【半導体プロセス用】ドライポンプ及び配管の粉体除去器

半導体プロセス用 粉体除去器 before after 3 真空配管粉詰ゼロ

TI圭ISEI 大成技研株式会社 真空ポンプ及び配管＆除害保護用 Vacuum p�mp and piping scrubbing & protection 粉体除去装置 Powder Trap device TAISEI GIKEN CO., LTD. TOKYO, JAPAN

""iTnn『P とは What is NEW TRAPPACK ニュートラパックは半導体、液晶製造装置用の排気ガス中の NEW TRAPPACK is Powder Trap to remove particles 反応物（粉体）を除去するパウダートラップです。 (reaction product) in the exhaust gas from CVD devices of semi-conductor and LCD. This machine features the new 本機は新機構のうず巻吸着方式の採用により、コンダクタン coiled absorption system which removes large amount of スに影響を与えずに微粉体を大量に除去します。 fine particles by not harming conductance. Further the 加えてトラパックエレメントのマグネット吸着効果により低圧 magnetic absorption effect of TRAPPACK Element results in 損で完全に粉体をシャットアウトします。 perfect removal of powder at a low conductance loss. m ー 一 一 一 一 TR c Kinds of NEW TRAPPACK ニュートラパックはうず巻専用タイプ（A）とトラパックエレメ NEW TRAPPACK has three versions, (A) COIL only type, (B) ント(B)とのコンビネーションタイプ(C)の3通りがあります。 TRAPPACK Element type and (C) Combination type. 取付位置 役 割 TYPE Installed at: Function 排 気 微粉体の除去 Element （ 空） 二次処理用 Exhaust Removal of fine particles. [Yacuum) Secondary treatment. (B)Element Type 空 大量粉体の除去 Coil 排 気 一次処理用 Vacuum Removal of large amount Exhaus powder. First treatment 真 排 気 粉体を大量かつ (C)Combination Type Combination （ 空） 高性能で除去する Exhaust Removal of powder at large volume 0f真acuum) and high performance (A)Coil Type 真

