遠隔操作も (TPSI)と、動的環境でも計測できる瞬時Fizeau干渉計測 (DPSI)のいずれかを計測毎に選択可能！ 従来の計測器に入らない対象物 可能なので、困難だったアラ ● 本体と制御用PCとがEthernetケーブル接続なので、最 に載せたりなど、幅広い活躍！ インメントもらくらく！ 大100mまでの遠隔操作が可能！ ● 標準的なFizeau参照レンズの接続互換もあるので、既 (倍率ごと専用Linnik交換式) (Twyman=Green干渉計) 存の光学系をそのまま流用可能！ 非接触3次元粗さ測定機 NanoCam sq 超小型・軽量干渉計 PhaseCam6000 ● また他干渉計ソフトウェアや光学設計ソフトウェアと の互換性も保持 ● 可搬性重視のため様々な姿勢や環境へ適応性が幅広い 汎用Twyman=Green干渉計PhaseCamｼﾘｰｽﾞ 測定対象選択可能干渉計 FizCam2000 短コヒーレント長のレーザー光源を用いて、 各種の悪環境での計測や 可干渉位置を選択できる 用途 特殊な測定環境に、豊富な理 複雑系への適用が可能な ● 測定条件などを最適化出来ない環境で干渉計測を行い 論と経験を生かしたオプショ たい研究者・品質管理部門など 優れモノ！巨大凸面を ンでご対応致します。 ● 測定対象が多岐で、固定位置での測定ではなく様々な 透過光学系で計測可！ ところへ出向いて測定しなくてはならない職務の人へ 株式会社アイ・アール・システム ● 旧い計測システムを新しいものに変えようと思っている工場など 〒206-0041 東京都多摩市愛宕4-6-20 ● 既存の加工機械、検査機械、測定ラインなどへの導入 電話 042-400-0373 FAX 042-400-0374 ● 対象を測定する際に、様々な姿勢に調整しなくてはな らないような環境へ E-mail office@irsystem.com Homepage http://www.irsystem.com

Spatial Career 測定の原理 オプション・その他周辺機材 動的な瞬時位相シフト干渉計測、Dynamic Phase Shifting Interferometry (DPSI)の手法の一つ ラインナップ ◆ AccuFiz -E 1200x1200画素カメラ、非安定化レーザー使用の標準タイプです ◆ AccuFiz -B 標準タイプの解像度を600x600画素カメラに落とした廉価版 ◆ AccuFiz -S 標準タイプを安定化レーザーに替え、より信頼性を増した製品 (1) 被検面および参照面間に ※ いずれも基本的な筐体サイズ、重さなどは同じ。 最適化した傾斜を持たせる。 ※ AccuFiz -Bを除くそれぞれのタイプで、開口径を4inのものと6inのものが選択可能。 ※ その他開口径のものも、カスタマイズ応相談。 8in(200mm)、12in(300in)、18in(450mm)など (2) ピクセルごとに、波面からの異 性能関連オプション なる位相の情報が得られる。 ● 4in→6in拡大用ビームエキスパンダも別売しています。 ← 左の画像はピクセルごとの位相情報のイメージ、 右の画像はカメラ全体で取得しているイメージ → ● 精度向上モード：光源からの光路に回転di ffuserを用い、 高周波ノイズを取り除いて測定精度、再現性を向上させる オプションで、上記のラインナップに標準装備しています。 (3) 異なる位相情報を抜き出して再構築すると、 参照光学系 位相シフト干渉計測に必要な情報が得られる。 標準的なFizeau参照レンズが使用出来るBayonetマウントを搭 載。 既存の参照平面や参照レンズがそのまま使用出来るのでRef 測定も楽にでき、測定対象物のトレーサビリティを取るのが容易で つまり、一つでも有意なデータが取得できれば、 す。 もちろん独自の参照光学系も用意しているので(λ /20)、初め 波面計測に必要な情報が得られ、『計測ができる』ということ。 てのお客様でも安心してお使いいただけます。 また測定対象光学系の保持、調整用のマウントなども幅広く取り 瞬間測定により震動に対する耐性が得られ、 揃えております。 また従来のFizeau干渉計より小型・軽量化に成功した、 解析ソフトウェア 様々な環境に対応できる新しいF izeau型干渉計！ ◇ 解析ソフトウェア「4Sight」：干渉計の操作および測定・解析 を総合的に出来るソフトウェアです。 データ形式は標準では 多階層HDFファイルを採用、さらに他社干渉計ソフト用の 従来の方式との差異 データフォーマット、光学設計ソフトのフォーマットも読込・書 出しができ、各データ間での各種演算・計算も容易です。 従来の、参照面を駆動させて位相情報を得ている方式だと、駆動中 ◇ LAN経由遠隔操作「4DWebService」：Microsof t社の (Scan中 )に震動があると状態を保存できず計測そのものが出来ない。 WebServiceを利用し、遠隔のPCからオペレーションPCをコ それらの環境に対抗するために、 (a) 干渉計そのものを大きく剛性の高 ピエゾ式 ントロール出来るソフトウェアです。このソフトをSlaveにして外 いものにしたり、 (b) 除震台や環境対策を講じたりと、汎用性に欠ける。 参照面駆動機構 時間的な位相シフトという意味でTemporal PSI(TPSI)と呼ばれる。 部ソフトからオペレートし、システム統合なども可能になります。