産業を支える真空技術、その根幹を担う真空ポンプを守る製品の取付事例をご紹介します。
製造業において真空技術は欠かせない技術のひとつとなっています。
モノづくりにおいて何を作るにせよ、必ずどこかに真空技術が使用されています。
その根幹を担う真空ポンプ。
これが故障してしまうということは、生産が滞ってしまうということ。
大成技研では真空ポンプを故障から守るための製品を生産・販売しております。
真空ポンプは意外とデリケートなもの。
読んで字のごとく、空間（チャンバー）内を真空状態にするためのもの。
そのためには強力な吸引力で内部の空気を吸うのですが、
空気と同時に内部のゴミ・ホコリ・湿気・水分なども一緒に吸ってしまいます。
これらがどこに行くかと言うと、真空ポンプ内に入ってしまいます。
これが真空ポンプ故障の原因となります。
あるいは真空ポンプ周辺の配管などに詰まってしまい、装置全体の故障となる
可能性も大いにあります。
大成技研ではこのような事態を防ぐため、
真空ポンプ用オイルクリーナー『サン・オイルクリーナー』
真空ポンプ用油水分離機『サン・セパレータークリーナー』
真空ポンプ用粉体除去装置『トラパック』
を各種取り揃えております。
また、浄化技術を応用した
エアーコンプレッサー用ドレン水浄化装置『ＣＤ－００５』
も取り扱っております。
本事例集では以上の製品を実際に取り付けた成果をご覧いただけます。
是非ともダウンロードいただきご確認の上、お気軽にお問い合わせください。
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このカタログについて
| ドキュメント名 | 【保全担当者様必見！】真空ポンプ故障対策 トラブル削減事例【稼働率向上】 |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 事例紹介 |
| ファイルサイズ | 3.9Mb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 大成技研株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
この企業の関連カタログ
このカタログの内容
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製造業における
真空ポンプ故障対策
設 置 例
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事例集
真空ポンプ
故障ゼロの世界
油汚染編
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2
故障の原因
●汚染物混入
●水 分 混 入
●酸 混 入
オイル交換をしないと
故障発生リスク大!!!
①ポンプロック発生
②ポンプ内部のサビ発生
③オイルの汚れ
④軸シールからのオイル漏れ
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3
故障ゼロの決め手
油水分離機
設置例
真空ポンプ オイルクリーナー
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4
実 績 例
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1
事例集
真空ポンプ
故障ゼロの世界
油水分離編
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2
故障の原因
●汚染物混入
●水 分 混 入
●酸 混 入
乳化真空ポンプ油 故障の誘発
真空ポンプ内サビ
真空ポンプ故障
真空度のダウン
水分の排出作業
油水分離機の活用
故障ゼロの
世界
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3
故障ゼロの決め手
油水分離機
設置例
真空ポンプ 油水分離機
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4
実 績 例
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事例集
半導体 真空プロセス用
真空ポンプ＆排気配管
粉詰り解消術
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ドライ真空ポンプ 粉体トラブル例
主に半導体・液晶製造装置・真空装置（イ 配管詰り
オン注入・ＣＶＤ・エッチング等）では微
粉体の反応生成物が発生します。
特にイオン注入やCVD装置から排出される
反応生成物は１μｍ以下の粒径であり、一
般的なフィルター・トラップでは捕集困難
なほど細かい微粒子となります。
これらがドライ真空ポンプや装置内・配管
などに詰まると故障の原因となります。
ポンプ固着 排ガス処理筒詰まり
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解決策
大成技研の粉体除去装置『トラパック』を設置
微粉体による故障・トラブルから守ります！
最終スクラバー
真空装置 配管閉塞解消 負荷軽減
トラパック
TU-200 配管
トラパック
排ガス処理 TU-95LM
ﾄﾗﾊﾟｯｸ 吸入口閉塞解消
粉捕集
ﾄﾗﾊﾟｯｸ
パウダー
①ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ寿命延長
反応物の捕集
②ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ排気側
閉塞解決
ドライポンプ 処理剤寿命延長
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導入事例
トラパック導入による配管状況
導入前 導入後（３ヶ月）
配管
クリーン
配管が
閉塞している
トラパック使用条件
プロセス： 8“ P-CVD トラパック： TU-4100J-NW50
装 置： コンセプト２ ASD-4100-D-6,
エレメント：
SiH4 , NH KL-G50/250
3 ,
ガ ス：
NF3 , N2 取付け位置： 排気側
ポ ン プ： Edwards DP 使用期間：捕集量 3ヶ月
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コンプレッサードレン水処理方法
設置例
成 功 事 例 集
●合法的廃棄
●節 約 投 資
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コンプレッサードレン水処理ユニット
商品説明
コンプレッサードレン水を河川放流が可能なレベル
（n-ヘキ濃度5ppm）にまで浄化。
多量の油分吸着、長寿命、低ランニングコストを実現。
処理前・処理後
CD-005 SP-M30+CD-005
処理前
処理後
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3
CD-005取付設置例
A前処理用「浮上油回収槽」との併用 B複数のコンプレッサー用
「二股カプラー」の取付
Compressor Compressor Compressor Compressor Compressor
二股カプラー
(オプション)
Y-bend coupler
浮上油回収槽
SP-M30
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4
コンプレッサードレン水処理タンク設置例
コンプレッサーとの接続 コンプレッサーとの接続
直接接続 直接接続・手動処理
設置例 設置例
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5
CD-005設置例
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設 置 例
入口
処理前
処理後
出口