小型高精度ヘキサポッドステージ SOLANO
SOLANO は、最小 0.08 µm の分解能で精密な位置決めと校正用に設計された超コンパクトなヘキサポッドです。 SOLANO ヘキサポッドは、サイズ、分解能、精度、安定性の点で、要求の厳しい分野からの高まる要求に応えます。 その寸法は、高さ 104 mm と直径が 120 mm と小さいため、狭い環境への統合が可能です。SOLANOは縦置きと横置きの2つの向きで使用可能です。
このカタログについて
| ドキュメント名 | 小型高精度ヘキサポッドステージ SOLANO |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 969.3Kb |
| 取り扱い企業 | オーテックス株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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SOLANO hexapod
Ultra compact size hexapod with high resolution
KEY FEATURES
■ Height in middle position 104 mm
■ Diameter 120 mm
■ High speed ±30 mm/s
■ Payload capacity up to 5 kg
■ Absolute encoders
APPLICATIONS
■ Instrumentation ■ Optics ■ Testing laboratories ■ Synchrotrons
■ Aeronautics and spatial ■ Metrology ■ Semiconductors ■ Astronomy
SOLANO hexapod with ultra compact height (104 mm)
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SOLANO
Motion and positioning
Travel range Tx, Ty (mm) ± 18
Travel range Tz (mm) ± 6.5
Travel range Rx, Ry (deg) ± 10
Travel range Rz (deg) ± 21
Resolution Tx, Ty (µm) 0.1
Resolution Tz (µm) 0.08
Resolution Rx, Ry (µrad) 2.5
Resolution Rz (µrad) 3.5
Repeatability Tx, Ty, Tz (µm) ± 0.25
Repeatability Rx, Ry, Rz (µrad) ± 4
Speed Tx, Ty (mm/s) 30
Speed Tz (mm/s) 20
Speed Rx, Ry (deg/s) 15
Speed Rz (deg/s) 20
Mechanical properties
Stiffness X, Y (N/µm) 0.3
Stiffness Z (N/µm) 5
Payload capacity (kg)
5 / 2.5
(vertical orientation / horizontal orientation)
Motor type Direct drive brushless DC motor
Encoder type Absolute encoder (without battery or gear)
Miscellaneous
Operating temperature range (°C) 0 to + 50
Materials Aluminum, steel, stainless steel
Size mobile platform (mm) Ø 100
Central aperture (mm) Ø 50 for mobile platform ; Ø 32 for fixed platform
Height in middle position (mm) 104
Mass (kg) 1
Cable length (m) 2.5
Clean room compatibility
Options
Hand-held control unit
Controller
Controller type SIGMA
Interface Ethernet
Power supply 110-240 VAC / 50-60 Hz
The performances are specified for single axis motions, with all other axes at midrange and for a rotation center in the middle of the mobile platform.
z Ø 120
Ø 100
x y
x
Hexapod in middle position
10 Allee Charles Babbage - 30000 Nimes - France
+33 4 66 29 43 88 - contact@symetrie.fr - www.symetrie.fr
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Datasheet subject to change without notice. All data are superseded by any new release. R240604