半導体製造装置で発生した生成ガスが真空ポンプ前後で生成物にならなくてトラップできなかったものを最終配管（粉末）で処理するためのエレメント化）
弊社が得意とする大量粉体トラップ（トラパック）のエレメントを利用して、ポンプの最終段階の配管（集合配管）でも粉体を吸着させることによって、吸着塔又は除害塔までの配管をクリーンに保ち洗浄周期を大幅に伸ばすことができるトラップ。
このカタログについて
| ドキュメント名 | 最終的な微粉末を吸着 |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 609.7Kb |
| 取り扱い企業 | 大成技研株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
この企業の関連カタログ
このカタログの内容
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スライド 1
既存の配管に
マグネットファイバー
微小な粉体・水分を吸着
既存の配管を利用して
簡単・安価・高性能
実現
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スライド 2
ポンプ排気トラップ後に
発生した粉体を最終キャッチ
☆4インチ～10インチ配管
☆金属配管～塩ビ配管
☆各種フランジ
☆対応
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スライド 3
大成技研エレメント