クライオポンプユーザーに朗報！再生時間短縮によって稼働率向上・生産性アップ！
高温窒素注入装置HotN2 UNITのご紹介です。
本装置は極低温により高真空を作り出す真空ポンプ『クライオポンプ』に
接続することにより稼働率向上を実現する製品です。
極低温となるポンプ内部、使用後は常温に戻す必要があります。
また、内部には凍った空気中の水分や気体が溜め込まれています。
クライオポンプを再度使用する際には、これらを排出する必要があります。
HotN2 UNITはクライオポンプ昇温の促進、
そして溜め込まれた気体の排出を促進することで再生時間を短縮いたします。
詳しくは資料のダウンロード、またはお気軽にお問い合わせください。
このカタログについて
| ドキュメント名 | 稼働率向上！クライオポンプ再生時間短縮！HotN2 UNIT ～真空蒸着・スパッタ・インプラ・半導体装置など～ |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 事例紹介 |
| ファイルサイズ | 1.1Mb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 大成技研株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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クライオポンプ
再生時間大幅短縮
高温窒素注入装置
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１．概 要
Hot-N2 UNITはクライオポンプのデメリットである
再生時間を大幅に短縮させる装置です。
再生時間を大幅に短縮することにより、
プロセス生産性を向上させることができます。
２．特 ⾧
①小型設計で容易に設置可能・簡単取付。
②特殊仕様も承ります。（要相談）
③N２ラインと電源のみ
1
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3．装着事例
現状の再生方式は、クライオポンプ本体に それに加えてHotN2 UNITを装着することに
バンドヒーター（メーカーオプション品）
でポンプを昇温し再生している。 より再生時間短縮が可能となる。
2
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4．Hot-N 着事例】
2装着後の効果
【装
プロセス：真空蒸着（ガラス）
8 クライオポンプ再生時間の比較
2昇80温K以か降らか再ら生再完生了完了
ままででのの経時過間時間 ・バンドヒーターのみ（通常再生）
7
2昇80温Kま時で間の経過時間 ⇒7時間１０分
（15K→280K）
6 ○Hot-N2のみ
⇒５時間１７分
5 ※１時間５３分短縮（約25%）
4 ◎Hot-N2＋バンドヒーター
⇒４時間４２分
3 ※２時間４２分短縮（約40%）
2
1 再生時間
0 約４０％短縮
バンドヒ①ーター Hot⑧-N
軸ラベル 2 バンド⑫ヒーター
のみ
のみ ＋Hot-N 3
2
クライオ再生に要する時間（hr）