SONOSYS社製
ウルトラソニック / メガソニックシステム
6インチ(15cm)基板用PVDF製水中用トランスデューサー
機能
PVDF製の完全に密閉された水中用トランスデューサーは、既存タンクの底部または側壁に配置します。
4"、6"および8"基板用の標準システムに加えて、カスタム固有のソリューションを提供します。この柔軟な構成
により、既存プロセスまたは実験タンクにメガソニックシステムを目的に合わせて据付できます。当社は、独自
の将来も見据えたソリューションに取り組んでいます。非常に均一なエネルギー伝播により、マイクロ構造を最
適に保護しながら、これまで実現しなかったナノレベルの粒子の洗浄性能を可能にしました。
独自のシステム: バタフライテクノロジーによる特許取得済みピエゾセラミックを備えた当社のトランスデュー
サーシステムは、他のシステムよりも40％高い音圧と最大30％の効率向上を実現しました。
用途
光学機器 コーティング前の光学部品の洗浄
半導体 & 太陽光発電 ウエハおよびマスクの洗浄
半導体製品の湿式化学製造のプロセスサポート
マイクロ・ナノテクノロジー 部品およびマイクロシステムの洗浄
LIGA技術における開発プロセスのサポート
医薬 インプラントの洗浄
メガソニック / ウルトラソニックジェネレーターの技術データ
電気データ
周波数 / 出力 400 kHz / 1000 Watt
600 kHz / 1000 Watt
1 MHz / 1000 Watt
2 MHz / 600 Watt
出力調整 約10 % - 100 %
主電圧 230 VAC / 50 – 60 Hz
機械データ
ハウジング 19" エンクロージャー 3/4U
寸法 42 HP / 約236 x 185 x 395 mm (W x H x D)
重量 約7.0 kg
運転環境
環境温度 +10 °C ～ +40 °C
湿度、蒸気、汚れが発生しないよう保護して下さい。
SONOSYS® Ultraschallsysteme GmbH Daimlerstraße 6 – 75305 Neuenbürg (Germany) V1.4
Phone +49 70 82 79184 0 – Fax +49 70 82 79184 99 Internet: www.sonosys.de – E-Mail: info@sonosys.de
ウルトラソニック / メガソニック PVDF製水中用トランスデューサーの技術データ
材質 PFAコーティングトランスデューサー付きPVDF製ハウジング
トランスデューサー配列 特別なPZT-ピエゾセラミック (Butterfly-Technique)
変換エリア 約180 x 170 mm (アクティブエリア)
HFケーブル 2 x Nプラグ付き同軸ケーブル
長さ 3 m / PTFE製蛇管1m
液体温度 最大 +60 °C 冷却なし
最大 +80 °C 窒素冷却:
• 窒素圧: 最大 0.1 bar
• 窒素流: 最小 4 l/min
• 窒素温度範囲: +20 °C ～ +40 °C
保管および輸送温度 -10 °C以上
重量 約5.0 kg
ウルトラソニック / メガソニックPVDF製水中用トランスデューサーの型番
型番 周波数 / 出力 ケーブル 寸法 図面
13804-201 400 kHz / 1000 Watt
13804-203 600 kHz / 1000 Watt ストレートケーブル 250 x 220 x 35 mm 1
13800-231 1 MHz / 1000 Watt
13802-105 2 MHz / 600 Watt
13804-200 400 kHz / 1000 Watt
13804-202 600 kHz / 1000 Watt アングルケーブル 250 x 220 x 35 mm 2
13800-230 1 MHz / 1000 Watt
13802-104 2 MHz / 600 Watt
アングルケーブル
13800-235 1 MHz / 1000 Watt 250 x 220 x 35 mm 3
冷却
ウルトラソニック / メガソニックジェネレーターの型番
周波数 出力 出力調整 型番
400 kHz 1000 Watt internal 13404-601
400 kHz 1000 Watt external 13404-602
600 kHz 1000 Watt internal 13404-700
1 MHz 1000 Watt internal 13401-630
1 MHz 1000 Watt external 13401-634
2 MHz 600 Watt internal 13405-500
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Drawing 1
Drawing 2
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