取付フロ • 一 Flowchart of Installation 一：渭 I» CVD 除害装置 Etching D isposal un it 真空系 排気系 Vacuum side Exhaust side NEW TRAPPACKの取付例►►►► Installat ion of NEW TRAPPACK 汀U-65LMJ Type) |機種の選定 M叫；：こ口！ 機種の選定については粉（反応生成物）の性質、粒子径 Model selection is based on the nature of particles(reaction や発生量により異なります。装置の種類や取付位置に product), powder sizes and powder volume. Selection is also dependent on the kind of Device and installation site. よっても厳選しなければなりません。 NEW TRAPPACK 取付位置 トラブルの内容 NEW TRAPPACK 取付位置 Installation site Trouble details Installation site 大 Large 中Medium 小Small 真空ポンプの故障 頁空系 TU-105LM TU-85LM TU-50LM V.P troubles Vacuum side TU-95LM TU-65LM TU-25LM 排気配管の閉塞 Blockage of Exhaust piping TU-6100 TU-4100 TU-1500 排気系 Exhaust side 除害装置の短命 TU-5100 TU-3100 TU-1100 Short l ife of D isposal unit 対象トラップの性能検証と装置の粉体発生量を考慮の上、 各種トラップの短命 真空系 排気系 選定いたします。 Short l ife of traps Vacuum side Exhaust side Upon check ing the traps and considering the powder volume, the model is selected. 戴屈誠謁翫松I可l· 本グラフはTFT LCD P-CVDの粉体の 屈折率＝ スムージングレベル：0 分布関数：ロジンラムラー データシフト：0 1.60-0.101 メディアン径：2.185 モー ド径：5.623 粒子分布図です。1µm以下の微粉体が Q3(%) 三 100 多く確認できます。 ， I ー 1 ー ー ー ー ·r' ー ー ， 11 ー I I I l II ー l I ー I ゜― ― J ― L J U 上 I―L I I J U ― ― - L ― J L I J ー ― ― J _ ー _ II 1 I I I I II _ i I ー 1 I ー 『 ー 1 11 I ー ― ― - ー ― 一ー 一ー II- ＿1 I -I ― I ーー II- ― ― 1 1 ー _ ― I 一 ー 一ーl I ー ―l 一 ー -_ 11 80 - I ― ― 一 ー The graph shows the grain distribution _ ー ー 11 ー I 1 I ー 11 1 ー I ー ー I 1 - ー ー ー _ 11 I ー ― ― ー1 ― 一ー —ー 11- -1 I―-1 ― I 一1 11- ― ― ＿ ー一 l1 ― I l1 -1 I 1 _ ＿ー ーー _ 11- I ― ― ＿ ー 70 of TFT LCD P-CVD powder. You can ー ー _ II I I I I ー II ー 1 I 1 『 I ー T 11 I ー ー ー _ II I I I I ー II I ー I I 1 I ー I ぃ I ー ― ― see the portion of fine particles 60 9 ― r 9 n T I r ― I 9 n - ― ー L r ― r I T 「 T n ― ― 7 相 ー ' _ 11 I I 1 I , n ー I 1 ー ー 1 『 I ー _ lI I ー 対 ― ― smaller than 1 micron. T ― ト → I ＋ I―一 I 4 H l ― 一 ― T ト 1 - + T + H ＿ ― 粒 50 T- ー ー ー II ー I [ I , II , I 1 1 ー 1 1 ー 1 II I 子 ＿ ― J ＿ L J U I L ＿ I J ＿ ＿ L ― 1, L 1 T 上 U 一 I 7 量 40 ー ー ー II I I I ー 1 I 1 I 1 1 i ー 1 II I ー ー ― →ー 一 1ー ーー II- I―一I ー II- ― ー ― 1- — _ ― I 一 ー L ー 1 [ ー， ー ー -_ II- I 30 ＿ I ー1 ー ー ー 11 I ー I ー II , ー I ー I ー 1 ー ー l 11 I ー 一 ― 一ー ＿ _1 一ー 11一 I ーー ＿ I 1 II 一 ― 一 ― I ーー l 1 ー ] 1 ー -l 11- I 20 ＿ ＿ ー I ー _ ー ー lー ー ー r 1 1 i 町 r I II ー I I 1 II ― ー 1 ー ＿ ． ー 1 9, 1 ー I ー 10 I 9 n一I F n ― ― 一 ， L r ― I ． 7 r 1 ご 一 ー T 「 T E ― 7 ー 1 り ii デ I 1 ll I ー ー l 1 9 ー I ＇ I 11 三 0゚.01 0.05 0.1 0.5 5 10 50 100 500 粒子径 (µm)

