ニュートラパックは半導体、液晶製造装置用の排気ガス中の反応物（粉体）を除去するパウダートラップです。
本機は新機構のうず巻き吸着方式の採用により、コンダクタンスに影響を与えずに微粉体を大量に除去します。
加えてトラパックエレメントのマグネット吸着効果により低圧損で完全に粉体をシャットアウトします。
このカタログについて
| ドキュメント名 | 【半導体プロセス用】ドライポンプ及び配管の粉体除去器 |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 1.8Mb |
| 取り扱い企業 | 大成技研株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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スライド 3
半導体プロセス用
粉体除去器
before after
3
真空配管粉詰ゼロ