プラズマ加工装置　ドライエッチャー（Sオプション）　機種名：APX300 品番：NM-EFE3AA-S

2023 ドライエッチャー プラズマ加工装置 カタログ 機種名APX300 Φ8インチまでの ウエハを枚葉で加工 （Sオプション） 品番 .NM-EFE3AA-S •豊富な実績を積んだE620のプロセスチャンバーを、最新のAPX300 プラットフォームに搭載、磨き抜かれたプロセスライブラリーを そのままご利用になれます。 •高精度加工用のマルチスパイラルコイル方式ICPプラズマ源“MSC-ICP” に加え、より高電子密度を実現した高速加工用のプラズマ源“BM-ICP” をラインアップ、幅広い加工ニーズにお応えします。 •大気搬送ユニットへのウエハ供給に加え、真空ロードロック供給にも 対応しました。 ※オプション構成やお客様仕様によっては 　機械指令及びEMC指令に適合しない 　場合があります。 機 種 名 APX300 品 番 NM-EFE3AA-S プ ラ ズ マ 源  ICPプラズマ プ ロ セ ス ガ ス 標準4系統（Max.6系統まで増設可：塩素系ガス、フッ素系ガス、Ar、O2、He等） 処理対象ウエハ※1 標準φ 100 mmオリフラ付き、φ 150 mm オリフラ付き　および φ 200 mm ノッチ付き 設 備 寸 法 【ロードロック供給仕様】W 1 350 mm × D 2 230 mm × H 2 000 mm（タッチパネル、操作部、シグナルタワー含まず） 【大気搬送供給仕様】W 1 375 mm × D 2 600 mm × H 2 000 mm（タッチパネル、操作部、シグナルタワー含まず） 質 量 2 000 kg（装置構成により異なります） 電 源※2 三相 AC 200 / 208 / 220 / 230 / 240 ±10 V、50 / 60 Hz、21.00 kVA 空 圧 源 0.5 MPa ～ 0.7 MPa、250 L / min (A.N.R.) N2 源 0.1 MPa ～ 0.2 MPa、50 L / min (A.N.R.) ※詳細は、仕様書を参照願います。 ※1:他サイズのウエハにつきましては当社へ別途ご相談ください。 ※2:三相電源は2系統あり、その合計を表しています。

機種名APX300 (Sオプション) 品番.NM-EFE3AA-S E620シリーズの豊富なプロセスライブラリーをそのまま利用可能 パワーデバイス（Si、SiC、GaN） SAW・通信系デバイス MEMS・センサー non-Bosch non-Bosch Bosch 5 μm 1 μm 3 μm 1 μm 10 μm 200 μm Siトレンチ SiCトレンチ LN基板 Low-kコンタクト TSV Si深掘り 0.1 μm 0.5 μm 20 μm 30 μm 1 μm 3 μm AlGaNリセス Poly-Siゲート GaAsビア SiCビア SiO2 PZT膜 実績あるプロセスチャンバーと2種類のプラズマ源 2種類のウエハ供給形態 1.0E+12 He=500 sccm 10 Pa プロセス 制御 チャンバー 制御 ICPコイル マッチング回路 プラズマ源 RF 磁界 トランスファー BM-ICP チャンバー タイプ 高速加工用途 石英板 1.0E+11 （SiCやSi深掘りなど） マガジン （ウエハ） ウエハ エッチング チャンバー MSC-ICP タイプ 高精度加工用途 （AlGaNやSAWなど） 下部電極 1.0E+10 RF 0 1000 2000 3000 大気搬送ユニット 真空ロードロックユニット ICP入力パワー (W) （最大φ 8インチウエハに対応） （最大φ 6インチウエハに対応） プロセスチャンバー構造 プラズマ源のタイプと電子密度 大気搬送供給仕様 真空搬送供給仕様 安全に関するご注意 ●ご使用の際は、取扱説明書をよくお読みの上、正しくお使いください。 ●カタログの記載商品を安全に使用して頂くために、取扱いについては稼働時、停止時に拘らず、設備付属の取扱説明書および 　設備の警告を十分確認した上で正しい作業を実施されますようお願い致します。 パナソニックグループは環境に配慮した製品づくりに取り組んでいます 詳しくは こちら ●お問い合わせは… パナソニック コネクト株式会社 プロセスオートメーション事業部 〒571-8502 大阪府門真市松葉町２番７号 このカタログの記載内容は 2023年1月1日現在のものです。 Ver.2023.1.1 © Panasonic Connect Co., Ltd. 2023 ●仕様および外観の一部を改良のため予告なく変更することがありますのでご了承ください。　 ●ホームページからのお問い合わせは https://industrial.panasonic.com/jp/r/fw プラズマ中の電子密度 (cm - 3)