ソノシス社製メガソニックダブルノズル スリムラインジェネレーター対応（1–5 MHz 2周波モデル）
2周波同時照射で高均一・非接触洗浄を実現するメガソニックダブルノズル
ソノシス社のメガソニックダブルノズルは、2つの異なる周波数を同時に照射できる、非常に高性能な精密洗浄ノズルです。
1 MHz＋2 MHz、1 MHz＋3 MHz、2 MHz＋3 MHz、2 MHz＋4 MHz、3 MHz＋5 MHzといった複数の周波数組み合わせに対応しており、単一周波数では得られない洗浄効果を実現します。
カタログにも「メガソニックエネルギーは2×4mmの小さな点に焦点を合わせます」と記載されているように、2つの4mmスポットに高密度エネルギーを集中させることで、微細パターンを傷つけずに効率的なパーティクル除去が可能です。
ダブルノズル内部には、特別なPZTピエゾセラミックを用いたトランスデューサーが2基搭載され、それぞれ35Wの高周波入力を持ちます。
これにより、異なる周波数のメガソニック波を同時に生成し、純水を媒体として基板表面へ伝播させます。
非接触で洗浄できるため、ウエハやマスク、LCD、MEMSなどの繊細なデバイスに対しても安全に使用できます。
本製品はスリムラインジェネレーターと組み合わせて使用し、合計70Wの出力を提供します。
出力は20〜100%の範囲で調整可能で、110V／230Vの両電源に対応
19インチラック対応の3/4Uサイズで、装置への組み込みも容易です。
ジェネレーターは複数の周波数組み合わせに対応した型番が用意されており、用途に応じて最適な構成を選択できます。
ダブルノズル本体は約600gと堅牢で、外形寸法は74×79.8×37mm
液体供給は2系統の1/8" NPTで、流量は各1.0〜1.6 L/minに対応します。
液温は20〜50℃が推奨され、ノズルと基板の距離は5〜20mmで使用します。
ノズル〜マッチングボックス間のケーブル長は標準50cm、最大120cmまで対応し、装置設計の自由度も高い仕様です。
ノズルの材質はPTFE＋石英ガラスタイプが標準で、耐薬品性と高い耐久性を兼ね備えています。
周波数ごとに型番が用意されており、1 MHz＋2 MHzから3 MHz＋5 MHzまで幅広い組み合わせに対応します。
また、流体センサー（PTFE製）もオプションとして用意され、安定したプロセス制御に貢献します。
ソノシス社製メガソニックダブルノズルは、微細化が進む半導体・FPD・MEMS業界において、より高い洗浄性能を求める工程に最適なソリューションです。
2周波同時照射による高効率洗浄、非接触での安全性、タンクレス構造による柔軟な装置設計など、多くのメリットを備えた次世代のメガソニック洗浄技術です。
このカタログについて
| ドキュメント名 | ソノシス社製メガソニックダブルノズル スリムラインジェネレーター対応（1–5 MHz 2周波モデル） |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 878.7Kb |
| 取り扱い企業 | ティックコーポレーション株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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