半導体・液晶プロセスの必需品
トラパックは半導体、液晶製造CVD装置用の排気ガス中の反応物（粉体）を除去するパウダートラップです。
本機は新機構の渦巻吸着方式の採用によりコンダクタンスに影響を与えずに微粉体を大量に除去します。
加えてトラパックエレメントのマグネット吸着効果により低コンダクタンスで完全に粉体をシャットアウトします。
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このカタログについて
| ドキュメント名 | 大成技研 トラパックカタログ（半導体向け）の案内 |
|---|---|
| ドキュメント種別 | ホワイトペーパー |
| ファイルサイズ | 221.4Kb |
| 取り扱い企業 | 大成技研株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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