ソノシス社製高周波メガソニックシングルノズル （1〜5 MHz）スリムラインジェネレーター対応モデル

SONOSYS社製メガソニックシステム スリムラインジェネレーターシングルノズル用 1MHz / 2MHz / 3MHz / 4MHz / 5MHz 機能 メガソニックノズル内のトランスデューサーはメガソニック波を生成し、流体(純水)を通して基板表面へ伝播されま す。このメガソニックエネルギーは4mmの小さな点に焦点を合わせます。 このタンクのないメガソニックノズルシステムは高度な非接触の洗浄プロセスを提供します。 用途 シングルウエハ、マスク、LCD、基板およびMEMS洗浄 メガソニックジェネレータースリムラインの技術データ 電気データ 出力 35 Watt / MLM 1 70 Watt / MLM1 & MLM 2 MLM = Megasonic Low Power Module 出力調整 約20 % ~ 100 % 周波数 1MHz (950 kHz ~ 1.05 MHz) 2MHz (1.95 MHz ~ 2.05 MHz) 3MHz (2.95 MHz ~ 3.05 MHz) 4MHz (3.95 MHz ~ 4.05 MHz) 5MHz (4.95 MHz ~ 5.05 MHz) 主電圧 110 VAC または 230 VAC / 50 – 60 Hz 機械データ ハウジング 19" エンクロージャー 3/4 U 寸法 28 HP / 約165x185x329 mm (WxHxD) 重量 約 4.2 kg 運転条件 環境温度 +10°C ～ +40°C 湿度、蒸気、汚れが発生しないよう保護して下さい。 SONOSYS® Ultraschallsysteme GmbH – Daimlerstraße 6 – 75305 Neuenbürg (Germany) V1.5 Phone +49 7082 79184 0 – Fax +49 7082 79184 99 – Internet: www.sonosys.de – E-Mail: info@sonosys.de

メガソニックノズルの技術データ 電気データ 高周波入力 35 Watt / 1 MHz / 2 MHz / 3 MHz / 4 MHz / 5 MHz トランスデューサーエレメント 特別なPZT-ピエゾセラミック HFケーブル 遮断ケーブル / 長さ 3 m / Ø4.5 mm / 材質 PTFE ノズルとマッチングボックス間のケーブル長 標準 20 cm / 最大 50 cm 機械データ 重量 約0.25 kg 液体供給 1/8" NPT 液体流量 最小1.0 l / min ～ 最大 1.6 l / min (最大圧力5.5 bar) 液体温度 約20°C ～ 50° 保管および輸送温度 C最大 -10°Cまで ノズルと洗浄対象の距離 5 mm ～ 20 mm 前面 後面 メガソニックジェネレーター35 Wattの型番 型番 型番 (内部出力調整) (外部出力調整 主電圧 周波数 ) 13401-060 13401-061 230 VAC 1 MHz 13405-060 13405-061 230 VAC 2 MHz 13407-062 13407-060 230 VAC 3 MHz 13406-014 13406-001 230 VAC 4 MHz 13407-080 13407-081 230 VAC 5 MHz メガソニックシングルノズルの型番 型番 材質 有効径 周波数 13790-018 PTFE / Quartz glass tip 4.0 mm 1 MHz 13792-002 PTFE / Quartz glass tip 4.0 mm 2 MHz 13791-050 PTFE / Quartz glass tip 4.0 mm 3 MHz 13794-001 PTFE / Quartz glass tip 4.0 mm 4 MHz 13795-004 PTFE / Quartz glass tip 4.0 mm 5 MHz SONOSYS® Ultraschallsysteme GmbH – Daimlerstraße 6 – 75305 Neuenbürg (Germany) V1.5 Phone +49 7082 79184 0 – Fax +49 7082 79184 99 – Internet: www.sonosys.de – E-Mail: info@sonosys.de