CVD・エッチング装置用 粉体除去装置
ニュートラパックは半導体、液晶製造CVD装置用の排気ガス中の反応物（粉体）を除去するパウダートラップです。
本機は新機構の渦巻吸着方式の採用によりコンダクタンスに影響を与えずに微粉体を大量に除去します。
加えてトラパックエレメントのマグネット吸着効果により低コンダクタンスで完全に粉体をシャットアウトします。
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このカタログについて
| ドキュメント名 | ニュー トラパック Eシリーズ |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 1Mb |
| 取り扱い企業 | 大成技研株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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