高耐荷重高精度ヘキサポッドステージ ZONDA
ZONDAは、高精度、安定性、精度、重荷重、大きな移動距離の両方を必要とする用途に応える新しい高性能 6DOF システムです。 最大 400 kg のペイロードをわずか 0.1 µm の分解能で位置決めできるように設計された ZONDA ヘキサポッドは、XY で 400 mm、Z で 300 mm、および Rx、Ry、Rz の 3 つの回転で 40 ° の優れた移動距離を提供します。 熱膨張係数 を備えた統合されたインバーコンポーネント、アクチュエータに標準として統合されたリニア アブソリュートエンコーダ、および特に剛性の高いジョイントの設計により、比類のない精度と熱安定性特性を備えています。 縦、横、逆さまなど、どの向きでも使用できます。
このカタログについて
| ドキュメント名 | 高耐荷重高精度ヘキサポッドステージ ZONDA |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 387.4Kb |
| 取り扱い企業 | オーテックス株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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ZONDA hexapod
Very stable hexapod with high precision
KEY FEATURES
■ Very high stability
■ Payload capacity up to 400 kg
■ Vacuum compatibility
■ Large travel ranges
■ Absolute linear encoders
APPLICATIONS
■ Synchrotrons ■ Metrology ■ Optics ■ Instrumentation
■ Tests laboratories ■ Aeronautics and space ■ Semiconductors
ISO5 clean room compatible hexapod to test ZONDA Hexapod in a vacuum chamber This HV ZONDA hexapod is used for the thermal
space optical instruments for MTG (Meteosat Third with a mirror for optical calibration at vacuum tests and calibration of some of the
Generation) satellites at BERTIN Technologies. Thales Alenia Space. cameras of PLATO mission at IAS.
This ZONDA S hexapod aligns two parts of a space This ZONDA S positions a coronograph This ZONDA hexapod positions a laser
telescope in an ISO5 clean room. in order to characterize it in a vacuum interferometer (Zygo) in order to characterize
chamber at Liege Space Center (CSL). the X-ray mirrors at Synchrotron SOLEIL.
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ZONDA S ZONDA
for small travel range for large travel range
Motion and positioning
Travel range Tx, Ty, (mm) ± 50 ± 200
Travel range Tz (mm) ± 25 ± 150
Travel range Rx, Ry (deg) ± 10 ± 20
Travel range Rz (deg) ± 20 ± 20
Resolution Tx, Ty, Tz (µm) 0.1 0.1
Resolution Rx, Ry, Rz (µrad) 1.5 0.5
Repeatability Tx, Ty, Tz (µm) ± 0.25 ± 0.25
Repeatability Rx, Ry, Rz (µrad) ± 2.5 ± 1
Speed Tx, Ty (mm/s) 0.55 0.8
Speed Tz (mm/s) 0.4 0.4
Speed Rx, Ry (deg/s) 0.075 0.2
Speed Rz (deg/s) 0.12 0.4
Mechanical properties
Stiffness X, Y (N/µm) 5 8.5
Stiffness Z (N/µm) 50 30
Payload capacity (kg)
400 / 140 400 / 140
(vertical orientation / horizontal orientation)
Motor type Stepper Stepper
Encoder type Absolute linear encoder Absolute linear encoder
Miscellaneous
Operating temperature range (°C) 0 to + 75 0 to + 75
Materials Aluminum, stainless steel, Invar, Peek Aluminum, stainless steel, Invar, Peek
Size mobile platform (mm) Ø 320 Ø 720
Height in middle position (mm) 360 640
Mass (kg) 37 99
Cable length (m) 3 3
Clean room compatibility
Vacuum compatibility
Options
Higher speed with brushless or DC motor
Hand-held control unit
Controller
Controller type ALPHA+
Interface Ethernet
Power supply 110-240 VAC / 50-60 Hz
The performances are specified for single axis motions, with all other axes at midrange and for a rotation center in the middle of the mobile platform.
z Ø 476 (ZONDA S) or 966 (ZONDA)
y
x
x
Hexapod in middle position
10 Allee Charles Babbage - 30000 Nimes - France
+33 4 66 29 43 88 - contact@symetrie.fr - www.symetrie.fr
360 (ZONDA S)
or 640 (ZONDA)
Datasheet subject to change without notice. All data are superseded by any new release. R230928