超高真空対応ヘキサポッドステージ MAUKA
MAUKA は、最大 5 kg の耐荷重をサブマイクロメートルの分解能で位置決めするように設計されたコンパクトなヘキサポッドです。 直径は 107 mm、中間位置での高さは 198 mm です。直径を最小限に抑えるために、モーターが一列に取り付けられるヘキサグライド形状を使用しました。 MAUKA は、垂直、水平、またはその他の角度のあらゆる方向に動作します。 アブソリュートリニアエンコーダのおかげで、コントローラの電源を入れるたびにホーミング コマンドを実行する必要がありません。
このカタログについて
| ドキュメント名 | 超高真空対応ヘキサポッドステージ MAUKA |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 228.2Kb |
| 取り扱い企業 | オーテックス株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
この企業の関連カタログ
このカタログの内容
Page1
MAUKA hexapod
High precision in a small diameter
KEY FEATURES
■ Small diameter of 107 mm
■ Payload capacity up to 5 kg
■ Angular travel range ± 8 °
■ Absolute encoders
APPLICATIONS
■ Optics ■ Synchrotrons ■ Space ■ Astronomy
MAUKA hexapod with the interface to the glue box that will fix a mirror on a MAUKA hexapod has a very small diameter of 107 mm.
space telescope.
Page2
MAUKA
Motion and positioning
Travel range Tx, Ty (mm) ± 5
Travel range Tz (mm) ± 10
Travel range Rx, Ry (deg) ± 8
Travel range Rz (deg) ± 8
Resolution Tx, Ty, Tz (µm) 0.5
Resolution Rx, Ry, Rz (µrad) 5
Repeatability Tx, Ty, Tz (µm) ± 0.5
Repeatability Rx, Ry, Rz (µrad) ± 5
Speed Tx, Ty (mm/s) 1.6
Speed Tz (mm/s) 1
Speed (deg/s) 2
Mechanical properties
Stiffness X, Y (N/µm) 0.7
Stiffness Z (N/µm) 4
Payload capacity (kg)
5 / 2.5
(vertical orientation / horizontal orientation)
Motor type DC motor, gearhead
Encoder type Absolute linear encoder
Miscellaneous
Operating temperature range (°C) 0 to + 50
Materials Aluminum, steel, stainless steel
Mobile platform size (mm) Ø 90
Fixed platform size (mm) Ø 100
Central aperture (mm) Ø 38 for mobile platform ; Ø 30 for fixed platform
Height in middle position (mm) 198
Footprint (mm) Ø 107
Mass (kg) 3
Cable length (m) 3
Clean room compatibility
Options Vacuum compatibility
Hand-held control unit
Controller
Controller type ALPHA+
Interface Ethernet
Power supply 110-240 VAC / 50-60 Hz
The performances are specified for single axis motions, with all other axes at midrange and for a rotation center in the middle of the mobile platform.
z
Ø 107
x y
x
Hexapod in middle position
10 Allee Charles Babbage - 30000 Nimes - France
+33 4 66 29 43 88 - contact@symetrie.fr - www.symetrie.fr
198
Datasheet subject to change without notice. All data are superseded by any new release. R230418