▼NEW TRAPPACK 仕様 NEW TRAPPACK specifications タイプ 型 式 ハウジング径 容 量 エレメント ELEMENT 材 質 最高使用圧力 外形寸法 Type TRAPPACK P/# ゆmm) (�) うずエレメント トラパックエレメント Material (Mpa) (m/m) Housing dla Volume COIL Element TRAPPACK Element Max Pressure Dimensions TU-6100 457 171 6100-6 KL SUS304 or 31G L 0.3 □535XH1264 TU-5100 406 115 5100-6 KL II II □485XH1064 コンビ TU-4100 355 86 4100-6 KL II II □440XH1064 ネーション型 Combination TU-3100 318 70 3100-5 IL II FF □400XH1013 Type TU-2100 267 48 2100-4 HL II 02 □370xH1013 TU-1500 267 32 1500-4 HL “ II □370XH707 TU-1100 216 16 1100-2 HL II II rJ,300xH500 TU-105LM 457 171 105-6 II 03 □535XH1264 TU-95LM 406 115 95-6 II II □485XH1064 TU-85LM 355 86 85-6 II II □440xH1064 TU-65LM 318 70 65-5 II II □400XH1013 うず巻専用型 COIL Type TU-55LM 267 48 55-4 II 0.2 □370XH1013 TU-50LM 267 32 50-4 II II □370XH707 TU-26LM 267 14 26-4 II ” ¢330xH400 TU-25LM 267 18 25-4 II II </)330XH370 TU-20LM 216 8 20-3 II “ I/J290XH290 （特記） ①外接形水冷ジャケット仕様はJの記号がつきます。 Remarks. External water cooling jacket spec is marked J TU-3100-NWSO水冷ジャケットなしWithout Water jacket ➔ TU-3100J-NW50水冷ジャケット付With Water jacket ②上記はNW40と50の場合の仕様となっておリます。NW80と100についてはお問合せ下さい。 The above specifications are for NW40 and NW50.For the NW80 and NW100,please apply separately. ▼トラパックエレメント仕様 TRAPPACK Element specifications エレメント型式 エレメント種類 寸 法 用 途 処理精度 対象機 Element Type Element P/# Size(m/m) Uses Precision (µm) Applied m/c KL-130 KL Type KL-G35/130 (JJ300XH260 TU-6100 KL-G50/250 Tu-5100, TU-4100 NEW TRAPPACK の二次処理用 マグネット吸着方式 トラパックエレメント I L-130 TRAPPACK Element IL Type I L-250 I/J230XH260 (100℃以下） （サプミクロン対応） TU-4100 IL -GS0/250 2nd trap process Magnet absorptive type TU-3100 (less than 100°C) (for submicron sizes) Hし130 HL Type HL-250 ,P180XH260 TU-2100 HL-G50/250 TU-1500, TU-1100 ►うずエレメント仕様 ① ② ③ COIL日ement spec ifications 型 式 エレメント記号 接続□径 ， エレメント記号 うずエレメントのうず数 ， エレメント記号 Type Element Code Joint bore 1 Element Code Nos. of coil I Element Code TU-6100 ASD-6100 NW25 B 3 1 3 TU-5100 ASD-5100 NW40 C 4 I 4 エレメント名称は記号によって表示されます。 TU-4100 ASD-4100 NW50 D 5 I 5 Element P/# is shown by the codes as follows. TU-3100 ASD-3100 NWBO E 6 I 6 TU-2100 ASD-2100 NW100 F 7 I 7 例） TU-1500 ASD-1500 トラッパクの型式 TU-3100 - NW50(5COIL) TU-1100 ASD-1100 NEW TRAPPACK Type TU-105LM ASD-105 l l l TU-95LM ASD-95 うずエレメントの型式 ASD-3100 - D - 5 TU-85LM ASD-85 I I COIL Element Type ① ② ③ TU-65LM ASD-65 I TU-50LM ASD-50 J IS flange JIS I I TU-26LM ASD-26 ISO flange ISO ＇ TU-25LM ASD-25 1S040 I 1S040 I TU-20LM ASD-20 1S0100 1S0100 I ＊このカタログに掲載した製品は、 性能向上の ため予告なしに寸法及び仕様書を変更することがあります。 For improved performance, the specifications stated in this catalogue are subject to changes TJ卓ISEI大成技研株式会社 お問い合わせ AGENT http://www.taiseigiken.com ■本 社〒121-0062東京都足立区南花畑4-32-4 TEL:0 3-3858-8701 / FAX: 03-3850-481 0 E-mail: tokyo@taiseigiken.com ■関西支店 〒578-0911大阪府東大阪市中新開2-6-37 TEL:072-960-4801 / FAX:072-960-4802 E-mail : osaka@talseigiken.com TAISEI GIKEN CO., LTD. ■Head office 4-32-4 Minami-Hanahata, Adachi-ku, Tokyo, Japan 121-0062 Tel:81-3-3858-8701 Fax:81-3-3850-481O E-mail: tokyo@taiseigiken.com