ソノシス社製 1MHz メガソニックシステム 300mm単一基板洗浄用 MGHジェネレーターおよび FTFトランスデューサー
300mmウエハ向け 高均一・高効率1MHzメガソニック洗浄システム
ソノシス社の1MHzメガソニックシステムは、300mm単一基板洗浄に特化して設計された高性能洗浄モジュールです。
本システムは、150WクラスのMGHジェネレーターと、PFA製密閉型のFTFトランスデューサーで構成され、微細化が進む半導体プロセスにおいて、安定したメガソニックエネルギーを供給するために最適化されています。
トランスデューサーは、回転する基板に対して約1.5mmの距離で設置され、運転中は基板表面とトランスデューサー底面の間に常に液膜が存在する必要があります。
これは、メガソニックエネルギーを均一に伝播させるための重要な条件であり、カタログでも「常に液体層が存在する必要があります」と明記されています。
アクティブエリアは約150×25mmと広く、均一な音波を基板表面に供給することで、微粒子除去や表面洗浄の品質を大きく向上させます。
本システムの最大の特徴は、ソノシス社独自の「バタフライテクノロジー」を採用した特別なPZTピエゾセラミック素子です。
この技術により、従来システムと比較して最大40%高い音圧と最大30%の効率向上を実現しており、低出力でも高い洗浄効果を発揮します。
これは、微細パターンを有する300mmウエハに対して、ダメージを抑えつつ高い洗浄性能を求める現場にとって大きな利点です。
トランスデューサーはPFA製で耐薬品性に優れ、液温は最大60℃（冷却なし）、最大80℃（窒素冷却あり）まで対応します。
窒素冷却時には、0.1 bar以下の圧力と4 L/min以上の流量が必要とされています。
重量は約0.5kgと軽量で、装置への組み込みも容易です。
一方、150Wメガソニックジェネレーターは19インチラック対応の3/4Uサイズで、出力は20〜100%の範囲で調整可能で周波数は1MHz固定で、安定したメガソニック駆動を提供します。
装置全体として、300mm単一基板洗浄装置に求められる高均一性・高効率・高信頼性を兼ね備えたソリューションとなっています。
このカタログについて
| ドキュメント名 | ソノシス社製 1MHz メガソニックシステム 300mm単一基板洗浄用 MGHジェネレーターおよび FTFトランスデューサー |
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| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 1.3Mb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | ティックコーポレーション株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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