強キャビテーションによる高効率スポット洗浄を実現する600 kHzメガソニックノズル
ソノシス社の600 kHzメガソニックシングルノズルは、強力なキャビテーションを活かした高性能洗浄を実現するタンクレス型のメガソニック洗浄ノズルです。
スリムラインジェネレーターと組み合わせて使用することで、光学部品や精密基板、ウエハなど、頑固な汚れや大きめの粒子除去が求められる工程に最適な洗浄性能を発揮します。
ノズル内部には特別なPZTピエゾセラミックを採用したトランスデューサーが搭載されており、生成されたメガソニック波は純水を媒体として基板表面へ伝播します。
カタログにも「メガソニックエネルギーは4mmの小さな点に焦点を合わせます」と記載されているように、わずか4mmのスポットに高密度エネルギーを集中できる点が大きな特徴です。
600 kHz帯は1〜5 MHz帯と比較してキャビテーションが強く発生するため、より大きな粒子や強固に付着した汚れの除去に優れています。
タンクレス構造を採用しているため、大型タンクを必要とせず、装置の省スペース化やプロセス設計の柔軟性向上に貢献します。
また、非接触洗浄であることから、基板や光学部品に対する機械的ストレスを最小限に抑えられる点も重要なメリットです。
スリムラインジェネレーターは35Wまたは70Wの出力に対応し、600 kHz専用に最適化されたモデルをラインアップ
出力は20〜100%の範囲で調整でき、110V／230Vの両電源に対応しています。
19インチラック対応の3/4Uサイズで、装置への組み込みも容易です。
ノズル本体は約0.25kgと軽量で、液体供給は1/8" NPT、流量は1.0〜1.6 L/minに対応
液温は20〜50℃が推奨され、ノズルと基板の距離は5〜20mmで使用します。
PTFE製の高周波ケーブルを採用し、ノズル〜マッチングボックス間は最大50cmまで対応可能です。
材質はPTFE＋石英ガラスタイプとステンレスタイプの2種類が用意され、用途に応じて選択できます。
本製品は、光学部品、精密基板、ウエハなど、強いキャビテーションを必要とする洗浄工程に最適なソリューションです。
頑固な汚れの除去性能と非接触洗浄の安全性を両立し、タンクレス構造による装置設計の自由度も高める、非常に汎用性の高いメガソニックノズルです。
このカタログについて
| ドキュメント名 | ソノシス社製600 kHz メガソニックシングルノズル スリムラインジェネレーター対応モデル |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 783.6Kb |
| 取り扱い企業 | ティックコーポレーション株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
この企業の関連カタログ
